JP4496156B2 - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4496156B2 JP4496156B2 JP2005327405A JP2005327405A JP4496156B2 JP 4496156 B2 JP4496156 B2 JP 4496156B2 JP 2005327405 A JP2005327405 A JP 2005327405A JP 2005327405 A JP2005327405 A JP 2005327405A JP 4496156 B2 JP4496156 B2 JP 4496156B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- closure member
- fluid
- container
- substrate table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70341—Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
Description
基板を保持するように形成された基板テーブルと、
基板のターゲット部分にパターン形成された放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
閉鎖部材を収容するように構成された基板テーブル内の容器と、
基板テーブルと作用的に連結され、且つ前記容器から、又は容器へと閉鎖部材を移動するように配置された移動機構と、を含むリソグラフィ装置が提供される。
基板を保持するように形成された基板テーブルと、
基板のターゲット部分にパターン形成された放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
閉鎖部材を収容するように構成され、深さがある基板テーブル内の容器と、
容器の前記深さを変更するように配置された調整板と、を含むリソグラフィ装置が提供される。
流体閉じ込め構造によって収容された流体を経てパターン形成された放射ビームを基板テーブルによって保持された基板上に投影する工程と、
パターン形成されたビームの投影後に、基板テーブル上の閉鎖部材が流体閉じ込め構造の下に来るような位置に基板テーブルを移動させる工程と、
基板テーブルが流体閉じ込め構造に対して固定的に保持されている間に、流体閉じ込め構造の一部を閉鎖するように閉鎖部材を移動させる工程と、を含むデバイス製造方法が提供される。
基板を保持するように構成された支持面と、
閉鎖部材を収納するように構成された容器と、
基板上に備えられ、閉鎖部材を容器から、又は容器へと移動するように配置された移動機構と
を含むリソグラフィ装置用の基板テーブルが提供される。
基板を保持するように形成された基板テーブルと、
基板のターゲット部分にパターン形成された放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
投影システムと基板との間の空隙に少なくとも部分的に流体を満たすように構成され、空隙内に少なくとも部分的に流体を閉じ込めるように構成された流体閉じ込め構造を含む流体供給システムと、
基板又は基板テーブルがもはや流体閉じ込め構造に近接していない場合に流体を流体閉じ込め構造内に保持するように、流体閉じ込め構造を閉鎖するように構成された閉鎖部材と、
閉鎖部材を前記流体閉じ込め構造から、又は流体閉じ込め構造へと移動するように配置され、基板テーブル内に備えられた移動機構と
を含むリソグラフィ装置が提供される。
放射ビームPB(例えば紫外線又は遠紫外線)を調整するように構成された照射システム(イルミネータ)ILと、
パターン形成装置(例えばマスク)MAを保持するように構成され、あるパラメータに従ってパターン形成装置を正確に位置決めするように構成された第1位置決め装置PMに接続された支持構造(例えばマスク・テーブル)MTと、
基板(例えばレジストが被覆されたウエハー)Wを保持するように構成され、あるパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2位置決め装置PWに接続された基板テーブル(例えばウエハー・テーブル)WTと、
パターン形成装置MAによって放射ビームPBへと付与されたパターンを基板Wの(例えば1つ又は複数のダイを含む)ターゲット部分Cへと投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズ系)PLと、を含んでいる。
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは基本的に静止状態に保たれ、一方、放射ビームに付与されるパターン全体は一度に(すなわち単一の静的露光で)ターゲット部分Cへと投影される。次に異なるターゲット部分Cの露光が可能であるように、基板テーブルWTがX及び/又はY方向にシフトされる。ステップ・モードでは、露光領域の最大サイズによって単一の静的露光で画像化されるターゲット部分Cのサイズが限定される。
2.走査モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは、放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影されている間に(すなわち単一の動的露光)、同期的に走査される。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度と方向は投影システムPLの(縮小)拡大、及び画像反転特性によって決定されることがある。走査モードでは、露光領域の最大サイズによって単一の動的露光で画像化されるターゲット部分の(非走査方向の)幅が限定され、一方、走査動作の長さがターゲット部分の(走査方向の)高さを決定する。
3.他のモードでは、マスク・テーブルMTはプログラム可能パターン形成装置を保持して基本的に静止状態に保たれ、放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cへと投影される間に、基板テーブルWTが移動され、又は走査される。このモードでは、一般にパルス式放射源が使用され、プログラム可能パターン形成装置は基板テーブルWTの各々の移動後、又は走査中の連続的な放射パルスの間に必要に応じて更新される。この動作モードは前述のプログラム可能ミラー配列型のようなプログラム可能パターン形成装置を使用するマスクレス・リソグラフィに容易に適用可能である。
Claims (7)
- リソグラフィ装置であって、
基板を保持するように形成された基板テーブルと、
前記基板のターゲット部分にパターン形成された放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
閉鎖部材を収容するように構成された前記基板テーブル内の容器と、
前記基板テーブル内に備えられ、前記容器の上方に位置する流体閉じ込め構造から前記容器へも、前記容器から前記流体閉じ込め構造へも前記閉鎖部材を移動可能に配置された移動機構と
を含み、
前記移動機構が電磁石によって作動される予圧縮応力を加えた板ばねを含み、前記板ばねは、応力のかかった状態で前記電磁石によって保持されており、前記電磁石がスイッチオフされると前記板ばねの復元力により前記閉鎖部材を持ち上げる、
リソグラフィ装置。 - 前記板ばねがスチール製である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 電磁石によって作動される2枚の板ばねを含む、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 各々が電磁石によって作動される3枚の板ばねを含む、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- リソグラフィ装置用の基板テーブルであって、
基板を保持するように構成された支持面と、
閉鎖部材を収納するように構成された容器と、
前記基板テーブル内に備えられ、前記容器の上方に位置する流体閉じ込め構造から前記容器へも、前記容器から前記流体閉じ込め構造へも前記閉鎖部材を移動可能に配置された移動機構と
を含み、
前記移動機構が電磁石によって作動される予圧縮応力を加えた板ばねを含み、前記板ばねは、応力のかかった状態で前記電磁石によって保持されており、前記電磁石がスイッチオフされると前記板ばねの復元力により前記閉鎖部材を持ち上げる、
基板テーブル。 - リソグラフィ装置であって、
基板を保持するように形成された基板テーブルと、
前記基板のターゲット部分にパターン形成された放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
前記投影システムと前記基板との間の空隙に少なくとも部分的に流体を満たすように構成され、前記空隙内に少なくとも部分的に前記流体を閉じ込めるように構成された流体閉じ込め構造を含む流体供給システムと、
前記基板又は前記基板テーブルがもはや前記流体閉じ込め構造に近接していない場合に流体を前記流体閉じ込め構造内に保持するように、前記流体閉じ込め構造を閉鎖するように構成された閉鎖部材と、
前記閉鎖部材を収容するように構成された、前記基板テーブル内の容器と、
前記基板テーブル内に備えられ、前記流体閉じ込め構造から前記容器へも、前記容器から前記流体閉じ込め構造へも前記閉鎖部材を移動可能に配置された移動機構と
を含み、
前記移動機構が電磁石によって作動される予圧縮応力を加えた板ばねを含み、前記板ばねは、応力のかかった状態で前記電磁石によって保持されており、前記電磁石がスイッチオフされると前記板ばねの復元力により前記閉鎖部材を持ち上げる、
リソグラフィ装置。 - 電磁石によって作動される2枚の板ばねを含む、請求項6に記載のリソグラフィ装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/986,184 US7583357B2 (en) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009099602A Division JP2009182337A (ja) | 2004-11-12 | 2009-04-16 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006140498A JP2006140498A (ja) | 2006-06-01 |
JP4496156B2 true JP4496156B2 (ja) | 2010-07-07 |
Family
ID=36385902
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005327405A Expired - Fee Related JP4496156B2 (ja) | 2004-11-12 | 2005-11-11 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2009099602A Ceased JP2009182337A (ja) | 2004-11-12 | 2009-04-16 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009099602A Ceased JP2009182337A (ja) | 2004-11-12 | 2009-04-16 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7583357B2 (ja) |
JP (2) | JP4496156B2 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG194264A1 (en) | 2003-04-11 | 2013-11-29 | Nikon Corp | Apparatus having an immersion fluid system configured to maintain immersion fluid in a gap adjacent an optical assembly |
TWI515769B (zh) | 2003-06-19 | 2016-01-01 | 尼康股份有限公司 | An exposure apparatus, an exposure method, and an element manufacturing method |
US7589822B2 (en) | 2004-02-02 | 2009-09-15 | Nikon Corporation | Stage drive method and stage unit, exposure apparatus, and device manufacturing method |
TWI654661B (zh) | 2004-11-18 | 2019-03-21 | 日商尼康股份有限公司 | 位置測量方法、位置控制方法、測量方法、裝載方法、曝光方法及曝光裝置、及元件製造方法 |
US7403261B2 (en) * | 2004-12-15 | 2008-07-22 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
USRE43576E1 (en) | 2005-04-08 | 2012-08-14 | Asml Netherlands B.V. | Dual stage lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR101388345B1 (ko) * | 2005-09-09 | 2014-04-22 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 노광 방법, 그리고 디바이스 제조 방법 |
US7755742B2 (en) * | 2005-10-11 | 2010-07-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus with mounted sensor |
US7420194B2 (en) | 2005-12-27 | 2008-09-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and substrate edge seal |
JP5089143B2 (ja) * | 2006-11-20 | 2012-12-05 | キヤノン株式会社 | 液浸露光装置 |
US8040490B2 (en) * | 2006-12-01 | 2011-10-18 | Nikon Corporation | Liquid immersion exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
US8013975B2 (en) * | 2006-12-01 | 2011-09-06 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
US20080138631A1 (en) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | International Business Machines Corporation | Method to reduce mechanical wear of immersion lithography apparatus |
US7728952B2 (en) * | 2007-01-25 | 2010-06-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method and system for closing plate take-over in immersion lithography |
US8237911B2 (en) * | 2007-03-15 | 2012-08-07 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for keeping immersion fluid adjacent to an optical assembly during wafer exchange in an immersion lithography machine |
US8154709B2 (en) * | 2007-10-10 | 2012-04-10 | Asml Netherlands B.V. | Method of placing a substrate, method of transferring a substrate, support system and lithographic projection apparatus |
NL1036040A1 (nl) * | 2007-10-10 | 2009-04-15 | Asml Netherlands Bv | Method of placing a substrate, method of transferring a substrate, support system and lithographic projection apparatus. |
NL1036033A1 (nl) * | 2007-10-10 | 2009-04-15 | Asml Netherlands Bv | Method of transferring a substrate, transfer system and lithographic projection apparatus. |
NL1036025A1 (nl) * | 2007-10-10 | 2009-04-15 | Asml Netherlands Bv | Method of transferring a substrate, transfer system and lithographic projection apparatus. |
US8451425B2 (en) * | 2007-12-28 | 2013-05-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, cleaning apparatus, and device manufacturing method |
EP2128703A1 (en) | 2008-05-28 | 2009-12-02 | ASML Netherlands BV | Lithographic Apparatus and a Method of Operating the Apparatus |
US8715518B2 (en) | 2011-10-12 | 2014-05-06 | Intermolecular, Inc. | Gas barrier with vent ring for protecting a surface region from liquid |
US9016289B2 (en) | 2011-11-28 | 2015-04-28 | Intermolecular, Inc. | System and method for reducing particles and marks on wafer surface following reactor processing |
US8883607B2 (en) | 2011-12-27 | 2014-11-11 | Intermolecular, Inc. | Full wafer processing by multiple passes through a combinatorial reactor |
CN105739245B (zh) * | 2014-12-12 | 2018-12-14 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种浸没光刻机浸没单元防碰撞装置及方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004289128A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-10-14 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2006024706A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Canon Inc | 露光装置、光学面の保護方法及びデバイス製造方法 |
JP2006100686A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
Family Cites Families (97)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE206607C (ja) | ||||
DE224448C (ja) | ||||
DE221563C (ja) | ||||
DE242880C (ja) | ||||
GB1242527A (en) * | 1967-10-20 | 1971-08-11 | Kodak Ltd | Optical instruments |
US3573975A (en) * | 1968-07-10 | 1971-04-06 | Ibm | Photochemical fabrication process |
EP0023231B1 (de) | 1979-07-27 | 1982-08-11 | Tabarelli, Werner, Dr. | Optisches Lithographieverfahren und Einrichtung zum Kopieren eines Musters auf eine Halbleiterscheibe |
FR2474708B1 (fr) | 1980-01-24 | 1987-02-20 | Dme | Procede de microphotolithographie a haute resolution de traits |
JPS5754317A (en) * | 1980-09-19 | 1982-03-31 | Hitachi Ltd | Method and device for forming pattern |
US4346164A (en) * | 1980-10-06 | 1982-08-24 | Werner Tabarelli | Photolithographic method for the manufacture of integrated circuits |
US4509852A (en) * | 1980-10-06 | 1985-04-09 | Werner Tabarelli | Apparatus for the photolithographic manufacture of integrated circuit elements |
US4390273A (en) * | 1981-02-17 | 1983-06-28 | Censor Patent-Und Versuchsanstalt | Projection mask as well as a method and apparatus for the embedding thereof and projection printing system |
JPS57153433A (en) * | 1981-03-18 | 1982-09-22 | Hitachi Ltd | Manufacturing device for semiconductor |
JPS58202448A (ja) | 1982-05-21 | 1983-11-25 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
US4861162A (en) * | 1985-05-16 | 1989-08-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Alignment of an object |
JPS6265326A (ja) | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
JPS62121417A (ja) | 1985-11-22 | 1987-06-02 | Hitachi Ltd | 液浸対物レンズ装置 |
JPS63157419A (ja) | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Toshiba Corp | 微細パタ−ン転写装置 |
JPH0831513B2 (ja) * | 1988-02-22 | 1996-03-27 | 株式会社ニコン | 基板の吸着装置 |
US5040020A (en) * | 1988-03-31 | 1991-08-13 | Cornell Research Foundation, Inc. | Self-aligned, high resolution resonant dielectric lithography |
JPH03209479A (ja) | 1989-09-06 | 1991-09-12 | Sanee Giken Kk | 露光方法 |
JPH04305915A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
JPH04305917A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
JPH06124873A (ja) | 1992-10-09 | 1994-05-06 | Canon Inc | 液浸式投影露光装置 |
JP2753930B2 (ja) * | 1992-11-27 | 1998-05-20 | キヤノン株式会社 | 液浸式投影露光装置 |
JP2520833B2 (ja) | 1992-12-21 | 1996-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 浸漬式の液処理装置 |
DE69404778T2 (de) * | 1993-07-16 | 1997-12-18 | Semiconductor Systems Inc | Thermische Behandlungsmodul für Beschichtungs/Entwicklungseinrichtung für Substrat |
US5537186A (en) * | 1993-08-03 | 1996-07-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Movable stage mechanism and exposure apparatus using the same |
JPH07220990A (ja) | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Hitachi Ltd | パターン形成方法及びその露光装置 |
US6225012B1 (en) * | 1994-02-22 | 2001-05-01 | Nikon Corporation | Method for positioning substrate |
JPH08316124A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-11-29 | Hitachi Ltd | 投影露光方法及び露光装置 |
JPH10107119A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Canon Inc | インライン処理システムおよびデバイス生産方法 |
US5923408A (en) * | 1996-01-31 | 1999-07-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate holding system and exposure apparatus using the same |
JPH10521A (ja) * | 1996-06-07 | 1998-01-06 | Nikon Corp | 支持装置 |
US6104687A (en) * | 1996-08-26 | 2000-08-15 | Digital Papyrus Corporation | Method and apparatus for coupling an optical lens to a disk through a coupling medium having a relatively high index of refraction |
US5825043A (en) * | 1996-10-07 | 1998-10-20 | Nikon Precision Inc. | Focusing and tilting adjustment system for lithography aligner, manufacturing apparatus or inspection apparatus |
JP3612920B2 (ja) | 1997-02-14 | 2005-01-26 | ソニー株式会社 | 光学記録媒体の原盤作製用露光装置 |
JPH10255319A (ja) | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Hitachi Maxell Ltd | 原盤露光装置及び方法 |
JPH10270535A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Nikon Corp | 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法 |
JP3747566B2 (ja) | 1997-04-23 | 2006-02-22 | 株式会社ニコン | 液浸型露光装置 |
JP3817836B2 (ja) | 1997-06-10 | 2006-09-06 | 株式会社ニコン | 露光装置及びその製造方法並びに露光方法及びデバイス製造方法 |
US5900354A (en) * | 1997-07-03 | 1999-05-04 | Batchelder; John Samuel | Method for optical inspection and lithography |
JPH11176727A (ja) | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
WO1999031717A1 (fr) | 1997-12-12 | 1999-06-24 | Nikon Corporation | Procede d'exposition par projection et graveur a projection |
WO1999049504A1 (fr) | 1998-03-26 | 1999-09-30 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'exposition par projection |
JP2000058436A (ja) | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 投影露光装置及び露光方法 |
US6305677B1 (en) * | 1999-03-30 | 2001-10-23 | Lam Research Corporation | Perimeter wafer lifting |
TWI242111B (en) * | 1999-04-19 | 2005-10-21 | Asml Netherlands Bv | Gas bearings for use in vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatus |
JP4504479B2 (ja) | 1999-09-21 | 2010-07-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用液浸対物レンズ |
JP2001230305A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Canon Inc | 支持装置 |
JP2001272604A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 液浸対物レンズおよびそれを用いた光学装置 |
JP2002009139A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Nikon Corp | 静電チャック |
TW591653B (en) * | 2000-08-08 | 2004-06-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Method of manufacturing an optically scannable information carrier |
KR100866818B1 (ko) * | 2000-12-11 | 2008-11-04 | 가부시키가이샤 니콘 | 투영광학계 및 이 투영광학계를 구비한 노광장치 |
US20020163629A1 (en) * | 2001-05-07 | 2002-11-07 | Michael Switkes | Methods and apparatus employing an index matching medium |
US6600547B2 (en) * | 2001-09-24 | 2003-07-29 | Nikon Corporation | Sliding seal |
TWI225665B (en) * | 2001-10-17 | 2004-12-21 | Canon Kk | Apparatus control system, apparatus control method, semiconductor exposure apparatus, semiconductor exposure apparatus control method and semiconductor device manufacturing method |
EP1446703A2 (en) * | 2001-11-07 | 2004-08-18 | Applied Materials, Inc. | Optical spot grid array printer |
DE10229818A1 (de) * | 2002-06-28 | 2004-01-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Fokusdetektion und Abbildungssystem mit Fokusdetektionssystem |
DE10210899A1 (de) | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Zeiss Carl Smt Ag | Refraktives Projektionsobjektiv für Immersions-Lithographie |
US6593995B1 (en) * | 2002-04-12 | 2003-07-15 | Xerox Corporation | Dual mode document scanner with variable platen level transition |
JP2005536775A (ja) | 2002-08-23 | 2005-12-02 | 株式会社ニコン | 投影光学系、フォトリソグラフィ方法および露光装置、並びに露光装置を用いた方法 |
US6788477B2 (en) * | 2002-10-22 | 2004-09-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus for method for immersion lithography |
SG135052A1 (en) | 2002-11-12 | 2007-09-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR100588124B1 (ko) | 2002-11-12 | 2006-06-09 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피장치 및 디바이스제조방법 |
CN101382738B (zh) | 2002-11-12 | 2011-01-12 | Asml荷兰有限公司 | 光刻投射装置 |
US7110081B2 (en) * | 2002-11-12 | 2006-09-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG121822A1 (en) | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG131766A1 (en) | 2002-11-18 | 2007-05-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE60319658T2 (de) | 2002-11-29 | 2009-04-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
DE10258718A1 (de) * | 2002-12-09 | 2004-06-24 | Carl Zeiss Smt Ag | Projektionsobjektiv, insbesondere für die Mikrolithographie, sowie Verfahren zur Abstimmung eines Projektionsobjektives |
US6992750B2 (en) | 2002-12-10 | 2006-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and method |
SG152063A1 (en) | 2002-12-10 | 2009-05-29 | Nikon Corp | Exposure apparatus and method for producing device |
TW200421444A (en) | 2002-12-10 | 2004-10-16 | Nippon Kogaku Kk | Optical device and projecting exposure apparatus using such optical device |
DE10257766A1 (de) | 2002-12-10 | 2004-07-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Einstellung einer gewünschten optischen Eigenschaft eines Projektionsobjektivs sowie mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage |
KR101101737B1 (ko) | 2002-12-10 | 2012-01-05 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 노광방법, 디바이스 제조방법 |
WO2004053952A1 (ja) | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2004053957A1 (ja) | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Nikon Corporation | 面位置検出装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
AU2003289237A1 (en) | 2002-12-10 | 2004-06-30 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method for manufacturing device |
AU2003302831A1 (en) | 2002-12-10 | 2004-06-30 | Nikon Corporation | Exposure method, exposure apparatus and method for manufacturing device |
KR20130010039A (ko) | 2002-12-10 | 2013-01-24 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
KR20120127755A (ko) | 2002-12-10 | 2012-11-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 디바이스 제조방법 |
JP4232449B2 (ja) | 2002-12-10 | 2009-03-04 | 株式会社ニコン | 露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP4352874B2 (ja) | 2002-12-10 | 2009-10-28 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
CN100370533C (zh) | 2002-12-13 | 2008-02-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于照射层的方法和用于将辐射导向层的装置 |
EP1732075A3 (en) | 2002-12-19 | 2007-02-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for irradiating spots on a layer |
EP1579435B1 (en) | 2002-12-19 | 2007-06-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for irradiating spots on a layer |
US6781670B2 (en) | 2002-12-30 | 2004-08-24 | Intel Corporation | Immersion lithography |
JP4604452B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2011-01-05 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
SG194264A1 (en) * | 2003-04-11 | 2013-11-29 | Nikon Corp | Apparatus having an immersion fluid system configured to maintain immersion fluid in a gap adjacent an optical assembly |
JP3862678B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2006-12-27 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US6954256B2 (en) * | 2003-08-29 | 2005-10-11 | Asml Netherlands B.V. | Gradient immersion lithography |
US7545481B2 (en) * | 2003-11-24 | 2009-06-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7394521B2 (en) * | 2003-12-23 | 2008-07-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7589818B2 (en) * | 2003-12-23 | 2009-09-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, alignment apparatus, device manufacturing method, and a method of converting an apparatus |
US7057702B2 (en) * | 2004-06-23 | 2006-06-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7119876B2 (en) * | 2004-10-18 | 2006-10-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2004
- 2004-11-12 US US10/986,184 patent/US7583357B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-11-11 JP JP2005327405A patent/JP4496156B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-04-16 JP JP2009099602A patent/JP2009182337A/ja not_active Ceased
- 2009-07-21 US US12/506,643 patent/US20090279064A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004289128A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-10-14 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2006024706A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Canon Inc | 露光装置、光学面の保護方法及びデバイス製造方法 |
JP2006100686A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006140498A (ja) | 2006-06-01 |
US7583357B2 (en) | 2009-09-01 |
JP2009182337A (ja) | 2009-08-13 |
US20060103820A1 (en) | 2006-05-18 |
US20090279064A1 (en) | 2009-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4496156B2 (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP5194050B2 (ja) | リソグラフィ装置 | |
JP4372095B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4643616B2 (ja) | リソグラフィ装置 | |
JP4346602B2 (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP5161293B2 (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP4383408B2 (ja) | リソグラフィ機器及びデバイスの製作方法 | |
JP2009295979A (ja) | 基板テーブル、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP2013118366A (ja) | サポート、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP5412399B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP5199982B2 (ja) | リソグラフィ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060919 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090416 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100309 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100406 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100412 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |