JP2004111840A - バンプ電極付き電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1樹脂膜42、第2樹脂膜44、および、これら両樹脂膜42,44の間の水溶性膜43よりなる多層膜45を第1樹脂膜42にて基材11の電極部形成面に積層した構造を有する多層膜積層基材に対して、電極部11aが露出するように多層膜45に開口部45aを形成する工程と、開口部45aに、バンプ部17を形成する工程と、水溶性膜43および第2樹脂膜44を同時に除去する除去工程と、を含むこととする。
【選択図】 図5
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、バンプ電極付き電子部品の製造方法に関する。より具体的には、バンプ電極を有する半導体チップやプリント基板などの電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、プリント配線板やセラミック基板などへの電子部品の実装に関しては、高密度化の要求が高まっており、半導体チップについては、かかる要求を満たす方式としてベアチップ実装方式が注目されている。ベアチップ実装においては、半導体チップと基板配線との電気的接続をワイヤボンディングを介して達成する従来のフェイスアップ実装に代わり、半導体チップおよび配線基板の電極パッド間にバンプを介在させることによって達成するフェイスダウン実装すなわちフリップチップ接合が採用される傾向にある。フェイスダウン実装において半導体チップおよび配線基板の電極パッド間にバンプを介在させるべく、実装前の半導体チップや配線基板の実装面には、予めバンプ電極が形成される。
【0003】
従来のバンプ電極付き半導体チップの製造方法としては、たとえば図6に示すような製造方法が開示されている(たとえば、特許文献1参照。)。この方法においては、まず、図6(a)に示すように、半導体チップにおける基材1の表面上には、銅ペーストを用い、スクリーン印刷法により配線パターン2が形成される。次に、図6(b)に示すように、基材1上には、第1ソルダレジスト層3がさらに積層形成される。この第1ソルダレジスト層3は、配線パターン2の上方から液状の第1ソルダレジスト形成材料を供給し、成膜することにより形成される。この第1ソルダレジスト層3は、感光性を有している。次に、図6(c)に示すように、フォトエッチングにより、第1ソルダレジスト層3のバンプを形成すべき位置に第1開口部3aを形成する。
【0004】
次に、、図6(d)に示すように、図6(c)に示す基材上に第2ソルダレジスト層4を積層形成する。この第2ソルダレジスト層4は、感光性を有し、かつシート状のドライフィルムをラミネータで積層することにより形成される。次に、図6(e)に示すように、フォトエッチングにより、第2ソルダレジスト層4におけるバンプを形成すべき位置、つまり第1開口部3a上に第2開口部4aを形成する。なお、第1開口部3aおよび第2開口部4aは連通している。次に、図6(f)に示すように、第1開口部3aおよび第2開口部4aに対して、所定のハンダ粉末を含んだハンダペースト5を印刷法により供給する。次に、図6(g)に示すように、ハンダペースト5中のハンダ粉末を一旦溶融させるための加熱処理を行うことによって、ハンダバンプ6を形成する。次に、図6(h)に示すように、基材を所定の溶液に浸漬して第2ソルダレジスト層4のみを除去するエッチング処理を行う。
【0005】
また、他のバンプ電極付き半導体チップの製造方法としては、半導体基板上に樹脂膜とレジスト膜とを順次積層形成する工程と、このレジスト膜をパターニングし、レジスト膜をマスクとして樹脂膜にバンプ形成用の開口部を形成する工程と、バンプ形成用の金属膜の被覆後、リフトオフ法によりレジスト膜を溶解してレジスト膜上の金属膜を基板上から除去する工程とを含んだ方法が開示されている(たとえば、特許文献2参照。)。
【0006】
【特許文献1】
特開平7−273439号公報 (第3−4頁、第1−8図)
【特許文献2】
特開平7−122559号公報 (第2−3頁、第1図)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1によると、加熱処理を行った後に第2ソルダレジスト層4を除去する除去工程を行うため、加熱処理の段階で第1ソルダレジスト層3と第2ソルダレジスト層4との密着力が高まり、除去工程で第2ソルダレジスト層4を除去する際に、第1ソルダレジスト層3に影響を与えずに除去することが困難となる。具体的には、第2ソルダレジスト層4をウェットエッチングにより除去する際、第1ソルダレジスト層3の一部も溶解除去されてしまう。そのため、最終的に残す第1ソルダレジスト層3の厚さを制御することは難しい。したがって、第1開口部3aに形成されたハンダバンプ6の第1ソルダレジスト層3の表面3bからの突出する量にバラツキが生じるため、実装高さ(たとえば基板と半導体チップとの接続高さ)のバラツキに起因する問題(たとえば接続信頼性の低下など)が生じる場合がある。
【0008】
また、特許文献2によると、レジスト膜をマスクとして樹脂膜にバンプ形成用の開口部を形成する方法や、レジスト膜を溶解することによりレジスト膜上の金属膜を除去する方法が開示されているが、レジスト膜除去後に残った樹脂膜の膜厚を減ずるための工程が必要であり、加えて、この公報で開示されている膜厚を減ずる方法では、膜厚の厚さを制御することが難しく、上記したものと同様の問題を抱える。
【0009】
さらに、上述した第2ソルダレジスト層4やレジスト膜をマスクとして利用するもの以外に、メタルマスクを用いた方法が挙げられる。この方法では、メタルマスクを樹脂膜などに載置する際に、メタルマスクの開口部と電極とを位置合わせする必要があり、電極の配設ピッチが小さくなるほど、適切に位置合わせすることが困難となる。特に、電極の配設ピッチが200μm以下である場合には、メタルマスクを載置する際に生ずる位置ずれの程度は相対的に極めて大きくなる。つまり、挟ピッチないし高密度で電極が形成されている場合には、良好な接合信頼性を得るのが困難である。
【0010】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、バンプの形成位置を適切にするとともに、機能性保護膜として残す膜の膜厚を高精度で制御可能なバンプ電極付き電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明により提供されるバンプ電極付き電子部品の製造方法は、第1樹脂膜、第2樹脂膜、および、これら両樹脂膜の間の水溶性膜よりなる多層膜を前記第1樹脂膜にて基材の電極部形成面に積層した構造を有する多層膜積層基材に対して、前記電極部が露出するように前記多層膜に開口部を形成する工程と、前記開口部に、バンプ部を形成する工程と、前記水溶性膜および前記第2樹脂膜を除去する除去工程と、を含むことを特徴としている。
【0012】
このような工程を含む製造方法によると、たとえばバンプ部形成時に加熱処理を行うために多層膜に熱がかかる場合であっても、第1樹脂膜と第2樹脂膜との間に水溶性膜を設けたことにより、第1樹脂膜と第2樹脂膜とが直接的に密着することを防ぐことができる。そのため、第1樹脂膜を機能性保護膜として基材上に残す場合において、たとえば水溶性膜に水あるいはアルコールを含む溶液を作用させると、水溶性膜は分解ないし溶解することによって、第1樹脂膜上から消失するので、第2樹脂膜を第1樹脂膜から容易に剥離除去することができる。これにより、第2樹脂膜を除去する際に、第1樹脂膜に与える影響を抑制できるので、第1樹脂膜の膜厚を高精度に制御することが、より容易になる。したがって、機能性保護膜の膜厚を高精度に制御することによりバンプ部が機能性保護膜の表面からの高さにおけるバラツキを抑制できるので、良好な接続信頼性を得ることができる。
【0013】
また、第2樹脂膜が開口部にバンプを形成するための材料を供給する際にマスクとしての役割を果たすので、たとえばバンプ形成材料を開口部に供給する際にメタルマスクを用いる必要がなくなる。そのため、配線パターンの配設ピッチが小さくなるほど、適切に位置合わせすることが困難となるメタルマスクの開口部と配線パターンとの位置合わせが必要なくなり、メタルマスクの位置ずれに起因するバンプ形成位置への影響は抑制される。したがって、特に電極の配設ピッチが200μm以下のような挟ピッチないし高密度で配線パターンが形成されている場合でも、良好な接合信頼性を得ることが可能となる。
【0014】
好ましくは、多層膜積層基材は、基材に対して、電極部を覆うように第1樹脂膜を形成する工程と、第1樹脂膜に積層するように水溶性膜を形成する工程と、水溶性膜に積層するように第2樹脂膜を形成する工程と、を経て形成される。
【0015】
あるいはこれに代えて、多層膜積層基材は、前記多層膜を別途した後、電極部を覆うように第1樹脂膜を介して基材に貼り合わせることにより形成してもよい。
【0016】
好ましくは、除去工程は、アルカリ系水溶液を用いて水溶性膜を分解ないし溶解することにより、水溶性膜および第2樹脂膜を同時に除去する。これにより、剥離液であるアルカリ系水溶液による第2樹脂膜の剥離除去に加え、アルカリ系水溶液中の水成分が水溶性膜に作用することにより、水溶性膜が分解ないし溶解する。そのため、第2樹脂膜は、第1樹脂膜から、より容易に剥離することができる。したがって、第2樹脂膜を除去する際に、第1樹脂膜に与える影響を抑制できるので、第1樹脂膜の膜厚は、第1樹脂膜形成時の膜厚をほぼ維持することが可能で、かつ第2樹脂膜を除去することで第1樹脂膜の膜厚をさらに減ずる必要もないので、機能性保護膜の膜厚制御が容易になる。したがって、バンプ部が機能性保護膜の表面からの高さにおけるバラツキを抑制できるので、良好な接続信頼性を得ることができる。なお、水溶性膜は、ゼラチン、デンプン、タンパク質、デンプン誘導体、繊維素誘導体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、ポリエチレンオキシド、ポリ酢酸ビニル部分けん化物、ポリ(スチレン−ビニルアルコール)−g−(エチレンオキシド)からなる群より選択される水溶性高分子により構成されていることが好ましい。
【0017】
好ましい実施形態において、第1樹脂膜および第2樹脂膜は、感光性樹脂膜である。これにより、多層膜に対する開口部の形成をフォトリソグラフィーにて行うことが可能となる。フォトリソグラフィーは、UV−YAGレーザ、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザなどに比べ、電極へのダメージが抑制できる。また、フォトリソグラフィーにおいて、現像処理を行う際に使用する現像液として、水やアルコールを含む溶液を使用することで、第1および第2樹脂膜の開口部形成位置にある水溶性膜も第1および第2樹脂膜の除去と合わせて除去することが可能である。
【0018】
好ましい実施形態では、バンプ部を形成する工程は、開口部にハンダペーストを供給する工程と、加熱処理を経ることによって、ハンダペーストからバンプ部を形成する工程と、を含んでいる。なお、この場合、ハンダペーストの供給は、スキージを用いた印刷法で行い、かつスキージによるスキージングは2回以上行うことが好ましい。また、ハンダペーストは、ハンダ粉末と、エポキシ樹脂を含む樹脂分とを含み、第1樹脂膜は、エポキシ樹脂を含んでいることがより好ましい。
【0019】
エポキシ樹脂を含むハンダペーストを加熱処理することによりハンダバンプを形成する際、ハンダバンプを形成するために寄り集まる溶融したハンダからエポキシ樹脂がハンダバンプ外へ押し出される。このエポキシ樹脂は開口部における基材の露出部を覆うように、エポキシ樹脂を含む第1樹脂膜と基材上で一体化される。したがって、開口部を形成したことにより第1樹脂膜が除去され基材が露出していた部分にも機能性保護膜に相当する膜が形成されることになり、より接合信頼性が高まる。
【0020】
バンプ部を形成する工程は、上記のものに代えて、開口部に溶融ハンダを供給する工程と、溶融ハンダを冷却してバンプ部を形成する工程と、を含んでもよい。これに代えて、バンプ部を形成する工程は、開口部にハンダボールを供給する工程と、加熱処理を経ることによって、ハンダボールからバンプ部を形成する工程と、を含んでもよい。これに代えて、バンプ部を形成する工程は、めっき法により、開口部にハンダ材料を堆積させる工程と、加熱処理を経ることによって、ハンダ材料からバンプ部を形成する工程と、を含んでもよい。
【0021】
【発明の実施の形態】
図1および図2は、本発明の第1の実施形態に係るバンプ電極付き電子部品の製造方法の一連の工程を表す。まず、図1(a)に示すように、表面に電極11aが設けられた半導体チップ11を用意する。次に、図1(b)に示すように、半導体チップ11に対して、電極11aを覆うように第1樹脂膜12を積層形成する。第1樹脂膜12の形成においては、ラミネータなどを使用して、フィルム状の樹脂組成物を、半導体チップ11に対して載置した後、50〜140℃で加熱しつつ圧着する。あるいは、液状樹脂組成物を、スピンコートにより半導体チップ11の表面に塗布し、それを乾燥してもよい。第1樹脂膜12を形成するための樹脂組成物としては、エポキシ系樹脂などを用いることができる。エポキシ系樹脂としては、エポキシアクリレートなどが挙げられる。第1樹脂膜の膜厚は、半導体チップ11の電極ピッチ、電極サイズ、および、接合信頼性の観点から推定される接続高さに基づいて決定され、5μm〜50μmが好ましい。なお、フィルム状の樹脂組成物を用意する場合は、第1樹脂膜の膜厚を予め制御することが容易である。
【0022】
次に、図1(c)に示すように、第1樹脂膜12に対して、水溶性膜13を積層形成する。水溶性膜13の形成においては、フィルム状のものを、半導体チップ11に対して載置し、貼り付ける、あるいは、液状のものを、スピンコートにより半導体チップ11の表面に塗布してもよい。
【0023】
水溶性膜13を形成するための材料は、水溶性高分子を含んで、フィルム状に成形されるか、または液状とされる。水溶性膜13の厚さは、1μm〜5μmが好ましい。
【0024】
水溶性高分子としては、ゼラチン、デンプン、タンパク質などの天然高分子、デンプン誘導体や繊維素誘導体などの半合成高分子、ポリビニルアルコールやポリビニルピロリドンなどのビニル系合成高分子、ポリアクリルアミドやポリアクリル酸などのアクリル系合成高分子、ポリエチレンオキシドなどの合成高分子、ポリ酢酸ビニル部分けん化物などのランダム系合成高分子、ポリ(スチレン−エチレンオキシド)などのブロック系合成高分子、ポリ(エチレン−ビニルアルコール)−g−(エチレンオキシド)などのグラフト系合成高分子などを用いることができる。
【0025】
次に、図1(d)に示すように、水溶性膜13に対して、第2樹脂膜14を積層形成する。これにより、第1樹脂膜12、水溶性膜13および第2樹脂膜14からなる多層膜15が半導体チップ11の上に形成されることとなる。第2樹脂膜14の形成においては、フィルム状のものを、水溶性膜13に対して載置し、貼り付ける、あるいは、液状のものを、スピンコートにより水溶性膜13の表面に塗布してもよい。第2樹脂膜14を形成するための樹脂組成物としては、アクリル系樹脂などを用いることができる。アクリル系樹脂としては、ポリメタアクリレート樹脂などが挙げられる。第2樹脂膜14の厚さは、30μm〜70μmが好ましい。
【0026】
第1および第2樹脂膜12,14に感光性を付与する場合には、第1および第2樹脂膜12,14を形成するための樹脂組成物に対してアクリルモノマーおよび光重合開始剤を添加する。ただし、アクリルモノマーに代えて又はこれと共にビスフェノールA−ジエポキシ−アクリル酸付加物などのオリゴマーを用いることもできる。第1および第2樹脂膜12,14を形成するための樹脂組成物において、アクリルモノマーの含有率は、1〜50wt%が好ましい。また、光重合開始剤の含有率は、0.1〜4wt%が好ましい。
【0027】
第2樹脂膜14を形成するための樹脂組成物には、更に、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂を添加してもよい。
【0028】
第2樹脂膜14を形成後、図1(e)に示すように、多層膜15に対して、各電極11aに対応する箇所に開口部15aを形成する。開口部15aの形成には、UV−YAGレーザ、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザなどを用いることができる。感光性を有する第1および第2樹脂膜12,14を形成した場合には、開口部15aの形成にはフォトリソグラフィを採用することができる。電極へのダメージを抑制するという観点からは、フォトリソグラフィを採用するのが好ましい。フォトリソグラフィを採用する場合には、第1および第2樹脂膜12,14に対して、所定のフォトマスク(図示せず)を介しての露光処理およびその後の現像処理を施すことにより、各電極11aが露出するように開口部15aを形成する。現像液としては、水溶性膜13における開口部15aの形成位置に該当する部分を分解あるいは溶解し、除去するために水分を含むものが好ましく、1.0%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液などのアルカリ系水溶液などを用いることができる。
【0029】
次に、図2(a)に示すように、開口部15aにハンダペースト16を充填する。ハンダペースト16の充填は、スキージ(図示略)を用いた印刷法により行う。スキージは、多層膜15に損傷を与えることを回避ないし軽減するため、ウレタンゴムスキージを用いる。開口部15aに対して所定量のハンダペースト16を確実に充填するためには、スキージによるスキージングは2回以上行うのが望ましい。なお、ウレタンゴムスキージの硬度は、JIS K6253に準じた方法で測定した場合において、50〜80度が好ましい。
【0030】
ハンダペースト16は、ハンダ粉末と、これをペースト化するためのフラックスと、樹脂分とからなる。ハンダ粉末は、Sn,Pb,Ag,Cu,In,Bi,Zn,Sb,Ni,Al,Auなどから選択される単体金属、または、これらから選択される複数の単体金属からなる合金を粉末化したものである。ハンダペースト16におけるハンダ粉末の含有率は、30〜70体積%または80〜95wt%とする。30体積%未満または80wt%未満では、電極間を適切に接続することが困難となる傾向にある。70体積%または95wt%より多いと、ハンダペースト16の粘度が過剰に高くなり、開口部15aへの充填が困難となる。樹脂分については、後の加熱処理においてハンダ粉末を溶融させ一体化させるとともに、ハンダ粉末が溶融した後に第1樹脂膜12と一体化するように組成を制御する。たとえば、第1樹脂膜12にエポキシ系樹脂を使用した場合は、樹脂分としてエポキシ樹脂が好ましい。フラックスとしては、ロジン、活性剤、チクソ剤、溶剤などを含んだものを用いることができる。
【0031】
ハンダペースト16の充填の後、図2(b)に示すように、加熱処理を経てバンプ17を形成する。具体的には、まず、加熱により開口部15aに充填されているハンダペースト16を溶融させる。これにより、ハンダペースト16に含まれているフラックスが揮発消失するとともに、ハンダ粉末が溶融して寄り集まる。このハンダ粉末が溶融して寄り集まる際、ハンダペースト16中の樹脂分は形成されるバンプ17外に押し出される。この押し出された樹脂分は、開口部15aにおける基材の露出部分を覆うように、第1樹脂膜12と基材上で一体化する。
【0032】
バンプ17の形成後、図2(c)に示すように、第2樹脂膜14および水溶性膜13を除去する。具体的には、剥離液であるアルカリ系水溶液を作用させることによって、第2樹脂膜14および水溶性膜13を除去する。水を含むアルカリ系水溶液を作用させると、水溶性膜13は分解ないし溶解することによって、第1樹脂膜12上から消失する。また、第2樹脂膜14は、水溶性膜13が消失することによって、第1樹脂膜12から容易に剥離することとなる。アルカリ系水溶液としては、モノエタノールアミン水溶液や水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液などの有機アルカリ剥離液や水酸化ナトリウム水溶液などの強アルカリ剥離液などを用いることができる。このとき、第1樹脂膜120に対するダメージを適切に回避するためには、pH12以下のアルカリ系水溶液を使用するのが望ましい。
【0033】
以上の一連の工程において、第1樹脂膜12と第2樹脂膜14との間に水溶性膜13を設けたことで、バンプ17を形成する際の加熱処理により多層膜15に熱がかかっても、第1樹脂膜12と第2樹脂膜14との間に水溶性膜13を設けたことにより、第1樹脂膜12と第2樹脂膜14とが直接的に密着することを防ぐとともに、たとえばアルカリ系水溶液を作用させると、第2樹脂膜14は、第1樹脂膜12から容易に剥離することができる。したがって、第2樹脂膜14を除去する際に、第1樹脂膜12に与える影響を抑制できるので、第1樹脂膜12の膜厚を高精度に制御することがより容易になり、バンプ17が第1樹脂膜12の表面からの高さにおけるバラツキを抑制できるので、良好な接続信頼性を得ることができる。また、第2樹脂膜14が開口部15aにハンダペースト16を供給する際にマスクとしての役割を果たす。そのため、ハンダペースト16を開口部15aに供給する際にメタルマスクを用いる必要がなくなり、それにともないメタルマスクの開口部と電極部11aとの位置合わせも必要なくなる。したがって、特に電極の配設ピッチが200μm以下のような挟ピッチないし高密度で配線パターンが形成されている場合でも、良好な接合信頼性を得ることが可能となる。さらに、開口部15aを形成する際、多層膜15を構成する第1樹脂膜12、水溶性膜13および第2樹脂膜14に対して、1つの工程で開口部15aが形成される。これにより、たとえば各層ごとに開口部を形成する必要がある方法に比べ、工程数を低減することが可能となり、作業効率が改善される。
【0034】
図3は、バンプ電極付き電子部品の製造における図1に続く別の工程を表す。
バンプ17を形成するためのバンプ形成材料としては、図2(a)に示すハンダペースト16に代えて、図3に示すようにハンダボール26を使用することもできる。
【0035】
具体的には、まず、図3(a)に示すように、開口部15a内にハンダボール26を載置する。ハンダボール26は、Sn,Pb,Ag,Cu,In,Bi,Zn,Sb,Ni,Al,Auなどから選択される単体金属、または、これらから選択される複数の単体金属からなる合金を球形化したものである。なお、ハンダボール26を載置する前に、開口部15aにて露出する電極部11aに対して、フラックスを塗布してもよい。次に、図3(b)に示すように、加熱処理を経てバンプ17を形成する。具体的には、ハンダボール26を、加熱により一旦溶融させることによって、電極パッド11aに対して機械的かつ電気的に接続させる。次に、図3(c)に示すように、図2(c)を参照して上述したのと同様に、アルカリ系水溶液を作用させることによって、第2樹脂膜14および水溶性膜13を除去する。以上の手法によっても、バンプ17を形成してバンプ電極付き電子部品を製造することができる。
【0036】
図4は、バンプ電極付き電子部品の製造における図1に続く別の工程を表す。
バンプ部17を形成するためのバンプ形成材料としては、ハンダペースト16やハンダボール26に代えて、図4に示すように溶融ハンダ36を使用することもできる。
【0037】
具体的には、まず、図4(a)に示すように、加熱下において、開口部15a内に溶融ハンダ36を充填する。溶融ハンダ36は、Sn,Pb,Ag,Cu,In,Bi,Zn,Sb,Ni,Al,Auなどから選択される単体金属、または、これらから選択される複数の単体金属からなる合金を加熱溶融したものである。溶融ハンダ36の供給は、図1(e)の状態の電子部品を溶融ハンダ浴に浸漬するか、あるいは、印刷法により達成することができる。次に、図4(b)に示すように、冷却によって、電極パッド11a上にバンプ部17を形成する。次に、図4(c)に示すように、図2(c)を参照して上述したのと同様に、アルカリ系水溶液を作用させることによって、第2樹脂膜14および水溶性膜13を除去する。以上の手法によっても、バンプ17を形成してバンプ電極付き電子部品を製造することができる。また、バンプ17は、以上の手法に代えて、多層膜15の開口部15aを利用した無電解めっき法により形成してもよい。
【0038】
図5は、本発明の第2の実施形態に係るバンプ電極付き電子部品の製造方法の一連の工程を表す。この図5において、先に説明した第1の実施形態と同一の工程については、同一の符号を付してあり、重複説明は省略するものとする。
【0039】
図5(a)に示したように、半導体チップ11と、第1樹脂膜42、第2樹脂膜44、およびこれらの間に介在する水溶性膜43よりなる積層構造を備えたフィルム状の多層膜45とを用意する。この多層膜45は、たとえばフィルム状の第1樹脂膜42に対して、フィルム状の水溶性膜43を介して、フィルム状の第2樹脂膜45を貼り合わせることによって形成される。次に、図5(b)に示すように、半導体チップ11に対して、多層膜45を第1樹脂膜42側の面で電極11aを覆うように貼り付ける。
【0040】
次に、図5(c)に示すように、多層膜45に対して、各電極11aに対応する箇所に開口部45aを形成する。次いで、図5(d)に示すように、開口部45aにハンダペースト16を充填する。ハンダペースト16の充填の後、図5(e)に示すように、加熱処理を経てバンプ17を形成する。バンプ17の形成後、図5(f)に示すように、図2(c)を参照して上述したのと同様に、アルカリ系水溶液を作用させることによって、第2樹脂膜44および水溶性膜43を除去する。
【0041】
以上の一連の工程において、第1樹脂膜42、第2樹脂膜44、およびこれらの間に介在する水溶性膜43よりなる積層構造を備えたフィルム状の多層膜45を用いて、バンプ電極付き電子部品の製造を行う。これにより、工程数をさらに低減することが可能となる。
【0042】
【実施例】
次に、本発明の実施例について説明する。
【0043】
【実施例1】
エポキシアクリレート樹脂フィルム(膜厚30μm、商品名:PFR−800、太陽インキ製)を配線基板(電極径70μm、電極ピッチ150μm)に対して電極を覆うように、ラミネーター((株)エム・シー・ケー製)を用いて80℃の加熱下で貼り付けて第1樹脂膜を形成した。次いで、アミロースフィルム(膜厚3μm)を第1樹脂膜に積層するように30℃の温度下で貼り付けて水溶性膜を形成した。次いで、アクリレート系フィルム(膜厚50μm、商品名:NIT−250、ニチゴーモートン製)を水溶性膜に積層するように、ラミネーター((株)エム・シー・ケー製)を用いて100℃の加熱下で貼り付けて第2樹脂膜を形成した。次に、第1樹脂膜、水溶性膜および第2樹脂膜からなる多層膜に対し、ガラスマスクを用いての露光処理および現像を施して、電極が露出するように直径125μmの開口部を形成した。現像は、1.0%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を用いて行った。次に、この開口部に対して、スクリーン印刷法により、ハンダペーストを充填した。本実施例のハンダペーストは、エポキシ系樹脂、ロジン、活性剤、溶剤、チクソ剤からなる樹脂分10重量部と、粒径25μm以下のハンダ粉末(Sn−3.5%Agハンダ)90重量部とからなり、ハンダ粉末の体積比率は約54vol%である。次に、最高温度240℃の加熱処理を経ることによって、各開口部においてハンダペーストからバンプ部を形成した。次に、アルカリ系水溶液としての5%のモノエタノールアミン水溶液を用いて、アミロースフィルムを分解あるいは溶解し、アクリレート系フィルムとともに除去した。次に、170℃で1時間の熱処理を経ることによって、エポキシアクリレート樹脂フィルムを硬化した。以上の工程を経た結果、第1樹脂膜からの高さが90μmであって、高さのバラツキが1.5μmのバンプ部によるバンプ電極を有する配線基板を得ることができた。ここで、高さのバラツキが1.5μmとは、平均高さに対して±1.5μmのバラツキがあることをいう。
【0044】
【実施例2】
エポキシアクリレート樹脂フィルム(膜厚30μm、商品名:PFR−800、太陽インキ製)を配線基板(電極径70μm、電極ピッチ150μm)に対して電極を覆うように、ラミネーター((株)エム・シー・ケー製)を用いて80℃の加熱下で貼り付けて第1樹脂膜を形成した。次いで、アミロースフィルム(膜厚3μm)を第1樹脂膜に積層するように30℃の温度下で貼り付けて水溶性膜を形成した。次いで、アクリレート系フィルム(膜厚50μm、商品名:NIT−250、ニチゴーモートン製)を水溶性膜に積層するように、ラミネーター((株)エム・シー・ケー製)を用いて100℃の加熱下で貼り付けて第2樹脂膜を形成した。次に、第1樹脂膜、水溶性膜および第2樹脂膜からなる多層膜に対し、ガラスマスクを用いての露光処理および現像を施して、電極が露出するように直径125μmの開口部を形成した。現像は、1.0%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を用いて行った。次に、この開口部に対して、溶融ハンダの充填は、多層膜に開口部を形成した配線基板を260℃に加熱した溶融ハンダ浴に浸漬することにより行った。次に、充填された溶融ハンダを30℃で1分間冷却し、電極上にバンプ部を形成した。次に、アルカリ系水溶液としての5%のモノエタノールアミン水溶液を用いて、アミロースフィルムを分解あるいは溶解し、アクリレート系フィルムとともに除去した。次に、170℃で1時間の熱処理を経ることによって、エポキシアクリレート樹脂フィルムを硬化した。以上の工程を経た結果、第1樹脂膜からの高さが91μmであって、高さのバラツキが1.5μmのバンプ部によるバンプ電極を有する配線基板を得ることができた。
【0045】
【実施例3】
エポキシアクリレート樹脂フィルム(膜厚30μm、商品名:PFR−800、太陽インキ製)を配線基板(電極径70μm、電極ピッチ150μm)に対して電極を覆うように、ラミネーター((株)エム・シー・ケー製)を用いて80℃の加熱下で貼り付けて第1樹脂膜を形成した。次いで、アミロースフィルム(膜厚3μm)を第1樹脂膜に積層するように30℃の温度下で貼り付けて水溶性膜を形成した。次いで、アクリレート系フィルム(膜厚50μm、商品名:NIT−250、ニチゴーモートン製)を水溶性膜に積層するように、ラミネーター((株)エム・シー・ケー製)を用いて100℃の加熱下で貼り付けて第2樹脂膜を形成した。次に、第1樹脂膜、水溶性膜および第2樹脂膜からなる多層膜に対し、ガラスマスクを用いての露光処理および現像を施して、電極が露出するように直径125μmの開口部を形成した。現像は、1.0%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を用いて行った。次に、この開口部にて露出する電極に対して、フラックスを塗布した。次に、フラックスが塗布された各電極上に直径100μmのハンダボール(Sn−3.5%Agハンダ)を載置した。
次に、最高温度240℃の加熱処理を経ることによって、各開口部においてハンダボールからバンプ部を形成した。次に、アルカリ系水溶液としての5%のモノエタノールアミン水溶液を用いて、アミロースフィルムを分解あるいは溶解し、アクリレート系フィルムとともに除去した。次に、170℃で1時間の熱処理を経ることによって、エポキシアクリレート樹脂フィルムを硬化した。以上の工程を経た結果、第1樹脂膜からの高さが91μmであって、高さのバラツキが1.5μmのバンプ部によるバンプ電極を有する配線基板を得ることができた。
【0046】
【実施例4】
<多層膜の作製>
第1樹脂膜であるエポキシアクリレート樹脂フィルム(膜厚30μm、商品名:PFR−800、太陽インキ製)に対して、水溶性膜であるアミロースフィルム(膜厚3μm)を介して、第2樹脂膜であるアクリレート系フィルム(膜厚50μm、商品名:NIT−250、ニチゴーモートン製)を貼り合わせることにより多層膜を作製した。
【0047】
<バンプ電極付き配線基板の作製>
配線基板(電極径70μm、電極ピッチ150μm)に対して、多層膜のエポキシアクリレート樹脂フィルム側の面で電極を覆うように、ラミネーター((株)エム・シー・ケー製)を用いて85℃の加熱下で貼り付けて多層膜を配線基板上に形成した。次に、多層膜に対し、ガラスマスクを用いての露光処理および現像を施して、電極が露出するように直径125μmの開口部を形成した。現像は、1.0%テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を用いて行った。次に、この開口部に対して、スクリーン印刷法により、ハンダペーストを充填した。本実施例のハンダペーストは、エポキシ系樹脂、ロジン、活性剤、溶剤、チクソ剤からなる樹脂分10重量部と、粒径25μm以下のハンダ粉末(Sn−3.5%Agハンダ)90重量部とからなり、ハンダ粉末の体積比率は約54vol%である。次に、最高温度240℃の加熱処理を経ることによって、各開口部においてハンダペーストからバンプ部を形成した。次に、アルカリ系水溶液としての5%のモノエタノールアミン水溶液を用いて、アミロースフィルムを分解あるいは溶解し、アクリレート系フィルムとともに除去した。次に、170℃で1時間の熱処理を経ることによって、エポキシアクリレート樹脂フィルムを硬化した。以上の工程を経た結果、第1樹脂膜からの高さが90μmであって、高さのバラツキが1.5μmのバンプ部によるバンプ電極を有する配線基板を得ることができた。
【0048】
以上のまとめとして、本発明の構成およびそのバリエーションを以下に付記として列挙する。
【0049】
(付記1)第1樹脂膜、第2樹脂膜、および、これら両樹脂膜の間の水溶性膜よりなる多層膜を前記第1樹脂膜にて基材の電極部形成面に積層した構造を有する多層膜積層基材に対して、前記電極部が露出するように前記多層膜に開口部を形成する工程と、
前記開口部に、バンプ部を形成する工程と、
前記水溶性膜および前記第2樹脂膜を同時に除去する除去工程と、を含む、バンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記2)前記多層膜積層基材は、前記基材に対して、前記電極部を覆うように前記第1樹脂膜を形成する工程と、
前記第1樹脂膜に積層するように前記水溶性膜を形成する工程と、
前記水溶性膜に積層するように前記第2樹脂膜を形成する工程と、を経て形成される、付記1に記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記3)前記多層膜積層基材は、前記多層膜を別途形成した後、前記電極部を覆うように前記第1樹脂膜を介して前記基材に貼り合わせることにより形成される、付記1に記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記4)前記除去工程は、アルカリ系水溶液を用いて前記水溶性膜を分解ないし溶解することにより、前記水溶性膜および前記第2樹脂膜を同時に除去する、付記1〜3のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記5)前記水溶性膜は、ゼラチン、デンプン、タンパク質、デンプン誘導体、繊維素誘導体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、ポリエチレンオキシド、ポリ酢酸ビニル部分けん化物、ポリ(スチレン−ビニルアルコール)−g−(エチレンオキシド)からなる群より選択される水溶性高分子により構成されている、付記1〜4のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記6)前記第1樹脂膜および前記第2樹脂膜は、感光性樹脂膜である、付記1〜5のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記7)前記バンプ部を形成する工程は、
前記開口部にハンダペーストを供給する工程と、
加熱処理を経ることによって、前記ハンダペーストからバンプ部を形成する工程と、を含む、付記1〜6のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記8)前記ハンダペーストの供給は、スキージを用いた印刷法で行い、かつ前記スキージによるスキージングは2回以上行う、付記7に記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記9)前記ハンダペーストは、ハンダ粉末と、エポキシ樹脂を含む樹脂分とを含み、前記第1樹脂膜は、エポキシ樹脂を含んでいる、付記7または8に記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記10)前記バンプ部を形成する工程は、
前記開口部に前記溶融ハンダを供給する工程と、
前記溶融ハンダを冷却してバンプ部を形成する工程と、を含む、付記1〜6のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記11)前記バンプ部を形成する工程は、
前記開口部に前記ハンダボールを供給する工程と、
加熱処理を経ることによって、前記ハンダボールからバンプ部を形成する工程と、を含む、付記1〜6のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
(付記12)前記バンプ部を形成する工程は、
めっき法により、前記開口部にハンダ材料を堆積させる工程と、
加熱処理を経ることによって、前記ハンダ材料からバンプ部を形成する工程と、を含む、付記1〜6のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
【0050】
【発明の効果】
本発明によると、機能性保護膜として残す第1樹脂膜の膜厚を制御することができた。そのため、第1樹脂膜の表面からのバンプの高さのバラツキを抑制することができた。したがって、良好な接続信頼性を得ることができた。また、より少ない工程数でバンプ電極付き電子部品を製造することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るバンプ電極付き電子部品の製造方法における一部の工程を表す断面図である。
【図2】図1に続く工程を表す断面図である。
【図3】図1に続く別の工程を表す断面図である。
【図4】図1に続く別の工程を表す断面図である。
【図5】本発明の第2の実施形態に係るバンプ電極付き電子部品の製造方法における一連の工程を表す断面図である。
【図6】従来のバンプ電極付き電子部品の製造方法における一連の工程を表す断面図である。
【符号の説明】
1 基材
2 配線パターン
3 第1ソルダレジスト層
3a 第1開口部
3b 第1ソルダレジスト層の表面
4 第2ソルダレジスト層
5 ハンダペースト
11 半導体チップ(基材)
11a 電極(電極部)
12,42 第1樹脂膜
13,43 水溶性膜
14,44 第2樹脂膜
15,45 多層膜
15a,45a 開口部
16 ハンダペースト
17 ハンダバンプ(バンプ部)
26 ハンダボール
36 溶融ハンダ
Claims (5)
- 第1樹脂膜、第2樹脂膜、および、これら両樹脂膜の間の水溶性膜よりなる多層膜を前記第1樹脂膜にて基材の電極部形成面に積層した構造を有する多層膜積層基材に対して、前記電極部が露出するように前記多層膜に開口部を形成する工程と、
前記開口部に、バンプ部を形成する工程と、
前記水溶性膜および前記第2樹脂膜を同時に除去する除去工程と、を含む、バンプ電極付き電子部品の製造方法。 - 前記多層膜積層基材は、前記基材に対して、前記電極部を覆うように前記第1樹脂膜を形成する工程と、
前記第1樹脂膜に積層するように前記水溶性膜を形成する工程と、
前記水溶性膜に積層するように前記第2樹脂膜を形成する工程と、を経て形成される、請求項1に記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。 - 前記多層膜積層基材は、前記多層膜を別途形成した後、前記電極部を覆うように前記第1樹脂膜を介して前記基材に貼り合わせることにより形成される、請求項1に記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
- 前記除去工程は、アルカリ系水溶液を用いて前記水溶性膜を分解ないし溶解することにより、前記水溶性膜および前記第2樹脂膜を同時に除去する、請求項1〜3のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
- 前記水溶性膜は、ゼラチン、デンプン、タンパク質、デンプン誘導体、繊維素誘導体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、ポリエチレンオキシド、ポリ酢酸ビニル部分けん化物、ポリ(スチレン−ビニルアルコール)−g−(エチレンオキシド)からなる群より選択される水溶性高分子により構成されている、請求項1〜4のいずれか1つに記載のバンプ電極付き電子部品の製造方法。
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