JP2006144677A - 吐出・エア抜き一体バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体の流れを連通または遮断する吐出バルブ20と、エア抜き用のエア抜きバルブ30とが一体として取り付けられるブロック15であって、吐出バルブ20の下部に形成されたポンプ側接続ポート11と、エア抜きバルブ30の入力ポートとを連通するエア連通路13と、エア抜きバルブ30の上部に形成されたエア抜きポート14とを備える一体ブロック15を有する。
【選択図】 図1
Description
例えば、経路の途中でエア抜きを行う方法として、実開平5−60061号公報(以下、特許文献1とする)等がある。
特許文献1には、ポンプのエアロックを防ぐ目的で、流体の状態を監視し、ポンプヘッドの吐出口側の配管系に設置された、エア抜き電磁弁を自動的に開閉制御し、自動的にエア抜きが行われる自動エア抜き装置について開示されている。
図5は、特許文献1に係る定量ポンプの自動エア抜き装置のシステム構成を概略的に示しており、図中のポンプ本体101はポンプヘッド102を備えてなるとともに、このポンプヘッド102は、吸込口103と吐出口104とを有する。
ポンプヘッド102の吐出口104側の吐出口側配管系105には、流体の流れを検知して信号を出力するフローチェッカ106の上流側とポンプヘッド102の吐出口104の下流側との間配管系には、図示しないエア抜き口に接続されたエア抜き電磁弁107が設置されている。
また、ポンプ本体101内には、コントローラ部110が設置されていて、このコントローラ部110は、ポンプの駆動状態及び流体の吐出状態を検出して駆動信号を出力するポンプ検出手段111と、このポンプ検出手段111による出力信号とを比較する信号比較手段112を備えている。
なお、エア抜き電磁弁107の構造についても特に触れられておらず、エア抜き電磁弁107と図示しないエア抜き口との関係についても開示も示唆もされていない。
一方、エア抜き口について詳細に開示されているのが、実公平7−21909号公報(以下、特許文献2とする)であり、図6でその全体図を、図7でその断面詳細図を示して説明する。
このポンプ本体201は、先端部側にポンプ部を構成するポンプヘッド202を備え、このポンプヘッド202は、ボールバルブ203、204を介して吸込口205と吐出口206とを有する。
また、ポンプヘッド202内のポンプ室207には、ダイアフラム208が設けられていて、このダイアフラム208は、後述する動力伝達手段により往復動する駆動軸部(プランジャ)209の先端部に連結されているとともに、この駆動軸部209は、リタ−ンスプリング210によって軸方向の後方に向け付勢されている。
この駆動軸部209は、ダイアフラム208をポンピング動作させてなるもので、このダイアフラム208によるポンピング動作で吸込口205から流入させたポンプ給送流体を吐出口206より定量ずつ吐出させるようになっているものである。
そして、このようなポンプ給送流体の吐出量は、駆動軸部209のストロ−ク量に対応するものであり、このストロ−ク量の調整は、駆動軸部209の往復運動範囲を規制する後述するポンプ本体201の後面部側に取り付けた調整ダイヤルによる調整手段によって行われるようになっている。
この調整ネジ部214は、ポンプ本体201の後端側に螺合されて、その回転移動によりプランジャコア213を軸方向に移動調整することにより、駆動軸部209のストロ−ク長を調整するようになっているもので、その中心軸部には、第1のボルト挿通孔215が形成されているとともに、このボルト挿通孔215の前端側には、ナット216が配置固定されている。
また、この調整ダイヤル218の中心軸部には、調整ネジ部214に設けた第1のボルト挿通孔215と軸方向に対応して連通する第2のボルト挿通孔220が形成されていて、この第2のボルト挿通孔220には、ボルト221が外側から挿入され、このボルト221は、前記第1のボルト挿通孔215を介してナット216に螺合させることにより、調整ネジ部214と調整ダイヤル218とを一体的に締結し固定してなるものである。
なお、調整ダイヤル218の外端面に嵌着されたキャップ222は、ボルト221の露出を隠蔽してなるものである。
すなわち、このエア抜き装置230は、ロックナット271の開放方向Xの回動操作にて、第1の弁体241の外側上端面241aと第2の弁体261の内側上端面261aとの間の当接面間に、エア抜き口262と連通する間隙aを形成することにより、微少流量を送る際に、例えばポンプヘッド202内に高圧が掛かって空気が溜り、流体の流量が少なくなった場合に、ポンプヘッド202内のエア抜きを可能にしてなるものである。
特許文献1においては、気泡を集めて排出する工夫が開示されていないので、ポンプ本体101を動かしたまま、2次側に液体を供給しつつ、エア抜き電磁弁107を開放してエア抜きをするとは考えにくい。そういった方法は液体中に派生した細かな気泡に対してのエア抜きに有効ではないし、ポンプ本体101に定量ポンプを採用しているにもかかわらず、2次側への供給量がコントロールできないのでは、本末転倒となる。従って、2次側供給口には別途開閉弁が設けられ、エア抜きの際には、その開閉弁を閉めた後、エア抜き電磁弁107を開放してポンプ本体101を動かし、液体ごとエア抜きをする構造であると考えられる。
また、エア抜き電磁弁107とポンプ本体101等の相対位置に関する具体的開示も無いので、それらの相対位置に関しても想定するしかない。
上記より、エア抜き電磁弁107がポンプ本体101より離れている場合には、エア抜きする際に、2次側供給口の開閉弁を閉じてエア抜き電磁弁107を開放し、一定時間ポンプ本体101を稼動させてエアの混じった液を排出する。しかし、内部を流す液体は、高価なものも多く、また、液体によっては空気に触れることによって、酸化等の変質をして、再使用できなくなるものもあるので、大量に排出する事は好ましくない。
さらに、エア抜き電磁弁107がポンプ本体101に近く、2次側供給位置にも近い場合には、上記の問題の他、ポンプのそばに配置する必要があるのでその分のスペースを占有する。特に、半導体工程のような小型化が要求される場合には、大きな問題となる。
一方、特許文献2においては、手動でのエア抜きなので、基本的には自動工程に向かない。また、定期的にエア抜きをするのが容易である場合でも、ポンプに対して上側に送液するのに対し、エア抜き口が横になるので、エアの抜けが悪くエアが抜ける前に2次側の配管内部に入ってしまう可能性が高いと思われる。
本発明は、そうした問題点を解決するためになされたものであり、配管内を流れる液体に含まれる気泡を2次側に供給する前に排除することを目的とする。
(1)流体の流れを連通または遮断する流体用バルブと、エア抜き用のエア抜きバルブとが一体として取り付けられるブロックであって、前記流体用バルブの下部に形成された入力ポートと、前記エア抜きバルブの入力ポートとを連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの上部に形成されたエア抜きポートとを備える一体ブロックを有することを特徴とする。
(2)(1)に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブの上部に前記エア抜きバルブを配置し、前記流体用バルブの有する前記入力ポートと、前記流体用バルブと、前記エア抜きバルブとが連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの有する前記エア抜きポートとが、直線上に設けられたことを特徴とする。
(3)(1)または(2)に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブが、第1ダイアフラム弁体と第1弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブが有する出力ポートを前記第1弁座側に設け、前記第1ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第1弁座に当接させ、前記出力ポートを塞ぐことを特徴とする。
(4)請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記エア抜きバルブが、第2ダイアフラム弁体と、第2弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブと連通する前記エア連通路を前記第2弁座側に設け、前記第2ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第2弁座に当接させ、前記エア連通路を塞ぐことを特徴とする。
本発明の吐出・エア抜き一体バルブにおいては、
(1)流体の流れを連通または遮断する流体用バルブと、エア抜き用のエア抜きバルブとが一体として取り付けられるブロックであって、前記流体用バルブの下部に形成された入力ポートと、前記エア抜きバルブの入力ポートとを連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの上部に形成されたエア抜きポートとを備える一体ブロックを有することを特徴とするので、流体用バルブが開の状態で液体に混入した気泡がエア抜きバルブ側に抜け易いという優れた効果を奏する。
(2)(1)に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブの上部に前記エア抜きバルブを配置し、前記流体用バルブの有する前記入力ポートと、前記流体用バルブと、前記エア抜きバルブとが連通するエア連通路と、前記エア抜きバルブの有する前記エア抜きポートとが、直線上に設けられたことを特徴とするので、エア抜きバルブが開の状態で、気泡が抜け易いという優れた効果を奏する。
(3)(1)または(2)に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記流体用バルブが、第1ダイアフラム弁体と第1弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブが有する出力ポートを前記第1弁座側に設け、前記第1ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第1弁座に当接させ、前記出力ポートを塞ぐことを特徴とするので、流体用バルブの開閉時、ダイアフラム膜部の挙動による吐出量の変動が少なくなるという優れた効果を奏する。
(4)(1)乃至(3)のいずれか1つに記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、前記エア抜きバルブが、第2ダイアフラム弁体と、第2弁座を有するダイアフラムバルブであって、前記流体用バルブと連通する前記エア連通路を前記第2弁座側に設け、前記第2ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第2弁座に当接させ、前記エア連通路を塞ぐことを特徴とするので、エア抜きバルブの開閉時、出力側への液の押し出しが減るという優れた効果を奏する。
図1は吐出・エア抜き一体バルブの正面図であり、内部流路が分かるように部分断面図にしてある。
図2は図1のAA断面を表した図であり、吐出バルブの側面断面図である。
図3は図1のBB断面を示した図であり、エア抜きバルブの側面断面図である。
まず、図1の説明から行う。
図1に示される吐出・エア抜き一体バルブ10は、ポンプ側からの流体の流れを連通または遮断して2次側に液体を供給する流体用バルブ(以後、吐出バルブ20とう)と、エア抜き用のエア抜きバルブ30とが、一体として取り付けられるブロック15を有している。
吐出バルブ20は、吐出バルブ20の下部に形成されたポンプ側からのレジスト40の供給を受ける入力ポート(以後、ポンプ側接続ポート11という)と、吐出ポート12と、エア連通路13を有し、吐出バルブ20の第1ダイアフラム弁体24と第1弁座23で形成されるスペース(以降、吐出スペース25とする)を介して、第1ダイアフラム弁体24が開状態で、ポンプ側接続ポート11と、吐出ポート12と、エア連通路13が連通している。
なお、吐出バルブ20、エア抜きバルブ30のアクチュエータ部分はポリフェニレンサルファイド(以下、PPSという)等の耐食性の良い材質を使用している。また、第1ダイアフラム弁体24、第2ダイアフラム弁体34には四フッ化エチレン樹脂(以下、PTFEとする)等の耐食性の良い材料を使用している。
吐出バルブ20とエア抜きバルブ30を備えるブロック15は、ポンプ側接続ポート11と吐出ポート12とエア連通路13とエア抜きポート14を切削加工等によって流路として備え、ポンプ側接続ポート11と、エア連通路13とエア抜きポート14は直線上に並ぶように配置される。ブロック15の材質は通常PTFEやステンレス等、耐食性、耐薬品性の良い材質を使用している。
このうち、吐出バルブ20の備える2次側への出力ポート(以下、吐出ポート12という)は第1弁座23側に設けられ、第1ダイアフラム弁体24が駆動することによって、第1弁座23に当接させ、吐出ポート12を塞ぐ。
その第1ダイアフラム弁体24はエア駆動によって動き、図2に示される第1操作ポート21に図示しない継ぎ手が取り付けられ、エアホースを介して電磁弁と接続し、第1操作ポート21にエアが供給されることによって、第1ダイアフラム弁体24が図面右方向に動き、第1ダイアフラム弁体24と第1弁座23の間の隙間ができる。また、それによって第1バネ26が収縮する。この状態が、バルブ開の状態になる。
一方、第1操作ポート21へのエアの供給が停止すると、第1ダイアフラム弁体24は図面左方向に動き、第1ダイアフラム弁体24と第1弁座23が密着する。その結果、吐出ポート12が第1ダイアフラム弁体24によって塞がれる。また、それによって第1バネ26は元の状態に戻る。この状態が、バルブ閉の状態になる。なお、通常エアを供給しない状態では、第1バネ26の働きによって、バルブ閉の状態になっている。
第2ダイアフラム弁体34はエア駆動によって動き、図3に示される第2操作ポート31に図示しない継ぎ手が取り付けられ、エアホースを介して電磁弁と接続し、第2操作ポート31にエアが供給されることによって、第2ダイアフラム弁体34が図面右方向に動き、第2ダイアフラム弁体34と第2弁座33の間の隙間ができる。また、それによって第2バネ36が収縮する。この状態がバルブ開の状態になる。
一方、第2操作ポート31へのエアの供給が停止すると、第2ダイアフラム弁体34は図面左方向に動き、第2ダイアフラム弁体34と第2弁座33が密着する。その結果、エア連通路13が第2ダイアフラム弁体34によって塞がれる。また、それによって第2バネ36は元の状態に戻る。この状態が、バルブ閉の状態になっている。
また、吐出ポート接続継ぎ手12aにもPFAチューブ42が接続され、2次側にレジスト40を供給する。
また、エア抜きポート継ぎ手14aにもPFAチューブ42が接続され、気泡41の混じったレジスト40を排出する。
エア抜き一体バルブ10の有する吐出バルブ20とエア抜きバルブ30の動作は、図示しないポンプから供給されるレジスト40を吐出ポート12側に供給するときは、吐出バルブ20はバルブ開の状態に、エア抜きバルブ30はバルブ閉の状態になっている。
この時、ポンプ側接続ポート11と、吐出ポート12と、エア連通路13は連通しているので、ポンプ側接続ポート11に接続される図示しない配管からレジスト40が供給されると、吐出スペース25を介して吐出ポート12にレジスト40が供給される。
同時に、吐出スペース25はエア連通路13にも連通しているので、図示しないポンプからの圧力がかかった状態のレジスト40が供給される。この時、図4の拡大図に示すように、レジスト40内に気泡41が混ざっていれば、気泡41はレジスト40よりも軽く浮力があるので、気泡41は吐出スペース25の上側に集まってゆく。そして、上側に配置されたエア連通路13へ気泡41が抜けて、エア連通路13内上部に溜まることになる。
そして、一定時間、吐出バルブ20をバルブ開の状態にしてレジスト40を2次側に供給した後、吐出バルブ20バルブ閉の状態にして、供給を止める。
供給停止時にも、レジスト40内に混入する気泡41があれば、吐出スペース25の上のほうに集まってゆく。
エア連通路13内に滞在するレジスト40は、その上部にあるエア抜きバルブ30側に気泡41が集まった状態にあり、かつ、図示しないポンプの圧力がかかった状態である。また、エア抜きポート14内部は大気圧であるので、エア抜きバルブ30をバルブ開の状態にすると、気泡41とレジスト40は一緒になってエア抜きスペース35を通りエア抜きポート14側に押し出される。エア抜きポート14はエア抜きバルブ30の上部に設けられ、気泡41は浮力があるので、レジスト40と一緒になった気泡41は上側のエア抜きポート14に抜けてゆく。
一定時間後、エア抜きバルブ30をバルブ閉の状態にして、供給を再開する。このような動作をすることでレジスト40内の気泡41は、エア抜きポート14側に排出され、吐出ポート12側に持ち込まれることを防ぐ事ができる。
(1)流体の流れを連通または遮断する吐出バルブ20と、エア抜き用のエア抜きバルブ30とが一体として取り付けられるブロック15であって、吐出バルブ20の下部に形成されたポンプ側接続ポート11と、エア抜きバルブ30の入力ポートとを連通するエア連通路13と、エア抜きバルブ30の上部に形成されたエア抜きポート14とを備える一体のブロック15を有することを特徴とするので、吐出バルブ20が開の状態で液体に混入した気泡41がエア抜きバルブ30側に抜け易いという優れた効果を奏する。
(2)(1)に記載する吐出・エア抜き一体バルブ10において、吐出バルブ20の上部にエア抜きバルブ30を配置し、吐出バルブ20の有するポンプ側接続ポート11と、吐出バルブ20と、エア抜きバルブ30とが連通するエア連通路13と、エア抜きバルブ30の有するエア抜きポート14とが、直線上に設けられたことを特徴とするので、エア抜きバルブ30が開の状態で、気泡41が抜け易いという優れた効果を奏する。
(3)(1)または(2)に記載する吐出・エア抜き一体バルブ10において、吐出バルブ20が、第1ダイアフラム弁体24と第1弁座23を有するダイアフラムバルブであって、吐出バルブ20が有する吐出ポート12を第1弁座23側に設け、第1ダイアフラム弁体24が駆動することによって第1弁座23に当接させ、吐出ポート12を塞ぐことを特徴とするので、吐出バルブ20の開閉時、ダイアフラム膜部の挙動による吐出量の変動が少なくなるという優れた効果を奏する。
(4)(1)乃至(3)のいずれか1つに記載する吐出・エア抜き一体バルブ10において、エア抜きバルブ30が、第2ダイアフラム弁体34と、第2弁座33を有するダイアフラムバルブであって、吐出バルブ20と連通するエア連通路13を前記第2弁座33側に設け、第2ダイアフラム弁体34が駆動することによって第2弁座33に当接させ、エア連通路13を塞ぐことを特徴とするので、エア抜きバルブ30の開閉時、吐出側への液の押し出しが減るという優れた効果を奏する。
例えば、エア抜き一体バルブ10は半導体製造工程で使用し、エア抜き一体バルブ10内部を通過させる液体をレジスト40としているが、本発明はそれに限定するものではない。
また、ポンプ側接続ポート継ぎ手11a、吐出ポート接続継ぎ手12a、エア抜きポート継ぎ手14a、はPFAチューブ用継ぎ手の絵が描かれているが、エア抜き一体バルブ10に接続する手段であれば良いので、例えばフランジ接続にしたり、PTネジを切って継ぎ手を取り付けるようにしたりしてもかまわない。
また、第1操作ポート21、第2操作ポート22はPTネジを切って継ぎ手を取り付けるようにしているが、直接継ぎ手を設けてもかまわない。
また、文中、ブロック15や、吐出バルブ20やエア抜きバルブ30の材質にPTFE、PPS等の耐食性の良い材質を用いていると説明し、接続するチューブをPFAチューブ42と説明しているが、使用する液体によって接液部の材質や、チューブの材質を選択し、使用雰囲気によってボディ等の材質を選択するのは、当業者であれば当然であるので、ボディに他の材質を用いたり、他の材質のチューブや固定配管にしたりすることを妨げない。
11 ポンプ側接続ポート
11a ポンプ側接続ポート継ぎ手
12 吐出ポート
12a 吐出ポート接続継ぎ手
13 エア連通路
14 エア抜きポート
14a エア抜きポート継ぎ手
20 吐出バルブ
21 第1操作ポート
23 第1弁座
24 第1ダイアフラム
25 吐出スペース
26 第1バネ
30 エア抜きバルブ
31 第2操作ポート
33 第2弁座
34 第2ダイアフラムバルブ
35 エア抜きスペース
36 第2バネ
40 レジスト
41 気泡
42 PFAチューブ
Claims (4)
- 流体の流れを連通または遮断する流体用バルブと、エア抜き用のエア抜きバルブとが一体として取り付けられるブロックであって、
前記流体用バルブの下部に形成された入力ポートと、前記エア抜きバルブの入力ポートとを連通するエア連通路と、
前記エア抜きバルブの上部に形成されたエア抜きポートとを備える一体ブロックを有することを特徴とする吐出・エア抜き一体バルブ。 - 請求項1に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、
前記流体用バルブの上部に前記エア抜きバルブを配置し、
前記流体用バルブの有する前記入力ポートと、
前記流体用バルブと、前記エア抜きバルブとが連通するエア連通路と、
前記エア抜きバルブの有する前記エア抜きポートとが、直線上に設けられたことを特徴とする吐出・エア抜き一体バルブ。 - 請求項1または請求項2に記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、
前記流体用バルブが、第1ダイアフラム弁体と第1弁座を有するダイアフラムバルブであって、
前記流体用バルブが有する出力ポートを前記第1弁座側に設け、前記第1ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第1弁座に当接させ、前記出力ポートを塞ぐことを特徴とする吐出・エア抜き一体バルブ。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載する吐出・エア抜き一体バルブにおいて、
前記エア抜きバルブが、第2ダイアフラム弁体と、第2弁座を有するダイアフラムバルブであって、
前記流体用バルブと連通する前記エア連通路を前記第2弁座側に設け、前記第2ダイアフラム弁体が駆動することによって前記第2弁座に当接させ、前記エア連通路を塞ぐことを特徴とする吐出・エア抜き一体バルブ。
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