JP2006112803A - 放射線検出装置 - Google Patents

放射線検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2006112803A
JP2006112803A JP2004297440A JP2004297440A JP2006112803A JP 2006112803 A JP2006112803 A JP 2006112803A JP 2004297440 A JP2004297440 A JP 2004297440A JP 2004297440 A JP2004297440 A JP 2004297440A JP 2006112803 A JP2006112803 A JP 2006112803A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
amplifier
flexible substrate
radiation
lvds
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004297440A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Yamaguchi
晃 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2004297440A priority Critical patent/JP2006112803A/ja
Publication of JP2006112803A publication Critical patent/JP2006112803A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

【課題】 LVDS方式の制御信号により制御されるアンプICを実装したアンプIC実装フレキシブル基板を備えた放射線検出装置において、LVDSの終端不良による不要な電磁放射の発生を防止する。
【解決手段】 フレキシブル基板21上にマルチチャネルアンプIC22を実装したマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板20を、フレキシブル基板21上に抵抗等の素子を実装可能な例えばCOFと呼ばれる形態のものとして、制御信号用配線24上のマルチチャネルアンプIC22の直近にLVDS用の終端抵抗25を配する。
【選択図】 図2

Description

本発明は、画像情報を担持する放射線の照射を受けて前記画像情報を記録し、記録した前記画像情報を表す画像信号を出力する固体検出器、この固体検出器から出力された画像信号を検出するアンプICを実装したアンプIC実装フレキシブル基板、およびアンプICを制御する制御手段を備えた基板等から構成される放射線検出装置において、特にその装置構成に関するものである。
今日、医療診断等を目的とする放射線撮影において、放射線を検出して得た電荷を潜像電荷として蓄電部に一旦蓄積し、該蓄積した潜像電荷を放射線画像情報を表す電気信号に変換して出力する放射線固体検出器(以下単に検出器ともいう)を使用する放射線画像情報記録読取装置が各種提案されている。この装置において使用される放射線固体検出器としては、種々のタイプのものが提案されているが、蓄積された電荷を外部に読み出す電荷読出プロセスの面から、検出器に読取光(読取用の電磁波)を照射して読み出す光読出方式のものがある。
本出願人は、読出しの高速応答性と効率的な信号電荷の取り出しの両立を図ることができる光読出方式の放射線固体検出器として、特許文献1や特許文献2等において、記録用の放射線あるいは該放射線の励起により発せられる光(以下記録光という)に対して透過性を有する第1導電層、記録光を受けることにより導電性を呈する記録用光導電層、第1導電層に帯電される電荷と同極性の電荷に対しては略絶縁体として作用し、かつ、該同極性の電荷と逆極性の電荷に対しては略導電体として作用する電荷輸送層、読取光の照射を受けることにより導電性を呈する読取用光導電層、読取光に対して透過性を有する複数の線状電極を備えた第2導電層を、この順に積層して成り、記録用光導電層と電荷輸送層との界面に形成される蓄電部に、画像情報を担持する潜像電荷(静電潜像)を蓄積する検出器を提案している。
このような検出器から電荷を検出する場合、各線状電極毎に電荷検出用のチャージアンプを接続する必要があるが、線状電極の配線ピッチは約100μmと非常に狭いため、一般的に複数のチャージアンプが集積化されたマルチチャネルアンプICが用いられる。このマルチチャネルアンプICは、フレキシブル基板上に実装され、アンプIC実装フレキシブル基板(TCP(Tape Carrier Package)等)の形態で検出器に接続され、さらにこのアンプIC実装フレキシブル基板にはマルチチャネルアンICを制御するための制御手段やチャージアンプにより検出された画像信号を処理するための画像処理手段等を備えた基板が接続される。
特開2000−105297号公報 特開2000−284056号公報
ところで、マルチチャネルアンプICは、IC外部から入力される制御信号により内部のチャージアンプ等の動作が制御されるものであるが、IC内部においては制御信号用の配線と画像信号用の配線との間が非常に狭いため、制御信号用の配線に制御信号が流れた際に、画像信号用の配線側にカップリングノイズが発生してしまう。上記の検出器から出力される画像信号は非常に微弱なアナログ信号であるため、このようなカップリングノイズが画像信号に重畳してしまうと、画像信号の検出に無視出来ない程の影響を与えてしまう。
そのため、この問題を解消するために、制御信号をLVDS(Low Voltage Differential Signaling)方式によりマルチチャネルアンプIC内へ入力する方法が提案されている。このLVDS方式は、2本の制御信号用のラインを用いて互いに逆相の信号を伝達させるため、マルチチャネルアンプIC内部において制御信号によるカップリングノイズが発生した場合でも、2本のラインのカップリングノイズ同士を互いに相殺させることができるものである。このLVDS方式を用いる場合には、制御信号の反射を防止するためにマルチチャネルアンプICの制御信号入力用の端子のなるべく近傍に終端抵抗を設ける必要があるため、制御手段等を備えた基板上にこの終端抵抗を実装している。
しかしながら、上記のような検出器を備えた放射線検出装置においては、装置の検出面のサイズに対して画像検出領域を広くする所謂狭額縁化が求められているため、一般的にアンプIC実装フレキシブル基板を折り曲げて基板を固体検出器の裏側に配置する構成とされているが、上述したように検出器から出力される画像信号は非常に微弱なアナログ信号であるため、マルチチャネルアンプICと検出器との間隔を広げてしまうとこの間の配線に多大なノイズが重畳してしまうため、マルチチャネルアンプICは極力検出器に近い位置に配置する必要があり、そのような態様とした場合には必然的にマルチチャネルアンプICは制御手段およびLVDS用の終端抵抗を備えた基板から遠ざかってしまうため、終端不良により不要な電磁放射が生じて画像信号のノイズの原因となってしまっていた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、LVDS方式の制御信号により制御されるアンプICを実装したアンプIC実装フレキシブル基板を備えた放射線検出装置において、LVDSの終端不良による不要な電磁放射の発生を防止した放射線検出装置を提供することを目的とするものである。
本発明による放射線検出装置は、画像情報を担持する放射線の照射を受けて画像情報を記録し、記録した画像情報を表す画像信号を出力する固体検出器と、固体検出器から出力された画像信号を検出するアンプICを、フレキシブル基板上に実装したアンプIC実装フレキシブル基板と、アンプICを制御する制御手段を備えた基板とを備え、固体検出器と基板とがアンプIC実装フレキシブル基板により接続されてなる放射線検出装置であって、制御手段は、少なくとも1つの制御信号をLVDS方式により出力してアンプICを制御するものであり、LVDS用の終端抵抗が、アンプIC実装フレキシブル基板に実装されていることを特徴とするものである。
ここで「固体検出器」とは、被写体の画像情報を担持する放射線を検出して被写体に関する放射線画像を表す画像信号を出力する検出器であって、入射した放射線を直接または一旦光に変換した後に電荷に変換し、この電荷を外部に出力させることにより、被写体に関する放射線画像を表す画像信号を得ることができるものである。
この固体検出器には種々の方式のものがあり、例えば、放射線を電荷に変換する電荷生成プロセスの面からは、放射線が照射されることにより蛍光体から発せられた蛍光を光導電層で検出して得た信号電荷を蓄電部に一旦蓄積し、蓄積電荷を画像信号(電気信号)に変換して出力する光変換方式の固体検出器、あるいは、放射線が照射されることにより光導電層内で発生した信号電荷を電荷収集電極で集めて蓄電部に一旦蓄積し、蓄積電荷を電気信号に変換して出力する直接変換方式の固体検出器等、あるいは、蓄積された電荷を外部に読み出す電荷読出プロセスの面からは、蓄電部と接続されたTFT(薄膜トランジスタ)を走査駆動して読み出すTFT読出方式のものや、読取光(読取用の電磁波)を検出器に照射して読み出す光読出方式のもの等、さらには、前記直接変換方式と光読出方式を組み合わせた本願出願人による上記特許文献2において提案している改良型直接変換方式のもの等がある。
また「アンプIC」は、電荷を検出するアンプの種類についてはチャージアンプを始めとしてどのような種類のものでもよく、またIC内に複数のアンプを内蔵したマルチチャネルアンプICとしてもよい。
本発明による放射線検出装置によれば、画像情報を担持する放射線の照射を受けて画像情報を記録し、記録した画像情報を表す画像信号を出力する固体検出器と、固体検出器から出力された画像信号を検出するアンプICを、フレキシブル基板上に実装したアンプIC実装フレキシブル基板と、アンプICを制御する制御手段を備えた基板とを備え、固体検出器と基板とがアンプIC実装フレキシブル基板により接続されてなる放射線検出装置において、制御手段を少なくとも1つの制御信号をLVDS方式により出力してアンプICを制御するものとし、LVDS用の終端抵抗をアンプIC実装フレキシブル基板に実装したことにより、アンプICの直近に終端抵抗を配置することが可能となるため、終端不良による不要な電磁放射の発生を防止することができ、その結果装置全体のS/Nを向上させることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態の放射線検出装置の概略構成図、図2は上記放射線検出装置のマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板の概略構成図、図3は図1中のIII−III線部分においてマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板を折り曲げた状態を示す断面図である。
この放射線検出装置1は、画像情報を担持する放射線の照射を受けて画像情報を記録し、記録した画像情報を表す画像信号を出力する固体検出器10と、固体検出器10から出力された画像信号を検出するマルチチャネルアンプIC22をフレキシブル基板21上に実装したマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板20と、マルチチャネルアンプIC22を始め放射線検出装置1の各部を統合制御する不図示の制御手段およびマルチチャネルアンプIC22により検出された画像信号を処理する不図示の画像処理手段等を備えた基板30と、固体検出器10内のTFTを制御するためのTFT制御用基板31とから構成される。固体検出器10と基板30とはマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板20により接続され、固体検出器10とTFT制御用基板31とはフレキシブル基板32により接続されている。また基板30とTFT制御用基板31とは基板接続用配線33により接続されている。
固体検出器10は、ガラス基板15上に、a−Si TFTからなる第1の導電層14、X線の照射を受けることにより電荷を発生して導電性を呈する光導電層13、第2の導電層12、絶縁層11がこの順に積層されたものである。
第1の導電層14は、各画素毎に対応してTFTが形成されており、各TFTの出力ラインはマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板20に接続されている。また各TFTの制御ラインはフレキシブル基板32を介してTFT制御用基板31に接続されている。
この固体検出器10は、第1の導電層14と第2の導電層12との間に電界を形成している際に、光導電層13にX線が照射されると、光導電層13内に電荷対が発生し、この電荷対の量に応じた潜像電荷が第1の導電層14内に蓄積されるものである。蓄積された潜像電荷を読み取る際には、第1の導電層14のTFTを順次駆動して、各画素に対応した潜像電荷に基づく画像信号を出力ラインから出力させて、この画像信号をマルチチャネルアンプIC22により検出することにより、潜像電荷が担持する静電潜像を読み取ることができる。
マルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板20は、フレキシブル基板21上にマルチチャネルアンプIC22を実装した所謂COF(Chip On Film)と呼ばれる形態のものである。
マルチチャネルアンプIC22は、内部に固体検出器10の各TFTの出力ラインから出力された信号を検出するための複数のチャージアンプ、この複数のチャージアンプを複合するマルチプレクサー、およびマルチプレクサーから出力された信号をAD変換するAD変換器等を備えており、これらの動作は基板30上の制御手段から送信される制御信号に基づいて制御されるものである。なお、マルチチャネルアンプIC22内で上述したような制御信号によるカップリングノイズが発生するのを防止するため、制御手段は、LVDS(Low Voltage Differential Signaling)方式により制御信号を出力してマルチチャネルアンプIC22内の各部を制御するものとしている。
LVDS方式は、2本のラインを用いて互いに逆相の制御信号を伝達させて、マルチチャネルアンプIC22内部において制御信号によるカップリングノイズが発生した場合でも、2本のラインのカップリングノイズ同士を互いに相殺させることが可能なものであり、この方式を用いるにともなってマルチチャネルアンプIC22は制御手段から2本のラインに分けて送信される制御信号を入力させるための2つの制御信号入力用端子を備えたものとなっている。また、マルチチャネルアンプIC22は、これ以外に固体検出器10の各TFTの出力ラインから出力された信号を入力するための複数の画像信号入力用端子と、外部に画像信号を出力するための少なくとも1つの出力用端子とを備えている。
フレキシブル基板21は、固体検出器10の各TFTの出力ラインとマルチチャネルアンプIC22の画像信号入力用端子とを接続するための複数の入力用配線23と、制御手段とマルチチャネルアンプIC22の制御信号入力用端子とを接続するための2本の制御信号用配線24と、基板30上の画像処理手段とマルチチャネルアンプIC22の出力用端子とを接続するための出力用配線26とを備えている。
さらに、LVDS方式を用いる場合には、制御信号の反射を防止するためにマルチチャネルアンプIC22の制御信号入力用端子のなるべく近傍に終端抵抗を設ける必要があるため、本実施の形態においては、マルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板20を、フレキシブル基板21上に抵抗等の素子を実装可能なCOFと呼ばれる形態のものとして、図2に示すように制御信号用配線24上のマルチチャネルアンプIC22の直近にLVDS用の終端抵抗25を配しているため、終端不良による不要な電磁放射の発生を防止することができ、その結果装置全体のS/Nを向上させることができる。
以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明は上記に限定されるものではなく、例えば、固体検出器は光読出方式のものであってもよい。
本発明の一実施の形態の放射線検出装置の概略構成図 上記放射線検出装置のマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板の概略構成図 図1中のIII−III線部分においてマルチチャネルアンプIC実装フレキシブル基板を折り曲げた状態を示す断面図
符号の説明
1 放射線検出装置
10 固体検出器
20 アンプIC実装フレキシブル基板
21 フレキシブル基板
22 マルチチャネルアンプIC
23 入力用配線
24 制御信号用配線
25 終端抵抗
26 出力用配線
30 基板
31 TFT制御用基板
32 フレキシブル基板
33 基板接続用配線

Claims (1)

  1. 画像情報を担持する放射線の照射を受けて前記画像情報を記録し、記録した前記画像情報を表す画像信号を出力する固体検出器と、
    該固体検出器から出力された前記画像信号を検出するアンプICを、フレキシブル基板上に実装したアンプIC実装フレキシブル基板と、
    前記アンプICを制御する制御手段を備えた基板とを備え、
    前記固体検出器と前記基板とが前記アンプIC実装フレキシブル基板により接続されてなる放射線検出装置であって、
    前記制御手段は、少なくとも1つの制御信号をLVDS方式により出力して前記アンプICを制御するものであり、
    前記LVDS用の終端抵抗が、前記アンプIC実装フレキシブル基板に実装されていることを特徴とする放射線検出装置。
JP2004297440A 2004-10-12 2004-10-12 放射線検出装置 Withdrawn JP2006112803A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004297440A JP2006112803A (ja) 2004-10-12 2004-10-12 放射線検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004297440A JP2006112803A (ja) 2004-10-12 2004-10-12 放射線検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006112803A true JP2006112803A (ja) 2006-04-27

Family

ID=36381450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004297440A Withdrawn JP2006112803A (ja) 2004-10-12 2004-10-12 放射線検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006112803A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103054593A (zh) * 2011-10-19 2013-04-24 富士胶片株式会社 放射线图像捕获装置
CN109073766A (zh) * 2016-05-10 2018-12-21 卡尔斯特里姆保健公司 柔性衬底覆晶薄膜修复
WO2022026895A1 (en) * 2020-07-31 2022-02-03 Analog Devices, Inc. Connector assembly for sensor device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103054593A (zh) * 2011-10-19 2013-04-24 富士胶片株式会社 放射线图像捕获装置
JP2013088324A (ja) * 2011-10-19 2013-05-13 Fujifilm Corp 放射線画像撮影装置
US9119584B2 (en) 2011-10-19 2015-09-01 Fujifilm Corporation Radiation image capture device
CN109073766A (zh) * 2016-05-10 2018-12-21 卡尔斯特里姆保健公司 柔性衬底覆晶薄膜修复
WO2022026895A1 (en) * 2020-07-31 2022-02-03 Analog Devices, Inc. Connector assembly for sensor device
TWI811751B (zh) * 2020-07-31 2023-08-11 美商美國亞德諾半導體公司 連接器總成以及感測器系統

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101682687B (zh) 放射线检测设备和放射线成像系统
US6995373B2 (en) Semiconductor device, radiation detection device, and radiation detection system
EP2270859A2 (en) Photoelectric conversion apparatus and radiographic imaging apparatus
JP2007201365A (ja) 撮像装置、放射線撮像装置及びこれらの製造方法
JP5355940B2 (ja) 放射線検出装置
JP2008539415A (ja) ディジタルフラットx線検出器
JPH10285464A (ja) 光電変換装置
JP2005312949A (ja) 放射線撮像装置及びその制御方法
US11368640B2 (en) Imaging apparatus and imaging system
JP5020840B2 (ja) 画像検出装置および画像検出器の駆動方法
JP6227227B2 (ja) 放射線画像撮影装置
JP2008232873A (ja) 放射線固体検出器
JP2006112803A (ja) 放射線検出装置
JP2007184407A (ja) 電磁波検出装置及び放射線撮像システム
JP2006258550A (ja) 放射線検出装置
US20080087834A1 (en) Radiation image detector
JP4408593B2 (ja) 放射線検出装置及びシステム
WO2011086826A1 (ja) 放射線画像撮影装置
JP2012083170A (ja) 放射線画像撮影装置
JP2005308409A (ja) 放射線検出用カセッテ
JP2004303925A (ja) 撮像用基板
JP2009186268A (ja) 画像検出装置
JP2006226750A (ja) 放射線画像信号検出装置およびフレキシブル基板
US11815635B2 (en) Radiographic apparatus and radiographic system
JP2007281690A (ja) 電磁波検出装置及び放射線撮像システム

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20061207

A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080108