JP2006133025A - チップ検査装置及びチップ検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査対象チップは、チップ401からチップ407までの1行の7チップであり、そのうちの1つのチップ401を基準チップとして定義する。X−Yステージにより、基準チップA401からチップG407までを順次スキャンする。この間、画像比較部により、基準チップA401とその他のチップB401からG407までとの差画像B−A408から差画像G−A413までのデータを、順次、求めることができる。ここで、どの差画像データにおいても共通の位置に同様の形状で検出された欠陥は、基準チップA401の欠陥(チップ左下端の欠陥)と判断できる。
【選択図】 図4
Description
Claims (5)
- 被検査物上に規則的に配置された複数のチップを検査するチップ検査方法であって、
ある一方向に順次走査しながらそれぞれのチップ領域の画像を撮像するステップと、
複数の前記チップのうちから1つだけ選択された基準チップと該基準チップ以外の比較対象チップとの2チップ間の画像の比較により得られる差画像データを前記一方向に順次求めるステップと
を有することを特徴とするチップ検査方法。 - 被検査物上に規則的に配置された複数のチップを検査するチップ検査方法であって、
ある一方向に順次走査しながらそれぞれのチップ領域の画像を撮像するステップであって、前記一方向に連続するチップ群を、該一方向に連続する3チップ以上のチップユニットであってその中に1つの基準チップを有するチップユニット毎に分割し、該1つのチップユニット毎にそれぞれのチップ領域の画像を撮像するステップと、
前記基準チップと該基準チップ以外の比較対象チップとの2チップ間の画像の比較により得られる差画像データを前記1つのチップユニット内において前記一方向に順次求めるステップと
を有することを特徴とするチップ検査方法。 - 前記チップユニットを前記一方向に順次移動させて選択することを特徴とする請求項2に記載のチップ検査方法。
- 被検査物上に規則的に配置された複数のチップを検査するチップ検査装置であって、
前記被検査物上に投下された光の反射光を受光し、前記チップ毎の画像をある一方向に順次走査しながら取得する画像センサと、
取得した前記画像をある一方向に数チップ分にわたり記憶する画像メモリと、
複数の前記チップのうちから1つだけ選択された基準チップと該基準チップ以外の比較対象チップとの2チップ間の画像とを比較する比較部と、
該比較部により比較して得られた差画像データを前記一方向に順次求める演算部と
を有することを特徴とするチップ検査装置。 - 被検査物上に規則的に配置された複数のチップを検査するチップ検査装置であって、
前記被検査物上に投下された光の反射光を受光し、ある一方向に順次走査しながらそれぞれのチップ領域の画像を撮像する画像センサであって、前記一方向に連続するチップ群を、該一方向に連続する3チップ以上のチップユニットであってその中に1つの基準チップを有するチップユニット毎に分割し、該1つのチップユニット毎にそれぞれのチップ領域の画像を撮像する画像センサと、
前記基準チップと該基準チップ以外の比較対象チップとの2チップ間の画像の比較する比較部と、
該比較部により比較して得られた差画像データを前記1つのチップユニット内において前記一方向に順次求める演算部と
を有することを特徴とするチップ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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