JP2006165042A - 転写装置、転写方法、及び、検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の第1面のパターンと対応するように、第2面にパターンを転写することができる転写装置、及び、転写方法を提供する。更に、基板の第1面における領域に対応する第2面における領域を観察することができる検査装置を提供する。
【解決手段】転写装置は、(A)基板30の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台21、(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、(D)制御手段25、を備え、制御手段は、(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する。
【選択図】 図1
【解決手段】転写装置は、(A)基板30の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台21、(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、(D)制御手段25、を備え、制御手段は、(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、転写装置、転写方法、及び、検査装置に関する。
半導体装置等においては、基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写することが広く行われている。例えば、画像読み取りのための光電変換装置においては、基板の第1面に第1のパターンを有し、薄膜トランジスタ(TFT)等によって構成される受光要素を配置し、基板の第2面に配線を形成する第2のパターンを転写することが行われている。このような構造にすることにより、受光要素に入射する光が、配線により妨げられることを避けることができる。
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第2面に第2のパターンを転写する場合、両面のパターンの位置合わせを精度よく行う必要がある。例えば、基板を貫通するアライメントマークを設け、これを基準に位置合わせを行うことが提案されている(例えば、特開2002−118055号公報参照)。
また、台の上に薄膜を形成し、その後、台を除去して薄膜にアライメントマークを残す方法も提案されている(例えば、特開2002−151676号公報参照)。この方法においては、台の面に凹凸を設け、この面上に気相成長法により薄膜を形成し、その後、台をエッチング等で除去する。薄膜の両面には、台の面の凹凸に倣った凹凸が形成される。薄膜に設けられた凹凸をアライメントマークとして用いることができる。
基板を貫通するアライメントマークを設けるためには、基板に貫通孔を形成する必要があるが、貫通孔を形成する際に基板にストレスが加わり、半導体装置の欠陥を招く虞がある。また、台の面上に薄膜を形成した後、台を除去して薄膜に凹凸を形成する方法は、台の除去等が必要となるので、工程が複雑になる。
従って、本発明の第1の目的は、基板を貫通するアライメントマークを形成する必要がなく、簡単な工程で、基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写することができる転写装置、及び、転写方法を提供することにある。更に、本発明の第2の目的は、基板に貫通するアライメントマークを形成する必要がなく、基板の第1面における領域に対応する第2面における領域を観察することができる検査装置を提供することにある。
上記の第1の目的を達成するための本発明の第1の態様に係る転写装置は、
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写装置であって、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、
(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする。
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写装置であって、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、
(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする。
また、上記の第1の目的を達成するための本発明の第1の態様に係る転写方法は、
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、転写装置により第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写方法であって、
転写装置は、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、及び、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、
を備え、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて基板の基準点の座標値を求め、且つ、転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御した後、
(b)転写手段により基板の第2面に第2のパターンを転写する、
ことを特徴とする。
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、転写装置により第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写方法であって、
転写装置は、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、及び、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、
を備え、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて基板の基準点の座標値を求め、且つ、転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御した後、
(b)転写手段により基板の第2面に第2のパターンを転写する、
ことを特徴とする。
上記の第1の目的を達成するための本発明の第2の態様に係る転写装置は、
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写装置であって、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、更に、
(E)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、
(b)画像情報取得手段が取得した画像情報から、第1のパターンの基準点の座標値を求め、且つ、
(c)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1のパターンの基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする。
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写装置であって、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、更に、
(E)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、
(b)画像情報取得手段が取得した画像情報から、第1のパターンの基準点の座標値を求め、且つ、
(c)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1のパターンの基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする。
また、上記の第1の目的を達成するための本発明の第2の態様に係る転写方法は、
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、転写装置により第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写方法であって、
転写装置は、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、及び、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、
を備え、更に、
(D)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて基板の基準点の座標値を求め、且つ、画像情報取得手段が取得した画像情報から第1のパターンにおける基準点の座標値を求め、次いで、
(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1のパターンにおける基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御した後、
(c)転写手段により基板の第2面にパターンを転写する、
ことを特徴とする。
基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、転写装置により第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写方法であって、
転写装置は、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、及び、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、
を備え、更に、
(D)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて基板の基準点の座標値を求め、且つ、画像情報取得手段が取得した画像情報から第1のパターンにおける基準点の座標値を求め、次いで、
(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1のパターンにおける基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御した後、
(c)転写手段により基板の第2面にパターンを転写する、
ことを特徴とする。
本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る転写装置においては、制御手段の指令に基づいて基板を保持する保持台を移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することが好ましく、あるいは又、本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る転写方法においては、転写手段と基板の相対関係を、基板を保持する保持台を移動させて制御することが好ましい。基板を保持する保持台の移動形態として、保持台を回転させる形態、平行に移動させる形態、回転させ、且つ、平行に移動させる形態を挙げることができる。
本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る転写装置、あるいは、本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る転写方法において、アライメントマークを検出するための検出手段を、保持台に配置されたセンサから構成することができる。センサとして、フォトダイオード、CCD(電荷結像素子)等の撮像素子、その他の光学的なセンサ、静電容量の変化を検知する静電容量センサ等の非光学的なセンサを例示することができる。そして、この場合、保持台には、保持台に対してX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動可能なリフトピンが備えられ、センサはリフトピンの先端に配置されている構成とすることができる。転写手段と基板の相対関係を、基板を支えた状態でリフトピンを移動させることで制御してもよい。
本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る転写装置、あるいは、本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る転写方法において、転写手段を、機械的な転写手段とすることもできるし、光学的な転写手段とすることもできる。更には、転写手段を投影手段から構成することができ、投影手段は、照明部、マスク部、及び、投影光学部を備えていてもよい。転写手段と基板の相対関係は、(制御手段の指令に基づいて、)投影手段に備えられた投影光学部を移動させて制御されてもよい。更には、投影光学部の移動は、制御手段の指令に基づいて、投影手段に備えられたマスク部を機械的に移動させる構成とすることができるし、あるいは又、投影手段に備えられた投影光学部を機械的、又は、光学的に移動させる構成とすることもできる。
本発明の第2の態様に係る転写装置、あるいは、第2の態様に係る転写方法において、基板の第1面における画像情報を取得する画像情報取得手段として、フォトダイオード、CCD等の撮像素子、その他の光学素子から構成されるイメージセンサを例示することができる。二次元イメージセンサで一度に画像情報を取得してもよいし、移動可能な一次元イメージセンサで基板を走査することにより画像情報を取得してもよい。一次元イメージセンサを基板の保持台に配置し、保持台を移動させることにより一次元イメージセンサによって基板を走査する構成とすることもできる。
上記の第2の目的を達成するための本発明の第1の態様に係る検査装置は、
基板の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査する検査装置であって、
(A)基板の第2面を検査する検査手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、
(b)検査手段により検査される基板の第2面の領域が基板の第1面における領域に対応するように、基板の基準点の座標値を用いて検査手段と基板との相対関係を制御する、ことを特徴とする。
基板の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査する検査装置であって、
(A)基板の第2面を検査する検査手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、
(b)検査手段により検査される基板の第2面の領域が基板の第1面における領域に対応するように、基板の基準点の座標値を用いて検査手段と基板との相対関係を制御する、ことを特徴とする。
また、上記の第2の目的を達成するための本発明の第2の態様に係る検査装置は、
基板の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査する検査装置であって、
(A)基板の第2面を検査する検査手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、更に、
(E)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、
(b)画像情報取得手段が取得した画像情報から、第1面における領域の基準点の座標値を求め、且つ、
(c)検査手段により検査される基板の第2面の領域が基板の第1面における領域に対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1面における領域の基準点の座標値を用いて検査手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする。
基板の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査する検査装置であって、
(A)基板の第2面を検査する検査手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、更に、
(E)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、
(b)画像情報取得手段が取得した画像情報から、第1面における領域の基準点の座標値を求め、且つ、
(c)検査手段により検査される基板の第2面の領域が基板の第1面における領域に対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1面における領域の基準点の座標値を用いて検査手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする。
本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る検査装置において、検査手段と基板の相対関係は、基板を保持する保持台を平行に移動して制御してもよいし、保持台を回転して制御してもよいし、平行に移動し、且つ、回転して制御してもよい。センサとして、フォトダイオード、CCD(電荷結像素子)等の撮像素子、その他の光学的なセンサ、静電容量の変化を検知する静電容量センサ等の非光学的なセンサを例示することができる。保持台には、保持台に対してX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動可能なリフトピンが備えられ、センサはリフトピンの先端に配置されている構成とすることができる。検査手段と基板の相対関係は、基板を支えた状態でリフトピンを移動させることで制御してもよい。
本発明の第2の態様に係る検査装置において、基板の第1面における画像情報を取得する画像情報取得手段として、フォトダイオード、CCD等の撮像素子、その他の光学素子から構成されるイメージセンサを例示することができる。二次元イメージセンサで一度に画像情報を取得してもよいし、移動可能な一次元イメージセンサで基板を走査することにより画像情報を取得してもよい。一次元イメージセンサを基板の保持台に配置し、保持台を移動させることにより一次元イメージセンサによって基板を走査する構成とすることもできる。
本発明の第1の態様若しくは第2の態様に係る転写装置、第1の態様若しくは第2の態様に係る転写方法、あるいは、第1の態様若しくは第2の態様に係る検査装置(以下、これらを総称して、単に、本発明と呼ぶ場合がある)において、基板は、シリコン単結晶等から成る半導体基板を例示することができるが、絶縁体から成る基板でもよいし、半絶縁性基板とすることもできるし、導電体から成る基板でもよい。また、これらの基板は、下地層、感光性膜を有してもよい。
下地層の材質は、絶縁体、半導体、及び、導電体の何れでもよく、酸化シリコン系材料、酸化アルミニウム、アモルファスシリコン、ポリシリコン、アルミニウム、銅、金、プラチナ等を例示することができる。尚、基板の上に感光性膜が設けられている構成も、基板に包含される。ここで、感光性膜を構成する材料として、架橋型、光重合型、相変化型等のフォトレジスト材料を例示することができる。
基板のパターンは、基板、下地層、及び、感光性膜のいずれがパターンニングされて設けられてもよい。基板のパターンニングは、下地層や感光性膜の除去等の物理的な方法に限られず、基板や下地層の特定の部位への不純物注入等、化学的な方法で行うことができる。
本発明の転写装置、あるいは、転写方法によれば、基板に貫通孔を形成することなく、基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写することができる。また、本発明の検査装置によれば、基板に貫通孔を形成することなく、基板の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域に検査手段を検査することができる。
以下、図面を参照して、実施例に基づき本発明を説明する。
実施例1は、本発明の第1の態様に係る転写装置、及び、本発明の第1の態様に係る転写方法に関する。図1に、実施例1の転写装置の全体図を示す。
転写装置1は、基板搬送部10、保持台部20、X−Yステージ部70、照明部50、マスク部40、投影光学部80、及び、これらを制御する制御部60を備えている。照明部50、マスク部40、及び、投影光学部80は、転写装置1における転写手段である投影手段90を構成する。転写の対象物として、基板30が示されている。基板30の第1面、即ち、保持台部20と対向する面には、第1のパターン、及び、アライメントマークが設けられている。これらの詳細については、後述する。投影手段90により転写される第2のパターンが基板30の第1のパターンと対応するように、基板30を保持台部20で保持する。その状態で、投影手段90により、半導体基板31の上に設けられた感光性膜32が露光され、感光性膜32に第2のパターンが転写される。
尚、以下の説明において、投影光学部80から投影される照明光の中心部の軌跡を示す直線(投影光学部80の光軸)をZ軸とする。
基板30は、一般にウエハと称される円板状の半導体基板31、及び、その上に設けられた感光性膜32から成る。感光性膜32は、半導体基板31の投影光学部80と対向する面(基板30の第2面)側に設けられている。半導体基板31の上に下地層が設けられ、その下地層の上に感光性膜32が設けられている場合もある。感光性膜32の材料として、架橋型、光重合型、相変化型等のフォトレジスト材料を挙げることができる。
照明部50は、光源51、コンデンサーレンズ52、及び、ミラー53を備えている。光源51は、例えば、波長193nmのArFエキシマレーザ光源(図示せず)、及び、絞り(図示せず)を有する。レーザ光源にて発生したパルス状の照明光は、その照度が均一化され、絞りにより照明光の形状が略矩形に整形される。整形された照明光は、コンデンサーレンズ52により収束され、ミラー53により反射され、マスク部40に入射する。
マスク部40は、レチクル41、レチクルステージ42、レチクルステージ駆動手段43、及び、レチクル位置情報検出手段44を備えている。レチクル41には、第2のパターンを露光するためのマスクパターンが設けられている。レチクル41は、レチクルステージ42の上に、例えば、真空吸着により固定される。レチクルステージ42は、モータ等から構成されるレチクルステージ駆動手段43により、図1のX軸方向に移動可能である。レチクルステージ駆動手段43は、制御部60におけるコンピュータ等から構成される制御手段61の指令に応じて動作する。レチクル41の位置情報は、レーザ干渉計等から成るレチクル位置情報検出手段44により取得され、レチクル41のX軸方向の位置情報は制御手段61に送られる。
投影光学部80は、鏡筒、複数のレンズ等により構成され、基板30に対向するレンズを備えている。レチクル41を通過した照明光は、感光性膜32上に、第2のパターンを投影して結像する。
基板搬送部10は、ロボットアーム11を備えている。ロボットアーム11は、例えば図1のY軸方向に移動可能である。基板30は、ロボットアーム11に乗せられた状態で、転写装置1に搬送される。
保持台部20は、保持台21、吸着手段22を備えている。保持台21は、X−Yステージ部70により、移動可能である。保持台21は、配管23及びアライメントマークを検出する検出手段25を備えており、保持台21には凹部24が設けられている。検出手段25は、例えばCCD等の撮像素子から成り、基板30の第1面に設けられたアライメントマークを検出する。検出手段25は、凹部24に配置された柱26の上部に配置されている。
ロボットアーム11上の基板30は、次の手順で保持台21上に保持される。即ち、保持台21からリフトピン(図示せず)が図1のZ軸方向に突出することにより、保持台21はロボットアーム11から持ち上げられる。次いで、ロボットアーム11を図1のY軸方向に後退させ、リフトピンを保持台21に引き込むことで、基板30を保持台21上に載置することができる。ポンプ等から構成される吸着手段22が配管23に接続されており、吸着手段22を動作させることで、基板30を保持台21上に保持することができる。
X−Yステージ部70は、X−Yステージ71、X−Yステージ駆動手段72、基板位置情報検出手段73、定盤74、及び、保持台回転手段75を備えている。X−Yステージ71は、モータ等から構成されるX−Yステージ駆動手段72により、図1のX軸方向、及び、Y軸方向に定盤74の上を移動可能である。X−Yステージ駆動手段72は、制御部60におけるコンピュータ等から構成される制御手段61の指令に応じて動作する。保持台回転手段75は、モータや圧電素子等から構成され、保持台21を、図1のXY平面内で、Z軸の周りを回転させる。保持台回転手段75は、制御部60における制御手段61の指令に応じて動作する。基板30の位置情報は、レーザ干渉計等の基板位置情報検出手段73により取得され、X軸方向及びY軸方向の位置情報は、制御手段61に送られる。
転写装置1では、固定された投影光学部80に対して、感光性膜32が設けられた基板30が移動する。感光性膜32上における結像状態は、感光性膜32のZ軸方向の位置に依存する。このため、保持台21は、圧電素子等から成る微動可能な駆動手段(図示せず)により、Z軸方向にも移動可能である。感光性膜32上面の位置情報は、レーザ干渉計等の測定手段(図示せず)により取得され、この位置情報は制御手段61に送られる。制御手段61は、常に感光性膜32上で良好な結像状態が得られるように、上述した微動可能な駆動手段を制御する。
露光の際にレチクルステージ42とX−Yステージ71を相対的に静止状態にしておくと、転写装置1は、ステップ・アンド・リピート方式の露光装置として動作する。尚、露光の際にレチクルステージ42及びX−Yステージ71をX軸方向に移動させると、走査露光を行うことができる。以下、転写装置1はステップ・アンド・リピート方式の動作をするものとして説明を行う。
ここで、投影手段90によって基板30に転写される第2のパターンの領域を、一辺の長さLの矩形領域(より具体的には、正方形の領域)とする。より具体的には、投影光学部80の光軸をZ軸とし、基板30上にX軸、Y軸を取った場合、基板30上の第2のパターンを構成する矩形領域は、最終的に、その中心がZ軸上に位置し、且つ、矩形領域を構成する各辺がX軸とY軸に平行となるように配置される。
基板30の第1面の模式的な平面図である図2を参照して、基板30の第1面に設けられている第1のパターンについて説明する。図2は、図1における基板30を保持台21側から見た図である。半導体基板31の上には、感光性膜や下地層をパターンニングすることで、第1のパターンが転写されている。矩形領域33は、第1のパターンが設けられた領域を示す。図2においては、1つの基板30について、矩形領域33は、3行3列の配置で、併せて9ヶ所設けられているが、これに限定するものではない。矩形領域33の各辺の長さはLである。
矩形領域33の左上方の角(コーナー部)付近には、図2のY軸正方向、及び、X軸正方向に伸びるアライメントマーク34が設けられている。アライメントマーク34の長さは、説明の便宜上、矩形領域33の辺の長さと同様に、長さLであるが、これに限定するものではない。このアライメントマーク34は、各矩形領域33の左上の角の点の座標を求めるために用いられる。矩形領域33の左上の角の点が、第1のパターンの基準点となる。これらの基準点を、P1〜P9で示す。
保持台21の模式的な平面図である図3及び図4を参照して、転写装置1の保持台21について説明する。図3に示すように、保持台21には、複数の凹部24が設けられている。検出手段25は、各凹部24に配置された柱26(図3及び図4においては図示せず)の先端に配置されている。図4に示すように、各検出手段25は、基板30の第1のパターンの基準点P2、P7、及び、P9と対応する位置に配置されている。これらの詳細については、後述する。
保持台等の配置状態を概念的に示す図5の(A)、(B)及び(C)を参照して、転写手段である投影手段90によって転写される第2のパターンが、基板30の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板30の基準点の座標値を用いて転写手段と基板30との相対関係を制御する工程を簡単に説明する。
図1に示す制御手段61の指令に基づいて、図5の(A)に示すように、保持台21を初期状態の位置に、例えば、投影光学部80の光軸と保持台21の中心が一致する位置に、移動させると共に、ロボットアーム11によって基板30を搬入する。具体的には、基板30の第1面における第1のパターンの基準点P2、P7、及び、P9が検出手段25に略対応する位置になるように、基板30をロボットアーム11によって搬入する。
次に、基板30は、リフトピン(図示せず)の動作により保持台21に載置され、図1に示す吸着手段22により保持台21上に保持される。図5の(B)に、この状態を示す。制御手段61は、検出手段25が検出したアライメントマーク34(図2を参照)を基に、検出手段25の位置と、基板30の第1面に設けられた第1のパターンの基準点P2、P7、及び、P9とのずれ量を求める。
その後、制御手段61は、ずれ量を補償するように保持台21を移動させ、転写手段と基板30との相対関係を制御する。これにより、図5の(C)に示すように、基板30は、投影手段90の光軸(Z軸)に対して所定の初期位置にセットされる。
図5に加え、図6乃至図8を参照してずれ量の補償について詳しく説明する。図6には、図5の(B)に示した状態における保持台21とその上に載置された基板30の位置関係を示す。保持台21は初期状態の位置にある。即ち、保持台21の中心は、投影光学部80の光軸、即ち、Z軸上に位置する。基板30は、光軸(Z軸)に対して不定な状態にある。
アライメントマークを検出するための検出手段25は、保持台21が初期状態の位置にあるとき、図7に示すように光軸(Z軸)を原点(0,0)としたXY座標系に対して、(0,2L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)の位置になるように配置されている。図1に示す制御手段61は、検出手段25が検出したアライメントマーク34(図2を参照)を基に、検出手段25の位置と、基板30の第1面に設けられた第1のパターンの基準点P2、P7、及び、P9とのずれ量を求める。
基準点P2、P7、及び、P9のずれ量が、それぞれ、(Δx2,Δy2)、(Δx7,Δy7)、及び、(Δx9,Δy9)であったとする。検出手段25の位置は、上述のように光軸を基準にして確定しているので、基準点P2、P7、及び、P9のXY座標は、それぞれ(0+Δx2,2L+Δy2)、(−2L+Δx7,−2L+Δy7)、(2L+Δx9,−2L+Δy9)となる。
転写装置1は、基準点P2、P7、及び、P9のXY座標を、基板30の基準点として用いる。以下、数式を用いて説明する。
行列A、Bを以下の数式(1)、数式(2)のように定義する。
ここで、行列Aにおける要素θ、及び、行列Bにおける要素a0、要素b0は、1回の転写方法の実行において固有の値である。
以下、理想的な状態、即ち、測定等に伴う誤差の考慮は不要と想定して説明を行う。この場合、保持台21に対する基板30のずれ量は、回転成分と平行移動成分に単純に分解することができる。従って、行列A、Bを用いて、以下の数式(3)、数式(4)、及び、数式(5)を表すことができる。
理想的な状態では、数式(3)乃至数式(5)を同時に成立させる行列A、行列Bは、数式(3)乃至数式(5)から任意の2つの数式を組み合わせて求めることができる。そして、図1に示す制御手段61は、保持台回転手段75、及び、X−Yステージ駆動手段72に指令を出し、保持台21をZ軸周りに角度θ回転させ、X軸方向に要素a0、Y軸方向に要素b0分、移動させる。これにより、基板30の基準点P2、P7、及び、P9のXY座標はそれぞれ(0,2L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)となり、基板30と転写手段である投影手段90との相対関係が制御される。図8に、相対関係を制御した状態を示す。
このとき、図2における基準点P5は、図8に示すようにZ軸上に位置する。また、基板30の第1のパターンの矩形領域の辺は、X軸及びY軸に平行である。保持台21を、X軸正方向、及び、Y軸正方向にそれぞれL/2だけ移動させると、図9に示すように、Z軸は、基板30の第1のパターン領域の中央を通る。
この状態で、投影手段90により、基板30に第2のパターンが転写される。上述のように、投影手段90により転写される第2のパターンの領域は、その中心がZ軸上にあり、且つ、矩形領域はX軸とY軸に平行な辺を有し、その辺の長さは共にLである。従って、第2のパターンは、基板30の第1のパターンと対応するように転写される。
実施例1では、アライメントマーク34の長さ、第1のパターンの矩形領域33の各辺の長さは共にLである。従って、保持台21をX軸方向、Y軸方向に移動量Lのステップ移動させることで、基板30上の全ての第1のパターンに対応するように、第2のパターンを転写することができる。
尚、アライメントマーク34の長さ、第1のパターンの矩形領域33の辺の長さがそれぞれ異なる長さである場合には、それらの長さに基づいてステップ移動量を決定すればよい。
実施例2も、本発明の第1の態様に係る転写装置、及び、本発明の第1の態様に係る転写方法に関する。実施例2の転写装置2の全体図を図10に示す。
転写装置2は、基板搬送部10、保持台部120、X−Yステージ部70、照明部50、マスク部40、投影光学部80、及び、これらを制御する制御部160を備えている。照明部50、マスク部40、及び、投影光学部80は、転写装置2における転写手段である投影手段90を構成する。
転写の対象物として、基板30が示されている。基板30の第1面、即ち、保持台部120と対向する面には、第1のパターン、及び、アライメントマークが設けられている。
基板搬送部10、X−Yステージ部70、照明部50、マスク部40、投影光学部80、投影手段90、及び、基板30の構成、動作、及び、作用については、実施例1で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。
保持台部120は、保持台121、吸着手段122を備えている。保持台121は、X−Yステージ部70により、移動可能である。保持台121は、配管123及びアライメントマークを検出する検出手段125を備えており、保持台121には凹部124が設けられている。検出手段125は、例えばCCD等の撮像素子から成り、基板30の第1面に設けられたアライメントマークを検出する。検出手段125は、凹部124に配置されたリフトピン126の上部に配置されている。
実施例2では、リフトピン126は、駆動手段127によって、保持台121に対して、図10のX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動可能である。駆動手段127は、モータや圧電素子等から構成され、コンピュータ等から構成される制御手段161の指令により動作する。
ロボットアーム11上の基板30は、次の手順で保持台121上に保持される。即ち、制御手段161の指令により、駆動手段127によってリフトピン126を図10のZ軸方向に突出させる。突出したリフトピン126により、基板30はロボットアーム11から持ち上げられる。その後、ロボットアーム11を図10のY軸方向に後退させ、リフトピン126を保持台121に引き込むことで、基板30を保持台121上に載置することができる。ポンプ等から構成される吸着手段122が配管123に接続されており、吸着手段122を動作させることで、基板30を保持台121上に保持することができる。
保持台等の配置状態を概念的に示す図11の(A)、(B)及び(C)を参照して、転写手段である投影手段90により転写される第2のパターンが、基板30の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板30の基準点の座標値を用いて転写手段と基板30との相対関係を制御する工程を簡単に説明する。
図10に示される制御手段161の指令に基づいて、図11の(A)に示すように、保持台121を初期状態の位置に、例えば、投影光学部80の光軸(Z軸)と保持台121の中心が一致する位置に、移動させると共に、ロボットアーム11によって基板30を搬入する。具体的には、基板30の第1面における第1のパターンの基準点P2、P7、及び、P9が検出手段125に略対応する位置になるように、基板30をロボットアーム11によって搬入する。
その後、制御手段161は、検出手段125が検出するアライメントマーク34(図2参照)を基に、検出手段125の位置と、基板30の第1面に設けられた第1のパターンの基準点とのずれ量を求める。
次に、制御手段161の指令により駆動手段127を動作させて、リフトピン126を図10のZ軸方向に突出させる。これにより、図11の(B)に示すように、基板30はリフトピン126によって支えられる。
その後、制御手段161の指令により駆動手段127を動作させて、リフトピン126を図11のX軸及び/又はY軸方向に移動させ、転写手段90と基板30との相対関係を制御する。即ち、基板30は、リフトピン126に支えられているので、リフトピン126の移動に伴ってその位置が移動する。制御手段161の指令に基づき、ずれ量を補償するようにリフトピン126を図11のX軸及び/又はY軸方向に移動させる。その後、制御手段161の指令に基づき、リフトピン126をZ軸負方向に移動させることで、基板30を保持台121に載置することができる。次いで、図10に示す吸着手段122を動作させることで、基板30を保持台121上に保持する。これにより、図11の(C)に示すように、基板30は、投影手段90の光軸(Z軸)に対して所定の初期位置にセットされる。
保持台121と検出手段125の位置関係は、実施例1における、保持台21と検出手段25の位置関係と同様である。即ち、検出手段125は、保持台121が初期状態の位置にあるとき、図7に示した検出手段25と同様に、光軸をZ軸としたXY座標系における(0,2L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)の位置になるように配置されている。
リフトピン126の移動量は、実施例1において説明したと同様の方法で算出することができるので、説明を省略する。
上記の説明では、ずれ量を補償するようにリフトピン126を図11のX軸及び/又はY軸方向に移動させ、その後、制御手段161の指令に基づき、リフトピン126をZ軸負方向に移動させることで、基板30を保持台121に載置した。しかし、リフトピン126を図11のX軸及び/又はY軸方向に移動させつつ、リフトピン126をZ軸負方向に移動させることで、基板30を保持台121に載置する態様でもよい。また、基板30の基準点と検出手段125が一致するようにリフトピン126を移動させて基板を支持し、その後、リフトピンが保持台の所定の位置に戻ることで、基板30を保持台121に載置する態様でもよい。例えば、リフトピン126を初期位置からX軸及びY軸方向に機械的に走査し、その走査量から、検出手段125と基板30の基準点とのずれ量を求める態様の場合には、基板30の基準点の位置でリフトピン126のX軸及びY軸の位置を固定する。次に、リフトピン126を図11のZ軸上方向に移動させ基板30を支持し、その後、リフトピン126が初期位置になるようにZ軸負方向に移動させ、基板30を保持台121に載置する態様でもよい。以下に説明する実施例5においても、同様とすることができる。
実施例3は、本発明の第2の態様に係る転写装置、及び、本発明の第2の態様に係る転写方法に関する。実施例3の転写装置の全体図を図12に示す。
転写装置3は、基板搬送部210、保持台部220、X−Yステージ部70、照明部50、マスク部40、投影光学部80、及び、これらを制御する制御部260を備えている。照明部50、マスク部40、及び、投影光学部80は、転写装置3における転写手段である投影手段90を構成する。
転写の対象物として、基板30が示されている。基板30の第1面、即ち、保持台部220と対向する面には、第1のパターン、及び、アライメントマークが設けられている。
X−Yステージ部70、照明部50、マスク部40、投影光学部80、投影手段90、及び、基板30の構成、動作、及び、作用については、実施例1で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。
保持台部220は、保持台21、吸着手段22を備えている。保持台21は、X−Yステージ部70により、移動可能である。保持台21は、配管23、及び、アライメントマークを検出する検出手段25を備えており、保持台21には凹部24が設けられている。検出手段25は、例えばCCD等の撮像素子から成り、基板30の第1面に設けられたアライメントマークを検出する。検出手段25は、凹部24に配置された柱26の上部に配置されている。これらの構成、動作、及び、作用については、実施例1で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。
実施例3では、これらに加えて、保持台21に、基板30の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段として、一次元イメージセンサ227が配置されている。一次元イメージセンサ227によって、基板30の第1面の画像情報が取得される。保持台21が基板30に対して移動することで、一次元イメージセンサ227は基板30の第1面を走査し、画像情報を取得する。基板30の第1面の画像情報は、コンピュータ等から構成される制御手段261に送られる。
基板搬送部210は、ロボットアーム11を備えている。ロボットアーム11は、例えば図12のY軸方向に移動可能である。基板30は、ロボットアーム11に乗せられた状態で、転写装置3に搬送される。この構成、動作、及び、作用については、実施例1で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。実施例3では、これに加え、ハンド212が基板搬送部210に備えられている。一次元イメージセンサ227で基板30の第1面を走査する際に、ハンド212によって基板30は保持台21の上方で保持される。ハンド212は、図12のX軸方向に移動可能である。
保持台等の配置状態を概念的に示す図13の(A)、(B)及び(C)を参照して、転写手段である投影手段90により転写される第2のパターンが、基板30の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板30の基準点の座標値、及び、第1のパターンの基準点の座標値を用いて転写手段と基板30との相対関係を制御する工程を簡単に説明する。
図12に示す制御手段261の指令に基づいて、図13の(A)に示すように、保持台21を初期状態の位置に、例えば、投影光学部80の光軸(Z軸)と保持台21の中心が一致する位置に、移動させると共に、ロボットアーム11によって基板30を搬入する。基板30の第1面の第1のパターンの基準点P2、P7、及び、P9が保持台21のアライメントマークの検出手段25に略対応する位置になるように、基板30をロボットアーム11によって搬入する。そして、ハンド212によって、基板30を保持台21の上方で保持する(図13の(A)参照)。このときの、一次元イメージセンサ227、ロボットアーム11、基板30、保持台21の位置関係を図14に示す。
図14に示すように、基板30の第1のパターン等の一部がロボットアーム11によって覆われる場合がある。そのため、一次元イメージセンサ227で走査する前に、ロボットアーム11を図14のY軸側に後退させる。この状態を図15に示す。
次に、図12に示す制御手段261の指令に基づいて、図13の(B)に示すように、保持台21をX軸正方向に移動させる。これにより、基板30の第1面は、一次元イメージセンサ227で走査される。一次元イメージセンサ227が取得した画像情報は、制御手段261に送られる。
基板30の第1面の画像情報の取得後に、ハンド212で支持された基板30は、次の手順で保持台21上に保持される。即ち、保持台21からリフトピン(図示せず)が図12のZ軸方向に突出することにより、基板30はハンド212から持ち上げられる。そして、ハンド212を図12のX軸方向に後退させた後、リフトピンを保持台21に引き込むことで、基板30を保持台21上に載置することができる。ポンプ等から構成される吸着手段22が配管23に接続されており、吸着手段22を動作させることで、基板30を保持台21上に保持することができる。
基板30を保持台21に保持した後、転写装置3は、実施例1の転写装置1と同様の動作を行い、基板30と転写手段である投影手段90との相対関係を制御する。即ち、保持台21をZ軸周りに角度θ回転させ、X軸方向及び/又はY軸方向に移動させ、基板30の基準点P2、P7、及び、P9のXY座標が、それぞれ(0,2L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)となるようにする。即ち、基板30の基準点の座標値を用いて転写手段と基板30との相対関係を制御する。実施例1で説明したように、この動作により、基板30と転写手段である投影手段90との相対関係が制御される。図13の(C)に、相対関係を制御した状態を示す。尚、この状態は、実施例1の図5の(C)の状態に相当する。
実施例1では、この状態から、保持台21を一定量ステップ移動させることで、投影手段90により転写される第2のパターンが、基板30の第1面に設けられた第1のパターンに対応するようにした。実施例3では、一次元イメージセンサ227により取得した画像情報を基に、保持台21の移動量を決定する。以下、その内容について説明する。
一次元イメージセンサ227が取得する画像について説明する。基板30の第1面等の模式的な平面図である図15に示すように、一次元イメージセンサ227は、基板30の全てのアライメントマーク34、及び、全ての第1のパターンの矩形領域33を走査し、画像情報を取得する。これらの画像情報は、図12に示す制御手段261に送られる。
制御手段261は、一次元イメージセンサ227から送られた画像情報を基に、エッジ抽出、パターンマッチング等の周知の方法により、図15に示した第1のパターンの矩形領域33の基準点であるP1乃至P9の座標値を求める。尚、このときに用いられる座標系(以下X’Y’座標系と表記する)の原点は、投影光学部80の光軸(Z軸)上に位置する必要はない。図16は、このようにして求めた基準点P1乃至P9を、X’Y’座標系上に示したものである。
転写装置3は、実施例1の転写装置1と同様の動作を行い、基板30と転写手段である投影手段90との相対関係を制御している。従って、図16に示す基準点P2、P7、及び、P9は、投影光学部80の光軸(Z軸)を基準とするXY座標系では、それぞれ(0,2L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)にある。このため、以下に示すように、図16に示したX’Y’座標系における基準点P1乃至P9の座標値を、XY座標系における基準点に変換することができる。以下、数式を用いて説明する。
行列A’、B’を以下の数式(6)、数式(7)のように定義する。
ここで、行列Aにおける要素θ'と、行列Bにおける要素a'0、及び、要素b'0は、1回の転写方法の実行において固有の値である。
実施例1の説明と同様に、以下、理想的な状態、即ち、測定等に伴う誤差の考慮は不要と想定して説明を行う。この場合、X’Y’座標系における座標値と、XY座標系における座標値との差は、回転成分と平行移動成分に単純に分解することができる。従って、行列A’、行列B’を用いて、以下の数式(8)、数式(9)、及び、数式(10)を表すことができる。
理想的な状態では、数式(8)乃至数式(10)を同時に成立させる行列A’、行列B’は、数式(8)乃至数式(10)から任意の2つの数式を組み合わせて求めることができる。求めた行列A’、行列B’を用いて、以下の式(11)の変換をすることで、X’Y’座標系における基準点P1乃至P9の座標値を、XY座標系の座標値に変換することができる。
図12に示す転写装置3の制御手段261によって、このようにして変換した基準点P1乃至P9の座標値を基にして、保持台21の移動量を決めることができる。実施例1では、基板30の第1のパターン等が常に一定の大きさを有すると仮定し、保持台21をステップ移動する。しかし、実施例3では、転写手段により転写される第2のパターンが基板30の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板30の基準点の座標値、及び、第1のパターンの基準点の座標値を用いて転写手段と基板30との相対関係を制御することができる。
実施例4は、本発明の第1の態様に係る検査装置に関する。実施例4の検査装置の全体図を図17に示す。
検査装置4は、基板搬送部10、保持台部20、X−Yステージ部70、検査手段390、及び、これらを制御する制御部60を備えている。
検査の対象物として、基板30が示されている。基板30の第1面、即ち、保持台部20と対向する面には、第1のパターン、及び、アライメントマークが設けられている。
基板搬送部10、保持台部20、X−Yステージ部70、及び、制御部60の構成、動作、及び、作用については、実施例1で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。
検査手段390は、例えば基板30の表面の状態を検査する光学式顕微鏡等の検査手段から構成されている。検査手段390が検査した情報、例えば、検査手段390に対向する基板30の第2面における表面の画像情報が、情報処理装置301に送られる。
ここで、検査手段390によって観察される基板30の領域を、一辺の長さLの矩形領域(より具体的には、正方形の領域)とする。より具体的には、基板30上にX軸、Y軸を取った場合、観察される基板30の領域の中心はZ軸上に位置し、且つ、矩形領域はX軸とY軸に平行な辺を有し、その長さは共にLである。
基板30の第1面の模式的な平面図である図18に示すように、基板30の第1面の第1のパターンの矩形領域33が欠陥領域35を有し、欠陥領域35の中心は、第1のパターンの基準点P9を基準として、X軸負方向に距離xd9、Y軸負方向に距離yd9の位置にあるとする。
検査装置4は、基板30の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査するための検査装置である。検査手段390が観察する基板30の第2面の領域が、基板30の第1面における領域に対応するように、基板30の基準点の座標値、及び、第1面における領域の基準点の座標値を用いて検査手段と基板30との相対関係を制御する。
検査装置4を用いて、基板30の第1面における欠陥領域35に対応する第2面の領域を検査するときの動作について説明する。
検査装置4は、実施例1の転写装置において、図5の(A)乃至(C)を参照して説明した一連の動作を行う。制御手段61は、アライメントマークの検出手段25が検出したアライメントマークに基づいて基板30の基準点の座標値を求め、保持台回転手段75、及び、X−Yステージ駆動手段72に指令を出し、保持台21を、Z軸周りに角度θ回転させ、X軸方向に要素a0、Y軸方向に要素b0分、移動させる。
これにより、基板30の基準点P2、P7、及び、P9のXY座標はそれぞれ(0,L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)となり、基板30と検査手段390との相対関係が制御される。
実施例1で説明したが、上記の動作後は、図18における基板30の第1のパターンの基準点P5は、図19に示すようにZ軸上にある。また、基板30の第1のパターンの矩形領域33の辺は、X軸、及び、Y軸に平行である。
基板30の欠陥領域35の中心は、第1のパターンの基準点P9を基準として、X軸負方向に距離xd9、Y軸負方向に距離yd9の位置にあることが判明している。また、図2を参照して既に説明したが、基板30における矩形領域33の各辺の長さ、及び、アライメントマーク34の長さは共にLである。これらの情報から、図19のXY座標の原点を基準とする欠陥領域35の中心の座標を求めることができ、その座標は(2L−xd9,−2L−yd9)である。
このようにして求めた座標値を基に、制御手段61の指示により、保持台21を、X軸負方向に距離2L−xd9、及び、Y軸正方向に距離2L+yd9移動させる。これにより、図20に示すように、Z軸は、欠陥領域35の中央を通る。
これにより、検査手段390が検査する基板30の第2面の領域は、基板30の第1面の欠陥領域35に対応する領域となり、その表面状態等を検査することができる。
実施例4の検査装置においては、例えば検査手段390を走査型電子顕微鏡(SEM)とし、基板30の第2面の形状観察を行い、欠陥領域35の影響が基板30の第2面に及んでいるかどうかを検査することができる。あるいは又、検査手段390をフォーカスイオンビーム(FIB)装置から構成し、基板30の第1面の特定の部位に欠陥があった場合、その欠陥部位に対応する基板30の第2面とフォーカスイオンビーム装置を対向させ、第2面側から基板30を切削し、その切断面を観測することもできる。以下に説明する実施例5あるいは実施例6においても、同様とすることができる。
実施例5も、本発明の第1の態様に係る検査装置に関する。実施例5にあっては、実施例4の検査装置における保持台部20、及び、制御部60を、それぞれ、実施例2の転写装置2における保持台部120、制御部160と置き換えた。この検査装置5の概要を図21に示す。保持台部120、制御部160の動作は、転写装置2において説明したと同様であるので、説明は省略する。
検査装置5は、図11の(A)乃至(C)を参照して説明した一連の動作を行う。制御手段161は、アライメントマークの検出手段125が検出したアライメントマークに基づいて基板30の基準点の座標値を求め、リフトピンを基板30を支えた状態で移動させる。
これにより、基板30の基準点P2、P7、及び、P9のXY座標はそれぞれ(0,L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)となり、基板30と検査手段390との相対関係が制御される。
基板30の欠陥領域35の中心は、第1のパターンの基準点P9を基準として、X軸負方向に距離xd9、Y軸負方向に距離yd9の位置にあることが判明している。また、図2を参照して既に説明したが、基板30における矩形領域33の各辺の長さ、及び、アライメントマーク34の長さは共にLである。これらの情報から、図19のXY座標の原点を基準とする欠陥領域35の中心の座標を求めることができ、その座標は(2L−xd9,−2L−yd9)である。
このようにして求めた座標値を基に、制御手段161の指示により、保持台21を、X軸負方向に距離2L−xd9、及び、Y軸正方向に距離2L+yd9移動させる。これにより、図20に示すように、Z軸は、欠陥領域35の中央を通る。
これにより、検査手段390が検査する基板30の第2面の領域は、基板30の第1面の欠陥領域35に対応する領域となり、その表面状態等を検査することができる。
実施例6は、本発明の第2の態様に係る検査装置に関する。実施例6の検査装置の全体図を図22に示す。
実施例6における検査装置6は、基板搬送部210、保持台部220、X−Yステージ部70、検査手段390、及び、これらを制御する制御部260を備えている。
検査の対象物として、基板30が示されている。基板30の第1面、即ち、保持台部220と対向する面には、第1のパターン、及び、アライメントマークが設けられている。
X−Yステージ部70、及び、基板30の構成、動作、及び、作用については、実施例1で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。また、基板搬送部210、保持台部220、及び、制御部260の構成、動作、及び、作用については、実施例3で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。更には、検査手段390の構成、動作、及び、作用については、実施例4で説明したと同様であるので、ここでは説明を省略する。
検査装置6は、基板30の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査するための検査装置である。検査手段が観察する基板30の第2面の領域が、基板30の第1面における領域に対応するように、基板30の基準点の座標値、及び、第1面における領域の基準点の座標値を用いて検査手段と基板30との相対関係を制御する。
検査装置6を用いて、図18に示す基板30の第1面における欠陥領域35に対応する第1面の裏面である第2面の領域を検査するときの動作について説明する。
検査装置6は、実施例3の転写装置において、図13の(A)乃至(C)を参照して説明した一連の動作を行う。制御手段261の指令に基づいて、保持台21はX軸正方向に移動させられる。これにより、基板30の第1面を、一次元イメージセンサ227で走査することができる。一次元イメージセンサ227が取得した画像情報は、制御手段261に送られる。
その後、検査装置6は、実施例1の転写装置1と同様の動作を行う。制御手段261は、アライメントマークの検出手段25が検出したアライメントマークに基づいて基板30の基準点の座標値を求め、保持台21を、Z軸周りに角度θ回転させ、X軸方向に要素a0、Y軸方向に要素b0分、移動させる。
これにより、基板30の基準点P2、P7、及び、P9のXY座標はそれぞれ(0,L)、(−2L,−2L)、及び、(2L,−2L)となり、基板30と検査手段390との相対関係が制御される。
実施例4では、この状態から、基板30における矩形領域33の辺の長さ、及び、アライメントマーク34の長さは共にLであることを用いて、保持台の移動量を決定する。一方、実施例6では、一次元イメージセンサ227により取得した画像情報を基に、保持台21の移動量を決定することができる。
実施例3の転写装置で説明したように、一次元イメージセンサ227により取得した画像情報を基に、基板30の第1面における領域の基準点の座標値、即ち、実施例6においては、図18の基準点P1乃至P9の座標値を求めることができる。
また、実施例4において説明したように、欠陥領域35の中心は、第1のパターンの基準点P9を基準として、X軸負方向に距離xd9、Y軸負方向に距離yd9の位置にある。従って、制御手段261によって、一次元イメージセンサ227で取得した画像情報を基に求めた基準点P9の座標値、及び、距離xd9、距離yd9の値を基に、保持台21を移動させる。
これにより、検査手段390が検査する基板30の第2面の領域は、基板30の第1面の欠陥領域35に対応する領域となるように相対関係が制御される。
図17、図21に示す検査装置4あるいは検査装置5は、基板30の第1のパターン等が常に一定の大きさを有すると仮定し、保持台21、あるいは、保持台121をステップ移動させている。一方、実施例5では、画像情報取得手段が取得した画像情報から、矩形領域等の第1面における領域の基準点の座標値を求めることができる。従って、基板30の第1面におけるパターン等の大きさの変動に対応して、検査手段と基板30の相対関係を制御することができる。
以上、本発明を好ましい実施例に基づき説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例における転写装置の構成要素、検査装置の構成要素の具体的な構成、構造は例示であり、適宜、変更することができる。実施例において説明した転写方法の具体的な方法も例示であり、適宜、変更することができる。
実施例1乃至実施例6においては、基板30の第1のパターンの基準点P2、P7、及び、P9を基板30の基準点として用いたが、基板30の基準点は任意に選ぶことができ、第1のパターンの基準点と一致しなくてもよい。例えば、第1のパターンと離隔した十字形状のアライメントマークを、基板30に複数配置し、このアライメントマークを検出して十字の交点の座標を求め、これを基板30の基準点として用いてもよい。
また、実施例1乃至実施例6の説明においては、理想的な状態を想定し、基準点のずれを回転成分と平行移動成分に単純に分解した。しかしながら、第1のパターンの辺の長さ等に変動がある等の条件の下では、単純に分解することはできない。このような場合には、例えば、上述の行列A、行列B、行列A’、行列B’に加え、拡大や縮小の要素となる関数を加え、基準点のずれ量の自乗和が最小になる関数を求めてもよい。ずれ量の自乗和を最小にする条件を求めるには、周知の種々の数学的方法を用いることができる。
実施例3の転写装置3、あるいは、実施例6の検査装置6については、基板30の第1面の画像情報を一次元イメージセンサ227で取得した。しかし、基板30の画像情報を、これらの装置と別個の装置により取得しても構わない。例えば、カメラやスキャナー等で事前に基板30の画像情報を取得しておき、その情報を転写装置、あるいは、検査装置に送る態様でもよい。
また、実施例3の転写装置3、あるいは、実施例6の検査装置6の説明では、ロボットアーム11が基板30の第1のパターン等を覆うため、ハンド212を用いて基板30を支持した状態で、基板30を一次元イメージセンサ227で走査した。しかしながら、ロボットアーム11が基板30のパターンを覆わない場合、あるいは、覆う領域が検査対象領域でない等の場合には、ロボットアーム11で基板30を保持台21の上方に保持することができる。尚、基板30をハンド212やロボットアーム11で保持した状態では、基板30の撓み等により、一次元イメージセンサ227が取得した画像情報が影響を受ける可能性がある。このような場合には、事前に撓みによる画像情報の変化のパラメータを求めておき、一次元イメージセンサ227が取得した画像情報をそのパラメータを用いて補正すればよい。
1,2,3・・・転写装置、4,5,6・・・検査装置、10,210・・・基板搬送部、11・・・ロボットアーム、212・・・ハンド、20,120,220・・・保持台部、21,121・・・保持台、22,122・・・吸着手段、23,123・・・配管、24,124・・・凹部、25,125・・・検出手段、26・・・柱、126・・・リフトピン、127・・・駆動手段、227・・・一次元イメージセンサ、30・・・基板、31・・・半導体基板、32・・・感光性膜、33・・・矩形領域、34・・・アライメントマーク、40・・・マスク部、41・・・レチクル、42・・・レチクルステージ、43・・・レチクルステージ駆動手段、44・・・レチクル位置情報検出手段、50・・・照明部、51・・・光源、52・・・コンデンサーレンズ、53・・・ミラー、60,160,260・・・制御部、61,161,261・・・制御手段、70・・・X−Yステージ部、71・・・X−Yステージ、72・・・X−Yステージ駆動手段、73・・・基板位置情報検出手段、74・・・定盤、75・・・保持台回転手段、90・・・投影手段、301・・・情報処理装置、390・・・検査手段
Claims (30)
- 基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写装置であって、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、
(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする転写装置。 - 制御手段の指令に基づいて基板を保持する保持台を移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とする請求項1に記載の転写装置。
- 検出手段は、保持台に配置されたセンサから成ることを特徴とする請求項1に記載の転写装置。
- 保持台は、保持台に対してX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動可能なリフトピンを備え、
センサは、リフトピンの先端に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の転写装置。 - 制御手段の指令に基づいて基板を支えた状態でリフトピンを移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とする請求項4に記載の転写装置。
- 転写手段は投影手段から成り、
投影手段は、照明部、マスク部、及び、投影光学部を備えていることを特徴とする請求項1に記載の転写装置。 - 基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写装置であって、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、更に、
(E)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、
(b)画像情報取得手段が取得した画像情報から、第1のパターンの基準点の座標値を求め、且つ、
(c)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1のパターンの基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする転写装置。 - 画像情報取得手段は、移動可能な一次元イメージセンサから成ることを特徴とする請求項7に記載の転写装置。
- 一次元イメージセンサは保持台に配置され、
保持台を移動させることにより基板の第1面を一次元イメージセンサで走査し、基板の第1面の画像情報を取得することを特徴とする請求項8に記載の転写装置。 - 制御手段の指令に基づいて基板を保持する保持台を移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とする請求項7に記載の転写装置。
- 検出手段は、保持台に配置されたセンサから成ることを特徴とする請求項7に記載の転写装置。
- 保持台は、保持台に対してX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動可能なリフトピンを備え、
センサは、リフトピンの先端に配置されていることを特徴とする請求項11に記載の転写装置。 - 制御手段の指令に基づいて基板を支えた状態でリフトピンを移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とするる請求項12に記載の転写装置。
- 転写手段は投影手段から成り、
投影手段は、照明部、マスク部、及び、投影光学部を備えていることを特徴とする請求項7に記載の転写装置。 - 基板の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査する検査装置であって、
(A)基板の第2面を検査する検査手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、且つ、
(b)検査手段により検査される基板の第2面の領域が基板の第1面における領域に対応するように、基板の基準点の座標値を用いて検査手段と基板との相対関係を制御する、ことを特徴とする検査装置。 - 基板の第1面における領域に対応する第1面の裏面である第2面における領域を検査する検査装置であって、
(A)基板の第2面を検査する検査手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、及び、
(D)制御手段、
を備え、更に、
(E)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
制御手段は、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて、基板の基準点の座標値を求め、
(b)画像情報取得手段が取得した画像情報から、第1面における領域の基準点の座標値を求め、且つ、
(c)検査手段により検査される基板の第2面の領域が基板の第1面における領域に対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1面における領域の基準点の座標値を用いて検査手段と基板との相対関係を制御する、
ことを特徴とする検査装置。 - 基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、転写装置により第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写方法であって、
転写装置は、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、及び、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、
を備え、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて基板の基準点の座標値を求め、且つ、転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御した後、
(b)転写手段により基板の第2面に第2のパターンを転写する、
ことを特徴とする転写方法。 - 基板を保持する保持台を移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とする請求項17に記載の転写方法。
- 検出手段は、保持台に配置されたセンサから成ることを特徴とする請求項17に記載の転写方法。
- 保持台は、保持台に対してX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動可能なリフトピンを備え、
センサは、リフトピンの先端に配置されていることを特徴とする請求項19に記載の転写方法。 - 基板を支えた状態でリフトピンを移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とする請求項20に記載の転写方法。
- 転写手段は投影手段から成り、
投影手段は、照明部、マスク部、及び、投影光学部を備えていることを特徴とする請求項17に記載の転写方法。 - 基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、転写装置により第1面の裏面である第2面に第2のパターンを転写する転写方法であって、
転写装置は、
(A)基板の第2面に第2のパターンを転写する転写手段、
(B)基板の第1面と接するように基板を載置して保持する保持台、及び、
(C)基板の第1面に設けられたアライメントマークを保持台側から検出するための検出手段、
を備え、更に、
(D)基板の第1面の画像情報を取得する画像情報取得手段、
を備え、
(a)検出手段が検出したアライメントマークに基づいて基板の基準点の座標値を求め、且つ、画像情報取得手段が取得した画像情報から第1のパターンにおける基準点の座標値を求め、次いで、
(b)転写手段により転写される第2のパターンが基板の第1面に設けられた第1のパターンと対応するように、基板の基準点の座標値、及び、第1のパターンにおける基準点の座標値を用いて転写手段と基板との相対関係を制御した後、
(c)転写手段により基板の第2面にパターンを転写する、
ことを特徴とする転写方法。 - 画像情報取得手段は、移動可能な一次元イメージセンサから成ることを特徴とする請求項23に記載の転写方法。
- 一次元イメージセンサは保持台に配置され、
保持台を移動させることにより基板の第1面を一次元イメージセンサで走査し、基板の第1面の画像情報を取得することを特徴とする請求項24に記載の転写方法。 - 基板を保持する保持台を移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とする請求項23に記載の転写方法。
- 検出手段は、保持台に配置されたセンサから成ることを特徴とする請求項23に記載の転写方法。
- 保持台は、保持台に対してX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動可能なリフトピンを備え、
センサは、リフトピンの先端に配置されていることを特徴とする請求項23に記載の転写方法。 - 基板を支えた状態でリフトピンを移動させることにより、転写手段と基板との相対関係を制御することを特徴とする請求項28に記載の転写方法。
- 転写手段は投影手段から成り、
投影手段は、照明部、マスク部、及び、投影光学部を備えていることを特徴とする請求項23に記載の転写方法。
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