JP2006179849A - 傾斜機能付き浮上ユニット及び浮上装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 多孔質ユニット41を設けた揺動基体31を、球面軸受けにより基台21で支持した。また、基台21と揺動基体31との間にエアを介在させ、揺動基体31及び多孔質ユニット41を球面に沿って揺動可能とした。この揺動により、エアが噴出する改良浮上ユニット12の上面12aは自由に傾斜可能となる。うねったガラス基板を載置すると、改良浮上ユニット12の上面12aは基板の傾斜に倣って傾斜した状態となる。この状態でエアを噴出させれば、基板は上面12aと平行な状態で浮上し、浮上力が基板に確実に作用する。これにより、上記課題を解決できる。
【選択図】 図1
Description
その噴出面の受動的な傾斜を自由化する揺動手段(凹状球面部23,凸状球面部33等で構成される球面軸受け構造)とを備え、
前記噴出面から噴出する加圧気体によって、その噴出面と非接触の状態でワーク(ガラス基板G)を支持する傾斜機能付き浮上ユニット(改良浮上ユニット12)。
前記噴出面を備え、同一の曲率半径を有する凹状球面部及び凸状球面部のうちの一方を、噴出面と反対側に形成した揺動体(揺動基体31,多孔質ユニット41)と、
前記凹状球面部及び凸状球面部のうちの他方を形成し、球面部同士を合わせた状態で揺動体を支持する基台とを備え、
前記基台と前記揺動体との間に加圧気体を介在させることで、揺動体を球面に沿って揺動可能とし、この揺動により噴出面の受動的な傾斜を自由化したことを特徴とする傾斜機能付き浮上ユニット。
前記多数の浮上ユニットのうち、平面視における四隅又は端部には、手段1乃至13のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニット(改良浮上ユニット12)を配置したことを特徴とする浮上装置。
前記多数の浮上ユニットのすべてを、手段1乃至13のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニット(改良浮上ユニット12)としたことを特徴とする浮上装置。
以下、発明を具体化した第1の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、図1は傾斜機能付き浮上ユニットの断面図(図2のA−A線断面図)、図2は傾斜機能付き浮上ユニットの斜視図、図3はガラス基板の載置から浮上までの様子を示した模式図、図4はガラス基板の位置ズレが修正された状態を示す平面図である。そして、以下では、上下とは鉛直方向をいうものとする。
以下の説明では、上記第1の実施の形態と異なる点について図5を用いて説明し、同一部分については説明を省略する。なお、改良浮上ユニット50を構成する後述の各部及び各部材は、改良浮上ユニット50の中心線を基準として設けられている。
なお、実施の形態は上記した内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。
Claims (15)
- 加圧気体が噴出する噴出面と、
その噴出面の受動的な傾斜を自由化する揺動手段とを備え、
前記噴出面から噴出する加圧気体によって、その噴出面と非接触の状態でワークを支持する傾斜機能付き浮上ユニット。 - 前記噴出面を有する揺動体を基台に対して球面軸受けにより支持し、それによって前記揺動手段を構成したこと特徴とする請求項1記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記基台及び前記揺動体のうち、一方に凹状球面部を、他方に凸状球面部を設け、その球面部同士を合わせた状態で揺動体を基台で支持し、両者の間に加圧気体を介在させることで前記球面軸受けを構成したことを特徴とする請求項2に記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記基台及び前記揺動体の内部に両者を連結する弾性チューブを設け、該弾性チューブ内を通して前記噴出面に加圧気体を供給するようにし、さらに弾性チューブの周囲に揺動体の揺動に伴う弾性チューブの変形を許容する変形許容空間を形成したことを特徴とする請求項2に記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 噴出面から噴出する加圧気体によって、その噴出面と非接触の状態でワークを支持する浮上ユニットであって、
前記噴出面を備え、同一の曲率半径を有する凹状球面部及び凸状球面部のうちの一方を、噴出面と反対側に形成した揺動体と、
前記凹状球面部及び凸状球面部のうちの他方を形成し、球面部同士を合わせた状態で揺動体を支持する基台とを備え、
前記基台と前記揺動体との間に加圧気体を介在させることで、揺動体を球面に沿って揺動可能とし、この揺動により噴出面の受動的な傾斜を自由化したことを特徴とする傾斜機能付き浮上ユニット。 - 前記基台に第1気体流路を形成し、前記揺動体には前記噴出面につながる第2気体流路を形成し、両者を前記凹状球面部及び凸状球面部で開口させるとともに、その開口同士が対峙するように構成した請求項5に記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記揺動体が傾斜した状態でも前記第2気体流路の開口が塞がれないよう、前記第1気体流路の開口及び第2気体流路の開口うちの一方を広口に形成したことを特徴とする請求項6に記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記揺動体が基台から外れることを防止する外れ防止手段を設けたことを特徴とする請求項2乃至7のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記揺動体の揺動を所定の範囲に規制する揺動規制手段を設けたことを特徴とする請求項2乃至8のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記揺動体の外周には筒状をなす覆筒体を設け、その覆筒体で前記基台の側面の少なくとも上部を隠すように構成したことを特徴とする請求項2乃至9のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記外れ防止手段及び前記揺動規制手段を、基台側面に形成された凹部と、前記覆筒体に設けられ、先端が前記凹部に遊挿される外れ防止ピンとで構成したことを特徴とする請求項10に記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記揺動体の水平方向の重量バランスを調整するバランス調整手段を設けたことを特徴とする請求項2乃至11のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 前記噴出面を多孔質体によって形成したことを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニット。
- 多数の浮上ユニットを備え、その浮上ユニットの噴出面から噴出される加圧気体によって、薄板状のワークを非接触支持する浮上装置であって、
前記多数の浮上ユニットのうち、平面視における四隅又は端部には、請求項1乃至13のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニットを配置したことを特徴とする浮上装置。 - 多数の浮上ユニットを備え、その浮上ユニットの噴出面から噴出される加圧気体によって、薄板状のワークを非接触支持する浮上装置であって、
前記多数の浮上ユニットのすべてを、請求項1乃至13のいずれかに記載の傾斜機能付き浮上ユニットとしたことを特徴とする浮上装置。
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