JP2006157771A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006157771A5 JP2006157771A5 JP2004348078A JP2004348078A JP2006157771A5 JP 2006157771 A5 JP2006157771 A5 JP 2006157771A5 JP 2004348078 A JP2004348078 A JP 2004348078A JP 2004348078 A JP2004348078 A JP 2004348078A JP 2006157771 A5 JP2006157771 A5 JP 2006157771A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic matching
- matching layer
- ultrasonic transducer
- layer
- water repellent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 52
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims description 36
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N Tetrafluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N Lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 2
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- GBPOWOIWSYUZMH-UHFFFAOYSA-N sodium;trihydroxy(methyl)silane Chemical group [Na+].C[Si](O)(O)O GBPOWOIWSYUZMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N Chlorotrifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000840 ETFE Polymers 0.000 description 1
- 229920002068 Fluorinated ethylene propylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N ethene;1,1,2,2-tetrafluoroethene Chemical compound C=C.FC(F)=C(F)F QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating Effects 0.000 description 1
- -1 polychlorotrifluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000004642 transportation engineering Methods 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
本発明は超音波振動子およびそれを用いて発生させた超音波により気体や液体の流量や流速の計測を行う流体の流れ計測装置に関するものである。
従来この種の超音波振動子にあっては、例えば図9に示すように、撥水処理したガラスバルーン40と樹脂41とから構成された音響整合層42を介して流路に対する超音波の発信、受信を行うようにしていた(例えば、特許文献1参照)。
特開平8−65795号公報
しかしながら、前記の従来構成では、輸送時などに温度変化が生じた時とか、或いは高温高湿下に放置されると撥水処理されていない樹脂部が結露し、これを吸湿することによって超音波の反射や拡散を生起し、また、音響整合層の音速が変化することによって出力感度が低下することがあった。したがって、この音響整合層を備えた超音波振動子を流れ計測装置に搭載した場合、流速、流量の計測精度が低下してしまう課題を有していた。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、高性能な超音波振動子およびそれを用いた流体の流れ計測装置を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明の超音波振動子は、有天状のケースの頂壁外面に音響整合層を、頂壁内面に圧電体をそれぞれ固定し、ケースに対する音響整合層の非接触面に撥水層を形成したものである。
これによって、温度変化、或いは高温高湿下に放置されても音響整合層の吸湿が抑制され、良好な出力感度を維持できることとなる。
本発明によれば、温度変化、或いは高温高湿下に放置に伴う音響整合層の吸湿を抑制して音響整合層の出力感度を要綱に維持できるものであり、これを流れ計測装置に用いれば計測精度の向上が図れるものである。
本発明の実施の形態は、有天状のケースの頂壁外面に音響整合層を、頂壁内面に圧電体をそれぞれ固定し、ケースに対する音響整合層の非接触面に撥水層を形成したものである。したがって、温度変化、或いは高温高湿下への放置によっても音響整合層の吸湿が抑制され、超音波振動子としての感度を良好に維持できることとなる。
撥水層の形成は、浸漬法、スプレー噴射法、真空蒸着法、貼り付け法、印刷法、およびスパッタリング法などが考えられる。
また、浸漬法、およびスプレー噴射法を採用した場合、その処理時に減圧するようにしておけば、音響整合層表面に吸着する気泡を除去でき、さらに、真空蒸着法を採用した場合は、その処理の後、紫外線を照射すると、形成した撥水層が高分子化され、強固な膜とすることができる。
印刷法、或いはスパッタリング法を採用した場合、撥水層を形成した後、減圧処理を行うようにしておけば、やはり音響整合層表面に吸着する気泡を除去できる。
さらにまた、真空蒸着法、貼り付け法、およびスパッタリング法を採用した場合は、撥水層を形成した後、熱処理を行うようにすると、撥水層の音響整合層への密着性が高められる。
超音波振動子としては、音響整合層に圧電体を直接的に接着してもよいが、流体と圧電体を隔離する上から、有天状のケースの頂壁外面に音響整合層を、頂壁内面に圧電体をそれぞれ接着固定し、ケースに対する音響整合層の非接触面に撥水層を形成することが望ましい。そしてこの場合、ケースに音響整合層を接着固定した後、撥水層を形成する。
そして、前記した超音波振動子を被測定流体が流れる流路の上流側と下流側に少なくとも一対配置し、両超音波振動子間の超音波伝搬時間にもとづいて前記被測定流体の流速および/または流量を測定するようにした。
以下、具体的な実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
(実施の形態1)
図1に示す超音波振動子1は、導電材料、例えばステンレスからなる有天状のケース2を有し、その頂壁外面に音響整合層3を、頂壁内面に圧電体4をそれぞれ接着して固定している。
図1に示す超音波振動子1は、導電材料、例えばステンレスからなる有天状のケース2を有し、その頂壁外面に音響整合層3を、頂壁内面に圧電体4をそれぞれ接着して固定している。
前記音響整合層3は、例えばガラスバルーンとエポキシ樹脂の硬化物で構成され、エポキシ接着剤を介してケース2の頂壁外面に接着されており、一方、圧電体4は、両端に対向する銀の電極5,6を備えた、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)からなるもので、上方の電極5がエポキシ接着剤を介してケース2の頂壁内面に接着されている。ケース2の下方開放部を閉塞する導電性の端子板7には一対の端子8,9が取付けてある。さらに述べると、一方の端子8は端子板7に固定されており、ケース2、この端子板7を介して圧電体4の上方電極5が接続されている。他方の端子9はシリコンゴムからなる絶縁部10を介して端子板7を絶縁貫通し、ニッケル粒子表面に金メッキを施した導電部11を介在した形で圧電体4の下方電極6に接続されている。
そして、音響整合層3に撥水層12が形成してある。この撥水層12は、例えばナトリウム・メチルシリコネート溶液とシュウ酸を基本組成とする撥水溶液を用い、ケース2との非接触面に形成してある。
図2は、撥水層形成プロセスを示している。音響整合層3を下向きにして超音波振動子1を容器13内に配置し、しかる後、撥水溶液14を音響整合層3が浸漬される程度まで満たし、5分浸漬後、室温で30分乾燥する。以上の処理によって、音響整合層3の表面に撥水層12が形成される。
以上のように構成された超音波振動子1について、以下その動作、作用を説明する。
端子8,9を介して圧電体4に500kHzの周波数の信号を供給すると、対向する電極5,6に対して垂直方向の振動を生起するもので、この振動で音響整合層3が共振して振動する。
そして、音響整合層3に撥水層12を形成することにより、温度変化、あるいは高温高湿下への放置によっても音響整合層3が吸湿しにくくなり、出力感度の低下を抑制することができる。
また、撥水層12を複数回以上形成することによって、特に撥水12層の未形成部分が低減し、より一層音響整合層3の性能が安定する。さらに、撥水層12を形成するプロセスにおいて、浸漬処理時に減圧処理することによって、表面に吸着する気泡を除去して撥水層12を形成でき、さらなる出力感度の向上が図れるものである。
(実施の形態2)
図3において、スプレー15よりナトリウム・メチルシリコネート溶液とシュウ酸を基本組成とする撥水溶液を噴射して塗布し、塗布後撥水溶液の溶媒であるメタノールを乾燥するため常温で30分以上放置する。以上の処理によって、音響整合層3の表面に撥水層12が形成される。
図3において、スプレー15よりナトリウム・メチルシリコネート溶液とシュウ酸を基本組成とする撥水溶液を噴射して塗布し、塗布後撥水溶液の溶媒であるメタノールを乾燥するため常温で30分以上放置する。以上の処理によって、音響整合層3の表面に撥水層12が形成される。
以上のように構成された超音波振動子1の動作、作用は、実施の形態1に同様のため省略する。
なお、本実施の形態2においても、撥水層12を複数回以上形成することによって、特に撥水層の未形成部分が低減し、より音響整合層に吸湿しにくくなり、出力感度の低下を抑制することもできる。また、撥水溶液の噴射時に減圧処理することによって、表面に吸着する気泡を除去して撥水層を形成できる。
(実施の形態3)
図4において、ヒーター16は抵抗加熱式を用い、蒸着物17は、例えばポリビニルフロライド(PVDF)用い、蒸着装置内部の真空度は10−2Pa以下の圧力で蒸着した。
図4において、ヒーター16は抵抗加熱式を用い、蒸着物17は、例えばポリビニルフロライド(PVDF)用い、蒸着装置内部の真空度は10−2Pa以下の圧力で蒸着した。
ただし、蒸着物は四フッ化エチレン(PTFE)、4フッ化エチレンパーフルオロアルコキシビニルエーテル(PFA)、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合体(FEP)、ポリクロロトリフルオロエチレン」(PCTFE)、四フッ化エチレン・エチレン共重合体(ETFE)、クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)、ポリビニルフロライド(PVF)などいずれを用いても良い。
設定温度は、蒸着物17の融点以上に保持した。以上のような条件によって、音響整合層3の表面に撥水層12が形成される。
以上のように構成された超音波振動子の動作、作用は、実施の形態1に同様のため省略する。
本実施の形態の撥水層12を形成するプロセスにおいて、真空蒸着後、熱処理することによって、塗布した撥水層が高分子化し、強固な膜を形成することができ、長期間撥水性を維持することができる。さらに、真空蒸着後、紫外線を照射することによって、塗布した撥水層12が高分子化し、強固な膜を形成することができ、長期間撥水性を維持することができる。
(実施の形態4)
図5において、シート基材18に塗布された撥水層12を、加圧治具19によって加圧し30秒後に加圧を解除するとともに、シート基材18を剥離することによって音響整合層3の表面に撥水層12が形成される。
図5において、シート基材18に塗布された撥水層12を、加圧治具19によって加圧し30秒後に加圧を解除するとともに、シート基材18を剥離することによって音響整合層3の表面に撥水層12が形成される。
以上のように構成された超音波振動子の動作、作用は、実施の形態1に同様のため省略
する。
する。
なお、本実施の形態の撥水層12を形成するプロセスにおいて、撥水層12の貼り付け時、熱処理することによって、貼り付けた撥水層12が音響整合層3に密着し、長期間撥水性を維持することができる。
(実施の形態5)
図6において、20はブレード、21は撥水塗布溶液、22はメタルマスク、23は印刷台を示しており、印刷台23に超音波振動子1を配置し、メタルマスク22を印刷台23の上にのせる。撥水塗布溶液21をメタルマスク22に塗布し、メタルマスク22とブレード20とのギャップを0.2mmとして、一定の速度で印刷した。
図6において、20はブレード、21は撥水塗布溶液、22はメタルマスク、23は印刷台を示しており、印刷台23に超音波振動子1を配置し、メタルマスク22を印刷台23の上にのせる。撥水塗布溶液21をメタルマスク22に塗布し、メタルマスク22とブレード20とのギャップを0.2mmとして、一定の速度で印刷した。
以上のように構成された超音波振動子の動作、作用は、実施の形態1に同様のため省略する。
なお、本実施の形態の撥水層12を複数回以上形成することによって、特に撥水層12の未形成部分が低減し、より音響整合層3に吸湿しにくくなり、出力感度の低下を抑制することもできる。また、撥水層塗布後に減圧処理することによって、表面に吸着する気泡を除去して撥水層12を形成できる。
(実施の形態6)
図7において、ターゲット24は四フッ化エチレン(PTFE)を用い、銅製のターゲット台に高真空グリースで貼り付け固定した。スパッタ装置内はスパッタ用ガスであるアルゴンガスを10−1〜101Paの範囲内で導入し、イオン源内のフィラメント25から発生した熱電子が導入したガスと衝突することによってガスがイオン化されてプラズマ26を発生させ、グリッド電極27に電界を印加することによってイオンビームとして引き出し加速し、ターゲット24に衝突させてスパッタを行い、撥水層12が音響整合層3の表面に形成される。
図7において、ターゲット24は四フッ化エチレン(PTFE)を用い、銅製のターゲット台に高真空グリースで貼り付け固定した。スパッタ装置内はスパッタ用ガスであるアルゴンガスを10−1〜101Paの範囲内で導入し、イオン源内のフィラメント25から発生した熱電子が導入したガスと衝突することによってガスがイオン化されてプラズマ26を発生させ、グリッド電極27に電界を印加することによってイオンビームとして引き出し加速し、ターゲット24に衝突させてスパッタを行い、撥水層12が音響整合層3の表面に形成される。
以上のように構成された超音波振動子の動作、作用は、実施の形態1に同様のため省略する。
なお、本実施の形態の撥水層12を形成するプロセスにおいて、スパッタ処理後、熱処理することによって、塗布した撥水層が高分子化し、強固な膜を形成することができ、長期間撥水性を維持することができる。また、スパッタ処理後、紫外線を照射することによって、塗布した撥水層が高分子化し、強固な膜を形成することができ、長期間撥水性を維持することができる。
(実施の形態7)
図8は、流体の流れ測定装置に採用した例で、被測定流体が流れる流路28の流れ方向上手側と下手側に先の超音波振動子1を一対配置したものである。具体的には流路28を流れる流体中を斜めに横断するごとく超音波伝播が行われるようにしてあり、流路28に斜めに開口する空間29,30にシール材31,32を介して超音波振動子1が気密に収納してある。
図8は、流体の流れ測定装置に採用した例で、被測定流体が流れる流路28の流れ方向上手側と下手側に先の超音波振動子1を一対配置したものである。具体的には流路28を流れる流体中を斜めに横断するごとく超音波伝播が行われるようにしてあり、流路28に斜めに開口する空間29,30にシール材31,32を介して超音波振動子1が気密に収納してある。
シール材31,32として、流体がLPガスの場合は、同LPガスに耐性を有するニトリルブチル(NBR)などを用いる。
超音波は上流側の超音波振動子1から送信された超音波が流体中を流れ順方向に伝搬して下流側の超音波振動子1に受信され、次いで下流側の超音波振動子1から送信された超
音波が流体中を流れ逆方向に伝搬して上流側の超音波振動子1に受信され、計測手段33が上記伝搬時間差を測定する。
音波が流体中を流れ逆方向に伝搬して上流側の超音波振動子1に受信され、計測手段33が上記伝搬時間差を測定する。
上記の時間差から演算手段34はそのとき時々の流体流速を演算し、必要であればその流速に流路28の断面積および係数を乗じて流量を演算するものである。
以上のように、本発明第2実施の形態においては、音響整合層に撥水層を形成することにより、温度変化、あるいは高温高湿下への放置によっても音響整合が吸湿しにくくなり、出力感度の低下を抑制することができる。
以上のように、本発明にかかる超音波振動子およびそれを用いた流れ計測装置は、温度変化、あるいは高温高湿下に放置に伴う音響整合層の結露をおさえ、結露による出力感度の低下を抑制することが可能となるので、外気にさらされるような自動車のバックソナー等の用途に適用できる。
1 超音波振動子
2 ケース
3 音響整合層
4 圧電体
12 撥水層
28 流路
2 ケース
3 音響整合層
4 圧電体
12 撥水層
28 流路
Claims (3)
- 有天状のケースの頂壁外面に音響整合層を、頂壁内面に圧電体をそれぞれ固定し、ケースに対する音響整合層の非接触面に撥水層を形成した超音波振動子。
- 前記ケースに音響整合層を固定した後に撥水層を形成した請求項1に記載の超音波振動子。
- 請求項1または2に記載の超音波振動子を、被測定流体が流れる流路の上流側と下流側に少なくとも一対配置し、両超音波振動子間の超音波伝搬時間にもとづいて前記被測定流体の流速および/または流量を測定するようにした流体の流れ計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004348078A JP2006157771A (ja) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | 超音波振動子およびそれを用いた流体の流れ計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004348078A JP2006157771A (ja) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | 超音波振動子およびそれを用いた流体の流れ計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006157771A JP2006157771A (ja) | 2006-06-15 |
JP2006157771A5 true JP2006157771A5 (ja) | 2008-01-24 |
Family
ID=36635460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004348078A Pending JP2006157771A (ja) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | 超音波振動子およびそれを用いた流体の流れ計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006157771A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261732A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受波器とそれを使用した超音流速流量計 |
JP2008263419A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響整合体、超音波送受波器、および超音波流速流量計 |
JP4704447B2 (ja) * | 2008-03-07 | 2011-06-15 | パナソニック株式会社 | 音響整合体、超音波送受波器および超音波流量計 |
JP4857296B2 (ja) | 2008-03-07 | 2012-01-18 | パナソニック株式会社 | 音響整合体 |
KR100891547B1 (ko) * | 2008-07-07 | 2009-04-03 | (주)하기소닉 | 발수 기능을 가진 초음파센서 |
CN101871794B (zh) * | 2010-06-09 | 2012-06-06 | 宁波大学 | 一种压电超声换能器的防水结构 |
US9360495B1 (en) * | 2013-03-14 | 2016-06-07 | Lockheed Martin Corporation | Low density underwater accelerometer |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0690498A (ja) * | 1992-09-08 | 1994-03-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 超音波トランスデューサ |
JP3941475B2 (ja) * | 2001-11-21 | 2007-07-04 | 松下電器産業株式会社 | 超音波発生器およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-12-01 JP JP2004348078A patent/JP2006157771A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7231646B2 (ja) | 流体不透過性超音波トランスデューサ | |
CN102974524B (zh) | 用声能处理物体的装置和方法 | |
JP4162094B2 (ja) | 常温接合によるデバイス、デバイス製造方法ならびに常温接合装置 | |
JP5789618B2 (ja) | 超音波探触子 | |
JP2006157771A5 (ja) | ||
JP2006157771A (ja) | 超音波振動子およびそれを用いた流体の流れ計測装置 | |
WO2005029912A1 (ja) | 超音波振動子及びそれを用いた超音波流量計 | |
JP2010239477A (ja) | 表面弾性波センサ | |
KR101034188B1 (ko) | 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법 | |
US20200171544A1 (en) | High Frequency Ultrasonic Transducer and Method of Fabrication | |
US20080029125A1 (en) | Method and apparatus for damage-free, single wafer, sonic boundary layer, megasonic cleaning | |
EP1648194A1 (en) | Material for heat-resistant electret and heat-resistant electret | |
JP2007060340A (ja) | 超音波送受波器 | |
JP4233947B2 (ja) | 超音波探触子 | |
JP2014112109A (ja) | 表面弾性波センサ | |
JP2004343658A (ja) | 超音波送受波器とその製造方法及びそれを用いた超音波流量計 | |
JP2009284043A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
Kim et al. | A wideband PVDF-on-silicon ultrasonic transducer array with microspheres embedded low melting temperature alloy backing | |
Tohmyoh et al. | Development of a dry-contact ultrasonic technique and its application to NDE of IC packages | |
Shih et al. | Flexible ultrasonic transducers for structural health monitoring of pipes at high temperatures | |
JP2010245600A (ja) | 超音波送受波器およびそれを用いた流体の流れ計測装置 | |
JP4259841B2 (ja) | 超音波振動子の製造方法 | |
WO1990014738A1 (fr) | Sonde ultrasonique et procede de production | |
JP2003270013A (ja) | 超音波振動子とその製造方法およびそれを用いた超音波流量計 | |
JPH0937394A (ja) | 高分子圧電探触子の素子構造 |