JP2006134956A - バンプ付きテープキャリア - Google Patents
バンプ付きテープキャリア Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006134956A JP2006134956A JP2004319709A JP2004319709A JP2006134956A JP 2006134956 A JP2006134956 A JP 2006134956A JP 2004319709 A JP2004319709 A JP 2004319709A JP 2004319709 A JP2004319709 A JP 2004319709A JP 2006134956 A JP2006134956 A JP 2006134956A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape carrier
- conductor
- bumps
- thickness
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】本発明のバンプ付きテープキャリアは、絶縁フィルム71の両面に導体パターン72,75が形成され、この導体パターン同士を接続するための構造と、この導体パターンの一方の片面に形成された半導体チップ接続用金属バンプ79とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図7
Description
(1)半導体チップを回路基板に搭載するためのバンプ付きテープキャリアであって、絶縁フィルムの両面に導体パターンが形成され、この導体パターン同士を接続するための構造と、この導体パターンの一方の片面に形成された半導体チップ接続用金属バンプとを備えたことを特徴とするバンプ付きテープキャリア、
(2)前記半導体チップ接続用金属バンプが形成された導体パターンの他方の片面の導体パターンと、前記絶縁フィルムの両面に形成された導体パターン同士を接続するための構造とが同一材料の金属導体で形成されたことを特徴とする(1)記載のバンプ付きテープキャリア、
(3)前記半導体チップ接続用金属バンプが形成された導体パターンの他方の片面には、物理的金属蒸着層が形成され、その後電気化学的金属被覆層が形成されたことを特徴とする(1)または(2)のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア、
(4)前記物理的金属蒸着層の厚さは1μm以下であって、前記電気化学的金属被覆層の厚さは1μm以上35μm以下であることを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア、
(5)前記導体に形成された導体パターン同士を接続するための構造が、スルーホール、ブラインドVia構造またはフィルドViaから選ばれた少なくとも1つであることを特徴とする(1)〜(4)のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア、
(6)前記金属バンプは、厚さ1μm以上のスズ系半田からなることを特徴とする(1)〜(5)のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア、
(7)前記物理的金属蒸着層はニッケル−クロム合金であることを特徴とする(3)〜(6)のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア。
(8)前記バンプ付きテープキャリアに絶縁樹脂層が片面もしくは両面に形成されたことを特徴とする(1)〜(7)のいずれか1項に記載のバンプ付きテープキャリア、
を提供する。
次に絶縁フィルム両面に形成された導体層同士を電気的に導通するための構造が、上記の積層フィルムに形成される。その方法としては適宜選択されるが、絶縁フィルムおよび金属導体の両方を貫くように、孔が形成され貫通孔としてもよいし、絶縁フィルムのみにViaを形成してもよい。その方法は適宜選択することができるが、貫通孔を形成する場合にはドリルで、Viaを形成する場合にはレーザー加工することが好適に行われる。
本実施例においては、従来からのスルーホールによる層間接続においても、パターン部の銅厚を厚くすることはなく、微細なファインパターンで回路が形成でき、半田バンプにより半導体チップとフリップチップ接合をすることができた。
本実施例においてはブラインドViaによる層間接続において、パターン部の銅厚を厚くすることはなく、微細なファインパターンで回路が形成でき、半田バンプにより半導体チップとフリップチップ接合ができた。
まず図5(a)に示すように、接着剤を介することなく厚さ12μmの電解銅箔52が積層されたポリイミドフィルム51(新日鐵化学社製商品名MC12−25−00CEM)の必要箇所に、炭酸ガスレーザを用いて100〜150μm径のVia孔53を形成し、孔およびその周辺に付着したスミヤを、アルカリ系デスミア処理によって除去した。
本実施例においてはフィルドViaによる層間接続において、パターン部の銅厚を厚くすることはなく、微細なファインパターンで回路が形成でき、半田バンプにより半導体チップとフリップチップ接合ができた。
まず図7(a)に示すように、接着剤を介することなく厚さ12μmの電解銅箔72が積層されたポリイミドフィルム71(新日鐵化学社製商品名MC12−25−00CEM)の必要箇所に、炭酸ガスレーザを用いて100〜150μm径のVia孔73を形成し、孔およびその周辺に付着したスミヤを、アルカリ系デスミア処理によって除去した。
本実施例においてもフィルドViaによる層間接続において、パターン部の銅厚を厚くすることはなく、微細なファインパターンで回路が形成でき、半田バンプにより半導体チップとフリップチップ接合ができた。
まず図9(a)に示すように、接着剤を介することなく厚さ18μmの電解銅箔92が積層されたポリイミドフィルム91(新日鐵化学社製商品名MC18−25−00CEM)のポリイミドフィルム側の面(B面)にスパッタリングにより、厚さ500nmのNiCr層93を形成した。さらに前記NiCr層上に厚さ18μmの電解銅めっき層94を形成した(図9(b))。
本比較例においては実施例1に対して、同じスルーホールによる層間接合ではあるものの、パターン上の銅厚が厚くなり、微細なファインパターンでの回路形成が困難であった。
本比較例においても実施例1に対して、同じスルーホールによる層間接合ではあるものの、パターン上の銅厚が厚くなり、微細なファインパターンでの回路形成は困難であった。
Claims (8)
- 半導体チップを回路基板に搭載するためのバンプ付きテープキャリアであって、絶縁フィルムの両面に導体パターンが形成され、この導体パターン同士を接続するための構造と、この導体パターンの一方の片面に形成された半導体チップ接続用金属バンプとを備えたことを特徴とするバンプ付きテープキャリア。
- 前記半導体チップ接続用金属バンプが形成された導体パターンの他方の片面の導体パターンと、前記絶縁フィルムの両面に形成された導体パターン同士を接続するための構造とが同一材料の金属導体で形成されたことを特徴とする請求項1記載のバンプ付きテープキャリア。
- 前記半導体チップ接続用金属バンプが形成された導体パターンの他方の片面には、物理的金属蒸着層が形成され、その後電気化学的金属被覆層が形成されたことを特徴とする請求項1または2のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア。
- 前記物理的金属蒸着層の厚さは1μm以下であって、前記電気化学的金属被覆層の厚さは1μm以上35μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア。
- 前記導体に形成された導体パターン同士を接続するための構造が、スルーホール、ブラインドVia構造またはフィルドViaから選ばれた少なくとも1つであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア。
- 前記金属バンプは、厚さ1μm以上のスズ系半田からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア。
- 前記物理的金属蒸着層はニッケル−クロム合金であることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項記載のバンプ付きテープキャリア。
- 前記バンプ付きテープキャリアに絶縁樹脂層が片面もしくは両面に形成されたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のバンプ付きテープキャリア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004319709A JP2006134956A (ja) | 2004-11-02 | 2004-11-02 | バンプ付きテープキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004319709A JP2006134956A (ja) | 2004-11-02 | 2004-11-02 | バンプ付きテープキャリア |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006134956A true JP2006134956A (ja) | 2006-05-25 |
Family
ID=36728252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004319709A Pending JP2006134956A (ja) | 2004-11-02 | 2004-11-02 | バンプ付きテープキャリア |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006134956A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007101684A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 電子部品用感光性樹脂組成物、電子部品、ハードディスクドライブ用サスペンション、及びそれらの製造方法 |
-
2004
- 2004-11-02 JP JP2004319709A patent/JP2006134956A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007101684A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 電子部品用感光性樹脂組成物、電子部品、ハードディスクドライブ用サスペンション、及びそれらの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7537668B2 (en) | Method of fabricating high density printed circuit board | |
TWI392426B (zh) | A multilayer printed wiring board, and a multilayer printed wiring board | |
JP2006278774A (ja) | 両面配線基板の製造方法、両面配線基板、およびそのベース基板 | |
TWI392428B (zh) | Method for manufacturing double sided flexible printed wiring board | |
JP2007165816A (ja) | プリント配線基板、その製造方法およびその使用方法 | |
KR20080014623A (ko) | 배선 기판 및 그 제조 방법 | |
JP2006093650A (ja) | 無電解ニッケルメッキを用いたパッケージ基板の製造方法 | |
US20080089046A1 (en) | Printed Wiring Board for Mounting Electronic Components and Semiconductor Device Using Same | |
JP5256747B2 (ja) | セミアディティブ法による銅配線絶縁フィルムの製造法、及びこれらから製造された銅配線絶縁フィルム | |
JP2009176770A (ja) | 銅配線絶縁フィルムの製造法、及びこれらから製造された銅配線絶縁フィルム | |
JP2008172151A (ja) | 多層配線基板 | |
JP2007013048A (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
JP4292638B2 (ja) | 配線板の製造方法 | |
JP2009277987A (ja) | 電子部品実装用フィルムキャリアテープ、その製造方法、および、半導体装置 | |
JP2005150417A (ja) | 半導体装置用基板及びその製造方法並びに半導体装置 | |
JP2006134956A (ja) | バンプ付きテープキャリア | |
JP2004087656A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP3941463B2 (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 | |
JP2004111840A (ja) | バンプ電極付き電子部品の製造方法 | |
JP4415985B2 (ja) | 金属転写板の製造方法 | |
JP3747897B2 (ja) | 半導体装置用テープキャリアの製造方法およびそれを用いた半導体装置 | |
JP2010232585A (ja) | 多層配線基板およびその製造方法 | |
JP2003282615A (ja) | バンプの構造、バンプの形成方法、半導体装置およびその製造方法並びに電子機器 | |
JP2001007250A (ja) | パッケージ基板 | |
JPH11312857A (ja) | 配線板の製造法およびバンプ付配線基板の製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070803 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070810 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20071009 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080122 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080520 |