JP2006117500A - 多層ガラスセラミック基板の製造方法 - Google Patents
多層ガラスセラミック基板の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 ガラスセラミックグリーンシート積層体をマイクロ波吸収性の筐体内に配置し、この筐体内にガラスセラミックグリーンシート積層体の単位質量1gあたり50〜150cm3/分の供給量で、水蒸気を含んだ窒素ガスを供給するとともにガラスセラミックグリーンシート積層体にマイクロ波を照射することにより、有機成分を除去するとともに焼成して多層ガラスセラミック基板を作製する。
【選択図】 図1
Description
ガラスセラミック成分として、SiO2−Al2O3−MgO−B2O3−ZnO系ガラス粉末60質量%、CaZrO3粉末20質量%、SrTiO3粉末17質量%およびAl2O3粉末3質量%を使用した。このガラスセラミック成分100重量部に、有機バインダとしてアクリル樹脂12重量部、フタル酸系可塑剤6重量部および溶剤としてトルエン30重量部を加え、ボールミル法により混合しスラリーとした。このスラリーを用いてドクターブレード法により、厚さ300μmのグリーンシートを成形した。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり50cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を得た。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.25%であり、反りは25μmであった。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり150cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を得た。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.15%であり、反りは45μmであった。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり100cm3/分とし、グリーンシート積層体の収縮開始温度以上ではグリーンシート積層体の単位質量1gあたり20cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を得た。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.05%であり、反りは15μmであった。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり100cm3/分とし、グリーンシート積層体の収縮開始温度以上では、筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり1cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を得た。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.05%であり、反りは10μmであった。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり100cm3/分とし、グリーンシート積層体の収縮開始温度以上では、筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり40cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を得た。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.10%であり、反りは20μmであった。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり30cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を得た。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.40%であり、反りは35μmであった。また、表1に示すように絶縁抵抗と強度が低く、ボイド率が高かった。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり170cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を作製した。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.30%であり、反りは120μmと大きかった。また、表1に示すように絶縁抵抗、強度、ボイド率には問題はなかった。
筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり100cm3/分とし、グリーンシート積層体の収縮開始温度以上では、筐体内に供給する窒素ガス供給量をグリーンシート積層体の単位質量1gあたり0.5cm3/分とした以外は実施例1と同様の方法で焼成し多層ガラスセラミック基板を得た。この多層ガラスセラミック基板の積層面内での収縮ばらつきは±0.30%であり、反りは200μmと大きかった。なお、得られた多層ガラスセラミック基板は導体パターンが酸化しており、配線層の抵抗値が極めて高かった。
2・・・棚板
3・・・筐体
6・・・雰囲気ガス供給用ノズル
7・・・雰囲気ガス
8・・・排気用ノズル
9・・・排気ガス
Claims (2)
- 導体層が形成されたガラスセラミックグリーンシートを複数枚積層して成るガラスセラミックグリーンシート積層体をマイクロ波吸収性の筐体内に配置し、該筐体内に、前記ガラスセラミックグリーンシート積層体の単位質量1gあたり50〜150cm3/分の供給量で、水蒸気を含んだ窒素ガスを供給するとともに、前記ガラスセラミックグリーンシート積層体にマイクロ波を照射することにより、有機成分を除去して焼成することを特徴とする多層ガラスセラミック基板の製造方法。
- 前記水蒸気を含んだ窒素ガスの供給量が、前記ガラスセラミックグリーンシート積層体の収縮開始温度以上では前記ガラスセラミックグリーンシート積層体の単位質量1gあたり1〜40cm3/分であることを特徴とする請求項1記載の多層ガラスセラミック基板の製造方法。
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CN106488656A (zh) * | 2017-01-04 | 2017-03-08 | 赣州清亦华科科技有限公司 | 一种用于电子元器件的烘烤箱 |
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JPH09188569A (ja) * | 1995-11-08 | 1997-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミックス成形体の脱脂方法および脱脂装置 |
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