JP2006128407A - 素子分離及びその製造方法並びに半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】絶縁酸化膜から半導体基板へ加えられるストレスを緩和することができるボイドを有し、かつ、平坦性に優れたトレンチ型素子分離を提供する。
【解決手段】本発明の素子分離は、半導体基板1の一部に形成されたトレンチ2に絶縁膜4が埋められた素子分離であって、第1の側面6と、上記第1の側面6よりも深い位置に設けられ、上記第1の側面6よりもテーパー角度の大きい第2の側面7と、上記第2の側面7よりも深い位置に設けられ、上記第2の側面7よりもテーパー角度の小さい第3の側面8とを有し、上記第2の側面よりも深い位置にボイド10が形成されている。この素子分離を製造する工程では、トレンチ2内に絶縁膜4を埋める工程において絶縁性物質を鉛直方向から供給することにより、絶縁性物質を第2の側面7に衝突させて反射させ、トレンチ2の下部に自己整合的にボイドを形成することができる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の素子分離は、半導体基板1の一部に形成されたトレンチ2に絶縁膜4が埋められた素子分離であって、第1の側面6と、上記第1の側面6よりも深い位置に設けられ、上記第1の側面6よりもテーパー角度の大きい第2の側面7と、上記第2の側面7よりも深い位置に設けられ、上記第2の側面7よりもテーパー角度の小さい第3の側面8とを有し、上記第2の側面よりも深い位置にボイド10が形成されている。この素子分離を製造する工程では、トレンチ2内に絶縁膜4を埋める工程において絶縁性物質を鉛直方向から供給することにより、絶縁性物質を第2の側面7に衝突させて反射させ、トレンチ2の下部に自己整合的にボイドを形成することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、素子分離膜及びその製造方法に関し、特に、下部にボイドを有するトレンチ素子分離及びその製造方法に関するものである。また、本発明は、素子分離を有する半導体装置及びその製造方法にも関する。
従来から、半導体素子の集積度が増加しており、これに伴って素子分離用絶縁膜の重要性も益々高まってきている。素子分離用絶縁膜に必要な特性は、物理的な特性と電気的な特性とに大別される。近年では、半導体装置の集積度の増加が可能であるといった物理的な特性と、トランジスタ同士をより確実に分離することができるといった電気的な特性との両方を兼ね備えたトレンチ型素子分離方法が、高集積半導体装置に広く採択されている。
トレンチ型素子分離の形成方法は、半導体基板の所定領域をエッチングにより除去してトレンチを形成する工程と、上記トレンチ内に素子分離用絶縁膜を形成する工程とを含む。しかし、一般的な半導体装置の製造方法では、素子分離用絶縁膜を形成した後に、トランジスタの不純物領域を活性化するなどの目的で熱工程を行う必要があり、この熱処理を行うと、素子分離用絶縁膜と半導体基板の膨張率の違いから半導体基板にストレスがかかってしまう。このようなストレスは半導体基板のうち素子分離用絶縁膜の底のコーナー部分と接触する部分の近傍に集中し、その部分に欠陥が生じると、接合漏れ電流が増加する。これにより、半導体素子の誤動作が誘発されたり電力消耗が増加するといった不具合が生じてしまう。このような問題点を解決するために、特許文献1では、トレンチの下部にボイドを形成することにより、ボイドがストレスを吸収し半導体基板へのストレスを減少する方法が提案されている。
図9(a)〜(c)は、従来のトレンチ型素子分離の製造工程を示す断面図である。従来のトレンチ型素子分離の製造方法では、まず、図9(a)に示す工程で、シリコン基板101、シリコン基板101上に堆積された酸化膜110およびシリコン窒化膜100のうちの所定の領域にフォトレジスト(図示せず)をマスクとしてトレンチ102を形成する。そして、フォトレジストを除去した後にトレンチ102の底面及び側面の上に酸化膜104を形成した後、酸化膜104の上にシリコン窒化膜(図示せず)を形成し、異方性エッチングを行うことにより、トレンチ102の側面の上における酸化膜104の上にシリコン窒化膜からなるサイドウォール105を形成する。
次に、図9(b)に示す工程で、ウェットエッチングを行うことにより、トレンチ102の底面と、側面のうち底面の近傍に位置する部分との上における酸化膜104を除去する。これにより、トレンチ102の側面のうち底面の近傍に位置する領域とサイドウォール105との間には空間が生じている。
次に、図9(c)に示す工程で、トレンチ102内を埋め、トレンチ102の外部におけるシリコン基板101の上に伸びる絶縁膜(図示せず)を形成する。その後、CMP等を行うことにより、絶縁膜のうちシリコン基板101の上の不要な部分を除去し、トレンチ102内を埋める絶縁膜106を残す。このとき、トレンチ102の側面とサイドウォール105とに挟まれる空間には絶縁膜106が入り込まないため、この部分はボイド107となる。その後にシリコン基板101上に堆積された酸化膜110およびシリコン窒化膜100をウェットエッチング法等で除去する。
特開平11−16998号公報
しかしながら、上記従来の方法では、工程が複雑になり製造コストがかかってしまう。また、この方法では、トレンチ102の側面上に、酸化膜104と、酸化膜104とエッチングレートの異なるシリコン窒化膜からなるサイドウォール105とを形成し、トレンチ102内を酸化膜等の絶縁膜106で埋める。そのため、シリコン基板101上に堆積された酸化膜110およびシリコン窒化膜100をウェットエッチング法等で除去するためのウェットエッチングを行うと、絶縁膜106と酸化膜104とが選択的に除去されて、サイドウォール105のみが残留して突起108が形成される。この突起108によって基板の平坦性が損なわれるため、ゲート電極等の素子の形成が困難になり不良が増加するといった不具合が生じていた。
本発明は、半導体基板から加えられるストレスを緩和することができるボイドを有し、かつ、平坦性に優れたトレンチ型素子分離と、ボイドを容易に形成することが出来るトレンチ型素子分離の製造方法とを提供することを目的とする。
本発明の素子分離は、半導体基板の一部に形成された溝に絶縁膜が埋められた素子分離であって、第1の側面と、上記第1の側面よりも深い位置に設けられ、上記第1の側面よりもテーパー角度の大きい第2の側面と、上記第2の側面よりも深い位置に設けられ、上記第2の側面よりもテーパー角度の小さい第3の側面とを有し、上記第2の側面よりも深い位置にボイドが形成されていることを特徴とする。
この素子分離を製造する工程では、溝内に絶縁膜を埋める工程において絶縁性物質を鉛直方向から供給することにより、絶縁性物質を第2の側面に衝突させて反射させることができる。したがって、溝のうち第2の側面よりも下に位置する部分、つまり第3の側面を有する部分のステップカバレッジが小さくなるため、その部分に自己整合的にボイドが形成される。また、ボイドの上には均一に絶縁膜が堆積されるため、素子分離の中央部にシームが発生するのが抑制され、素子分離の表面の平坦性が向上する。
このような構造を有する素子分離では、上部が絶縁膜によって均一に埋められているため、水平方向の耐圧を確保できる。例えば、半導体基板に大きな電圧が印加されるソース・ドレイン領域等の不純物拡散層が形成されている場合にも、十分に破壊耐圧を確保することができる。これと共に、素子分離の下部にボイドが形成されているため、熱処理時に生じるストレスを吸収することができ、素子分離の底のコーナー部にストレスが集中するのを効果的に抑制することができる。したがって、ストレスによって欠陥が発生して、漏れ電流が発生するのを抑制することができる。
上記第2の側面のテーパー角は、45度以上90度以下であることが好ましい。この場合には、溝を絶縁膜で埋める工程において、絶縁性物質を第2の側面に効率よく衝突させることができる。
また、本発明の半導体装置は本発明の素子分離を備えるものであって、上記半導体基板のうち上記素子分離に囲まれる領域には不純物拡散層を有する素子が設けられ、上記不純物拡散層の接合深さは、上記第1の側面の設けられている深さよりも深いことが好ましい。この場合には、広い分離幅が必要である不純物拡散層を、溝のうち最も広い横幅を有する第1の側面によって分離することができる。
本発明の素子分離方法の製造方法は、半導体基板の一部に溝を形成して上記溝に絶縁膜を埋める素子分離の製造方法であって、上記溝のうち第1の側面を有する部分を形成する工程(a)と、上記第1の側面よりも深い位置に、上記溝のうち、上記第1の側面よりもテーパー角度の大きい第2の側面を有する部分を形成する工程(b)と、上記第2の側面よりも深い位置に、上記溝のうち、上記第2の側面よりもテーパー角度の小さい第3の側面を有する部分を形成する工程(c)と、上記工程(c)の後に、上記溝に対して鉛直方向から絶縁性物質を堆積することにより、上記溝のうち上記第2の側面よりも深い位置にボイドを形成しながら上記溝を上記絶縁膜で埋める工程(d)とを備えることを特徴とする。
この方法では、工程(d)で、絶縁性物質を鉛直方向から供給することにより、絶縁性物質を第2の側面に衝突させて反射させることができる。したがって、溝のうち第2の側面よりも下に位置する部分、つまり第3の側面を有する部分のステップカバレッジが小さくなるため、その部分に自己整合的にボイドを形成することができる。また、ボイドの上には均一に絶縁膜を堆積することができるため、素子分離の中央部にシームが発生するのを防止することができ、素子分離の表面の平坦性を向上させることができる。
この方法で形成された素子分離では、上部が絶縁膜によって均一に埋められているため、水平方向の耐圧を確保できる。例えば、半導体基板に大きな電圧が印加されるソース・ドレイン領域等の不純物拡散層が形成されている場合にも、十分に破壊耐圧を確保することができる。これと共に、素子分離の下部にボイドが形成されているため、熱処理時に生じるストレスを吸収することができ、素子分離の底のコーナー部にストレスが集中するのを効果的に抑制することができる。したがって、ストレスによって欠陥が発生して、漏れ電流が発生するのを抑制することができる。
上記第2の側面のテーパー角を45度以上90度以下とすることが好ましい。この場合には、工程(d)において、絶縁性物質を第2の側面に効率よく衝突させることができる。
上記工程(a)、上記工程(b)及び上記工程(c)では、エッチングを行うことにより上記溝を形成し、上記工程(b)では、上記工程(a)よりも上記エッチングの堆積成分を増加させることにより上記第2の側面のテーパー角度を上記第1の側面よりも大きくし、上記工程(c)では、上記工程(b)よりも上記エッチングの堆積成分を減少させることにより上記第3の側面のテーパー角度を上記第2の側面よりも小さくしてもよい。この方法では、工程数の増加を伴うことなくエッチングの条件を変化させるだけで溝の側面のテーパー角を変化させることができる。
上記工程(a)の後であって上記工程(b)の前に、上記溝における上記第1の側面と底面を覆う膜を形成する工程(e)をさらに備え、上記工程(b)では、上記膜に対して異方性エッチングを行うことにより、上記第1の側面を覆うサイドウォールを形成し、上記溝の底面のうち上記サイドウォールにより覆われる部分を上記第2の側面とし、上記工程(c)では、上記サイドウォールをマスクとしてエッチングを行うことにより、上記溝のうち第3の側面を有する部分を形成し、上記工程(c)の後で上記工程(d)の前に、上記サイドウォールを除去する工程(f)をさらに備えていてもよい。この場合には、工程(b)及び(c)において、より確実に第2の側面のテーパー角や幅を制御することができる。
上記工程(e)では、上記膜として有機系膜を形成してもよい。
上記工程(b)における上記異方性エッチングと、上記工程(c)における上記エッチングとを、同一の条件で続けて行ってもよい。
上記工程(e)では、上記膜として酸化膜を形成してもよい。
本発明の半導体装置の製造方法は、本発明の素子分離の製造方法を含むものであって、上記工程(d)の後に、上記半導体基板のうち上記素子分離に囲まれる領域に不純物拡散層を形成する工程(g)をさらに備え、上記工程(g)では、上記不純物拡散層の接合深さを、上記第1の側面の設けられている深さよりも深くすることが好ましい。この方法で形成された半導体装置では、広い分離幅が必要である不純物拡散層を、溝のうち最も広い横幅を有する第1の側面によって分離することができる。
本発明の素子分離によれば、素子分離として必要な分離幅と分離深さを確保しつつ、溝の下部のボイドによって熱処理によるストレスを緩和することができる。これにより、ストレスによって欠陥が発生して漏れ電流が生じるのを防止することができる。
また本発明の素子分離の製造方法によれば、簡便な方法で確実にボイドを形成することができる。
以下では、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(素子分離の構造)
図1(a)は、本発明のトレンチ型素子分離の構造を模式的に示す断面図であり、図1(b)は、トレンチ側壁の段差部分を拡大して示す断面図である。図1(a), (b)に示す半導体基板1は例えばシリコンからなり、トランジスタ等の素子を形成する素子形成領域R1と、素子形成領域R1を囲む素子分離領域R2とに分けられる。そして、半導体基板1のうち素子分離領域R2に位置する部分にはトレンチ2が設けられ、トレンチ2の側面及び底面を覆う厚さ10nmのバリア膜3と、バリア膜3の上からトレンチ2内を埋めるシリコン酸化膜からなる埋め込み絶縁膜4とからなるトレンチ型素子分離5が設けられている。トレンチ型素子分離5は、300〜400nmの深さで設けられ、上面は100nmの幅を有し、下面は60〜70nmの幅を有している。トレンチ型素子分離5の側面は、テーパー角によって3つの領域に分けられ、深さの浅い順に、第1のテーパー角Aを有する第1の側面6と、第2のテーパー角Bを有する第2の側面7と、第3のテーパー角Cを有する第3の側面8とから構成されている。第1のテーパー角Aと第3のテーパー角Cとはほぼ等しく、第2のテーパー角Bは第1のテーパー角A及び第3のテーパー角Cよりも大きい。第1のテーパー角A及び第3のテーパー角Cは例えば5度程度であり、第2のテーパー角Bは、45度以上90度以下であることが好ましく、また第2の側面7は10nm以上の長さ(面の上端から下端までの長さ)を有していることが好ましい。なお、本明細書中において、「トレンチ型素子分離の側面のテーパー角」とは、トレンチ型素子分離の側面が、鉛直方向からトレンチ型素子分離の内側へ向かう側に傾いている角度をいう。また、トレンチ型素子分離5の各側面6〜8は丸みを帯びていてもよいし、必ずしも一定の傾きで設けられていなくてもよい。これらの場合の「テーパー角」とは、各側面6〜8のそれぞれにおける上端と下端とを結んだ直線の鉛直方向からの傾きをいうものとする。
図1(a)は、本発明のトレンチ型素子分離の構造を模式的に示す断面図であり、図1(b)は、トレンチ側壁の段差部分を拡大して示す断面図である。図1(a), (b)に示す半導体基板1は例えばシリコンからなり、トランジスタ等の素子を形成する素子形成領域R1と、素子形成領域R1を囲む素子分離領域R2とに分けられる。そして、半導体基板1のうち素子分離領域R2に位置する部分にはトレンチ2が設けられ、トレンチ2の側面及び底面を覆う厚さ10nmのバリア膜3と、バリア膜3の上からトレンチ2内を埋めるシリコン酸化膜からなる埋め込み絶縁膜4とからなるトレンチ型素子分離5が設けられている。トレンチ型素子分離5は、300〜400nmの深さで設けられ、上面は100nmの幅を有し、下面は60〜70nmの幅を有している。トレンチ型素子分離5の側面は、テーパー角によって3つの領域に分けられ、深さの浅い順に、第1のテーパー角Aを有する第1の側面6と、第2のテーパー角Bを有する第2の側面7と、第3のテーパー角Cを有する第3の側面8とから構成されている。第1のテーパー角Aと第3のテーパー角Cとはほぼ等しく、第2のテーパー角Bは第1のテーパー角A及び第3のテーパー角Cよりも大きい。第1のテーパー角A及び第3のテーパー角Cは例えば5度程度であり、第2のテーパー角Bは、45度以上90度以下であることが好ましく、また第2の側面7は10nm以上の長さ(面の上端から下端までの長さ)を有していることが好ましい。なお、本明細書中において、「トレンチ型素子分離の側面のテーパー角」とは、トレンチ型素子分離の側面が、鉛直方向からトレンチ型素子分離の内側へ向かう側に傾いている角度をいう。また、トレンチ型素子分離5の各側面6〜8は丸みを帯びていてもよいし、必ずしも一定の傾きで設けられていなくてもよい。これらの場合の「テーパー角」とは、各側面6〜8のそれぞれにおける上端と下端とを結んだ直線の鉛直方向からの傾きをいうものとする。
ここで、素子形成領域R1にソース・ドレイン領域等の不純物拡散層9が設けられている場合には、第1の側面6は、不純物拡散層9の接合深さXと同等又はより深くまで設けられていることが好ましい。これは、不純物拡散層9の不純物濃度は他の領域よりも高く、広い分離幅が必要であるため、トレンチ型素子分離5のうち最も広い横幅を有する第1の側面6によって分離されることが好ましいためである。もちろん、ソース・ドレイン領域の間の距離が十分にあって破壊耐圧が確保されるような場合には、第1の側面6は、接合深さXよりも浅くてもよい。
そして、トレンチ2内を埋める埋め込み絶縁膜4内にはボイド10が設けられている。ボイド10は、トレンチ型素子分離5のうち第2の側面7の高さより下、つまり、第3の側面8の高さの領域に設けられている。
なお、図1(a)では、素子形成領域R1に不純物拡散層9のみを示しているが、実際にはトランジスタやキャパシタといった素子が形成される。その素子自体の構成は従来と同様であるので図示及び説明を省略する。
本実施形態のトレンチ型素子分離5では、上部が絶縁膜4によって均一に埋められているため、水平方向の耐圧を確保できる。例えば、半導体基板1に大きな電圧が印加されるソース・ドレイン領域等の不純物拡散層9が形成されている場合にも、十分に破壊耐圧を確保することができる。これと共に、トレンチ型素子分離5の下部にボイド10が形成されているため、熱処理時に生じるストレスを吸収することができ、トレンチ型素子分離5の底のコーナー部にストレスが集中するのを効果的に抑制することができる。したがって、ストレスに起因して漏れ電流が発生するのを抑制することができる。さらに、ボイド10内の空気の誘電率は絶縁膜4の誘電率よりも低いため、ゲート電極(図示せず)等の導体がトレンチ型素子分離の上まで伸びている場合には、その導体と半導体基板1との間で形成される寄生容量の容量値を低減することができる。これにより、半導体素子の速度を向上させることもできる。
次に、本実施形態のトレンチ型素子分離5の第1〜第3の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
(第1の製造方法)
図2(a)〜(c)、図3(a)〜(c)及び図4(a), (b)は、本実施形態の第1の製造方法における素子分離の製造工程を示す断面図である。
図2(a)〜(c)、図3(a)〜(c)及び図4(a), (b)は、本実施形態の第1の製造方法における素子分離の製造工程を示す断面図である。
第1の製造方法では、まず図2(a)に示す工程で、半導体基板1の上に厚さ5nmの保護酸化膜11と厚さ100nmのシリコン窒化膜12とを順次形成する。そして、リソグラフィーにより、シリコン窒化膜12の上に素子分離領域R2を開口するフォトレジスト(図示せず)を形成して、エッチングを行うことにより、シリコン窒化膜12及び保護酸化膜11のうち素子分離領域R2に位置する部分を除去する。その後、フォトレジストを除去する。
次に、図2(b)に示す工程で、シリコン窒化膜12及び保護酸化膜11をマスクとして、HBr、CHF3及びO2を用いてエッチングを行う。まず、堆積成分の少ない条件、つまりO2ガスの割合を多くした条件でエッチングを行うことにより、トレンチ2のうち第1のテーパー角Aの第1の側面6を有する部分を形成する。引き続いて、エッチングの条件を堆積成分の大きな条件、つまりO2ガスの割合の少ない条件に変更する。堆積成分の大きい条件にすると、エッチングが進行しているトレンチ2の側面にC等を含む堆積物が多く堆積してマスクとなる成分が多くなり、トレンチ2の側面のテーパー角が大きくなるため、第2の側面7を有する部分が形成される。その後、エッチングの条件を元の側壁堆積の少ない条件に戻すことにより、第3の側面8を有する部分を形成する。
なお、上述の方法では、HBrやO2を用いてエッチングを行ったが、他のガスを用いてもよい。また、ガスの割合を増減させることにより堆積成分の多少を変化させてもよいし、ガスの種類や圧力を変化させることにより堆積成分の多少を変化させてもよい。また、上述の方法では、HBrやO2の他にCHF3も供給した。しかしながら、例えば、図2(a)に示す工程で形成したフォトレジストを除去せずにそのまま残した状態で図2(b)に示すエッチングを行ってもよく、この場合には、CHF3を供給しなくてもレジストからCが供給されるため、トレンチ2の側面に堆積物を堆積することができる。
次に、図2(c)に示す工程で、洗浄等を行うことによって残留する堆積物を除去した後に、トレンチ2の表面を酸化することにより、側壁酸化膜であるバリア膜3を形成する。
次に、図3(a)に示す工程で、HDP(High Density Plasma)等の、垂直方向に堆積する成分(鉛直成分)の多い堆積方法を行うことにより、絶縁膜4を堆積していく。この堆積方法では、垂直成分が第2のテーパー角Bを有する第2の側面7に衝突して反射しやすい。したがって、トレンチ2のうち第2の側面7よりも下に位置する部分、つまり第3の側面8を有する部分のステップカバレッジが小さくなる。この堆積を続けると、図3(b)に示すように、トレンチ2のうちの下部には堆積物が入り込まずに自己整合的にボイド10が形成され、ボイド10の上が堆積物で覆われる。このように、一旦ボイド10の上が覆われると、その上には、均一な密度の堆積物を堆積することができる。HDPは、図3(c)に示すようにトレンチ2の上部が完全に堆積物で埋まるまで行われる。
次に、図4(a)に示す工程で、CMP法等を行うことにより、堆積した絶縁膜4のうち素子形成領域R1における半導体基板1の上に位置する部分を除去する。その後、シリコン窒化膜12及び保護酸化膜11を除去する。このとき、前述したようにトレンチ2の上部における絶縁膜4のエッチングレートは均一であるため、絶縁膜4の表面の平坦性は良好となる。
次に、図4(b)に示す工程で、素子形成領域R1にトランジスタ等の形成を行う。例えば、素子形成領域R1にMISFETを形成する場合には、不純物を注入することにより、ソース・ドレイン領域等の不純物拡散層9を形成した後、ゲート電極(図示せず)等を形成する。素子形成領域R1に形成する素子は従来と同様であり、その形成方法も従来と同様であるので、その説明は省略する。
以上に述べたように、第1の製造方法によると、トレンチ2を形成するときにエッチングの条件を変化させるだけで、工程数の増加を伴うことなくトレンチ2の側面のテーパー角に変化を持たせることができ、他の部分よりもテーパー角度の大きい第2の側面7を設けることができる。このようなトレンチ2の側面を形成しておくと、その後に絶縁性物質を上から鉛直方向に供給した場合に、第2の側面7に絶縁性物質を反射させることができる。これにより、トレンチ2の下部に確実にボイド10を形成することができる。
また、トレンチ2の下部にボイド10が一旦形成されると、その上には均一に絶縁膜4を堆積することができる。HDP以外の従来の堆積方法では、ステップカバレッジが小さい性質を有するプラズマCVD法や、常圧CVD法を行うことにより、トレンチの中央部の密度が低くなってしまっていた。そのため、その後に保護酸化膜やシリコン窒化膜を除去するためのウェットエッチングを行うと、トレンチの中央部のエッチングレートが高いため、中央部が深く除去されてシームが発生するおそれがあった。しかしながら、本実施形態では、トレンチ2のうちの上部の密度を均一にすることができるため、そのような不具合が生じにくくなり、素子分離領域R2の平坦性を向上させることができる。
(第2の製造方法)
図5(a)〜(c)及び図6(a), (b)は、本実施形態の第2の製造方法における素子分離の製造工程を示す断面図である。
図5(a)〜(c)及び図6(a), (b)は、本実施形態の第2の製造方法における素子分離の製造工程を示す断面図である。
第2の製造方法では、まず図5(a)に示す工程で、半導体基板1の上に厚さ5nmの保護酸化膜11と厚さ100nmのシリコン窒化膜12とを順次形成する。そして、リソグラフィーにより、シリコン窒化膜12の上に素子分離領域R2を開口するフォトレジスト(図示せず)を形成して、エッチングを行うことにより、シリコン窒化膜12及び保護酸化膜11のうち素子分離領域R2に位置する部分を除去する。その後、フォトレジストを除去する。
次に、図5(b)に示す工程で、シリコン窒化膜12及び保護酸化膜11をマスクとして、HBr、CHF3及びO2を用いたエッチングを行うことにより、トレンチ2のうち第1のテーパー角Aの第1の側面6を有する部分を形成する。このときのトレンチ2は、後に素子形成領域R1に形成するソース・ドレイン領域等の不純物拡散層(図示せず)の接合深さと同程度又はそれより深い位置まで形成することが好ましい。
次に、図5(c)に示す工程で、素子分離領域R2におけるトレンチ2の底面及び側面を覆い、素子形成領域R1におけるシリコン窒化膜12の上に伸びる厚さ12nmの有機系膜21を形成する。ここで、有機系膜21は、基板をエッチング装置(図示せず)内に保持したままで、図5(b)に示す工程で行ったエッチングのガス条件を変更して、CHBr3等のCを含む堆積系のガスのみを供給し続けることにより形成してもよいし、図5(b)に示す工程で行ったエッチングを完全に停止した後に、塗布することにより形成してもよい。
また、第1の製法の場合と同様に、トレンチ2の下部にボイドが一旦形成されると、その上には均一に絶縁膜4(図4(b)等に示すものと同様である)を堆積することができるため、素子分離領域R2の平坦性を向上させることができる。
次に、図6(a)に示す工程で、HBr、CHF3及びO2を用いた異方性エッチングを行うと、有機系膜21のうちトレンチ2の側面上に位置する部分よりも、トレンチ2の底面上に位置する部分と、素子形成領域R1におけるシリコン窒化膜12の上に位置する部分とが早く除去されていき、厚さ10nmのサイドウォール22が形成される。さらに異方性エッチングを進めると、シリコン窒化膜12とサイドウォール22とがマスクとなって異方性エッチングが進行するため、トレンチ2のうち第1の側面6を有する部分の下に、サイドウォール22の膜厚分だけ口径の小さい第3の側面8を有する部分が形成される。なお、第1の側面6と第3の側面8との間には、サイドウォールによって覆われた第2の側面7(段差部分)が形成される。
ここで、上述したように、有機系膜21と、その下における半導体基板1とを、一度の異方性エッチングにより除去してもよいし、まず有機系膜21を除去してサイドウォール22を形成するエッチングを行った後に条件を変更して、半導体基板1に対するエッチングを行ってもよい。その場合には、有機系膜21に対するエッチングとして、Ar及びO2等を用いたエッチングを行えば、有機系膜21を効率良く除去することができる。
次に、図6(b)に示す工程で、洗浄等を行うことによって残留する堆積物を除去した後に、トレンチ2の表面を酸化することにより、側壁酸化膜であるバリア膜3を形成する。その後の工程は、第1の製造方法における図3(a)〜図4(b)に示す工程と同様であるので、その説明を省略する。
以上に述べたように、第2の製造方法によると、図5(c)に示す工程で、トレンチ2を覆う有機系膜21を形成してエッチングを行うことにより、より確実に第2の側面7のテーパー角や幅を制御することができる。このように第2の側面7を所望の形状にすることができるため、その後に絶縁性物質を上から鉛直方向に供給した場合に、第2の側面7に絶縁性物質を確実に反射させることができる。これにより、トレンチ2の下部に確実にボイド10を形成することができる。
(第3の製造方法)
図7(a)〜(c)及び図8(a)〜(c)は、本実施形態の第3の製造方法における素子分離の製造工程を示す断面図である。
図7(a)〜(c)及び図8(a)〜(c)は、本実施形態の第3の製造方法における素子分離の製造工程を示す断面図である。
第3の製造方法では、まず図7(a)に示す工程で、半導体基板1の上に厚さ5nmの保護酸化膜11と厚さ100nmのシリコン窒化膜12とを順次形成する。そして、リソグラフィーにより、シリコン窒化膜12の上に素子分離領域R2を開口するフォトレジスト(図示せず)を形成して、エッチングを行うことにより、シリコン窒化膜12及び保護酸化膜11のうち素子分離領域R2に位置する部分を除去する。その後、フォトレジストを除去する。
次に、図7(b)に示す工程で、シリコン窒化膜12及び保護酸化膜11をマスクとしてエッチングを行うことにより、トレンチ2のうち第1のテーパー角Aの第1の側面6を有する部分を形成する。このときのトレンチ2は、後に素子形成領域R1に形成するソース・ドレイン領域等の不純物拡散層(図示せず)の接合深さと同程度又はそれより深い位置まで形成することが好ましい。
次に、図7(c)に示す工程で、LP−CVD法等のCVD法を行うことにより、素子分離領域R2におけるトレンチ2の底面及び側面を覆い、素子形成領域R1におけるシリコン窒化膜12の上に伸びる厚さ10nmの酸化膜31を堆積する。
次に、図8(a)に示す工程で、異方性エッチングを行うことにより、トレンチ2における第1の側面6上に厚さ10nmのサイドウォール32を形成する。
次に、図8(b)に示す工程で、シリコン窒化膜12及びサイドウォール32をマスクとしてエッチングを行うことにより、トレンチ2のうち第1の側面6を有する部分の下に、サイドウォール32の膜厚分だけ口径の小さい第3の側面8を有する部分が形成される。なお、第1の側面6と第3の側面8との間には、サイドウォール32によって覆われた第2の側面7(段差部分)が形成される。
次に、図8(c)に示す工程で、ウェットエッチングを行うことによりサイドウォール32を除去した後、トレンチ2の表面を酸化することにより側壁酸化膜3を形成する。その後の工程は、第1の製造方法における図3(a)〜図4(b)に示す工程と同様であるので、その説明を省略する。
以上に述べたように、第3の製造方法によると、図8(a)に示す工程で、トレンチ2を覆うサイドウォール32形成してエッチングを行うことにより、より確実に第2の側面7のテーパー角や幅を制御することができる。このように第2の側面7を所望の形状にすることができるため、その後に絶縁性物質を上から鉛直方向に供給した場合に、第2の側面7に絶縁性物質を確実に反射させることができる。これにより、トレンチ2の下部に確実にボイド10を形成することができる。
(その他の製造方法)
なお、第1〜第3の製造方法では、半導体基板1の上に保護酸化膜11とシリコン窒化膜12とを形成する場合について説明した。しかしながら、本発明では、半導体基板1を保護できる膜であれば、これらの膜の代わりに他の材質の膜を用いてもよく、例えばポリシリコン等を用いてもよい。
なお、第1〜第3の製造方法では、半導体基板1の上に保護酸化膜11とシリコン窒化膜12とを形成する場合について説明した。しかしながら、本発明では、半導体基板1を保護できる膜であれば、これらの膜の代わりに他の材質の膜を用いてもよく、例えばポリシリコン等を用いてもよい。
また、第1〜第3の製造方法では、シリコン窒化膜12の上に形成したレジスト(図示せず)を除去した後にトレンチ2を形成しているが、本発明では、レジストを残したままトレンチ2を形成してもよい。
また、実施形態における構造及び第1〜第3の製造方法では、トレンチ2の側面に設けられる段差(第1の側面6〜第3の側面8によって構成される段差)が1つである場合について説明したが、本発明では、段差が複数設けられていてもよい。
また、第1〜第3の製造方法では、トレンチ2の底面及び側面を熱酸化することによりバリア膜3を形成しているが、酸化膜をCVD法により堆積してもよい。また、必ずしもバリア膜3は形成しなくてもよく、トレンチ2に直接絶縁膜4を埋め込んでもよい。
以上説明したように、本発明の素子分離は、分離耐圧を確保しつつ漏れ電流を低減することができる点で、産業上の利用可能性は高い。
1 半導体基板
2 トレンチ
3 バリア膜
4 絶縁膜
5 トレンチ型素子分離
6 第1の側面
7 第2の側面
8 第3の側面
9 不純物拡散層
10 ボイド
11 保護酸化膜
12 シリコン窒化膜
21 有機系膜
22 サイドウォール
31 酸化膜
32 サイドウォール
2 トレンチ
3 バリア膜
4 絶縁膜
5 トレンチ型素子分離
6 第1の側面
7 第2の側面
8 第3の側面
9 不純物拡散層
10 ボイド
11 保護酸化膜
12 シリコン窒化膜
21 有機系膜
22 サイドウォール
31 酸化膜
32 サイドウォール
Claims (11)
- 半導体基板の一部に形成された溝に絶縁膜が埋められた素子分離であって、
第1の側面と、上記第1の側面よりも深い位置に設けられ、上記第1の側面よりもテーパー角度の大きい第2の側面と、上記第2の側面よりも深い位置に設けられ、上記第2の側面よりもテーパー角度の小さい第3の側面とを有し、上記第2の側面よりも深い位置にボイドが形成されていることを特徴とする素子分離。 - 請求項1に記載の素子分離であって、
上記第2の側面のテーパー角は、45度以上90度以下であることを特徴とする素子分離。 - 請求項1又は2に記載の素子分離を備えた半導体装置であって、
上記半導体基板のうち上記素子分離に囲まれる領域には不純物拡散層を有する素子が設けられ、
上記不純物拡散層の接合深さは、上記第1の側面の設けられている深さよりも深いことを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板の一部に溝を形成して上記溝に絶縁膜を埋める素子分離の製造方法であって、
上記溝のうち第1の側面を有する部分を形成する工程(a)と、
上記第1の側面よりも深い位置に、上記溝のうち、上記第1の側面よりもテーパー角度の大きい第2の側面を有する部分を形成する工程(b)と、
上記第2の側面よりも深い位置に、上記溝のうち、上記第2の側面よりもテーパー角度の小さい第3の側面を有する部分を形成する工程(c)と、
上記工程(c)の後に、上記溝に対して鉛直方向から絶縁性物質を堆積することにより、上記溝のうち上記第2の側面よりも深い位置にボイドを形成しながら上記溝を上記絶縁膜で埋める工程(d)とを備えることを特徴とする素子分離の製造方法。 - 請求項4に記載の素子分離の製造方法であって、
上記第2の側面のテーパー角を45度以上90度以下とすることを特徴とする素子分離の製造方法。 - 請求項4又は5に記載の素子分離の製造方法であって、
上記工程(a)、上記工程(b)及び上記工程(c)では、エッチングを行うことにより上記溝を形成し、
上記工程(b)では、上記工程(a)よりも上記エッチングの側壁への堆積成分を増加させることにより上記第2の側面のテーパー角度を上記第1の側面よりも大きくし、
上記工程(c)では、上記工程(b)よりも上記エッチングの側壁への堆積成分を減少させることにより上記第3の側面のテーパー角度を上記第2の側面よりも小さくすることを特徴とする素子分離の製造方法。 - 請求項4又は5に記載の素子分離の製造方法であって、
上記工程(a)の後であって上記工程(b)の前に、上記溝における上記第1の側面と底面を覆う膜を形成する工程(e)をさらに備え、
上記工程(b)では、上記膜に対して異方性エッチングを行うことにより、上記第1の側面を覆うサイドウォールを形成し、上記溝の底面のうち上記サイドウォールにより覆われる部分を上記第2の側面とし、
上記工程(c)では、上記サイドウォールをマスクとしてエッチングを行うことにより、上記溝のうち第3の側面を有する部分を形成し、
上記工程(c)の後で上記工程(d)の前に、上記サイドウォールを除去する工程(f)をさらに備えることを特徴とする素子分離の製造方法。 - 請求項7に記載の素子分離の製造方法であって、
上記工程(e)では、上記膜として有機系膜を形成することを特徴とする素子分離の製造方法。 - 請求項8に記載の素子分離の製造方法であって、
上記工程(b)における上記異方性エッチングと、上記工程(c)における上記エッチングとを、同一の条件で続けて行うことを特徴とする素子分離の製造方法。 - 請求項7に記載の素子分離の製造方法であって、
上記工程(e)では、上記膜として酸化膜を形成することを特徴とする素子分離の製造方法。 - 請求項4〜10のうちいずれか1項に記載の素子分離の製造方法を含む半導体装置の製造方法であって、
上記工程(d)の後に、上記半導体基板のうち上記素子分離に囲まれる領域に不純物拡散層を形成する工程(g)をさらに備え、
上記工程(g)では、上記不純物拡散層の接合深さを、上記第1の側面の設けられている深さよりも深くすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004314552A JP2006128407A (ja) | 2004-10-28 | 2004-10-28 | 素子分離及びその製造方法並びに半導体装置及びその製造方法 |
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JP2004314552A JP2006128407A (ja) | 2004-10-28 | 2004-10-28 | 素子分離及びその製造方法並びに半導体装置及びその製造方法 |
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JP2004314552A Withdrawn JP2006128407A (ja) | 2004-10-28 | 2004-10-28 | 素子分離及びその製造方法並びに半導体装置及びその製造方法 |
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US9269765B2 (en) | 2013-10-21 | 2016-02-23 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Semiconductor device having gate wire disposed on roughened field insulating film |
-
2004
- 2004-10-28 JP JP2004314552A patent/JP2006128407A/ja not_active Withdrawn
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