JP2006156724A - Method for measuring resistance of chip electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、各種電子機器に使用されるチップ抵抗器や多連チップ抵抗器等のチップ状電子部品の抵抗値測定方法に関するものである。 The present invention relates to a resistance value measuring method for chip-shaped electronic components such as chip resistors and multiple chip resistors used in various electronic devices.
従来のこの種のチップ抵抗器や多連チップ抵抗器等のチップ状電子部品は、図5(a)に示すように、アルミナ基板等の絶縁性を有するシート状の絶縁基板1の上面に複数対の上面電極2a,2bをスクリーン印刷・焼成により形成し、その後、図5(b)に示すように、前記複数対の上面電極2a,2bに電気的に接続されるように抵抗体3をスクリーン印刷・焼成により形成し、その後、この抵抗体3の抵抗値を要求される目的の抵抗値に修正するようにしている。この抵抗値の修正方法としては、抵抗体3を形成した後、レーザーを用いて抵抗体3にトリミング溝を形成することにより、複数対の上面電極2a,2b間に位置する抵抗体3の抵抗値を上昇させる手法が一般的に利用されている。この抵抗値修正は、抵抗値修正を目的とする抵抗体が接続されている上面電極に抵抗値測定用の端子を接触させ、この状態で抵抗値を測定しながら目的とする抵抗値になるまでレーザーで加工を行う。
As shown in FIG. 5A, a plurality of conventional chip-type electronic components such as this type of chip resistor and multiple chip resistor are provided on the upper surface of an insulating sheet-like insulating substrate 1 such as an alumina substrate. The pair of
抵抗値を測定するために上面電極に接触させる抵抗値測定用の端子は抵抗値を持っているため、抵抗体の正味の抵抗値を測定するためには、この抵抗値測定用の端子の抵抗値を含まないように、電流端子と電圧端子を高電圧側と低電圧側にそれぞれ独立させた端子構造の抵抗値測定用の端子を上面電極に接触させながら抵抗値を測定する、いわゆる四端子測定法が有効である。この場合、電流端子と電圧端子が独立していない二端子測定法よりも、この四端子測定法を使用することにより、抵抗値測定用の端子を接触させた上面電極間の精密な抵抗値測定が可能となる。 Since the resistance value measurement terminal brought into contact with the upper surface electrode in order to measure the resistance value has a resistance value, in order to measure the net resistance value of the resistor, the resistance value of the resistance value measurement terminal So-called four terminals that measure the resistance value while contacting the upper surface electrode with the terminal for measuring the resistance value of the terminal structure in which the current terminal and the voltage terminal are independent on the high voltage side and the low voltage side, respectively, so as not to include the value The measurement method is effective. In this case, by using this four-terminal measurement method rather than the two-terminal measurement method in which the current terminal and voltage terminal are not independent, precise resistance value measurement between the upper surface electrodes in contact with the resistance measurement terminals is performed. Is possible.
近年、抵抗体の狭公差の要求や、低抵抗領域である1Ω以下の抵抗値の要求が高まっており、これらの抵抗値を精度良く達成するためには、四端子測定法を用いた抵抗値修正方法が必要不可欠である。 In recent years, there has been an increasing demand for resistor tolerances and resistance values of 1Ω or less, which is a low resistance region. In order to achieve these resistance values with high accuracy, resistance values using a four-terminal measurement method are being used. A correction method is essential.
四端子測定法を用いて抵抗体の抵抗値を修正する場合、従来は、抵抗値測定用の端子を図6に示すような配置で上面電極に接触させて抵抗体の抵抗値測定が行われていた。すなわち、抵抗体3の抵抗値を測定する場合、抵抗体3が接続された一方の上面電極2aに低電位側の電圧端子4aと低電位側の電流端子5aの二端子を同時に接触させ、かつ他方の上面電極2bに高電位側の電圧端子4bと高電位側の電流端子5bの二端子を同時に接触させ、この状態で抵抗体3の抵抗値を測定しながら抵抗値修正を行うようにしていた。
When the resistance value of a resistor is corrected by using the four-terminal measurement method, conventionally, the resistance value of the resistor is measured by bringing a terminal for measuring the resistance value into contact with the upper surface electrode in an arrangement as shown in FIG. It was. That is, when the resistance value of the
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
しかしながら、近年、回路実装部品の小形化・高密度実装化が進み、非常に小さいチップ抵抗器(1005、0603、0402サイズ)が出回るようになってきている。 However, in recent years, miniaturization and high-density mounting of circuit-mounted components have progressed, and very small chip resistors (1005, 0603, 0402 sizes) have come into circulation.
これらの非常に小さいチップ抵抗器の抵抗値修正を行う場合、従来から用いられている四端子測定法においては、図6に示すように、抵抗値測定を行う抵抗体3が電気的に接続されている一方の上面電極2aに低電位側電圧端子4aおよび低電位側電流端子5aの二端子を接触させ、かつ他方の上面電極2bに高電位側電圧端子4bおよび高電位側電流端子5bの二端子を接触させる必要があるが、上記1005、0603、0402サイズの非常に小さいチップ抵抗器においては、上面電極の面積が非常に小さいため、一方の上面電極2aまたは他方の上面電極2bにそれぞれ二端子を確実に接触させるのは非常に難しいという問題点を有していた。例えば、1005サイズのチップ抵抗器では、上面電極2a,2bの面積が300μm×300μmと非常に小さいため、このような面積の小さい上面電極2a,2bに、従来から用いられている100μmの先端径を有する抵抗値測定用の端子をそれぞれ2個ずつ確実に接触させるということは非常に困難を伴うものであった。
When the resistance values of these very small chip resistors are corrected, in the conventional four-terminal measurement method, as shown in FIG. 6, the
この問題を解決する1つの方法として、チップ抵抗器のサイズが小さくなるにつれてより細い先端径を有する抵抗値測定用の端子を使用するという方法がとられているが、抵抗値測定用の端子の先端径を細くすると、端子が折れ曲がりやすく、また、磨耗によって抵抗値測定用の端子の寿命が短くなるなどの不都合が生じていた。 One method for solving this problem is to use a resistance value measuring terminal having a narrower tip diameter as the size of the chip resistor is reduced. When the tip diameter is made thin, the terminal is easily bent, and there are inconveniences such that the life of the terminal for measuring the resistance value is shortened due to wear.
また、特開平11−340002号公報に見られるように、スリットを挟んで直列に接続する抵抗体を含む格子の間に、ダミー格子を形成して電極面積を確保する方法が提案されているが、この場合は、同一基板で取得できるチップ数が減少してしまい、かつダミーを選別する手間等が必要となるため、実用的ではなかった。 Further, as seen in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-340002, a method has been proposed in which a dummy grid is formed between grids including resistors connected in series with a slit interposed therebetween to secure an electrode area. In this case, the number of chips that can be obtained on the same substrate is reduced, and it is not practical because it takes time and labor to sort out the dummy.
本発明は上記従来の課題を解決するもので、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となるチップ状電子部品の抵抗値測定方法を提供することを目的とするものである。 The present invention solves the above-described conventional problems, and even when measuring the resistance value of a resistor having a very small area of the electrode portion, the four terminals can be surely brought into contact with the electrode and stable resistance measurement can be performed. An object of the present invention is to provide a resistance value measuring method for a chip-shaped electronic component.
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。 In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.
本発明の請求項1に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第1の電極、第2の電極、第3の電極、第4の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続されるように形成された第1の抵抗体と、前記第1の電極と第3の電極との間に電気的に接続されるように形成された第2の抵抗体と、前記第2の電極と第4の電極との間に電気的に接続されるように形成された第3の抵抗体とを有し、前記第1の電極と第2の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第1の電極と第2の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第3の電極と第4の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第3の電極と第4の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第1の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。 The invention according to claim 1 of the present invention includes a first electrode, a second electrode, a third electrode, and a fourth electrode, which are formed so as to straddle the dividing grooves formed in the sheet-like insulating substrate. The first resistor formed so as to be electrically connected between the first electrode and the second electrode, and electrically between the first electrode and the third electrode A second resistor formed to be connected; and a third resistor formed to be electrically connected between the second electrode and the fourth electrode; A high potential side voltage terminal is brought into contact with one of the first electrode and the second electrode, and a low potential side voltage terminal is brought into contact with either one of the first electrode and the second electrode; and A high potential side current terminal is brought into contact with one of the third electrode and the fourth electrode, and the third electrode and the fourth electrode A low potential side current terminal is brought into contact with the other side, and the resistance value of the first resistor is measured by a four-terminal measurement method. According to this resistance value measurement method, the area of the electrode portion is measured. Even when measuring the resistance value of a very small resistor, it is possible to make stable resistance measurement by making sure that the four terminals are in contact with the electrode. It is.
本発明の請求項2に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第1の電極、第2の電極、第3の電極、第4の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続されるように形成された第1の抵抗体と、前記第1の電極と第3の電極との間に電気的に接続されるように形成された第2の抵抗体と、前記第2の電極と第4の電極との間に電気的に接続されるように形成された第3の抵抗体とを有し、前記第1の電極と第2の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第1の電極と第2の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第3の電極と第4の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第3の電極と第4の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第1の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a first electrode, a second electrode, a third electrode, and a fourth electrode, which are respectively formed so as to straddle the dividing grooves formed in the sheet-like insulating substrate. The first resistor formed so as to be electrically connected between the first electrode and the second electrode, and electrically between the first electrode and the third electrode A second resistor formed to be connected; and a third resistor formed to be electrically connected between the second electrode and the fourth electrode; A high potential side current terminal is brought into contact with one of the first electrode and the second electrode, and a low potential side current terminal is brought into contact with the other of the first electrode and the second electrode; and A high potential side voltage terminal is brought into contact with one of the third electrode and the fourth electrode, and the third electrode and the fourth electrode A low potential side voltage terminal is brought into contact with the other or the other, and the resistance value of the first resistor is measured by a four-terminal measurement method. According to this resistance value measurement method, the area of the electrode portion is measured. Even when measuring the resistance value of a very small resistor, it is possible to make stable resistance measurement by making sure that the four terminals are in contact with the electrode. It is.
本発明の請求項3に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第1の電極、第2の電極、第3の電極、第4の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続されるように形成された第1の抵抗体と、前記第1の電極と第3の電極との間に電気的に接続されるように形成された第2の抵抗体と、前記第2の電極と第4の電極との間に電気的に接続されるように形成された第3の抵抗体とを有し、前記第1の電極と第4の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第1の電極と第4の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第3の電極と第2の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第3の電極と第2の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第1の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。
The invention according to
本発明の請求項4に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第1の電極、第2の電極と、前記相隣る分割溝の両方を跨ぐように形成された第3の電極と、前記第1の電極と第3の電極との間に電気的に接続されるように形成された第1の抵抗体と、前記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続されるように形成された第2の抵抗体とを有し、前記第1の電極と第3の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第1の電極と第3の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第2の電極と第3の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第2の電極と第3の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第1の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。 According to a fourth aspect of the present invention, both the first electrode and the second electrode formed so as to straddle the divided grooves formed on the sheet-like insulating substrate and the adjacent divided grooves are provided. A third electrode formed to straddle, a first resistor formed to be electrically connected between the first electrode and the third electrode, and the first electrode A second resistor formed so as to be electrically connected to the second electrode, and a high-potential-side voltage terminal is provided on one of the first electrode and the third electrode. A low potential side voltage terminal is brought into contact with either one of the first electrode and the third electrode, and a high potential side current terminal is placed on one of the second electrode and the third electrode. And a low-potential side current terminal is brought into contact with one of the second electrode and the third electrode, and the four terminals The resistance value of the first resistor is measured by an ordinary method. According to this resistance value measuring method, even when the resistance value of a resistor having a very small area of the electrode portion is measured, four terminals are used. It is possible to reliably measure the resistance value by bringing the electrode into contact with the electrode, thereby having the effect of surely correcting the resistance value.
本発明の請求項5に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第1の電極、第2の電極と、前記相隣る分割溝の両方を跨ぐように形成された第3の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続されるように形成された第1の抵抗体と、前記第1の電極と第3の電極との間に電気的に接続されるように形成された第2の抵抗体とを有し、前記第1の電極と第3の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第1の電極と第3の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第2の電極と第3の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第2の電極と第3の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第1の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。 In the invention according to claim 5 of the present invention, both the first electrode and the second electrode formed so as to straddle the dividing grooves formed on the sheet-like insulating substrate, and the adjacent dividing grooves are provided. A third electrode formed to straddle, a first resistor formed so as to be electrically connected between the first electrode and the second electrode, and the first electrode A second resistor formed so as to be electrically connected to the third electrode, and a high-potential-side current terminal is provided on one of the first electrode and the third electrode. A low potential side current terminal is brought into contact with either one of the first electrode and the third electrode, and a high potential side voltage terminal is placed on either the second electrode or the third electrode. And a low potential side voltage terminal is brought into contact with either one of the second electrode and the third electrode, and four terminals The resistance value of the first resistor is measured by an ordinary method. According to this resistance value measuring method, even when the resistance value of a resistor having a very small area of the electrode portion is measured, four terminals are used. It is possible to reliably measure the resistance value by bringing the electrode into contact with the electrode, thereby having the effect of surely correcting the resistance value.
以上のように本発明のチップ状電子部品の抵抗値測定方法は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第1の電極、第2の電極、第3の電極、第4の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続されるように形成された第1の抵抗体と、前記第1の電極と第3の電極との間に電気的に接続されるように形成された第2の抵抗体と、前記第2の電極と第4の電極との間に電気的に接続されるように形成された第3の抵抗体とを有し、前記第1の電極と第2の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第1の電極と第2の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第3の電極と第4の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第3の電極と第4の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第1の抵抗体の抵抗値を測定するようにしているため、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという優れた効果を奏するものである。 As described above, the resistance value measuring method for a chip-shaped electronic component according to the present invention includes the first electrode, the second electrode, and the third electrode that are formed so as to straddle the dividing grooves formed on the sheet-like insulating substrate. , A fourth electrode, a first resistor formed to be electrically connected between the first electrode and the second electrode, the first electrode and the third electrode, A second resistor formed to be electrically connected between the second electrode and a third resistor formed to be electrically connected between the second electrode and the fourth electrode. A high-potential-side voltage terminal is brought into contact with either the first electrode or the second electrode, and a low-potential-side voltage is applied to the other of the first electrode and the second electrode. A terminal, and a high potential side current terminal is brought into contact with one of the third electrode and the fourth electrode, and Since the low potential side current terminal is brought into contact with either one of the third electrode and the fourth electrode, and the resistance value of the first resistor is measured by the four-terminal measurement method, the area of the electrode portion Even when measuring the resistance value of a very small resistor, it is possible to stably measure the resistance value by reliably contacting the four terminals with the electrode, and this provides an excellent effect that the resistance value can be corrected reliably. Is.
(実施の形態1)
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1〜3に記載の発明について説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, the invention described in the first to third aspects of the present invention will be described using the first embodiment.
図1は本発明の実施の形態1におけるチップ抵抗器において、シート状の絶縁基板上に複数の電極と複数の抵抗体を形成した状態での抵抗値測定用の四端子の配置位置を示した模式図である。 FIG. 1 shows an arrangement position of four terminals for measuring resistance values in a state where a plurality of electrodes and a plurality of resistors are formed on a sheet-like insulating substrate in the chip resistor according to the first embodiment of the present invention. It is a schematic diagram.
図1において、11はアルミナ基板等の絶縁性を有するシート状の絶縁基板で、このシート状の絶縁基板11の上面には、分割溝23を跨ぐように複数の第1の電極12、第2の電極13、第3の電極14、第4の電極15をそれぞれスクリーン印刷・焼成により列で形成している。そして前記列で形成されている複数の第1の電極12と第2の電極13との間にはこれらと電気的に接続される複数の第1の抵抗体16をスクリーン印刷・焼成により列で形成し、また前記複数の第1の電極12と第3の電極14との間にはこれらと電気的に接続される複数の第2の抵抗体17をスクリーン印刷・焼成により列で形成し、さらに前記複数の第2の電極13と第4の電極15との間にはこれらと電気的に接続される複数の第3の抵抗体18をスクリーン印刷・焼成により列で形成している。
In FIG. 1,
上記構成において、列で形成されている複数の第1の電極12と第2の電極13との間に電気的に接続されている複数の第1の抵抗体16の抵抗値の修正を行う場合は、複数の第2の電極13に複数の高電位側電圧端子19を接触させるとともに、複数の第1の電極12に複数の低電位側電圧端子20を接触させ、さらに前記第4の電極15に複数の高電位側電流端子21を接触させるとともに、複数の第3の電極14に複数の低電位側電流端子22を接触させ、この状態で、レーザーを用いて第1の抵抗体16にトリミング溝を形成することにより、複数の第1の電極12と第2の電極13との間に電気的に接続されている複数の第1の抵抗体16の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
In the above configuration, when the resistance values of the plurality of
次に、列で形成されている複数の第3の抵抗体18の抵抗値の修正を行う場合は、図1の状態から高電位側電圧端子19、低電位側電圧端子20、高電位側電流端子21、低電位側電流端子22の4つの端子を上方向に動かして4つの電極13,12,15,14との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板11を載置したステージ(図示せず)を相隣る分割溝23で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位側電圧端子19、低電位側電圧端子20、高電位側電流端子21、低電位側電流端子22の4つの端子を下方向に動かして、図2に示すように4つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子19は第4の電極15に、低電位側電圧端子20は第2の電極13に、高電位側電流端子21は第4の電極15の隣に位置する別の電極24に、低電位側電流端子22は第1の電極12にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第3の抵抗体18にトリミング溝を形成することにより、複数の第2の電極13と第4の電極15との間に電気的に接続されている複数の第3の抵抗体18の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
Next, when correcting the resistance values of the plurality of
次に、図2に示す列で形成されている複数の第4の抵抗体25の抵抗値の修正を行う場合は、図2の状態から高電位側電圧端子19、低電位側電圧端子20、高電位側電流端子21、低電位側電流端子22の4つの端子を上方向に動かして4つの電極15,13,24,12との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板11を載置したステージ(図示せず)を相隣る分割溝23で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位側電圧端子19、低電位側電圧端子20、高電位側電流端子21、低電位側電流端子22の4つの端子を下方向に動かして、図2に示す4つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子19は第4の電極15の隣に位置する第5の電極24に、低電位側電圧端子20は第4の電極15に、高電位側電流端子21は第5の電極24の隣に位置する第6の電極26に、低電位側電流端子22は第2の電極13にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第4の抵抗体25にトリミング溝を形成することにより、複数の第4の電極15と第5の電極24との間に電気的に接続されている複数の第4の抵抗体25の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
Next, when correcting the resistance values of the plurality of
上記したように本発明の実施の形態1における抵抗値修正方法は、高電位側電圧端子19、低電位側電圧端子20、高電位側電流端子21、低電位側電流端子22の4つの端子を上下方向に動かして4つの電極との接触を断ったり、あるいは接触させるという動作と、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板11を載置したステージ(図示せず)を相隣る分割溝23で定められたピッチ分だけ左方向へ動かすという動作を順次繰り返すことにより、列で形成されている複数の抵抗体の抵抗値の修正を順次行うようにしたもので、この抵抗値修正方法においては、高電位側と低電位側の2つの電圧端子と高電位側と低電位側の2つの電流端子を4つの電極にそれぞれ1個ずつ接触させて抵抗値修正を行うようにしているため、この抵抗値修正方法を、特に、微小サイズの角チップ抵抗器の抵抗値修正工程において採用すれば、従来のように抵抗値測定を行う抵抗体が電気的に接続されている2つの電極にそれぞれ高電位側と低電位側の2つの電圧端子と高電位側と低電位側の2つの電流端子を接触させて抵抗値修正を行うようにしたものに比べ、1つの抵抗値測定用端子が活用できる電極面積が増加するため、抵抗値測定用端子の電極への接触の確実性が増すものである。この場合、電極に接触する抵抗値測定用端子は、高電位側の電圧・電流端子と、低電位側の電圧・電流端子のそれぞれが抵抗値修正を行う第1の抵抗体16を挟んで異方向に分かれるようにする必要があるが、この接触条件を満たしていれば、第1の抵抗体16が直接的に接続される第1、第2の電極12,13と、間接的に接続される第3、第4の電極14,15で、電圧端子と電流端子の接触を選択しなくてもよいものである。
As described above, the resistance value correcting method according to the first embodiment of the present invention includes the four terminals of the high potential
すなわち、上記本発明の実施の形態1においては、列で形成されている複数の第1の抵抗体16の抵抗値の修正を行う場合、複数の第2の電極13に複数の高電位側電圧端子19を接触させるとともに、複数の第1の電極12に複数の低電位側電圧端子20を接触させ、さらに前記複数の第4の電極15に複数の高電位側電流端子21を接触させるとともに、複数の第3の電極14に複数の低電位側電流端子22を接触させていたが、これとは逆に、複数の第2の電極13に複数の低電位側電圧端子20を接触させるとともに、複数の第1の電極12に複数の高電位側電圧端子19を接触させ、さらに前記複数の第4の電極15に複数の低電位側電流端子22を接触させるとともに、複数の第3の電極14に複数の高電位側電流端子21を接触させるようにするか、あるいは複数の第2の電極13に複数の高電位側電流端子21または低電位側電流端子22を接触させるとともに、複数の第1の電極12に複数の低電位側電流端子22または高電位側電流端子21を接触させ、そして前記複数の第4の電極15に複数の高電位側電圧端子19または低電位側電圧端子20を接触させるとともに、複数の第3の電極14に複数の低電位側電圧端子20または高電位側電圧端子19を接触させるようにしてもよく、さらには複数の第1の電極12に複数の高電位側電流端子21または低電位側電流端子22を接触させるとともに、複数の第4の電極15に複数の低電位側電流端子22または高電位側電流端子21を接触させ、そして前記複数の第3の電極14に複数の高電位側電圧端子19または低電位側電圧端子20を接触させるとともに、複数の第2の電極13に複数の低電位側電圧端子20または高電位側電圧端子19を接触させるようにしてもよく、これらの場合においても、上記実施の形態1と同様に、列で形成されている複数の第1の電極12と第2の電極13との間に電気的に接続されている複数の第1の抵抗体16の抵抗値の修正が行えるものである。
That is, in the first embodiment of the present invention, when the resistance values of the plurality of
(実施の形態2)
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項4、5に記載の発明について説明する。
(Embodiment 2)
Hereinafter, the invention described in the fourth and fifth aspects of the present invention will be described using the second embodiment.
図3は本発明の実施の形態2におけるチップ抵抗器において、シート状の絶縁基板上に複数の電極と複数の抵抗体を形成した状態での抵抗値測定用の四端子の配置位置を示した模式図である。 FIG. 3 shows an arrangement position of four terminals for measuring resistance values in a state where a plurality of electrodes and a plurality of resistors are formed on a sheet-like insulating substrate in the chip resistor according to the second embodiment of the present invention. It is a schematic diagram.
図3において、31はアルミナ基板等の絶縁性を有するシート状の絶縁基板で、このシート状の絶縁基板31の上面には、分割溝34を跨ぐように複数の第1の電極32、第2の電極33をそれぞれスクリーン印刷・焼成により列で形成するとともに、相隣る分割溝34の両方に跨がるように第3の電極35をスクリーン印刷・焼成により列で形成している。そして前記列で形成されている複数の第1の電極32と第3の電極35との間にはこれらと電気的に接続されるように複数の第1の抵抗体36をスクリーン印刷・焼成により列で形成し、さらに前記複数の第1の電極32と第2の電極33との間にはこれらと電気的に接続されるように複数の第2の抵抗体37をスクリーン印刷・焼成により列で形成している。
In FIG. 3, reference numeral 31 denotes an insulating sheet-like insulating substrate such as an alumina substrate. On the upper surface of the sheet-like insulating substrate 31, a plurality of
上記構成において、列で形成されている複数の第1の電極32と第2の電極33との間に電気的に接続されている複数の第1の抵抗体36の抵抗値の修正を行う場合は、複数の第1の電極32に複数の高電位側電圧端子38を接触させるとともに、複数の第3の電極35に複数の低電位側電圧端子39と低電位側電流端子40を接触させ、さらに前記複数の第2の電極33に複数の高電位側電流端子41を接触させ、この状態で、レーザーを用いて第1の抵抗体36にトリミング溝を形成することにより、複数の第1の電極32と第3の電極35との間に電気的に接続される複数の第1の抵抗体36の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
In the above configuration, when the resistance values of the plurality of
次に、列で形成されている複数の第2の抵抗体37の抵抗値の修正を行う場合は、図3の状態から高電位側電圧端子38、低電位側電圧端子39、高電位側電流端子41、低電位側電流端子40の4つの端子を上方向に動かして3つの電極32,35,33との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板31を載置したステージ(図示せず)を相隣る分割溝34で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位側電圧端子38、低電位側電圧端子39、高電位側電流端子41、低電位側電流端子40の4つの端子を下方向に動かして、図4に示すように4つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子38は第2の電極33に、低電位側電圧端子39は第1の電極32に、高電位側電流端子41は第2の電極33の隣に位置する第4の電極42に、低電位側電流端子40は第3の電極35にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第2の抵抗体37にトリミング溝を形成することにより、複数の第1の電極32と第2の電極33との間に電気的に接続されている複数の第2の抵抗体37の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
Next, when correcting the resistance values of the plurality of
次に、図4に示す列で形成されている複数の第3の抵抗体43の抵抗値の修正を行う場合は、図4の状態から高電位側電圧端子38、低電位側電圧端子39、高電位側電流端子41、低電位側電流端子40の4つの端子を上方向に動かして4つの電極33,32,42,35との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板31を載置したステージ(図示せず)を相隣る分割溝34で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位電圧端子38、低電位側電圧端子39、高電位側電流端子41、低電位側電流端子40の4つの端子を下方向に動かして、図4に示す4つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子38は第2の電極33の隣に位置する第4の電極42に、低電位側電圧端子39は第2の電極33に、高電位側電流端子41は第4の電極42の隣に位置する第5の電極44に、低電位側電流端子40は第1の電極32にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第3の抵抗体43にトリミング溝を形成することにより、複数の第2の電極33と別の電極42との間に電気的に接続されている複数の第3の抵抗体43の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
Next, when correcting the resistance values of the plurality of
上記したように本発明の実施の形態2における抵抗値修正方法は、高電位側電圧端子38、低電位側電圧端子39、高電位側電流端子41、低電位側電流端子40の4つの端子を上下方向に動かして、最初は3つの電極との接触を断ったり、あるいは接触させる。そして2番目以降は4つの電極との接触を断ったり、あるいは接触させるという動作と、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板31を載置したステージ(図示せず)を相隣る分割溝34で定められたピッチ分だけ左方向へ動かすという動作を順次繰り返すことにより、列で形成されている複数の抵抗体の抵抗値の修正を順次行うようにしたもので、この抵抗値修正方法においては、高電位側と低電位側の2つの電圧端子と高電位側と低電位側の2つの電流端子のうち、最初は2つの測定端子を相隣る分割溝34の両方に跨がって形成された1つの電極に接触させ、かつ残り2つの測定端子を2つの電極にそれぞれ1個ずつ接触させて抵抗値修正を行うようにしているため、この抵抗値修正方法を、特に、微小サイズの角チップ抵抗器の抵抗値修正工程において採用すれば、従来のように抵抗値測定を行う抵抗体が電気的に接続されている2つの電極にそれぞれ高電位側と低電位側の2つの電圧端子と高電位側と低電位側の2つの電流端子を接触させて抵抗値修正を行うようにしたものに比べ、1つの抵抗値測定用端子が活用できる電極面積が増加するため、抵抗値測定用端子の電極への接触の確実性が増すものである。この場合、電極に接触する抵抗値測定用端子は、高電位側の電圧・電流端子と、低電位側の電圧・電流端子のそれぞれが抵抗値修正を行う第1の抵抗体36を挟んで異方向に分かれるようにする必要があるが、この接触条件を満たしていれば、第1の抵抗体36が直接的に接続される第1、第3の電極32,35と、間接的に接続される第2の電極33で、電圧端子と電流端子の接触を選択しなくてもよいものである。
As described above, the resistance value correcting method according to the second embodiment of the present invention includes the four terminals of the high potential
すなわち、上記本発明の実施の形態2においては、列で形成されている複数の第1の抵抗体36の抵抗値の修正を行う場合、複数の第1の電極32に複数の高電位側電圧端子38を接触させるとともに、複数の第3の電極35に複数の低電位側電圧端子39と低電位側電流端子40を接触させ、さらに前記複数の第2の電極33に複数の高電位側電流端子41を接触させるようにしていたが、これとは逆に、複数の第1の電極32に複数の低電位側電圧端子39を接触させるとともに、複数の第3の電極35に複数の高電位側電圧端子38と高電位側電流端子41を接触させ、さらに前記複数の第2の電極33に複数の低電位側電流端子40を接触させるようにしてもよく、この場合においても、上記実施の形態2と同様に、列で形成されている複数の第1の電極32と第2の電極33との間に電気的に接続されている複数の第1の抵抗体36の抵抗値の修正が行えるものである。
That is, in the second embodiment of the present invention, when the resistance values of the plurality of
本発明にかかるチップ状電子部品の抵抗値測定方法は、従来に比べて小さい電極に接続される抵抗体の抵抗値を測定する場合、抵抗値測定端子が電極と接触不良を起こすこともなく、安定した抵抗値測定が可能となり、抵抗値修正も確実に行えるという効果を有し、回転基板に実装されるチップ状電子部品を構成する抵抗体の抵抗値測定方法として有用である。 The resistance value measuring method of the chip-shaped electronic component according to the present invention, when measuring the resistance value of a resistor connected to an electrode smaller than conventional, without causing a contact failure with the electrode, resistance value measurement terminal, This has the effect that stable resistance value measurement is possible and resistance value correction can be performed reliably, and is useful as a resistance value measurement method for a resistor constituting a chip-like electronic component mounted on a rotating substrate.
11 シート状の絶縁基板
12 第1の電極
13 第2の電極
14 第3の電極
15 第4の電極
16 第1の抵抗体
17 第2の抵抗体
18 第3の抵抗体
19 高電位側電圧端子
20 低電位側電圧端子
21 高電位側電流端子
22 低電位側電流端子
23 分割溝
31 シート状の絶縁基板
32 第1の電極
33 第2の電極
34 分割溝
35 第3の電極
36 第1の抵抗体
37 第2の抵抗体
38 高電位側電圧端子
39 低電位側電圧端子
40 低電位側電流端子
41 高電位側電流端子
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