JP2006150260A - 半導体製造ラインにおける排ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 原料ガスとしてシランガス等が、クリーニングガス等としてPFCガスがそれぞれ使用される半導体製造ラインにおける排ガス抽出路1中に、希釈された未反応のシランガス等およびPFCガスを分解処理するための排ガス分解装置2を設け、その後段にフィルターを内蔵する除塵装置3を設けてなり、除塵装置3は、装置本体が気密構造に形成され、該装置本体の内壁材及び前記フィルターがフッ化化合物に対し高耐性を有する材料により形成される。また、排ガス抽出路1における前記除塵装置3の後段に、除塵装置3を経た前記分解生成ガスを無害化処理する除害装置4が付設される。
【選択図】 図1
Description
装置内に堆積した前記反応性シリコン化合物を分解し、未反応のPFCガスと共に窒素送給ラインから送給される窒素ガスで希釈されて前記真空ポンプを経て前記燃焼式除害装置12に送給される。ここで、PFCガスは配管から供給される燃料ガスとの燃焼によりフッ化水素(HF)を主成分とするフッ化化合物を生成する(例えばCF4 の場合にはCF4 +2H2O→4HF+CO2 )。このフッ化水素(HF)を含む分解生成ガスは、配管を通って前記湿式スクラバー15に送給される。このフッ化水素(HF)は腐食性が強く極めて有害なガスであるが、水に可溶であるので、該湿式スクラバー15内で水に吸収され、酸性廃液となって系外に排出される。この酸性廃液は、適宜アルカリ処理されて排水されることになるが、前記湿式スクラバー15にアルカリ水を供給して、フッ化水素(HF)の吸収と中和反応を同時に進行させる方法も採用されることがある。このフッ化水素(HF)が吸収除去されたガスは、無害化ガスとして下流側の乾式の除塵装置13に送られる。
例えば製膜工程において、前記プラズマCVD装置5の各チャンバー6a〜6dにシランガス(SiH4 )等の原料ガスを供給して、該CVD装置5内で分解させて半導体基材の表面にシリコン皮膜を形成させるが、その際未反応であったシランガスは窒素ガスによって希釈された後、排ガス分解装置2に供給される。ここでは、前記未反応シランガスは別途供給される燃料ガスと共に燃焼されて固体のシリコン酸化物(SiO2)となることで無害化されて後段の除塵装置3に供給され、ここで微細粉塵である前記シリコン酸化物はフィルターにより捕集され、その余のガスは後段の除害装置4に送られる。
Claims (2)
- 原料ガスとしてシランガス等が、クリーニングガス等としてPFC(Perfluorocompounds)ガスがそれぞれ使用される半導体製造ラインにおける排ガス抽出路(1)中に、希釈された未反応のシランガスを無害化処理するための排ガス分解装置(2)を設け、その後段にフィルターを内蔵する除塵装置(3)を設けてなり、前記除塵装置(3)は、装置本体が気密構造に形成され、該装置本体の内壁材及び前記フィルターがフッ化化合物に対し高耐性を有する材料により形成されることを特徴とする半導体製造ラインにおける排ガス処理装置。
- 前記半導体製造ラインが、プラズマCVD装置(5)と、そのプラズマCVD装置(5)に併設された複数のチャンバー(6a〜6d)とを備え、プラズマCVD装置(5)及び各チャンバー(6a〜6d)での処理工程に付随して、除塵装置(3)では、フィルターによる除塵と前記排ガス分解装置(2)から生成する分解生成ガス(HF)を暴露させてフィルターの機能を回復させる除塵クリーニングとを、前後して、あるいは同時並行的に行わせるように構成したことを特徴とする請求項1記載の半導体製造ラインにおける排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP2006150260A (ja) |
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