JP2006148124A - 光学素子用のクランプ・デバイス、クランプ・デバイス内の光学素子を有するリソグラフィ装置、及びこのような装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターン化デバイスから基板上にパターンを転写するように構成されたリソグラフィ装置である。この装置は光学素子と、光学素子を固定するための少なくとも2つのクランプ・アセンブリとを含んでいる。クランプ・アセンブリは各々、光学素子の第1表面と接触する第1クランプ面を有する第1クランプ及び前記光学素子の前記第1表面とは反対側の、前記光学素子の第2表面と接触する第2クランプ面を有する第2クランプを含んでいる。
【選択図】図3
Description
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは基本的に静止状態に保たれ、一方放射ビームに付与されるパターン全体は一度に(すなわち単一の静的露光で)ターゲット部分Cへと投影される。次に異なるターゲット部分Cの露光が可能であるように、基板テーブルWTがX及び/又はY方向にシフトされる。ステップ・モードでは、露光領域の最大サイズによって単一の静的露光で写像されるターゲット部分Cのサイズが限定される。
6 光学素子
7 光学素子
9 主表面
15 支持体
16 裏面
17 前面
18 第1表面
19 反対面
20 クランプ・アセンブリ
21 クランプ・アセンブリ
22 第1クランプ
23 第2クランプ
24 第1クランプ面
25 第2クランプ面
26 支持ビーム
27 支持体前面
28 中間部
29 支持バー
30 ガイド
31 板ばね
32 板ばねの第1端部
33 板ばねの第2端部
34 支持バー
35 ばね
36 底部
37 ヘッド
38 ねじ山付きシャフト
39 狭窄部
40 ねじ山付き開口部
41 ショールダ
42 開口部
50 円
52 第1接触面
53 第2接触面
55 縦端部
56 電極
IL 照射システム
B 放射ビーム
MT マスク・テーブル
PM 第1位置決め装置
PW 第2位置決め装置
WT ウエーハ・テーブル
PS 投影システム
MA パターン化デバイス
C ターゲット部
W 基板
SO 放射源
BD ビーム供給システム
AD アジャスタ
CO コンデンサ
IN 積分器
MA マスク
CM1 凹面ミラー
CM2 凹面ミラー
P1 基板位置合わせマーク
P2 基板位置合わせマーク
Claims (43)
- パターン化デバイスから基板上にパターンを転写するように構成されたリソグラフィ装置であって、
光学素子と、
前記光学素子を固定するための少なくとも2つのクランプ・アセンブリとを含み、
前記クランプ・アセンブリは各々、
前記光学素子の第1表面と接触する第1クランプ面を有する第1クランプ及び前記光学素子の前記第1表面とは反対側の、前記光学素子の第2表面と接触する第2クランプ面を有する第2クランプと、
前記第1クランプと前記第2クランプとが互いに向き合うように前記第1クランプと前記第2クランプとに連結された支持体と、
前記第1クランプが前記光学素子の前記第1表面に対してほぼ垂直な第1の方向に移動可能であるように、且つ、前記第1の方向に対して垂直な方向への前記第1クランプの移動を制限するように形成され、且つ構成された第1ガイドと、
前記第1クランプの前記第1クランプ面を前記光学素子の前記第1表面に対して押付け、且つ前記光学素子の前記第2クランプ面を前記第2クランプの前記反対側の第2表面へと押付けるための複数のロックピンと、を含むリソグラフィ装置。 - 前記第1及び前記第2クランプ・アセンブリのうち、前記第1クランプ及び前記第2クランプは全て共通の支持体に連結される請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1クランプは可撓連結条片によって第2支持体に連結され、前記条片は前記第1の方向では前記第1の方向に対して垂直な各方向よりも撓み易い請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記条片は板ばねである請求項3に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1及び前記第2クランプ面は前記光学素子と接触する円筒形又は球形の表面部分を含む請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記ロックピンは前記第1方向にばね付勢されている請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学素子はパルス伸長器内に備えられる請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記パルス伸長器はパルス伸長モジュール内に備えられる請求項7に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学素子はCaF2から製造されたレンズ又はミラーである請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学素子の前記第1表面は、使用中に放射ビームが前記光学素子へと照射される照射源側とは反対向きである請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学素子は中心部と外縁部とを有し、前記外縁部には前記中心部の一方の側へと繋がる2つのクランプ・アセンブリが備えられる請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光学素子はほぼ方形の外縁部を有し、前記クランプ・アセンブリは前記外縁部の一方の側に備えられる請求項11に記載のリソグラフィ装置。
- 放射ビームを調整するように構成された照射システムと、
パターン化された放射ビームを形成するために、前記放射ビームの断面にパターンを付与することが可能なパターン化デバイスを支持するように形成された支持体と、
前記基板を保持するように形成された基板テーブルと、
前記パターン化された放射ビームを前記基板のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと、を更に含み、
前記光学素子は前記放射ビームをガイドするためのビーム供給システム内に備えられる請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 光学素子を含む装置であって、前記光学素子は前記光学素子を固定するための少なくとも2つのクランプ・アセンブリによって固定され、前記クランプ・アセンブリは各々、
前記光学素子の第1表面と接触する第1クランプ面を有する第1クランプ及び前記光学素子の前記第1表面とは反対側の、前記光学素子の第2表面と接触する第2クランプ面を有する第2クランプと、
前記第1クランプと前記第2クランプとが互いに向き合うように前記第1クランプと前記第2クランプとに連結された支持体と、
前記第1クランプが前記光学素子の前記第1表面に対してほぼ垂直な第1の方向に移動可能であるように、且つ、前記第1の方向に対して垂直な方向への前記第1クランプの移動を制限するように形成され、且つ構成された第1ガイドと、
前記第1クランプの前記第1クランプ面を前記光学素子の前記第1表面に対して押付け、且つ前記光学素子の前記第2クランプ面を前記第2クランプの前記反対側の第2表面へと押付けるための複数のロックピンと、を含む装置。 - 前記第1及び前記第2クランプ・アセンブリのうち、前記第1クランプ及び前記第2クランプは共通の支持体に連結される請求項14に記載の装置。
- 前記第1クランプは可撓連結条片によって第2支持体に連結され、前記条片は前記第1の方向では前記第1の方向に対して垂直な各方向よりも撓み易い請求項14に記載の装置。
- 前記条片は板ばねである請求項16に記載の装置。
- 前記第1及び前記第2クランプ面は前記光学素子と接触する円筒形又は球形の表面部分を含む請求項14に記載の装置。
- 前記ロックピンは前記第1方向にばね付勢されている請求項14に記載の装置。
- 前記光学素子はパルス伸長器内に備えられる請求項14に記載の装置。
- 前記パルス伸長器はビーム供給システム内に備えられる請求項20に記載の装置。
- 前記光学素子はCaF2から製造されたレンズ又はミラーである請求項14に記載の装置。
- 前記光学素子の前記第1表面は、使用中に放射ビームが前記光学素子へと照射される照射源側とは反対向きである請求項14に記載の装置。
- 前記光学素子は中心部と外縁部とを有し、前記外縁部には前記中心部の一方の側へと繋がる2つのクランプ・アセンブリが備えられる請求項14に記載の装置。
- 光学素子用のクランプ・デバイスであって、前記クランプ・デバイスは前記光学素子を固定するための少なくとも2つのクランプ・アセンブリを含み、前記クランプ・アセンブリは各々、
前記光学素子の第1表面と接触する第1クランプ面を有する第1クランプ及び前記光学素子の前記第1表面とは反対側の、前記光学素子の第2表面と接触する第2クランプ面を有する第2クランプと、
前記第1クランプと前記第2クランプとが互いに向き合うように前記第1クランプと前記第2クランプとに連結された支持体と、
前記第1クランプが前記光学素子の前記第1表面に対してほぼ垂直な第1の方向に移動可能であるように、且つ、前記第1の方向に対して垂直な方向への前記第1クランプの移動を制限するように形成され、且つ構成された第1ガイドと、
前記第1クランプの前記第1クランプ面を前記光学素子の前記第1表面に対して押付け、且つ前記光学素子の前記第2クランプ面を前記第2クランプの前記反対側の第2表面へと押付けるための複数のロックピンと、を含むクランプ・デバイス。 - 前記第1及び前記第2クランプ・アセンブリのうち、前記第1クランプ及び前記第2クランプは共通の支持体に連結される請求項25に記載のクランプ・デバイス。
- 前記第1クランプは可撓連結条片によって第2支持体に連結され、前記条片は前記第1の方向では前記第1の方向に対して垂直な各方向よりも撓み易い請求項25に記載のクランプ・デバイス。
- 前記条片は板ばねである請求項27に記載のクランプ・デバイス。
- 前記第1表面及び前記第2表面は円筒形又は球形の表面部分を含む請求項14に記載のクランプ・デバイス。
- 前記ロックピンは前記第1方向にばね付勢されている請求項25に記載のクランプ・デバイス。
- 前記光学素子はパルス伸長器の一部である請求項25に記載のクランプ・デバイス。
- 前記パルス伸長器はビーム供給システム内に備えられる請求項31に記載のクランプ・デバイス。
- 光学素子用の位置が備えられ、前記クランプ・アセンブリは前記光学素子用の前記位置の一方の側に互いに隣接して備えられる請求項25に記載のクランプ・デバイス。
- 各セットのクランプ・アセンブリ内にほぼ平坦な光学素子が備えられ、又は備えることが可能であるように互いに配置された、少なくとも2つのクランプ・アセンブリの少なくとも2セットが備えられ、前記各光学素子は光学的な中心線を有し、前記光学素子の少なくとも2つの前記中心線は角度をなす請求項25に記載のクランプ・デバイス。
- 前記角度は1°から179°の間である請求項34に記載のクランプ・デバイス。
- 前記角度は30°から150°の間である請求項35に記載のクランプ・デバイス。
- 前記角度は60°から120°の間である請求項36に記載のクランプ・デバイス。
- 装置用の光学素子を含むデバイスの製造方法であって、
各々のクランプ・アセンブリが前記光学素子の第1表面と接触せしめられる第1クランプ面を有する第1クランプと、前記光学素子の前記第1表面とは反対側の、前記光学素子の第2表面と接触せしめられる第2クランプ面を有する第2クランプとを含む少なくとも2つのクランプ・アセンブリで前記光学素子を固定する工程と、
前記第1クランプが前記光学素子の前記第1表面に対してほぼ垂直な第1の方向に移動可能であるが、前記第1の方向に対して垂直な方向への移動は制限されるように前記第1クランプを配置する工程と、
前記第1クランプの前記第1クランプ面を前記光学素子の前記第1表面に対して押付け、且つ前記光学素子の前記第2表面を前記第2クランプの前記反対側の第2クランプ面へと押付けるためにロックピンを前記第1クランプに押付ける工程と、を含む方法。 - 前記クランプ・アセンブリは前記装置に解放自在に連結されたユニット内に備えられ、前記光学素子は前記ユニットを前記装置内に配置する前に前記クランプ・アセンブリ内に備えられる請求項38に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの光学素子を含む前記ユニットが光学素子を含む同類のユニットと交換される請求項39に記載の方法。
- 前記クランプ・デバイスのクランプ・アセンブリ内に固定された少なくとも1つの光学素子を配送するための請求項25に記載のクランプ・デバイスの使用。
- 前記クランプ・デバイスが配送前に、前記少なくとも1つの光学素子とともに、保護用ガス雰囲気とともにコンテナ内に密封される請求項41に記載のクランプ・デバイスの使用。
- 光源と、前記光源によって供給される光ビームの少なくとも一部を偏光させる光学素子を含むパルス伸長器とを含み、前記光学素子は前記光学素子を固定するための少なくとも2つのクランプ・アセンブリを含むクランプ・デバイス内に固定される、光ビーム供給ユニットであって、前記クランプ・アセンブリは各々、
前記光学素子の第1表面と接触する第1クランプ面を有する第1クランプ及び前記光学素子の前記第1表面とは反対側の、前記光学素子の第2表面と接触する第2クランプ面を有する第2クランプと、
前記第1クランプと第2クランプとが互いに向き合うように前記第1クランプと前記第2クランプとに連結された支持体と、
前記第1クランプが前記光学素子の前記第1表面に対してほぼ垂直な第1の方向に移動可能であるように、且つ、前記第1の方向に対して垂直な方向への前記第1クランプの移動を制限するように形成され、且つ構成された第1ガイドと、
前記第1クランプの前記第1クランプ面を前記光学素子の前記第1表面に対して押付け、且つ前記光学素子の前記第2クランプ面を前記第2クランプの前記反対側の第2表面へと押付けるための複数のロックピンと、を含むユニット。
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