JP2006134967A - 半導体層の組成制御方法 - Google Patents

半導体層の組成制御方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006134967A
JP2006134967A JP2004319930A JP2004319930A JP2006134967A JP 2006134967 A JP2006134967 A JP 2006134967A JP 2004319930 A JP2004319930 A JP 2004319930A JP 2004319930 A JP2004319930 A JP 2004319930A JP 2006134967 A JP2006134967 A JP 2006134967A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
amount
semiconductor layer
material gas
deposit
supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004319930A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuaki Sasaki
和明 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2004319930A priority Critical patent/JP2006134967A/ja
Publication of JP2006134967A publication Critical patent/JP2006134967A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Led Devices (AREA)

Abstract

【課題】Inを化合物半導体層の良好な組成制御を行える半導体層の組成制御方法を提供する。
【解決手段】有機金属気相成長装置を用いて、Inを含む材料ガスをGaAs基板11に供給することにより、Inを含む化合物半導体層をGaAs基板11上に形成する際に、材料ガスによってサセプタ1の中央部に堆積した堆積物の量を求め、求められた堆積物の量に応じて、材料ガスが含むInの供給量を変更する。
【選択図】図1A

Description

本発明は半導体層の組成制御方法に関する。
近年、化合物半導体を用いた電子デバイス、発光デバイスが様々な用途に用いられている。特に、可視光域で発光するLED(発光ダイオード)が注目されており、屋内外の表示デバイスとして普及している。
可視光域で発光するLEDとしては、AlGaInP系材料で構成されたLEDが知られており、例えば特許第3376809号公報(特許文献1)に記載された構成の有機金属気相成長装置で量産されるものがある。
図1Aに、上記特許文献1の有機金属気相成長装置に類似する従来の有機金属気相成長装置の要部の模式断面図を示す。また、図1Bに、上記従来の有機金属気相成長装置のサセプタの模式平面図を示す。
上記従来の有機金属気相成長装置では、図1Aに示すように、n−GaAs基板11を搭載するカーボン製のサセプタ1がチャンバ5内に配置され、サセプタ1の中央部の上方に材料ガス導入口2が設けられ、サセプタ1の下方にIR(赤外)ランプなどの加熱機構3が設置されている。また、上記基板11は、図1Bに示すように、サセプタ1上に同心円状に配置されたカーボン製のディスク4(図1Aでは図示を省略)の上に置かれており、材料ガス導入口2からチャンバ5内に吹き出したガスはサセプタ1の中央部上から径方向外側に向かって流れる。
詳述はしないが、上記従来の有機金属気相成長装置には、ディスク4を公転かつ自転させることができる機構が設けられている。また、図1Aでは、材料ガス導入口2に繋がるシリンダや、このシリンダの温度を制御する恒温槽などの図示を省略している。
図2に、上記従来の有機金属気相成長装置で作られるLEDの模式断面図を示す。
上記LEDは、n−GaAs基板11上に、n−AlInPクラッド層12(厚さ0.75μm、Siドープ:5×1017cm-3)、(A1xGa1-xyIn1-yP活性層13(厚さ0.5μm、0<x<1、0<y<1)、p−AlInPクラッド層14(厚さ0.75μm、Znドープ:5×1017cm-3)、p−AlGaAs電流拡散層15(厚さ6μm、Znドープ:3×1018cm-3)がこの順で積層されている。
上記クラッド層12から電流拡散層15までのトータル厚は8μmである。
上記LEDの層は、TMG(トリメチルガリウム)、TMA(トリメチルアルミニウム)、TMI(トリメチルインジウム)、DEZ(ジエチルジンク)などの有機金属と、アルシン(AsH3)、ホスフィン(PH3)などのハイドライドガスとを用いて成長される。その際、発光波長、すなわち活性層の組成はTMG、TMAおよびTMIの供給流量で決まる。
例えば発光波長570nmのLEDを得る場合、活性層13の組成比は概ねx=0.4、y=0.5であり、活性層13の成長条件は条件出しの結果、下記となった。
TMG:バブリング流量7.0ccm、恒温槽制御圧力0.1MPa、制御温度5.0℃
TMA:バブリング流量39.6ccm、恒温槽制御圧力0.1MPa、制御温度17.0℃
TMI:バブリング流量320.9ccm、恒温槽制御圧力0.025MPa、制御温度17.0℃
PH3:1000ccm
しかしながら、上記条件で発光波長570nmが得られるのは、図1A,図1Bの有機金属気相成長装置を用いて基板上換算でトータル成膜厚が25μm以上160μm以下の間だけである。つまり、一度も成膜に用いられていないサセプタ1を用いて図2のLEDを繰り返し形成して行くとき、3回目〜20回目に作製したLEDだけが発光波長570nmとなる。このとき、全く成膜を行っていない成膜を行っていないサセプタ1を用いて作製したLED、つまり、1回目に作製したLEDは、発光波長が564nmとねらいから6nmも短くなる。また、上記トータル成膜厚が200μmとなるLED、つまり、25回目に作製したLEDは、発光波長が575nmとねらいから5nm長くなった。
発光波長のねらいが570nmの場合、発光波長がねらいから2nmずれると見え方が微妙に異なり違和感が生じることが指摘されている。したがって、発光波長の制御性は、ねらいの発光波長に対して−1nm以上+1以下であることが必要で、願わくば、ねらいの発光波長に対して−0.5nm以上+0.5以下であることが望まれている。
発光波長が566nmになったウエハをX線回折装置で調べたところ、GaAs基板11に対する活性層13の格子整合率は−0.04%であった。この格子整合率は、通常の場合(発光波長570nmが得られる場合)が0.20%であるのに比べてInが少ない方向にずれている。発光波長が574nmになったウエハをX線回折装置で調べたところ、GaAs基板11に対する格子整合率は0.40%であった。この格子整合率は、通常の場合(発光波長570nmが得られる場合)が0.20%であるのに比べてInが多い方向にずれている。
また、上記サセプタ1の中央部(基板11のガス上流側部)の表面に堆積した堆積物の表面を削り取って組成分析を行ったところ、1回目のLEDを作製した直後では、Inの量がGaとAlの合計量に比べて1.5倍程度多いことが分かった。この分析の結果より、上記サセプタ1の中央部でInが予想以上に消費されたため、成膜内のIn取り込み量が減り、発光波長が短くなったものと判断した。
また、上記トータル成膜厚が200μm以上の場合、上記堆積物では、Inの量がGaとAlの合計量に比べて0.75倍程度少ないことが分かった。これにより、上記サセプタ1の中央部でInが蒸発して基板11へ供給されたため、成膜内のIn取り込み量が増え、発光波長が長くなったものと判断した。
なお、上記トータル成膜厚が25μm以上160μm以下では、サセプタ1の中央部での堆積物のIn量はGaとAlの合計量にほぼ等しかった。
すなわち、上記従来の有機金属気相成長装置では、トータル成膜厚が概ね200μmに達した時点で、サセプタ1を一度も成膜に用いられていないもの交換した後、成膜を再開するという運用を行うが、常時、トータル成膜厚が25μmに達するまでと、160μmを超えた後とでは、発光波長がねらいよりずれて不良を出すという問題があった。
特許第3376809号公報
そこで、本発明の課題は、Inを化合物半導体層の良好な組成制御を行える半導体層の組成制御方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の半導体層の組成制御方法は、
有機金属気相成長装置を用いて、Inを含む材料ガスを基板に供給することにより、Inを含む化合物半導体層を上記基板上に形成する際に、上記材料ガスによって上記基板よりも上流側の部材に堆積した堆積物の量を求める工程と、
上記求められた堆積物の量に応じて、上記材料ガスのInの供給量を変更する工程と
を備えることを特徴としている。
上記構成の半導体層の組成制御方法によれば、上記求められた堆積物の量に応じて、材料ガスのInの供給量を変更することにより、Inを化合物半導体層の組成制御を良好に行うことできる。つまり、上記化合物半導体層の組成が目標の組成から大きくずれるのを防ぐことができる。
一実施形態の半導体層の組成制御方法では、上記部材への堆積物の量が第1の量に達した後、上記堆積物の量が上記第1の量に達する前における上記材料ガスのInの供給量よりも、上記堆積物の量が上記第1の量に達した後における上記材料ガスのInの供給量が少なくなるように、上記材料ガスのInの供給量を変更する。
一実施形態の半導体層の組成制御方法では、上記部材への堆積物の量が上記第1の量に達した後、上記部材への堆積物の量が第2の量に達すると、上記堆積物の量が上記第2の量に達する前における上記材料ガスのInの供給量よりも、上記堆積物の量が上記第2の量に達した後における上記材料ガスのInの供給量が少なくなるように、上記材料ガスのInの供給量を変更する。
本発明の半導体層の組成制御方法は、有機金属気相成長装置を用いて、Inを含む材料を基板に供給することにより、Inを含む化合物半導体層を上記基板上に形成する際に、上記材料ガスによって上記基板よりも上流側の部材に堆積した堆積物の量を求め、この求められた堆積物の量に応じて、材料ガスのInの供給量を変更するので、Inを化合物半導体層の組成制御を良好に行うことできる。
以下、本発明の半導体層の組成制御方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態に係る半導体層の組成制御方法について説明する。この半導体層の組成制御方法は、図1A,図1Bの有機金属気相成長装置で行うものとする。また、上記半導体層の組成制御方法を用いて作製するLEDの構造は図2のLEDの構造と同一とする。よって、上記サセプタ1が部材の一例であり、GaAs基板11が基板の一例となり、活性層13が化合物半導体層の一例となる。
上述のように、部材の一例としてのサセプタ1の中央部に堆積物が無い場合は、発光波長がねらい(=570nm)よりも6nm短くなった。つまり、1回目に作製したLEDの発光波長は564nmとなった。この後、同一条件で作製したLED、つまり、2回目に作製したLEDは、発光波長が567.5nmとなり、ねらいからのずれは2.5nmとなり、1回目よりは改善された。3回目に作製したLEDの発光波長は569.0nmであり、ねらいに対するずれは1nmとわずかであった。このような傾向を考慮して、1回目、2回目、3回目に作製するLEDの活性層13の成長時におけるTMIの供給は、下表1に示すように、4回目以降に作製するLEDの活性層13の成長時におけるTMIの供給量よりも多くする。そうすると、1回目、2回目、3回目に作製した全てのLEDの発光波長を569.8nm〜570.2nmの範囲内に入れることができた。
Figure 2006134967
上記活性層13の成長時におけるTMGの制御圧力は、1〜3回目および4回目以降に作製するLEDにおいて同一で0.1MPaとした。また、上記活性層13の成長時におけるTMAの制御圧力は、1〜3回目および4回目以降に作製するLEDにおいて同一で0.1MPaとした。そして、上記活性層13の成長時におけるTMIの制御圧力は、1〜3回目および4回目以降に作製するLEDにおいて同一で0.025MPaとした。
上記活性層13の成長時におけるTMGの恒温槽温度は、1〜3回目および4回目以降に作製するLEDにおいて同一で5.0℃とした。また、上記活性層13の成長時におけるTMAの恒温槽温度は、1〜3回目および4回目以降に作製するLEDにおいて同一で17.0℃とした。そして、上記活性層13の成長時におけるTMIの恒温槽温度は、1〜3回目および4回目以降に作製するLEDにおいて同一で17.0℃とした。
上記活性層13の成長時におけるPH3流量は、1〜3回目および4回目以降に作製するLEDにおいて同一で1000ccmとした。
上記表1のTMIの供給流量から分かるように、1回目、2回目、3回目でTMIの供給流量を減少させる方向に調節しながら行うことで、サセプタ1の中央部における堆積物の厚みが増して第1の量の一例としての約25μmに達するまでの間の組成制御(=波長制御)が成功した。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態に係る半導体層の組成制御方法を説明する。この半導体層の組成制御方法は、図1A,図1Bの有機金属気相成長装置で行うものとする。また、上記半導体層の組成制御方法を用いて作製するLEDの構造は図2のLEDの構造と同一とする。よって、上記サセプタ1が部材の一例であり、GaAs基板11が基板の一例となり、活性層13が化合物半導体層の一例となる。
上述のように、上記トータル成膜厚が200μmとなるLEDの発光波長はねらい(=570nm)よりも5nm長くなった。つまり、25回目に作製したLEDの発光波長は575nmとなった。このような発光波長の長波長化は、トータル成膜厚が160μmを越えた当たりから生じている。具体的には、トータル成膜厚が160μmとなるときに作製するLEDの発光波長は570.4nmとなり、トータル成膜厚が176μmとなるときに作製するLEDの発光波長は571.0nmとなり、トータル成膜厚が184μmとなるときに作製するLEDの発光波長は571.8nmとなり、トータル成膜厚が192μmとなるときに作製するLEDの発光波長は573.0nmとなり、トータル成膜厚が200μmとなるときに作製するLEDの発光波長は575.0nmとなる。
このように、上記トータル成膜厚が160μmを越えると、発光波長はねらいに対してずれて、このずれ量はトータル成膜厚が増加するに伴って大きくなっている。このような傾向を考慮して、トータル成膜厚が168μm以上となるときに作製するLEDの活性層13の成長時におけるTMIの供給量は、下表2に示すように、トータル成膜厚が160μm以下となるときに作製するLEDの活性層13の成長時におけるTMIの供給量よりも少なくする。そうすると、トータル成膜厚が168μm以上となるときに作製した全てのLEDの活性層13の発光波長を569.8nm〜570.2nmの範囲内に入れることができた。
Figure 2006134967
上記活性層13の成長時におけるTMGの制御圧力は、トータル成膜厚が160μm以下および168μm以上となるときに作製するLEDにおいて同一で0.1MPaとした。また、上記活性層13の成長時におけるTMAの制御圧力は、トータル成膜厚が160μm以下および168μm以上となるときに作製するLEDにおいて同一で0.1MPaとした。そして、上記活性層13の成長時におけるTMIの制御圧力は、トータル成膜厚が160μm以下および168μm以上となるときに作製するLEDにおいて同一で0.025MPaとした。
上記活性層13の成長時におけるTMGの恒温槽温度は、トータル成膜厚が160μm以下および168μm以上となるときに作製するLEDにおいて同一で5.0℃とした。また、上記活性層13の成長時におけるTMAの恒温槽温度は、トータル成膜厚が160μm以下および168μm以上となるときに作製するLEDにおいて同一で17.0℃とした。そして、上記活性層13の成長時におけるTMIの恒温槽温度は、トータル成膜厚が160μm以下および168μm以上となるときに作製するLEDにおいて同一で17.0℃とした。
上記活性層13の成長時におけるPH3流量は、トータル成膜厚が160μm以下および168μm以上となるときに作製するLEDにおいて同一で1000ccmとした。
上記表2のTMIの供給流量から分かるように、トータル成膜厚が増える程、TMIの供給流量を減少させる方向に調節しながら行うことで、トータル成膜厚が160μm以上となるときに作製されるLEDの発光層13の組成制御(=波長制御)が成功した。つまり、そうするとことで、サセプタ1の中央部における堆積物の厚みが増して第2の量の一例としての168μmに達した後における発光層13の組成制御が成功した。
上記トータル成膜厚がある量より少ない場合と多い場合でLEDへのInの取り込まれ量が減少したり増大したりする現象は、図1A,図1Bに示すような縦型の有機金属気相成長装置のみで生じるものではない。例えば、図3に示したような横型の有機金属気相成長装置(図1A,図1Bの有機金属気相成長装置の部分と同じ機能を持つ部分は、図1A,図1Bの有機金属気相成長装置の部分の参照番号と同じ参照番号を付けている)においても、材料ガスが分解することによって基板よりも上流側で堆積物が堆積するものであれば、その現象は生じる。発光波長の短波長化が収まるトータル成膜厚と、発光波長の長波長化が始まるトータル成膜厚とが、図1A,図1Bの有機金属気相成長装置と異なる可能性があるだけである。図1A,図1Bの有機金属気相成長装置では、発光波長の短波長化が収まるトータル成膜厚が25μmであり、発光波長の長波長化が始まるトータル成膜厚が160μmであった。
言うまでもないが、図3に示すような横型の有機金属気相成長装置でも第1,第2実施形態の半導体層の組成制御方法を行うことができる。
また、上記第1実施形態と上記第2実施形態とを組み合わせて本発明の実施の一形態としてもよい。
本発明では、基板よりも上流側の部材に堆積した堆積物の量は、例えば、基板上のトータル成膜厚に基づいて、堆積物の厚みと基板上のトータル成膜厚との関係を示す予め測定して作成されたテーブルを用いて求めてもよい。
また、本発明では、基板よりも上流側の部材に堆積した堆積物の量は、上記第1,2実施形態のように間接的に求めてもよいし、直接的に求めてもよい。つまり、上記堆積物の量は、基板上のトータル成膜厚を換算して求めてもよいし、直接測定してもよい。
また、本発明の半導体層の組成制御方法は、Inを含む化合物半導体層の成長に用いることができ、また、AlGaInP系発光デバイスの成長に好適に用いることができる。
図1Aは従来の有機金属気相成長装置の要部の模式断面図である。 図1Bは上記従来の有機金属気相成長装置のサセプタの模式平面図である。 図2は従来のLEDの模式断面図である。 図3は他の有機金属気相成長装置の要部の模式断面図である。
符号の説明
1 サセプタ
2 ガス導入口
3 加熱機構
4 ディスク
11 n−GaAs基板
12 n−AlInPクラッド層
13 (A1xGa1-xyIn1-yP活性層
14 p−AlInPクラッド層
15 p−AlGaAs電流拡散層

Claims (3)

  1. 有機金属気相成長装置を用いて、Inを含む材料ガスを基板に供給することにより、Inを含む化合物半導体層を上記基板上に形成する際に、上記材料ガスによって上記基板よりも上流側の部材に堆積した堆積物の量を求める工程と、
    上記求められた堆積物の量に応じて、上記材料ガスのInの供給量を変更する工程と
    を備えることを特徴とする半導体層の組成制御方法。
  2. 請求項1に記載の半導体層の組成制御方法において、
    上記部材への堆積物の量が第1の量に達した後、上記堆積物の量が上記第1の量に達する前における上記材料ガスのInの供給量よりも、上記堆積物の量が上記第1の量に達した後における上記材料ガスのInの供給量が少なくなるように、上記材料ガスのInの供給量を変更することを特徴とする半導体層の組成制御方法。
  3. 請求項2に記載の半導体層の組成制御方法において、
    上記部材への堆積物の量が上記第1の量に達した後、上記部材への堆積物の量が第2の量に達すると、上記堆積物の量が上記第2の量に達する前における上記材料ガスのInの供給量よりも、上記堆積物の量が上記第2の量に達した後における上記材料ガスのInの供給量が少なくなるように、上記材料ガスのInの供給量を変更することを特徴とする半導体層の組成制御方法。
JP2004319930A 2004-11-02 2004-11-02 半導体層の組成制御方法 Pending JP2006134967A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004319930A JP2006134967A (ja) 2004-11-02 2004-11-02 半導体層の組成制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004319930A JP2006134967A (ja) 2004-11-02 2004-11-02 半導体層の組成制御方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006134967A true JP2006134967A (ja) 2006-05-25

Family

ID=36728262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004319930A Pending JP2006134967A (ja) 2004-11-02 2004-11-02 半導体層の組成制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006134967A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022082182A (ja) * 2020-11-20 2022-06-01 日機装株式会社 窒化物半導体発光素子及び窒化物半導体発光素子の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022082182A (ja) * 2020-11-20 2022-06-01 日機装株式会社 窒化物半導体発光素子及び窒化物半導体発光素子の製造方法
JP7245214B2 (ja) 2020-11-20 2023-03-23 日機装株式会社 窒化物半導体発光素子の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8642368B2 (en) Enhancement of LED light extraction with in-situ surface roughening
KR100875396B1 (ko) 발광소자
US20070254093A1 (en) MOCVD reactor with concentration-monitor feedback
US20070254100A1 (en) MOCVD reactor without metalorganic-source temperature control
US7972876B2 (en) Zinc-oxide-based semiconductor light-emitting device and method of fabricating the same
JP2001144325A (ja) 窒化物系iii−v族化合物半導体の製造方法および半導体素子の製造方法
TW200820327A (en) Hotwall reactor and method for reducing particle formation in GaN MOCVD
US7488971B2 (en) Nitride semiconductor; light-emitting device, light-emitting diode, laser device and lamp using the semiconductor; and production methods thereof
US7521777B2 (en) Gallium nitride-based compound semiconductor multilayer structure and production method thereof
US10439098B2 (en) Method for producing group III nitride semiconductor light-emitting device
US8815717B2 (en) Vapor deposition method and vapor deposition apparatus
JP2012204540A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2006100518A (ja) 基板表面処理方法及びiii族窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
JP2006134967A (ja) 半導体層の組成制御方法
JP4427924B2 (ja) 発光素子の製造方法
JPH07235505A (ja) 半導体層の結晶成長方法
JP2006134966A (ja) 半導体層の層厚制御方法
JP2004087565A (ja) 窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法
JP2006344930A (ja) Iii族窒化物半導体素子の製造方法
JP3874779B2 (ja) Geドープn型III族窒化物半導体層状物及びその製造方法、ならびにそれを用いたIII族窒化物半導体発光素子
JP3915750B2 (ja) 化合物半導体の気相成長方法
TW200416249A (en) 3-5 Group compound semiconductor and method for preparation thereof
JPH1174203A (ja) 窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法および成長装置
JP2007173620A (ja) 半導体発光素子の製造方法
JP2006049848A (ja) n型III族窒化物半導体積層構造体