JP2006108386A - 位置検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 位置検出用マーク信号波形に基づいて複数のマーク要素からなるアライメントマークの位置を検出する位置検出方法であって、前記マーク要素の信号波形を特徴付けるパラメーターとしての波形特徴量に基づいて、前記マーク要素の信号波形の抽出方法を決定するステップと、前記マーク要素の信号波形を前記抽出方法を使用して取得するステップと、前記取得した前記信号波形から前記波形特徴量を少なくとも2以上抽出するステップと、前記マーク要素の理想の位置を表す真値と、前記マーク要素の現実の位置とのずれを補正する関数を生成するステップと、前記関数に基づいて前記ずれを補正するステップとを有し、前記生成ステップは、前記2以上の波形特徴量を使用して関数を生成することを特徴とする位置検出方法を提供する。
【選択図】 図1
Description
[実施形態1]
[実施形態2]
[実施形態3]
[実施形態4]
110 レチクル
120 投影光学系
130 ウエハ
140 ウエハステージ
150 アライメント光学系
160 アライメント信号処理部
170 制御部
180 アライメントマーク
Claims (10)
- 位置検出用マーク信号波形に基づいて複数のマーク要素からなるアライメントマークの位置を検出する位置検出方法であって、
前記マーク要素の信号波形を特徴付けるパラメーターとしての波形特徴量に基づいて、前記マーク要素の信号波形の抽出方法を決定するステップと、
前記マーク要素の信号波形を前記抽出方法を使用して取得するステップと、
前記取得した前記信号波形から前記波形特徴量を少なくとも2以上抽出するステップと、
前記マーク要素の理想の位置を表す真値と、前記マーク要素の現実の位置とのずれを補正する関数を生成するステップと、
前記関数に基づいて前記ずれを補正するステップとを有し、
前記生成ステップは、前記2以上の波形特徴量を使用して関数を生成することを特徴とする位置検出方法。 - 前記関数は、当該複数の波形特徴量の相互作用を示す非線形関数を含むことを特徴とする請求項1記載の位置検出方法。
- 前記波形特徴量は、前記マーク要素の信号波形と、前記マーク要素の信号波形とは別の信号波形との差分であることを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出方法。
- 前記波形特徴量は、前記マーク要素の信号波形の勾配差である波形評価値を使用することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出方法。
- 前記波形特徴量は、前記マーク要素の信号波形のコントラストである波形評価値を使用することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出方法。
- 前記波形特徴量は、前記マーク要素の信号波形の左右の高さの差である波形評価値を使用することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出方法。
- 前記関数又は前記非線形関数は、半導体プロセスごとに取得されることを特徴とする請求項2記載の位置検出方法。
- 請求項1乃至7記載のうちいずれか一項記載の位置検出方法を行う制御部を有することを特徴とする位置検出装置。
- 光源からの光を利用して被露光体にマスク上のパターンを転写するための投影光学系と、
位置検出用マーク信号からマークの位置を検出する請求項8記載の位置検出装置とを有することを特徴とする露光装置。 - 請求項9記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
当該露光された被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004293026A JP4856865B2 (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 位置検出方法 |
US11/244,558 US7983472B2 (en) | 2004-10-05 | 2005-10-05 | Position detecting method |
US13/156,993 US8532366B2 (en) | 2004-10-05 | 2011-06-09 | Position detecting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004293026A JP4856865B2 (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 位置検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006108386A true JP2006108386A (ja) | 2006-04-20 |
JP4856865B2 JP4856865B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=36261417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004293026A Expired - Fee Related JP4856865B2 (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 位置検出方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7983472B2 (ja) |
JP (1) | JP4856865B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008166737A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-07-17 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2012514871A (ja) * | 2009-01-08 | 2012-06-28 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーション | 光散乱計測ターゲット設計の最適化 |
JP2013140843A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Canon Inc | 位置を求める方法、情報処理装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
US8532366B2 (en) | 2004-10-05 | 2013-09-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detecting method |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4101076B2 (ja) * | 2003-02-06 | 2008-06-11 | キヤノン株式会社 | 位置検出方法及び装置 |
JP2005030963A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Canon Inc | 位置検出方法 |
US8107051B2 (en) * | 2006-12-04 | 2012-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus with improved alignment mark position measurement condition setting feature, and device manufacturing method using the same |
KR100817092B1 (ko) * | 2007-03-14 | 2008-03-26 | 삼성전자주식회사 | 중첩계측오차를 보정하기 위한 계측시스템 및 이를 이용한계측방법 |
JP5198519B2 (ja) * | 2010-08-20 | 2013-05-15 | 株式会社東芝 | 欠陥解析方法、欠陥解析装置 |
US20220067958A1 (en) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement apparatus that measures position information of measurement target in predetermined direction |
CN112864037A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-05-28 | 长鑫存储技术有限公司 | 晶圆量测方法、装置、介质和电子设备 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01179221A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
JPH01207604A (ja) * | 1988-02-15 | 1989-08-21 | Canon Inc | マーク位置検出方法及びそれが適用される装置 |
JP2002015980A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Sony Corp | 露光方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2002124458A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Nikon Corp | 重ね合わせ検査装置および重ね合わせ検査方法 |
JP2003203846A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Canon Inc | 位置合わせ方法及びパラメータ選択方法 |
JP2004179221A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Nikon Corp | 重ね合わせ検査装置および重ね合わせ検査方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3752589A (en) * | 1971-10-26 | 1973-08-14 | M Kobayashi | Method and apparatus for positioning patterns of a photographic mask on the surface of a wafer on the basis of backside patterns of the wafer |
US4860374A (en) * | 1984-04-19 | 1989-08-22 | Nikon Corporation | Apparatus for detecting position of reference pattern |
JPH0666241B2 (ja) * | 1985-10-14 | 1994-08-24 | 株式会社日立製作所 | 位置検出方法 |
US5543921A (en) * | 1989-05-08 | 1996-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Aligning method utilizing reliability weighting coefficients |
JP2897355B2 (ja) * | 1990-07-05 | 1999-05-31 | 株式会社ニコン | アライメント方法,露光装置,並びに位置検出方法及び装置 |
JPH06151274A (ja) | 1992-11-11 | 1994-05-31 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路パターンの位置合わせ方法および装置 |
JP3347490B2 (ja) | 1994-09-28 | 2002-11-20 | キヤノン株式会社 | 位置合わせ方法、該方法による投影露光装置および位置ズレ計測装置 |
JP3048895B2 (ja) | 1995-05-11 | 2000-06-05 | 住友重機械工業株式会社 | 近接露光に適用される位置検出方法 |
JP3048904B2 (ja) | 1995-11-13 | 2000-06-05 | 住友重機械工業株式会社 | 近接露光に適用される位置検出方法及びウエハと露光マスク |
US5827629A (en) * | 1995-05-11 | 1998-10-27 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Position detecting method with observation of position detecting marks |
JP2856711B2 (ja) * | 1996-07-16 | 1999-02-10 | 山形日本電気株式会社 | 位置検出方法 |
JP4095391B2 (ja) * | 2002-09-24 | 2008-06-04 | キヤノン株式会社 | 位置検出方法 |
JP4227470B2 (ja) * | 2003-06-18 | 2009-02-18 | キヤノン株式会社 | 位置検出方法 |
JP4856865B2 (ja) | 2004-10-05 | 2012-01-18 | キヤノン株式会社 | 位置検出方法 |
-
2004
- 2004-10-05 JP JP2004293026A patent/JP4856865B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-10-05 US US11/244,558 patent/US7983472B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-06-09 US US13/156,993 patent/US8532366B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01179221A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
JPH01207604A (ja) * | 1988-02-15 | 1989-08-21 | Canon Inc | マーク位置検出方法及びそれが適用される装置 |
JP2002015980A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Sony Corp | 露光方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2002124458A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Nikon Corp | 重ね合わせ検査装置および重ね合わせ検査方法 |
JP2003203846A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Canon Inc | 位置合わせ方法及びパラメータ選択方法 |
JP2004179221A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Nikon Corp | 重ね合わせ検査装置および重ね合わせ検査方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8532366B2 (en) | 2004-10-05 | 2013-09-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detecting method |
JP2008166737A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-07-17 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2012514871A (ja) * | 2009-01-08 | 2012-06-28 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーション | 光散乱計測ターゲット設計の最適化 |
JP2015039021A (ja) * | 2009-01-08 | 2015-02-26 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | 光散乱計測ターゲット設計の最適化 |
JP2013140843A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Canon Inc | 位置を求める方法、情報処理装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4856865B2 (ja) | 2012-01-18 |
US20110242509A1 (en) | 2011-10-06 |
US8532366B2 (en) | 2013-09-10 |
US20060092420A1 (en) | 2006-05-04 |
US7983472B2 (en) | 2011-07-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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