JP2006186028A - 露光装置 - Google Patents
露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006186028A JP2006186028A JP2004376546A JP2004376546A JP2006186028A JP 2006186028 A JP2006186028 A JP 2006186028A JP 2004376546 A JP2004376546 A JP 2004376546A JP 2004376546 A JP2004376546 A JP 2004376546A JP 2006186028 A JP2006186028 A JP 2006186028A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- exposure apparatus
- light
- scanning direction
- reticle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 9
- 238000001459 lithography Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 16
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 6
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 6
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】 ウエハ等の感応基板上に照射される露光光の露光領域を規定する露光領域規定部材を備え、レチクルに形成されたパターンを前記感応基板上に転写する露光装置において、前記露光領域規定部材に光を検出する受光素子を配置したことを特徴とする。また、前記露光領域規定部材は前記露光領域を任意に変更する可動ブラインドを有することを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、照明光を分岐するためのハーフミラーを設置することなく露光量制御の為の光強度検出を行うことができる露光装置を提供することを目的とする。
請求項2の露光装置は、請求項1に記載の露光装置において、前記露光領域規定部材は前記露光領域を任意に変更する可動ブラインドを有することを特徴とする。
請求項4の露光装置は、請求項3記載の露光装置において、前記露光領域が円弧形状をしており、前記非走査方向遮光部材が前記円弧形状の露光領域内を移動することを特徴とする。
請求項6の露光装置は、請求項3ないし5のいずれか1項記載の露光装置において、前記非走査方向遮光部材は、前記レチクルに対して前記走査方向遮光部材より遠い位置に配置されていることを特徴とする。
請求項8の露光装置は、請求項1ないし7のいずれか1項記載の露光装置において、感応基板ステージ上に配置される第2の受光素子と、レチクルステージ上に配置される基準反射面と、前記露光領域規定部材に配置される前記受光素子と、前記第2の受光素子間の校正を行う校正手段とを有することを特徴とする。
この露光装置は、光源部11、照明光学系13、レチクルステージ15、投影光学系17およびウエハステージ19を有している。
光源部11はターゲット材料をプラズマ化しEUV光からなるパルス光を発生させる。
この光源部11では、ノズル21の先端から、ガスあるいは液体状のターゲット材料が間歇的に噴出される。レーザ装置25から射出したレーザ光27は、レンズ29を介してターゲット材料上に集光し、ターゲット材料をプラズマ化する。これにより、パルス光からなるEUV光31が発生する。
この照明光学系13では、光源部11からのEUV光31が、コリメータミラーとして作用する凹面反射鏡35を介して略平行光束となり、第1のフライアイミラー37および第2のフライアイミラー39からなるオプティカルインテグレータ41に入射する。これにより、第2のフライアイミラー39の反射面の近傍に、所定の形状(本例では円弧状であるがこの形状に限られるものではない)を有する実質的な面光源が形成される。実質的な面光源からのEUV光31は、反射鏡43,45により反射された後、平面反射鏡47により偏向される。
ウエハステージ19は、X,Y,Z方向に移動可能とされている。ウエハステージ19の上側には静電チャック57が固定され、静電チャック57の上面にウエハ55が吸着保持されている。ウエハ55上のダイを露光するときには、EUV光31がレチクル33の所定の領域に照射され、レチクル33とウエハ55は投影光学系17に対して投影光学系17の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハ55上の所定の露光範囲(ダイに対して)に露光される。
可動ブラインド53は、一対の走査方向遮光部材61(走査方向遮光羽)と一対の非走査方向遮光部材63(非走査方向遮光羽)とを有している。なお、図2では、走査方向遮光部材61と非走査方向遮光部材63の一部のみを示している。
図2において太い実線L1で囲まれた部分は、レチクル33のパターン面に照射される円弧状の照明領域A1を示している。この円弧状の照明領域A1の中心を径方向に通る直線の方向(図2の上下方向)がレチクル33の走査方向とされている。そして、照明領域A1の走査方向の両側となる位置にレチクル33の走査方向を制限する一対の走査方向遮光部材61が配置されている。この走査方向遮光部材61は、走査方向に移動可能とされ、走査前後での露光エリアのはみ出しを防止するものであり、マスクブラインド、同期ブラインドと呼ばれることもある。
そして、一対の非走査方向遮光部材63の内側(対向側)の端部の下面には、照明領域A1に入射する照明光の強度をパルス毎に検出する受光素子65が配置されている。この受光素子65は、非走査方向遮光部材63の高さ位置における照明範囲A2において、照明光のボケが少ない円弧状の検出領域A3内に位置するように配置されている。
そこで、この実施形態では、図3に示すように、非走査方向遮光部材63を、走査方向に垂直な方向に対して所定の角度θで、直線的に、直線L2と直線L3との間を移動させる。これにより、検出領域A3内に受光素子65を位置させた状態で非走査方向遮光部材63を移動することが可能になる。そして、非走査方向遮光部材63を直線的に移動するため、2次元的に移動させる場合に比較して非走査方向遮光部材63の駆動機構を簡易なものにすることができる。もちろん、照明領域A3に入れば遮光部材63を曲線的に動かすことも可能である。
(第2の実施形態)
図4は本発明の露光装置の第2の実施形態を示している。
この実施形態では、レチクルステージ15にパターンの形成されない基準反射面71が形成されている。また、ウエハステージ19に第2の受光素子73が配置されている。そして、非走査方向遮光部材63に配置される受光素子65と、ウエハステージ19に配置される第2の受光素子73との校正(キャリブレーション)を行う校正手段75が配置されている。露光量の制御はウエハ55上における露光量を制御して行われるが露光時にウエハ55上で光量を検出できないので、露光時は受光素子65の検出結果を用いて制御が行われる。従って、受光素子65の検出値とその時の実際のウエハステージ19上における光量値の関係を測定してキャリブレーションを行う必要がある。
また、露光量制御手段87により、照明光学系13内に設置された減光フィルタ77を制御して照明光の強度の安定化を行うことができる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(3)上述した実施形態では、EUV光31を用いた露光装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明は、レチクルに照射される照明光の照明範囲を定めるブラインドを備えた露光装置に広く適用することができる。例えば、透過型のレチクル(マスク)を用いた場合にも適用可能である。
13 照明光学系
15 レチクルステージ
17 投影光学系
19 ウエハステージ
33 レチクル
53 可動ブラインド
55 ウエハ
61 走査方向遮光部材
63 非走査方向遮光部材
65 受光素子
71 基準反射面
73 第2の受光素子
75 校正手段
77 減光フィルタ
87 露光量制御手段
A1 照明領域
A2 照明範囲
A3 検出領域
Claims (9)
- ウエハ等の感応基板上に照射される露光光の露光領域を規定する露光領域規定部材を備え、レチクルに形成されたパターンを前記感応基板上に転写する露光装置において、
前記露光領域規定部材に光を検出する受光素子を配置したことを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記露光領域規定部材は前記露光領域を任意に変更する可動ブラインドを有することを特徴とする露光装置。 - 請求項2記載の露光装置において、
前記可動ブラインドは前記感応基板の非走査方向の前記露光領域を制限する非走査方向遮光部材と、走査方向の前記露光領域を制限する走査方向遮光部材とを有し、前記非走査方向遮光部材に前記受光素子を配置したことを特徴とする露光装置。 - 請求項3記載の露光装置において、
前記露光領域が円弧形状をしており、前記非走査方向遮光部材が前記円弧形状の露光領域内を移動することを特徴とする露光装置。 - 請求項4記載の露光装置において、
前記非走査方向遮光部材は、前記円弧形状の露光領域内を直線上に移動することを特徴とする露光装置。 - 請求項3ないし5のいずれか1項記載の露光装置において、
前記非走査方向遮光部材は、前記レチクルに対して前記走査方向遮光部材より遠い位置に配置されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項記載の露光装置において、
前記検出器は前記レチクルに入射する光を検出することを特徴とする露光装置。 - 請求項1ないし7のいずれか1項記載の露光装置において、
感応基板ステージ上に配置される第2の受光素子と、
レチクルステージ上に配置される基準反射面と、
前記露光領域規定部材に配置される前記受光素子と、前記第2の受光素子間の校正を行う校正手段と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項8記載の露光装置において、
前記校正手設は、照明条件または前記露光領域の設定が変更された時に前記受光素子間の校正を行うことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004376546A JP4765313B2 (ja) | 2004-12-27 | 2004-12-27 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004376546A JP4765313B2 (ja) | 2004-12-27 | 2004-12-27 | 露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186028A true JP2006186028A (ja) | 2006-07-13 |
JP4765313B2 JP4765313B2 (ja) | 2011-09-07 |
Family
ID=36738934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004376546A Expired - Fee Related JP4765313B2 (ja) | 2004-12-27 | 2004-12-27 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4765313B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006303270A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2013026621A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Asml Netherlands Bv | 放射源、放射源を制御する方法、リソグラフィ装置およびデバイスを製造する方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06181160A (ja) * | 1992-12-14 | 1994-06-28 | Nikon Corp | 露光装置 |
JPH0737774A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-07 | Canon Inc | 走査型露光装置 |
JPH0817713A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JP2000277413A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Canon Inc | 露光量制御方法、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2000286191A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Nikon Corp | 露光装置および露光方法ならびにデバイス製造方法 |
JP2001237169A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Canon Inc | 露光量制御方法、デバイス製造方法および露光装置 |
JP2002353088A (ja) * | 2001-05-22 | 2002-12-06 | Canon Inc | 位置検出方法及び位置検出装置 |
JP2003142363A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-16 | Canon Inc | 位置合わせ装置、位置合わせ装置の制御方法、その位置合わせ装置を用いた投影露光装置、半導体デバイスの製造方法 |
JP2004356291A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Nikon Corp | 走査露光装置及び走査露光方法 |
-
2004
- 2004-12-27 JP JP2004376546A patent/JP4765313B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06181160A (ja) * | 1992-12-14 | 1994-06-28 | Nikon Corp | 露光装置 |
JPH0737774A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-07 | Canon Inc | 走査型露光装置 |
JPH0817713A (ja) * | 1994-07-01 | 1996-01-19 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JP2000277413A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Canon Inc | 露光量制御方法、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2000286191A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Nikon Corp | 露光装置および露光方法ならびにデバイス製造方法 |
JP2001237169A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Canon Inc | 露光量制御方法、デバイス製造方法および露光装置 |
JP2002353088A (ja) * | 2001-05-22 | 2002-12-06 | Canon Inc | 位置検出方法及び位置検出装置 |
JP2003142363A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-16 | Canon Inc | 位置合わせ装置、位置合わせ装置の制御方法、その位置合わせ装置を用いた投影露光装置、半導体デバイスの製造方法 |
JP2004356291A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Nikon Corp | 走査露光装置及び走査露光方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006303270A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2013026621A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Asml Netherlands Bv | 放射源、放射源を制御する方法、リソグラフィ装置およびデバイスを製造する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4765313B2 (ja) | 2011-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4924421B2 (ja) | センサの校正方法、露光方法、露光装置、デバイス製造方法、および反射型マスク | |
JP4892645B2 (ja) | マイクロリソグラフィ投影露光用の装置および基板の表面を検査するための装置 | |
KR100650946B1 (ko) | 방사선 시스템, 리소그래피 장치, 디바이스 제조방법, 및그에 의해 제조된 디바이스 | |
US20060238749A1 (en) | Flare measuring method and flare measuring apparatus, exposure method and exposure apparatus, and exposure apparatus adjusting method | |
JP6371473B2 (ja) | 照明システム | |
TWI497229B (zh) | 光蝕刻系統及光蝕刻方法 | |
TW200811609A (en) | Surface location survey apparatus, exposure apparatus and fabricating method of device | |
JP3874755B2 (ja) | 迷放射を決定する方法、リソグラフィ投影装置 | |
JP2006270071A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
US20070170376A1 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
TWI295413B (en) | Lithographic apparatus and method to determine beam size and divergence. | |
JP2007194600A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP2006352120A (ja) | センサーで結像システムを較正するリソグラフィ装置及びデバイス製造方法並びにそれによって製造されたデバイス | |
JP4765313B2 (ja) | 露光装置 | |
KR20080059625A (ko) | 리소그래피 장치 및 제어 방법 | |
JP2006303270A (ja) | 露光装置 | |
JP4268364B2 (ja) | リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびそれによって製造したデバイス | |
JP6952136B2 (ja) | リソグラフィの方法及び装置 | |
JP5352989B2 (ja) | 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法 | |
US7595862B2 (en) | Exposure apparatus and method of manufacturing device | |
JP2011146449A (ja) | フレア計測方法、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP2009194328A (ja) | 光学検出装置、光学特性調整装置、光学特性調整方法、露光装置、及びデバイスの製造方法 | |
JP2010205794A (ja) | 光強度計測装置、露光装置及びデバイスの製造方法 | |
JPH088204B2 (ja) | 投影露光装置 | |
JP2006339348A (ja) | 露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101004 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110307 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4765313 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |