JP2006133670A - パネル検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 パネル検査装置の測定値の変動状態や欠陥分布を可視化して表示すること。
【解決手段】 複数のピクセルを備えるパネルを検査用駆動パターンにより駆動して得られる電流信号から各ピクセルを検査するパネル検査装置１において、検査部２からの測定値の取得処理、及び当該測定値の保存処理を行う測定値制御部３と、測定値を保存する測定値保存部４と、測定値制御部３から測定値を取得して測定値の二次元マップ画像を生成し、ディスプレイに表示する測定値表示部５とを備えた構成とする。測定値表示部５は二次元マップ画像を表示すると共にその二次元マップ画像上にパネルの欠陥部位を表示する。
【選択図】図１

Description

本発明は、有機ＥＬディスプレイなどに用いられる有機ＥＬパネル、あるいは液晶ディスプレイなどに用いられる液晶パネル等のパネルを検査するパネル検査装置に関する。

有機ＥＬディスプレイなどに用いられる有機ＥＬパネル、あるいは液晶ディスプレイなどに用いられる液晶パネル等のパネルを検査するには、検査信号をパネルに供給して所定動作で駆動し、パネルの点灯状態を目視やＣＣＤカメラ等の撮像装置による画像によって観察する方法が知られているが、評価者の個人差や同一人であっても評価基準が変動するなどにより評価結果にばらつきが生じるという問題が指摘されている。

このような課題に対して、例えば有機ＥＬディスプレイの画素に流れる電流を測定することで有機ＥＬディスプレイの評価を行う評価装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
特開２００２−４００７４号公報

パネル検査装置で測定された測定値は、通常、パネルの画素を表す位置データと共に測定値を一覧テーブルの形式で印刷あるいはディスプレイ上に表示される。このような測定値の表示形態では、パネル上において測定値の変動状態やパネル上の欠陥の分布を一目で識別することが困難であるという問題があり、測定値の変動状態や欠陥分布を可視化し一目で識別することができる表示形態が求められている。

そこで、本発明は上記課題を解決し、パネル検査装置の測定値の変動状態や欠陥分布を可視化して表示することを目的とする。

上記目的を解決するために、本発明は、複数のピクセルを備えるパネルを検査用駆動パターンにより駆動して得られる電流信号から各ピクセルを検査するパネル検査装置において、検査部からの測定値の取得処理、及び当該測定値の保存処理を行う測定値制御部と、測定値を保存する測定値保存部と、測定値制御部から測定値を取得して測定値の二次元マップ画像を生成し、ディスプレイに表示する測定値表示部とを備えた構成とする。測定値表示部は二次元マップ画像を表示すると共にその二次元マップ画像上にパネルの欠陥部位を表示する。

本発明の測定値表示部は、パネルの欠陥部位を所定色で表示するカラー表示、及び／又は、欠陥部位を所定マークに表示するマーク表示を行うことにより、二次元マップ画像上において欠陥部位の識別を容易とする。

また、二次元マップ画像上で指定する指定位置を検出する指定位置検出部を備え、測定値表示部は、この指定位置検出部が指定した指定位置に対応するパネル上の位置座標及び測定値を二次元マップ画像上に表示する機能を有する。

二次元マップ画像上の欠陥部位と位置座標及び測定値はリンクされており、上記機能によってディスプレイに表示される二次元マップ画像上において欠陥部位を指定すると、リンクされた欠陥部位の位置座標や測定値を読み出すことでディスプレイ上に表示することができる。

本発明の測定値表示部は、さらに、パネルの欠陥の一覧表示と二次元マップ画像表示とをディスプレイ上に表示し、二次元マップ画像上に一覧表示する欠陥位置を表示する機能を備える。この機能により、一覧表示に表示される欠陥部位を二次元マップ画像表示上において識別し確認することが容易となる。

測定値表示部は、測定値に基づいて二次元マップ画像のコントラストを調整する機能を備え、測定値に応じて自動でコントラスト調整を行うことができる。

また、測定値表示部は、二次元マップ画像をディスプレイ上に拡大表示する拡大表示機能を備える。

本発明の測定値保存部は、測定値を画像形式及びデータ形式を保存する。これによって、ディスプレイ上に二次元マップ画像表示と欠陥部位の一覧表示とを行うことができる。

本発明のパネル検査装置によれば、パネル検査装置の測定値の変動状態や欠陥分布を可視化して表示することができる。

以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。

はじめに、本発明のパネル検査装置の概略構成について図１を用いて説明する。

図１において、パネル検査装置１は、複数のピクセルを備えるパネルを検査用駆動パターンにより駆動して得られる電流信号から各ピクセルを検査する検査部２と、検査部２から測定値を取得する処理、取得した測定値を保存する処理を行う測定値制御部３と、測定値を保存する測定値保存部４と、測定値制御部３から測定値を取得して二次元マップ画像を生成しディスプレイ６に表示する測定値表示部５とを備える。

検査部２は、有機ＥＬパネルや液晶パネル等の検査パネルに対応した構成を備え、パネルに検査信号を印加してパネルを駆動し、検査信号によって生じた電圧状態や電流状態を検出することによって、パネル検査を行う。これら検査信号を印加する回路構成や検出回路構成はパネルの特性に応じて設定される。例えば、液晶パネルは電圧駆動であり、有機ＥＬパネルは電流駆動であるため、検査回路はこれら電圧駆動あるいは電流駆動に応じて構成される。

検査部２は、上記各検査のための構成の他に、所定の操作による検査動作を制御するための検査制御部や、検査で得られた検査出力信号をデータ処理するデータ処理部等を備える。

測定値制御部３は、検査部２から測定値を取得する処理を行う他、検査部２から取得した測定値や後述する欠陥検出部５ａで検査した欠陥結果を測定値保存部４に保存する処理や、測定値保存部４から保存データを読み出す処理を行う。なお、欠陥検出部５ａの処理は測定値制御部３内で行ってもよい。

測定値保存部４は、測定値や欠陥結果を保存する。測定値は、データ形式で保存する他に画像形式で保存することができる。

ディスプレイ６は、測定値の二次元マップ画像６ａ及び一覧表示６ｂを表示する表示装置である。

指定位置検出部７は、ディスプレイ６上で指定される位置を検出する機構であり、例えば、ディスプレイ６上に表示されるカーソル位置によって位置指定を行う。

測定値表示部５は、測定値保存部４に保存する測定値や欠陥結果をディスプレイ６に表示する処理を行う。測定値表示部５は、ディスプレイ上に測定値を二次元マップ画像で表示する他、測定値をキャラクタデータで表示することができ、表示に関して以下の各種の機能を備える。

第１の表示機能は、欠陥部位などの測定値が設定したしきい値を越える点や領域について、測定値がしきい値を越えない部位と色調で識別できる様に、異なる色で表示するカラー表示や、当該部位にマークを表示するマーク表示等を行う機能である。

第２の表示機能は、ディスプレイ上に表示する欠陥部位をポインタ等により指定すると、その位置情報及び測定値を読み出してディスプレイに表示する機能である。

第３の表示機能は、ディスプレイ上に欠陥部位の一覧表示と二次元マップ画像表示とを行い、一覧表示に表示される欠陥部位を指定すると、その欠陥部位の位置情報及び測定値を読み出して二次元マップ画像表示上に重ねて表示する機能である。

第４の表示機能は、二次元マップ画像のコントラストを測定値に基づいて自動設定する機能である。

第５の表示機能は、二次元マップ画像の拡大表示機能であり、ディスプレイに表示される二次元マップ画像上で指定された部分についてマッピング画像を拡大して表示する機能である。

第６の表示機能は、検査部２から取得する測定値を表す階調数と、ディスプレイの二次元マップ画像を表す階調数が異なる場合に、ディスプレイ側の階調に合わせて測定値のスケールを変換する機能である。

なお、上記した表示機能の第１から第６の順に格別な意味はなく、機能の重要度を表すものではない。

測定値表示部５は、欠陥検出部５ａ、しきい値判別部５ｂ、スケール変換部５ｃ、二次元マップ画像表示処理部５ｄ、一覧表示処理部５ｅ、コントラスト調整処理部５ｆ、拡大表示処理部５ｇ等を備え、上記した各種機能を実現する。

欠陥検出部５ａはパネルのピクセルの良否判定の処理を行う。欠陥検出部５ａでの欠陥検出は、例えば、しきい値判別部５ｂによって測定値をしきい値と比較することによって判別することができる。しきい値は、予め設定する他に、取得した測定値の信号レベルに応じて設定するよう構成してもよい。

スケール変換部５ｃは前記第６の機能を実現する構成部分であり、測定値制御３から測定値保存部４に保存する測定値を読み出して取得し、この測定値を表す階調数と、ディスプレイ６の二次元マップ画像６ａでの表示に用いる階調数とが異なる場合には、二次元マップ画像６ａでの階調数に合うように測定値を変換する。この変換処理については、図５，６を用いて後に説明する。

二次元マップ画像表示処理部５ｄは、スケール変換部５ｃで変換処理された測定値を用いて二次元マップ画像の画像データを生成し、ディスプレイ６の二次元マップ画像６ａに表示する。この二次元マップ画像表示処理部５ｄは、カラー表示やマーク表示を行う第１の機能、及びディスプレイ上の二次元マップ画像に欠陥部位の位置情報及び測定値を読み出して重ねて表示する第２及び第３の表示機能を実現する。

カラー表示及びマーク表示の第１の機能は、測定値が設定されたしきい値を越えた点について、他の部位と異なる色調でカラー表示したり、マークを表示する表示形態とすることで、欠陥部位の識別を容易とする。カラー表示やマーク表示を行う点は、欠陥検出部５ａで検出した欠陥部位とする他、二次元マップ画像表示処理５ｄ内で設定したしきい値に従って行うこともできる。しきい値は予め設定しておく他に、測定値のレベルに従って設定したり、図示しない入力手段によって設定してもよい。

また、しきい値を複数設定し、二次元マップ画像を多段階のカラー表示とすることもできる。

第２の機能は、二次元マップ画像表示処理部５ｄは指定位置検出部７で指定された欠陥部位等のポインタ位置に基づいて、測定値保存部４から指定位置に対応する位置情報及び測定値を取り込み、二次元マップ画像上に重ねて表示する。

また、第３の表示機能は、ディスプレイ６上に欠陥部位の一覧表示６ｂと二次元マップ画像表示６ａとを行い、指定位置検出部７により一覧表示６ｂに表示される欠陥部位を指定すると、その欠陥部位の位置情報及び測定値を読み出して二次元マップ画像表示上に重ねて表示する。

コントラスト調整処理部５ｆは前記第４の表示機能を実現する構成部分であり、測定値に基づいて二次元マップ画像のコントラストを自動設定する。

拡大表示処理部５ｇは第５の表示機能を実現する構成部分であり、指定位置検出部７によりディスプレイに表示される二次元マップ画像表示６ａ上で指定された部分についてマッピング画像を拡大して表示する。

次に、測定値制御部及び測定値表示部の表示動作例について図２、図３を用いて説明する。

測定値制御部３は、検査部２から取得した測定値を測定値保存部４に保存する。図２に示す測定値保存部４中では保存するデータの構成例を示している。保存データとして、例えば、測定値の座標値（Ｘ座標値、Ｙ座標値）、測定値、及び欠陥判定の判定結果等をデータ形式で記録する他、測定値については画像形式で記録する。

測定値制御部３は、測定値保存部４に記録されるデータに基づいてディスプレイに表示を行う。表示は二次元マップ画像表示６ａと一覧表示６ｂとすることができる。

二次元マップ画像表示処理部５ｂは、測定値保存部４から読み出した測定値をスケール変換部５ｃでディスプレイ６の階調に応じてスケール変換した測定値を用いて二次元マップ画像データを生成する。ディスプレイ６の階調は、例えば、ディスプレイにおいて表示する際のビット数に依存する。

二次元マップ画像表示処理部５ｄは、二次元マップ画像データとして例えば、測定値の座標値（Ｘ座標値、Ｙ座標値）、変換後の測定値、欠陥判定の判定結果等のデータ値、及び二次元マップ画像データを記録し、また、不良ポイントについては検査部２から取得した測定値そのものを記録する。

二次元マップ画像表示６ａにおいて、欠陥と判定された点はカラー表示あるいはマーク表示することにより、正常部分と識別可能に表示する。図２では一例として三角マークのマーク表示を行う例を示している。

このマーク表示された欠陥点（図３中の７ａ）の位置情報及び測定値は、二次元マップ画像表示処理部５ｄの二次元マップ画像データから取得して、二次元マップ画像表示６ａ上に重ねて表示することができる（図３中の７ｂ）。上記欠陥点の指定は、例えば、二次元マップ画像表示７ａ上においてカーソル等により指定することができ、指定位置検出手段７により指定位置を検出することができる。

二次元マップ画像表示処理部５ｄは、指定位置検出手段７で検出された指定位置に基づいてその欠陥点の座標（Ｘ座標、Ｙ座標）と測定値を読み出して、二次元マップ画像表示６ａ上に表示する。図２，３では、例えば、（１００，２００）で座標を表し、Value1024で測定値を表している。

また、指定位置検出部７によって一覧表示６ｂに表示される欠陥点がカーソル等で指定されると、二次元マップ画像表示処理部５ｄはこの指定された欠陥点に対応する位置を読み出して、二次元マップ画像表示６ａ上に識別可能に表示する。指定以外の欠陥点との識別は、表示色や表示マークを変えることで行うことができる。

図４は拡大表示を説明するための図である。図４（ａ）は拡大前の表示例を示し、（ｂ）は拡大後の表示例を示している。

図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す二次元マップ画像表示６ａ中の破線で囲む領域を拡大表示する場合を示している。拡大表示は、カーソル等で拡大表示の中心点を指定し、この指定点を中心とする所定の大きさの領域７ｃを拡大表示領域とする。なお、領域の大きさ及び形状（図示する例では矩形形状の例を示している）は任意に設定することができる。

拡大表示の例は、指定領域７ｃ内に欠陥ピクセルの表示、及びその測定値を表示することができる。図４（ｂ）の例では、Ｘ方向とＹ方向の欠陥ラインの交差点の位置及び測定値と、ラインに欠損部分の位置及び測定値を表示している。

以下、スケール変換について、図５，６を用いて説明する。図５は測定値とディスプレイ表示の階調の関係を示し、図６はスケール変換のフローチャートを示している。図５において、測定値は例えば１０ビットで表される階調とし、ディスプレイ表示は例えば８ビットで表される階調とする。このように階調が異なると、測定値の値をそのままディスプレイ表示で表示することができない。そこで、階調を合わせるためにスケール変換する。

スケール変換の変換処理は、例えば、測定値の最大値と最小値を求め（ステップＳ１）、測定値の最大値をディスプレイ表示の最大の階調（図中の“２５６”）に対応させ、測定値の最小値をディスプレイ表示の最小の階調（図中の“１”）に対応させ、測定値の最大値と最小値の階調範囲を、ディスプレイ表示の階調範囲内で比例配分して対応付けをしておく（ステップＳ２）。

測定値制御部３によって測定値保存部４から読み出し（ステップＳ３）、読み出した測定値を求めておいた対応関係に基づいて変換し（ステップＳ４）、対応値を求める（ステップＳ５）。

上記ステップＳ３〜ステップＳ５の変換処理を全測定値について行うことで、スケール変換した二次元マップ画像データを求めることができる（ステップＳ５）。

本発明のパネル検査装置は、液晶パネルの検査や有機ＥＬパネルの検査に適用することができる。

本発明のパネル検査装置の概略構成を説明するための図である。 本発明のパネル検査装置の測定値制御部及び測定値表示部の表示動作例を説明するための図である。 本発明のパネル検査装置の測定値制御部及び測定値表示部の表示動作例を説明するための図である。 本発明のパネル検査装置の拡大表示を説明するための図である。 本発明のパネル検査装置の測定値とディスプレイ表示の階調の関係を示す図である。 本発明のパネル検査装置のスケール変換を説明するためのフローチャートである。

符号の説明

１…パネル検査装置、２…検査部、３…測定値制御部、４…測定値保存部、５…測定値表示部、５ａ…欠陥ポイント検出部、５ｂ…しきい値判別部、５ｃ…スケール変換部、５ｄ…二次元マップ画像表示処理部、５ｅ…一覧表示処理部、５ｆ…コントラスト調整部、５ｇ…拡大表示処理部、６…ディスプレイ、６ａ…二次元マップ画像表示、６ｂ…一覧表示、７…指定位置検出部、７ａ…マーク表示、７ｂ…位置・測定値表示、７ｃ…拡大領域。

Claims (6)

1. 複数のピクセルを備えるパネルを検査用駆動パターンにより駆動して得られる電流信号から各ピクセルを検査するパネル検査装置において、
   検査部からの測定値の取得処理、及び当該測定値の保存処理を行う測定値制御部と、
   前記測定値を保存する測定値保存部と、
   前記測定値制御部から測定値を取得し、当該測定値の二次元マップ画像を生成し、ディスプレイに表示する測定値表示部とを備え、
   前記測定値表示部は、パネルの欠陥部位を二次元マップ画像上に表示することを特徴とするパネル検査装置。
2. 前記測定値表示部は、パネルの欠陥部位を所定色で表示するカラー表示、及び／又は、欠陥部位を所定マークに表示するマーク表示することを特徴とする請求項１に記載のパネル検査装置。
3. 前記二次元マップ画像上で指定する指定位置を検出する指定位置検出部を備え、
   前記測定値表示部は、当該指定位置検出部が指定した指定位置に対応するパネル上の位置座標及び測定値を同二次元マップ画像上に表示することを特徴とする請求項１又は２に記載のパネル検査装置。
4. 前記測定値表示部は、パネルの欠陥の一覧表示と二次元マップ画像表示とをディスプレイ上に表示し、前記一覧表示中で指定する欠陥の位置を二次元マップ画像上で表示することを特徴とする請求項１又は２に記載のパネル検査装置。
5. 前記測定値表示部は、測定値に基づいて二次元マップ画像のコントラストを調整する機能、及び／又は二次元マップ画像をディスプレイ上に拡大表示する拡大表示機能を備えることを特徴とする、請求項１乃至４の何れかに記載のパネル検査装置。
6. 前記測定値保存部は、測定値を画像形式及びデータ形式を保存することを特徴とする、請求項１乃至４の何れかに記載のパネル検査装置。

Images