JP2006147622A - リードフレームの製造方法、リードフレーム - Google Patents
リードフレームの製造方法、リードフレーム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006147622A JP2006147622A JP2004331601A JP2004331601A JP2006147622A JP 2006147622 A JP2006147622 A JP 2006147622A JP 2004331601 A JP2004331601 A JP 2004331601A JP 2004331601 A JP2004331601 A JP 2004331601A JP 2006147622 A JP2006147622 A JP 2006147622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- groove
- lead
- semiconductor device
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/10251—Elemental semiconductors, i.e. Group IV
- H01L2924/10253—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体チップと、半導体チップと電気的に接続される複数のリードを有するリードフレームと、リードの一部を接続可能な外部端子として底面に露出させて、前記半導体チップと当該リードフレームとを樹脂封止する封止樹脂とを備えた半導体装置に用いられるリードフレームの製造方法において、リードに段差を形成し半導体装置として製造後にリードの一部を半導体装置の底面に露出させるように、リードフレーム材をプレスして溝を形成する溝形成工程(S1)を備える。
【選択図】 図5
Description
近年、LEDチップを備えた半導体装置も小型化・薄型化の要求は強く、特に、半導体チップ32がLEDチップである場合にQFNのようなノンリードタイプを採用したときには、小型化・薄型化の要求には応えられるものの、リードの露出部が少ないとリードからの放熱が少ない。そのため、LEDの発光による発熱により温度上昇し、投入電力を増やしても光出力が上がらず、発光効率が下がるという問題もあった。発光効率とは、入力エネルギーの可視光への変換等を光度測定から導き出されるLEDの性能評価の一つである。
請求項3に係る発明は、請求項1又は請求項2に記載のリードフレームの製造方法において、前記溝形成工程後、前記リードフレーム材の溝に対応する形状を有するガイドによって前記リードフレーム材の溝をガイドしながら前記リードフレーム材に前記溝を基準にして位置決めされた複数のパイロット孔を打ち抜き形成するパイロット孔形成工程を含むことを特徴とする。
図1は、図3のI−I部分における本実施形態の半導体装置1の断面図である。図1における上方を半導体装置1において上側とする。本実施形態の半導体装置1では、LEDであってSOP(Small Outline Package)のICパッケージを例に説明する。ここで言うSOPとは、パッケージの対向する二辺に外部入出力用のリードを並べた表面実装用のパッケージ方式であって、DIPのフラットタイプにあたる。図1に示すように、半導体装置1は、LEDチップ2とリードフレーム3と封止樹脂4とを備えて構成される。LEDチップ2は、IC回路が形成されているシリコンチップであって透過性接着材11によってリードフレーム3のリード5に固定されている。LEDチップ2の中央部には電極部(ボンディングパッド)12が設けられ、リードフレーム3(リード5)とAu、Alのボンディングワイヤー13(細線)で結線されている。封止樹脂4はこれらのLEDチップ2、リードフレーム3、ボンディングワイヤー13等を樹脂封止している透明な樹脂である。また、半導体装置1の下面及び側面下部の周囲には、リードフレーム3の一部が露出しており、下面露出部6及び側面露出部7が形成されている。これらの露出部6,7は外部端子として機能し、配線基板(図示略)にハンダにより実装される部分である。
図3は、図2に示すリードフレーム3のリード部8を拡大して示した図である。図3に示すように、リード部8は、4隅から概ね中央方向へ向けて集中するインナーリード(リード5)が複数形成されており、このインナーリード(リード5)上の所定位置にLEDチップ2が配置される。本実施形態では、図3に一点鎖線で示すように3つのLEDチップ2がインナーリード(リード5)上に配置されるようになっている。リード部8の下面には、図3において二点鎖線で示すように円形状にコイニングが施されている。これは、下面部分はボンディング面であって、ボンディングの精度を確保するためである。また、インナーリード(リード5)に連続して外側にはアウターリード9が延設されている。パッケージが完成すると、切断線CLで1つ1つの半導体装置1毎に切り離される。
ここで、半導体装置1に用いるリードフレーム3の製造方法について説明する。図5は、リードフレーム3の製造方法を説明するフローチャートである。リードフレーム3は、概ね、金属条材全体を圧延又はプレスして溝14を形成する溝形成工程(ステップ1(以下、ステップを「S」と略す。))、メッキ処理工程(S2)、パイロット孔形成工程(S3)、エッジ形成工程(S4)、パターン形成工程(S5)の各工程を経て製造される。本実施形態では、メッキ処理(S2)の前に、まず金属条材全体をプレスして溝を形成する溝形成工程(S1)を施しており、この溝形成工程(S1)は本発明の要部であるため、次に詳しく述べる。なお、必要に応じて、リードフレーム3の洗浄工程が行われることになる。
(1)溝形成工程(S1)を採用することで、容易にリード5に段差を形成し、それにより露出面(下面露出部6、側面露出部7)を大きくとることができるため、高い発光効率でLEDの発光による発熱をこの露出部6,7から効果的に放熱することができる。また、側面露出部7において従来(図11におけるリード37)と比較すると、厚み(上下高さ)を厚く確保できるため、熱伝導も良い。
・上記実施形態では、リードフレーム材としての金属条材は銅条を例に挙げているが、これに限定されるものではなく、鉄材やステンレス材等を用いてもよい。
Claims (7)
- 半導体チップと、
当該半導体チップと電気的に接続される複数のリードを有するリードフレームと、
前記リードの一部を接続可能な外部端子として底面に露出させて、前記半導体チップと当該リードフレームとを樹脂封止する封止樹脂と
を備えた半導体装置に用いられるリードフレームの製造方法であって、
金属板からなるリードフレーム材をプレスで打ち抜き、リードフレームの形状を形成するパターン形成工程の前に、
前記半導体装置において前記リードの一部のみを前記半導体装置の底面に露出させるように、前記リードフレーム材の前記リードの他の一部に予め溝形状の段差を形成する溝形成工程を含むことを特徴とするリードフレームの製造方法。 - 前記溝形成工程は、凹凸に形成された段付部材による圧延加工であることを特徴とする請求項1に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記溝形成工程後、前記リードフレーム材の溝に対応する形状を有するガイドによって前記リードフレーム材の溝をガイドしながら前記リードフレーム材に前記溝を基準にして位置決めされた複数のパイロット孔を打ち抜き形成するパイロット孔形成工程を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記パイロット孔形成工程後、前記パイロット孔を基準にして位置決めされた寸法の位置基準となるエッジを前記半導体装置として製造後に前記溝の前記半導体装置の底面側となる両角をプレスして形成するエッジ形成工程を含むことを特徴とする請求項3に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記パターン形成工程では、前記リードフレーム材の溝の段差形状に対応した形状を有する段付きの段付パンチ若しくは段付ダイによってパターンが打ち抜き形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記リードフレームはLED用のリードフレームであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のリードフレームの製造方法。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の製造方法によって製造されたリードフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004331601A JP3999780B2 (ja) | 2004-11-16 | 2004-11-16 | リードフレームの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004331601A JP3999780B2 (ja) | 2004-11-16 | 2004-11-16 | リードフレームの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006147622A true JP2006147622A (ja) | 2006-06-08 |
JP3999780B2 JP3999780B2 (ja) | 2007-10-31 |
Family
ID=36626992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004331601A Expired - Fee Related JP3999780B2 (ja) | 2004-11-16 | 2004-11-16 | リードフレームの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3999780B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008300386A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Iwatani Internatl Corp | 半導体発光装置 |
JP2010045265A (ja) * | 2008-08-15 | 2010-02-25 | Techwin Opto-Electronics Co Ltd | Ledリードフレームの製造方法 |
JP2011176270A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | Ledパッケージ |
JP2011176364A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | Ledパッケージ |
JP2012004596A (ja) * | 2010-01-29 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | Ledパッケージ及びその製造方法 |
JP2012129219A (ja) * | 2010-12-11 | 2012-07-05 | Angel Kogyo Kk | 被覆ダイオードと太陽電池モジュール用端子ボックス |
US8378347B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-02-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package |
US8487418B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-07-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package |
US8497521B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-07-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package |
WO2013161295A1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-10-31 | パナソニック株式会社 | Ledパッケージおよびled発光素子 |
US8637892B2 (en) | 2010-01-29 | 2014-01-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package and method for manufacturing same |
JP2014225511A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | ローム株式会社 | Ledモジュールおよびledモジュールの製造方法 |
-
2004
- 2004-11-16 JP JP2004331601A patent/JP3999780B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008300386A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Iwatani Internatl Corp | 半導体発光装置 |
JP2010045265A (ja) * | 2008-08-15 | 2010-02-25 | Techwin Opto-Electronics Co Ltd | Ledリードフレームの製造方法 |
JP4531830B2 (ja) * | 2008-08-15 | 2010-08-25 | 特新光電科技股▲分▼有限公司 | Ledリードフレームの製造方法 |
US8637892B2 (en) | 2010-01-29 | 2014-01-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package and method for manufacturing same |
JP2011176270A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | Ledパッケージ |
JP2011176364A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | Ledパッケージ |
JP2011205124A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-10-13 | Toshiba Corp | Ledパッケージ |
JP2012004596A (ja) * | 2010-01-29 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | Ledパッケージ及びその製造方法 |
JP2012074732A (ja) * | 2010-01-29 | 2012-04-12 | Toshiba Corp | Ledパッケージ |
US8378347B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-02-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package |
US8487418B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-07-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package |
US8497521B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-07-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | LED package |
JP2012129219A (ja) * | 2010-12-11 | 2012-07-05 | Angel Kogyo Kk | 被覆ダイオードと太陽電池モジュール用端子ボックス |
JP2013229395A (ja) * | 2012-04-24 | 2013-11-07 | Panasonic Corp | Ledパッケージおよびled発光素子 |
WO2013161295A1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-10-31 | パナソニック株式会社 | Ledパッケージおよびled発光素子 |
JP2014225511A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | ローム株式会社 | Ledモジュールおよびledモジュールの製造方法 |
US9865585B2 (en) | 2013-05-15 | 2018-01-09 | Rohm Co., Ltd. | LED module and method of manufacturing the same |
US10074645B2 (en) | 2013-05-15 | 2018-09-11 | Rohm Co., Ltd. | LED module and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3999780B2 (ja) | 2007-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8102035B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device | |
US9018745B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device | |
US8184453B1 (en) | Increased capacity semiconductor package | |
US8659146B2 (en) | Lead frame based, over-molded semiconductor package with integrated through hole technology (THT) heat spreader pin(s) and associated method of manufacturing | |
US20080311705A1 (en) | Lead frame and method for fabricating semiconductor package employing the same | |
JP5232394B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3999780B2 (ja) | リードフレームの製造方法 | |
JP2003332513A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US6642082B2 (en) | Method for manufacturing a resin-sealed semiconductor device | |
JP2013239740A (ja) | 半導体装置 | |
US20210265214A1 (en) | Methods and apparatus for an improved integrated circuit package | |
US8999761B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2009038145A (ja) | リード端子型半導体装置 | |
US20220208660A1 (en) | Electronic package with surface contact wire extensions | |
JP4455208B2 (ja) | リードフレーム及び半導体装置の製造方法 | |
JP2015153987A (ja) | モールドパッケージ | |
JP4031005B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007150044A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008235557A (ja) | リードフレームおよび半導体装置 | |
JP4455166B2 (ja) | リードフレーム | |
JP2001135767A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2007294637A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004200719A (ja) | 半導体装置 | |
JP2006216979A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008205347A (ja) | 樹脂封止型電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061107 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070330 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070731 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |