JP2006170964A - 反射型光学式エンコーダー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射型光学式エンコーダー100は光源110とスケール120と光検出器130と支持基板140と光源スリット150とを備えている。光源110はスケール120に向けて光ビームを射出し、スケール120は光源110に対して移動する。スケール120は周期的な光学パターン124を有し、照射される光ビームを反射・変調する。光検出器130はフォトディテクターアレイ132を有し、スケール120によって反射・変調された光ビームによる結像イメージを検出する。光源110と光検出器130は共に支持基板140に取り付けられている。光源スリット150はスリットパターン154を有し、スリットパターン154が光源110の上にひさし状に張り出すように、フォトディテクターアレイ132が形成された光検出器130の面に取り付けられている。
【選択図】 図3
Description
Pb=ps×(Z1+Z2)/Z1 … (2)
Pa=ps×(Z1+Z2)/Z2 … (3)
ここで、nは任意の自然数である。
Pb=2Ps … (5)
Pa=2Ps … (6)
この従来例の反射型光学式エンコーダーは、式(4)と式(5)と式(6)を満足しているため、スケールG1上に形成された周期パターンと相似な明暗パターンが光検出器PDA上に投影される。この明暗パターンはスケールG1の移動に伴って光検出器PDA上を移動する。このため、この明暗パターンの動きを検出することによって、スケールG1の動きを求めることができる。
図1は、本発明の第一実施形態による反射型光学式エンコーダーの斜視図である。図2は、図1に示された反射型光学式エンコーダーの上面図である。図3は、反射型光学式エンコーダーの側面図である。図4は、図1に示されたスケールの上面図である。なお図2ではスケールの図示は省かれている。
図7は、本発明の第二実施形態による反射型光学式エンコーダーの側面図であり、図3に示された第一実施形態の反射型光学式エンコーダーの側面図に相当する図である。図7において、図3に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
図9は、本発明の第三実施形態による反射型光学式エンコーダーの側面図であり、図3に示された第一実施形態の反射型光学式エンコーダーの側面図に相当する図である。図9において、図3に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
図11は、本発明の第四実施形態による反射型光学式エンコーダーの側面図であり、図3に示された第一実施形態の反射型光学式エンコーダーの側面図に相当する図である。図11において、図3に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
Claims (14)
- 光源と、
光源に対して相対的に移動するスケールとを備えており、光源はスケールに向けて光ビームを射出し、スケールは周期的な光学パターンを有し、光学パターンは光源から照射される光ビームを反射・変調し、さらに、
光源から射出されスケールによって反射・変調された光ビームによる結像イメージを検出する光検出器と、
光源と光検出器が共に取り付けられた支持基板と、
光源から射出されスケールに到達する光ビームの光路上に配置された光源スリットとを備えており、光源スリットは少なくとも一つの開口を有し、光検出器は光ビームを受ける受光部を有し、光源スリットは、光源の上に張り出すように、受光部が形成された光検出器の面に取り付けられている、反射型光学式エンコーダー。 - スケールの移動方向をX方向、光学パターンが形成されたスケールの面上においてX方向に直交する方向をY方向、光学パターンが形成されたスケールの面に垂直な方向をZ方向としたとき、光検出器の受光部と光源スリットの開口はY方向に離れており、光源と光検出器はほぼY方向に離れている、請求項1に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光検出器の受光部の中心と光源スリットの開口の中心とがほぼ一直線上に位置している、請求項2の光学式エンコーダー。
- 光源と光学パターンが形成されたスケールの面との間の距離をZ0、光学パターンが形成されたスケールの面と受光部が形成された光検出器の面との間の距離をZ2としたとき、Z0>Z2である、請求項2に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光源スリットは、光源から射出される光ビームに対して透光性を有する透光部材と、透光部材に形成されたスリットパターンとを備えており、スリットパターンが形成された光源スリットの面と受光部の形成された光検出器の面とが互いに対向している、請求項4に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光源スリットの透光部材は光検出器の受光部を覆っている、請求項5に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光検出器は、受光部に加えて、受光部と電気的に接続された電極パッドと、受光部と電極パッドが形成された半導体基板とを有し、受光部は、半導体基板に一次元配列された複数のフォトディテクターからなるフォトディテクターアレイであり、電極パッドは半導体基板上に形成されていて、光源スリットによって覆われていない、請求項5に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光源と光検出器の少なくとも一方が高さ調整部材を介して支持基板に取り付けられている、請求項4または請求項5に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 支持基板は階段状部分を有しており、光源と光検出器がそれぞれ高さが異なる段に取り付けられている、請求項4または請求項5に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光検出器は受光部に加えて、受光部と電気的に接続された電極パッドを有し、支持基盤は外部回路へ接続可能な電極パッドを有し、光検出器の有する電極パッドと支持基盤の有する電極パッドは電気要素により電気的に接続されており、光検出器の有する電極パッド、支持基盤の有する電極パッド、電気要素を封止する樹脂部材をさらに備えている、請求項4または請求項5に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光源スリットの、スケールに対向する面が樹脂部材から露出している、請求項10に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光源が、光源から射出される光ビームの波長に対して透光性を有する樹脂部材によって封止されている、請求項11に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 樹脂部材は光源から射出される光ビームに対して透光性を有し、光源スリットと光源が共に樹脂部材によって封止されている、請求項10に記載の反射型光学式エンコーダー。
- 光源から射出されスケールを経由して光検出器の受光部に到達する光ビームの光路上を除いた樹脂部材の領域の少なくとも一部は、光源から射出される光ビームに対して遮光性を有している、請求項10に記載の反射型光学式エンコーダー。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008126836A1 (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-23 | Olympus Corporation | 光学式エンコーダ |
JP2009236854A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Olympus Corp | 光学式エンコーダ |
JP2011247879A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-12-08 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
JP2015200568A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダおよびこれを備えた装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61134059U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-21 | ||
JPH09196706A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
JPH10213455A (ja) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式リニアエンコーダ |
JP2002174536A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Nidec Copal Corp | エンコーダ装置 |
JP2003004487A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式検出装置 |
-
2004
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61134059U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-21 | ||
JPH09196706A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
JPH10213455A (ja) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式リニアエンコーダ |
JP2002174536A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Nidec Copal Corp | エンコーダ装置 |
JP2003004487A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式検出装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008126836A1 (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-23 | Olympus Corporation | 光学式エンコーダ |
US8035079B2 (en) | 2007-04-10 | 2011-10-11 | Olympus Corporation | Optical encoder |
JP5198434B2 (ja) * | 2007-04-10 | 2013-05-15 | オリンパス株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP2009236854A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Olympus Corp | 光学式エンコーダ |
JP2011247879A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-12-08 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
JP2015200568A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダおよびこれを備えた装置 |
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