JP2006099062A - Memsディスプレイ素子へデータを書き込む方法及びシステム - Google Patents

Memsディスプレイ素子へデータを書き込む方法及びシステム Download PDF

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Abstract

【課題】MEMSディスプレイ素子を安定的に表示する駆動方法を提供する。
【解決手段】電荷的にバランスしたディスプレイデータの書き込み方法は、選択されたフレーム更新期間の間、逆極性の書き込みサイクル及び保持サイクルを用いて書込み、所定のディスプレイ素子が、アクチュエートされた状態においてスタックする機会を減らすために、リリースサイクル駆動を行う。
【選択図】図7

Description

微小電気機械システム(MEMS)は、微小機械素子、アクチュエータ、及びエレクトロニクスを含む。微小機械素子は、堆積、エッチング、及びその他のマイクロマシニング処理を用いて生成される。このマイクロマシニング処理は、基板及び/又は堆積した材料層の部分をエッチングにより分離したり、又は、層を加えて、電子装置及び電気機械装置を形成する。MEMS装置の一つのタイプは、干渉変調器と呼ばれる。干渉変調器は、一対の伝導性プレートからなる。この片方あるいは両方は、全体又は部分的に透過性及び/又は反射性であり、適切な電子信号が加えられると、関連する動作を行うことができる。一方のプレートは、基板上に堆積された固定層からなり、他方のプレートは、エアギャップによって固定層から分離された金属膜を備えている。そのような装置は、幅広い範囲の応用を持ち、これらのタイプの装置の特性を利用及び/又は変形することは、当該技術分野において有益であろう。これによって、これら特徴が、既存の製品の改良や、未だ開発されていない新たな製品の創造に活用できるようになる。
米国公開出願2004/0051929号
本発明のシステム、方法、及び装置は、それぞれ幾つかの局面を持ち、そのうちの1つが単独で、望ましい特性をもたらしているのではない。本発明の範囲を制限することなく、そのより顕著な特徴が手短に説明される。この説明を考慮した後、特に、発明を実施するための最良の形態を読んだ後に、本発明の特徴が、どのように他のディスプレイ装置よりも有利な点を備えているかを理解するであろう。
一つの実施例では、MEMSディスプレイ素子をアクチュエートさせる方法が提供される。ここでは、MEMSディスプレイ素子は、MEMSディスプレイ素子のアレイの一部からなっている。この方法は、ディスプレイ書き込み処理の第一の部分の間、ディスプレイデータを、第一の極性の電位差を用いてMEMSディスプレイ素子に書き込むことと、ディスプレイ書き込み処理の第二の部分の間、前記ディスプレイデータを、前記第一の極性と逆の極性を持つ電位差を用いて前記MEMSディスプレイ素子に再び書き込むこととを含む。引き続き、ディスプレイ書き込み処理の第三の部分の間、前記第一の極性を持つ第一のバイアス電位が、前記MEMSディスプレイ素子に印加され、ディスプレイ書き込み処理の第四の部分の間、前記逆の極性を持つ第二のバイアス電位が、前記MEMSディスプレイ素子に印加される。
別の実施例では、MEMSディスプレイ素子のアレイ上のディスプレイデータのフレームを維持する方法は、少なくともディスプレイデータのフレームがディスプレイシステムによって取得されるレートの逆数によって少なくとも部分的に定義された時間の期間の間、逆極性のほぼ等しいバイアス電位をMEMSディスプレイ素子に交互に印加することを含む。時間の期間の各々は、1/(2f)又は1/(4f)に実質的に等しい。ここでfは、定義されたフレームリフレッシュサイクルの頻度である。
別の実施例では、ディスプレイデータのフレームを、MEMSディスプレイ素子のアレイに、定義されたフレーム更新期間毎に1フレームの割合で書き込む方法は、ディスプレイデータを、複数のMEMSディスプレイ素子に書き込むことを含む。ここで前記書き込むことは、前記フレーム更新期間よりも短い時間を要する。またこの方法は、極性を交互に変えながらバイアス電位のシリーズを、フレーム更新期間の残りについて、MEMSディスプレイ素子に印加することを含む。
また、ディスプレイ装置が提供される。一つの実施例では、MEMSディスプレイ装置が、フレーム更新レートで画像を表示するように構成される。ここでフレーム更新レートは、フレーム更新期間を定義している。このディスプレイ装置は、極性バランスしたバイアス電圧のシーケンスを、少なくとも1フレーム更新期間の部分に対してMEMSディスプレイアレイの実質的に全ての列に印加するように構成された行列ドライバ回路を含んでいる。ここで、前記部分は、第一のフレームに対するフレーム書き込み処理を完了することと、次に続くフレームに対するフレーム書き込み処理を開始することとの間の残り時間によって定義される。
以下の詳細記載は、本発明のある具体的な実施例に向けられている。しかしながら、本発明は、複数の別の方法でも具体化することができる。この記述では、図面が参照される。ここでは、同一部位が、全体を通じて同一符号で示されている。以下の記述から明らかになるように、本発明は、動画(例えばビデオ)あるいは固定画(例えば、静止画像)、及びテキストあるいは写真であろうとも、画像を表示するように構成された任意の装置内で実現される。更に詳しくは、本発明は、限定される訳ではないが、例えば、移動電話、無線装置、パーソナルデータアシスタント(PDA)、ハンドヘルドあるいはポータブルコンピュータ、GSP受信機/ナビゲータ、カメラ、MPSプレーヤ、カムコーダ、ゲームコンソール、腕時計、時計、計算機、テレビモニタ、フラットパネルディスプレイ、コンピュータモニタ、自動車ディスプレイ(例えば、走行距離ディスプレイ等)、コクピットコントロール及び/又はディスプレイ、カメラビューのディスプレイ(例えば、自動車の後方ビューカメラのディスプレイ)、電子写真、電子広告板又はサイン、プロジェクタ、建築構造、パッケージ、及び美的構造(例えば、宝石片の画像のディスプレイ)において、又はこれら種々の電子装置と関連して実現される。ここで記載されたものと同様の構造のMEMS装置はまた、例えば電子切換装置のようなディスプレイではないアプリケーションに使用されることも可能である。
干渉MEMSディスプレイ素子を備えた一つの干渉変調器ディスプレイの実施例が、図1に示されている。これら装置では、ピクセルが、明るい状態、あるいは暗い状態かの何れかにある。明るい(「オン」または「オープンな」)状態では、ディスプレイ素子が、入射可視光の大部分をユーザに反射する。暗い(「オフ」または「クローズな」)状態では、ディスプレイ素子が、入射可視光をほとんどユーザに反射しない。この実施例によれば、「オン」「オフ」からなる光反射特性状態が逆転されうる。MEMSピクセルは、選択された色を主に反射するように構成されている。これによって、黒と白だけではなく、カラー表示が可能となる。
図1は、ビジュアルディスプレイの一連のピクセル中の隣接した2つのピクセルを示す等測図である。ここでは、各ピクセルが、MEMS干渉変調器を備えている。いくつかの実施例では、干渉変調器ディスプレイは、これら複数の干渉変調器の行/列アレイからなる。各干渉変調器は、互いに可変であり制御可能な距離に位置した一対の反射層を含み、少なくとも一つの可変寸法を持つ共鳴光学キャビティを形成する。一つの実施例では、反射層の一方が、2つの位置の間を移動することができる。リリース状態とここで称する第一の位置では、可動層が、固定された部分反射層から比較的離れた距離に位置される。第二の位置では、可動層が、部分反射層により近くに隣接するように位置している。この2つの層から反射する入射光は、可動反射層の位置に依存して、強めあうように又は弱めあうように干渉する。これによって、各ピクセルについて、全体的に反射性となるか、あるいは非反射性となるかの何れかとなる。
図1のピクセルアレイの図示された部分は、2つの隣接する干渉変調器12a,12bを含む。左側の干渉変調器12aでは、可動の高反射性層14aは、固定された部分反射層16aから予め定めた距離であるリリース位置にあるように示されている。右側の干渉変調器12bでは、可動の高反射性層14bは、固定された部分反射層16bに隣接したアクチュエートされた位置にあるように示されている。
固定された層16a,16bは、電導性であり、部分的に透過性であり、部分的に反射性である。そして、例えば、各々がクロムと、インジウム−錫−酸化物とからなる一つ又は複数の層を、透明基板20上に堆積することによって製造される。これら層は、平行なストリップにパターニングされ、以下に記述するようにディスプレイ装置内の行電極を形成する。可動層14a,14bは、支柱18の頂上及び複数の支柱18の間に介在する犠牲材料上に堆積された(行電極16a,16bに直交する)1層の堆積された金属層又は複数の層の一連の平行なストリップとして形成されることができる。犠牲材料がエッチされて除去されるときに、変形可能な金属層は、決められたエアギャップ19だけ固定金属層から分離される。アルミニウムのように非常に電導性があり反射性の材料が、変形可能な層として使用されることができ、そして、これらのストリップは、ディスプレイ装置において列電極を形成できる。
印加電圧がないと、キャビティ19は、2つの層14a,16aの間に維持され、変形可能な層は、図1のピクセル12aに図示されたように機械的に緩和された状態にある。しかしながら、電位差が、選択された行及び列に印加されると、対応するピクセルにおける行電極及び列電極の交点に形成されたキャパシタは、充電され、静電力がこれら電極を強制的に引きつける。電圧が十分に高ければ、可動層は、変形され、図1に右のピクセル12bにより図示されたように、固定層に対して押し付けられる(短絡を防止し、分離距離を制御するために、この図に図示されていない誘電材料が、固定層上に堆積されうる)。この動きは、印加された電位差の極性に拘わらず同じである。このように、反射ピクセル状態対非反射ピクセル状態を制御できる行/列アクチュエーションは、従来のLCD及びその他のディスプレイ技術において使用される多くの方法に類似している。
図2から図5は、ディスプレイ応用において干渉変調器のアレイを使用するための一つの典型的な処理及びシステムを示している。図2は、本発明の局面を組み込むことができる電子装置の1実施例を示すシステムブロック図である。典型的な実施例において、電子装置は、プロセッサ21を含む。このプロセッサ21は、例えば、ARM,Pentium(登録商標)、Pentium II(登録商標)、Pentium III(登録商標)、Pentium IV(登録商標)、Pentium(登録商標) Pro、8051、MIPS(登録商標)、Power PC(登録商標)、ALPHA(登録商標)のような任意の汎用シングルチップ又はマルチチップのマイクロプロセッサであるか、又は例えばディジタルシグナルプロセッサ、マイクロコントローラ、プログラマブルゲートアレイのような特殊用途マイクロプロセッサでありうる。当該技術分野において従来からあるように、プロセッサ21は、一つ又は複数のソフトウェアモジュールを実行するように構成されうる。オペレーティングシステムを実行することに加えて、プロセッサは、ウェブブラウザ、電話アプリケーション、電子メールプログラム、若しくはいずれかのその他のソフトウェアアプリケーションを含む一つ又は複数のソフトウェアアプリケーションを実行するように構成されうる。
一つの実施例では、プロセッサ21は、アレイコントローラ22と通信するようにも構成されている。一つの実施例では、このアレイコントローラ22は、ピクセルアレイ30に信号を供給する行ドライバ回路24及び列ドライバ回路26を含む。図1に図示されたアレイの断面は、図2内の線1−1により示される。MEMS干渉変調器に関して、行/列アクチュエーションプロトコルは、図3に説明されたこれらの装置のヒステリシス特性を利用することができる。例えば、リリースされた状態からアクチュエートされた状態へと可動層を変形させるために、10ボルトの電位差を必要とするかもしれない。しかしながら、電圧がその値から減少する場合、この電圧が、10ボルトより下にドロップバックするので可動層はその状態を維持する。図3に示す典型的な実施例では、可動層は、電圧が2ボルトより下に降下するまで完全にはリリースされない。したがって、図3で説明された例では、約3から7Vの電圧の範囲に、装置がリリースされた状態又はアクチュエートされた状態のいずれかで安定である印加電圧のウィンドウが存在する。これは、「ヒステリシスウィンドウ」、または「安定性ウィンドウ」と称される。図3のヒステリシス特性を有するディスプレイアレイに関して、行/列アクチュエーションプロトコルは、行ストローブの間、アクチュエートされるべきストローブされた行におけるピクセルが、約10ボルトの電圧差を受け、リリースされるべきピクセルは、零ボルトに近い電圧差を受けるように設計することができる。ストローブの後、ピクセルは、約5ボルトの定常状態電圧差を受け、その結果、ピクセルは、行ストローブが行ったどんな状態にでもとどまることができる。書き込まれた後、各ピクセルは、この例では電位差が3−7ボルトの「安定ウィンドウ」の範囲内であると判断する。この特徴は、事前に存在するアクチュエート状態、又はリリース状態かのいずれかに同様に印加された電圧条件の下で、図1に説明されたピクセル設計を安定にさせる。アクチュエートされた状態又はリリースされた状態であるかに拘わらず、干渉変調器の各ピクセルは、本質的には、固定反射層と移動反射層とにより形成されたキャパシタであるので、この安定状態は、ほとんど電力消費なしにヒステリシスウィンドウの範囲内の電圧に保持されることができる。印加された電位が一定であるならば、基本的に電流は、ピクセルに流れ込まない。
代表的なアプリケーションでは、ディスプレイフレームは、第1行内のアクチュエートされたピクセルの所望のセットにしたがって列電極のセットを示すことによって生成される。行パルスは、その後、行1の電極に印加され、示された列ラインに対応するピクセルをアクチュエートする。列電極の示されたセットは、その後、第2行内のアクチュエートされたピクセルの所望のセットに対応するように変更される。パルスは、その後、行2の電極に印加され、示された列電極にしたがって行2内の適切なピクセルをアクチュエートする。行1ピクセルは、行2パルスに影響されず、行1パルスの間に設定された状態にとどまる。これが、連続した方式で一連の行全体に対して繰り返され、フレームが生成される。一般に、1秒当たり所望数のフレームにおいてこの処理を連続的に繰り返すことにより、フレームは、新たなディスプレイデータでリフレッシュ及び/又は更新される。ディスプレイフレームを生成するためにピクセルアレイの行電極及び列電極を駆動するための広範なプロトコルもまた周知であり、本発明とともに使用されうる。
図4及び図5は、図2の3×3アレイでディスプレイフレームを生成するための一つの可能なアクチュエーションプロトコルを示している。図4は、列電圧レベル及び行電圧レベルの可能なセットを示している。このセットは、図3のヒステリシス曲線を表すピクセルのために使用されうる。図4の実施例では、ピクセルをアクチュエートすることは、適切な列を−Vbiasに、適切な行+ΔVに設定することを含む。これらはそれぞれ−5V及び+5Vかもしれない。ピクセルをリリースさせることは、適切な列を+Vbiasに、適切な行を同じ+ΔVに設定することにより達成され、これによって、ピクセル間で零ボルトの電位差を生成する。行電圧が零ボルトに保持される行では、列が+Vbias又は−Vbiasであるかに拘らず、ピクセルが元々どの状態にあろうとも、ピクセルはその状態で安定である。図4にも示すように、上述したものとは異なる逆の極性の電圧が用いられることも認められよう。例えば、ピクセルをアクチュエートさせることは、適切な列を+Vbiasに設定し、適切な行を−ΔVに設定することを含むことができる。この実施例では、ピクセルをリリースすることは、適切な列を−Vbiasに設定し、適切な行を同じ−ΔVに設定することによって達成される。これによって、ピクセル間の零ボルト電位差を生成する。
図5Bは、図2の3×3アレイに印加される一連の行及び列信号を示すタイミング図である。図2の3×3アレイは、結果的に、アクチュエートされたピクセルが非反射性である図5Aに示すディスプレイ配列となる。図5Aに示すフレームを書き込む前に、ピクセルは、任意の状態であることができ、この例では、全ての行が0ボルトであり、全ての列が+5ボルトである。これらの印加電圧で、全てのピクセルは、自身の現在のアクチュエートされた状態又はリリースされた状態で安定である。
図5Aのフレームでは、ピクセル(1,1)、(1,2)、(2,2)、(3,2)及び(3,3)がアクチュエートされている。これを実現するために、行1に対する「ライン時間」の間に、列1及び2は、−5ボルトに設定され、列3は、+5ボルトに設定される。全てのピクセルが3−7ボルトの安定ウィンドウの中に留まるため、これは、どのピクセルの状態も変化させない。行1は、その後、0から5ボルトまで上がり、零に戻るパルスでストローブされる。これは、(1,1)及び(1,2)ピクセルをアクチュエートし、(1,3)ピクセルをリリースする。アレイ中のその他のピクセルは、影響されない。望まれるように行2を設定するために、列2は、−5ボルトに設定され、そして列1及び3は、+5ボルトに設定される。行2に印加された同じストローブは、その後、ピクセル(2,2)をアクチュエートし、ピクセル(2,1)及び(2,3)をリリースする。再び、アレイのその他のピクセルは、影響されない。行3は、列2及び列3を−5ボルトに、そして列1を+5ボルトに設定することより同様に設定される。行3ストローブは、図5Aに示されたように行3ピクセルを設定する。フレームを書き込んだ後、行電位は零に、そして列電位は+5又は−5ボルトのいずれかに留まることができ、ディスプレイは、その後、図5Aの配列で安定である。同じ手順が数十から数百の行及び列のアレイに対して採用されることができることが認識されるであろう。しかも、行及び列アクチュエーションを実行するために使用された電圧のタイミング、シーケンス、及びレベルが、上記に概要を示された一般的な原理の範囲内で広範囲に変形でき、そして、上記の例は、具体的な例だけであり、任意のアクチュエーション電圧方法は、本発明とともに使用されることができることが認識されるであろう。
上記に説明された原理にしたがって動作する干渉変調器の構造の詳細は、広範に変化できる。例えば、図6A乃至図6Cは、移動鏡構造の3つの異なる実施例を図示する。図6Aは、図1の実施例の断面であり、金属材料14のストリップが、直角に延びている支柱18上に堆積されている。図6Bでは、可動反射材料14は、連結部32上に、コーナにおいてのみ支柱に取り付けられる。図6Cでは、可動反射材料14は、変形可能な層34から吊り下げられる。反射材料14に使用される構造的な設計及び材料が光学的特性に関して最適化されることができ、かつ、変形可能な層34に使用される構造的な設計及び材料が所望の機械的特性に関して最適化できるため、この実施例は、利点を有する。種々のタイプの干渉装置の製造は、例えば、米国公開出願2004/0051929(特許文献1)を含む種々の公開された文書に記載されている。多種多様な周知の技術が、一連の材料堆積、パターニング、及びエッチング工程を含む上述された構造を製造するために使用されることができる。
特に、常に同じ方向にある電場によって装置がアクチュエートされ、アクチュエートされた状態に保持されたとき、装置の層間の誘電体上に電荷を蓄積できることが、上述した装置の一つの局面である。例えば、安定性の外部閾値よりも大きな値を持つ電位によって装置がアクチュエートされたとき、移動層が、固定層に比べて常に高い電位であれば、両層間の誘電体上にゆっくりと増加する電荷蓄積は、装置のヒステリシス曲線をシフトし始める。これは望ましいことではない。なぜなら、それは時間にわたってディスプレイ性能を変化させ、時間にわたって別の方法でアクチュエートされた異なるピクセルに対して別の方法でディスプレイ性能を変化させるからである。図5Bの例を見て分かるように、所定のピクセルは、アクチュエーション中10ボルト差を考えておりこの例では毎回、行電極は、列電極よりも10V電位が高い。アクチュエーションの間、プレート間の電場は、行電極から列電極へ向かって常に一方向を示す。
この問題は、ディスプレイ書き込み処理の第一の部分の間、第一の極性の電位差を用いてMEMSディスプレイ素子をアクチュエートさせ、ディスプレイ書き込み処理の第2の部分の間、第1の極性と逆の極性を持つ電位差を用いてMEMSディスプレイ素子をアクチュエートさせることによって低減することができる。この基本的な原理は、図7、図8A、及び図8Bに示されている。
図7には、ディスプレイデータの2つのフレームがフレームN、及びフレームN+1で連続して書かれている。この図では、列のデータは、行1ライン時間の間、行1に対して有効(すなわち、行1のピクセルの所望の状態に依存して+5又は−5かのいずれか)となり、行2ライン時間の間、行2に対して有効となり、行3ライン時間の間、行3に対して有効となる。図5Bに示すように、ここで正極と称されるように、MEMS装置アクチュエーションの間、列電極上の行電極10Vを用いて書き込まれる。アクチュエーションの間、列電極は−5Vであり、行におけるスキャン電圧は、この例では+5Vである。従って、フレームNに対するディスプレイ素子のアクチュエーションとリリースとは、上記した図4の中央行に従って実行される。
フレームN+1は、図4の最下行に従って書き込まれる。フレームN+1では、スキャン電圧が−5Vであり、列電圧はアクチュエートのために+5V、リリースのために−5Vに設定される。従って、フレームN+1では、列電圧は、行電圧上の10Vであり、ここで負の極性と呼ばれる。ディスプレイが連続的にリフレッシュ及び/又は更新されると、極性はフレーム間で交互に変わる。このとき、フレームN+2は、フレームNと同じ方法で書き込まれ、フレームN+3は、フレームN+1と同じ方法で書き込まれ、以下このように同様に書き込まれる。このように、ピクセルのアクチュエーションは、両極性において起こる。この原理に従う実施例では、逆の極性の電位が、定義された時間において、定義された時間持続について所定のMEMS素子にそれぞれ印加される。定義された時間持続は、アレイのMEMS素子に画像データが書き込まれるレートに依存する。そして、逆電位差が、所定のディスプレイ使用期間にわたった時間の量におおよそ等しく印加される。これは、時間にわたって誘電体上に蓄積した電荷を減らすことに役立つ。
このスキームの多種多様な変形を実施することが可能である。例えば、フレームNとフレームN+1とは、異なるディスプレイデータからなることができる。あるいは、逆の極性を持つアレイに2度書かれた同一のディスプレイデータとすることもできる。同一のデータが、逆の極性の信号を用いて2度書かれた具体的な実施例は、図8に更に詳しく示されている。
この図では、フレームN更新期間及びフレームN+1更新期間が示されている。これら更新期間は一般に、選択されたフレーム更新レートの逆数である。このレートは、ディスプレイデータの新たなフレームが、ディスプレイシステムによって取得されるレートによって定義される。例えば、このレートは、15Hz、30Hz、又は表示されている画像データの性質に依存するその他の周波数である。
フレーム更新レートによって定義される更新期間よりも短い時間期間内に、データのフレームが一般にディスプレイ素子のアレイに書き込むことができることは、ここで記述したディスプレイ素子の一つの特徴である。図8の実施例では、フレーム更新期間は、40、42、44、46と示された4つの部分即ち間隔に分割される。図8は、例えば図5Aに示すように、3つの行からなるディスプレイについてのタイミング図を示す。フレーム更新期間の第一の部分40の間、フレームは、第一の極性の変調器素子間の電位差を用いて書き込まれる。例えば、行及び列に印加された電圧は、図4及び図5Bの中央行によって示される極性に従う。図7に示すように、図8では、列電圧は個別には示されていないが、マルチ導電体バスとして示されている。ここでは、列電圧は、期間50の間、行1に対して有効であり、期間52の間、行2に対して有効であり、期間54の間、行3に対して有効である。ここで、「有効」とは、選択された電圧であり、この電圧は、書き込まれる列内のディスプレイ素子の所望の状態に依存して変わる。図5Bの例では、各列は、所望のディスプレイ素子状態に依存して+5又は−5の電位を仮定することができる。既に説明したように、行パルス51は、所望する行1ディスプレイ素子の状態を設定し、行パルス53は、所望する行2ディスプレイ素子の状態を設定し、行パルス55は、所望する行3ディスプレイ素子の状態を設定する。フレーム更新期間の第2の部分42の間、同じデータが、ディスプレイ素子に印加された逆の極性を用いてアレイに書き込まれる。この期間の間、列上に存在する電圧は、第一の部分40の間にあったものと逆である。もしも、例えば、時間期間50の間、電圧が列上の+5ボルトであったならば、時間期間60の間、−5ボルトとなるであろう。この逆もまた同様であろう。同じことは、列に対するディスプレイデータのセットのシーケンシャルなアプリケーションに対しても当てはまる。例えば、期間62の間の電位は、期間52の間の電位の逆である。また、期間64の間の電位は、時間期間54の間に印加された電位の逆である。フレーム更新期間の第一の部分40の間に提供されたものと逆の極性の行ストローブ61,63,65は、部分40の間に書き込まれるように、第二の部分42の間に同一のデータをアレイに再書き込みするが、ディスプレイ素子間に印加された電圧の極性は反転される。
図8に示す実施例では、第1の期間40及び第2の期間42ともに、フレーム更新期間の終了前に完了する。この実施例では、交互に変わる一対の保持期間44,46によって時間期間が、満たされる。一例として、図3乃至図5のアレイを用いると、第一の保持期間44の間、行は全て0ボルトに保持され、列は全て+5Vとされる。第2の保持期間46の間、行は0ボルトを維持し、列は全て−5Vとされる。従って、フレームNのアレイ書き込みの後であるが、フレームN+1のアレイ書き込みの前の期間の間、逆の極性のバイアス電位が、アレイの素子にそれぞれ印加される。これらの期間の間、アレイ素子の状態は変わらないが、ディスプレイ素子に蓄積された電荷を最小にするために逆の極性の電位が印加される。
フレームN+1のための次のフレーム更新期間の間、図8に示すように、この処理は繰り返される。この方法全体の種々の変形が、有利な効果のために利用されることが認められよう。例えば、2より多い保持期間が、提供されうる。図9は、逆の極性における書き込みが、フレーム毎のベースではなく、行毎のベースでなされる実施例を示す。この実施例では、図8における時間期間40,42がインタリーブされる。更に、変調器は、他の極性よりも一つの極性のチャージにより影響され易い。従って、本質的には、正確に等しい正及び負の書き込み時間及び保持時間が通常は最も有利である。しかしながら、ある場合においては、正及び負の極性アクチュエーション及び保持の相対的な時間期間を僅かに歪ませることが有益であるかもしれない。従って、一つの実施例では、書き込みサイクルと保持サイクルの時間は、電荷がバランスアウトできるように調整することができる。典型的な実施例では、純粋に例示及び計算の容易さのために選択された値を用いて、電極材料が、負極の充電速度よりも2倍速い正極の充電速度を持つことができる。もしも正極書き込みサイクルwrite+が10msであれば、負極書き込みサイクルwrite−は、補償のために20msでありうる。従って、write+サイクルは、合計書き込みサイクルの1/3となり、write−サイクルは、合計書き込みサイクルの2/3となる。同様に、保持サイクルも同様な時間比率を持つことができる。別の実施例では、電場の変化が、非線形であるかもしれない。これによって、充電又は放電の速度が時間にわたって変わりうる。この場合、サイクル時間は、非線形の充電速度及び放電速度に基づいて調整されうる。
いくつかの実施例では、DC電気中性及び一貫したヒステリシスウィンドウを保証するために、幾つかのタイミング変数が、独立してプログラムされることが可能である。これらのタイミング設定は、限定される訳ではないが、write+サイクル時間及びwrite−サイクル時間、正の保持サイクル時間及び負の保持サイクル時間、行ストローブ時間を含む。
ここで議論されたフレーム更新サイクルが、write+,write−,hold+,及びhold−のセットを持つ一方、この順序を変更することが可能である。別の実施例では、サイクルの順序を、任意に置き換えることができる。また別の実施例では、別の表示更新期間に対して、異なるサイクルと、異なるサイクルの置き換えとを使用することができる。例えば、フレームNは、write+サイクル、hold+サイクル、及びhold−サイクルのみを含む一方、次のフレームN+1は、write−サイクル、hold+サイクル、及びhold−サイクルのみを含むことができる。別の実施例は、一つのフレーム又はフレームのシリーズについてwrite+,hold+,write−,hold−を使用し、次の一つのフレーム又は次のフレームのシリーズについてwrite−,hold−,write+,hold+を使用できる。正極及び負極の保持サイクルの順序は、各列について独立して選択されることが可能であることも認められるであろう。この実施例では、ある列が、先ずhold+、次にhold−とサイクルする一方、他の列は、先ずhold−に行き、次にhold+に行く。この例では、列ドライバ回路の構成に依存して、第一の保持サイクル44において列の半分を−5Vに、半分を+5Vに設定し、その後、第二の保持サイクル46において全ての列極性を、前半部に対しては+5Vに、後半部に対しては−5Vに切り換える。
MEMSディスプレイ素子のために定期的にリリースサイクルを含むことが有利であることも発見された。フレーム更新サイクルの幾つかの間に、一つ又は複数の行について、このリリースサイクルを実行することは有利である。このリリースサイクルは、例えば100,000又は1,000,000フレーム更新毎、あるいはディスプレイ動作の1時間毎又は数時間毎のように比較的頻繁にならないように一般に与えられる。全て又は実質的に全てのピクセルについてのこの定期的なリリースの目的は、表示されている画像の性質によって長い期間の間、連続して作動されているMEMSディスプレイ素子が、アクチュエートされた状態においてスタックする機会を減らすことである。図8に示す実施例では、例えば、期間50は、行1の全てのディスプレイ素子を、100,000フレーム更新毎にリリース状態に書き込むwrite+サイクルでありうる。期間52、54及び/又は60,62,64に関しても、ディスプレイの全ての行に対して同じことがなされうる。これはさほど頻繁ではなく、短い期間に起こるので、リリースサイクルは、時間において広く分布し(例えば、100,000以上のフレーム更新毎、又はディスプレイ動作の1時間又はそれ以上毎)、ディスプレイの異なる行にわたって異なる時間に分布する。これによって、通常の観察者に対するディスプレイの視覚的外見についての知覚可能なあらゆる影響を取り除くことができる。図10は、別の実施例を示す。ここでは、フレーム書き込みが、可変量のフレーム更新期間をとり、保持サイクル期間が、1フレームに対するディスプレイ書き込み処理の完了と、次のフレームに対するディスプレイ書き込み処理の開始との間の時間を埋めるために長さが調整される。この実施例では、例えば期間40,42のようなデータのフレームを書き込むための時間は、データのフレームが、先行するフレームからどのように異なるかに依存して変化しうる。図10では、フレームNが、完全なフレーム書き込み動作を必要としている。ここでは、アレイの全ての行がストローブされている。両方の極性においてこれを行うためには、図8及び図9に示すような時間期間40,42が必要となる。フレームN+1の場合、この例では、アレイの行の幾つかについて画像データが同じあるので、幾つかの行のみが更新を必要とする。不変の行(例えば、図10に示す行1と行N)は、ストローブされない。従って、行のうちのほんの幾つかしかストローブされる必要がないので、新たなデータをアレイに書き込むことは、より短い期間70,72しか必要としない。フレームN+1の場合、保持サイクル44,46は、フレームN+2を書き込むことが始まる前の残りの時間を埋めるように拡張される。この例では、フレームN+2は、フレームN+1から変わっていない。そのとき、書き込みサイクルは必要ではなく、フレームN+2のための更新期間は、保持サイクル44,46で完全に埋められる。上述したように、例えば4サイクル、8サイクル等のように、2を超える保持サイクルを使用することができる。
図11A及び11Bは、ディスプレイ装置2040の実施形態を説明するシステムブロック図である。ディスプレイ装置2040は、例えば、セルラ又は携帯電話機でありうる。しかしながら、ディスプレイ装置2040の同じ構成要素又はそのわずかな変形も、例えばテレビ及び携帯型メディアプレーヤのような種々のタイプのディスプレイ装置を示している。
ディスプレイ装置2040は、ハウジング2041、ディスプレイ2030、アンテナ2043、スピーカ2045、入力装置2048、及びマイクロフォン2046を含む。ハウジング2041は、一般に当業者に周知の各種の製造技術のいずれかから形成され、射出成型、及び真空形成を含む。その上、ハウジング2041は、限定される訳ではないが、プラスチック、金属、ガラス、ゴム、及びセラミックス、又はこれらの組み合わせを含む種々の材料から形成されることができる。一つの実施例では、ハウジング2041は、取り外し可能部分(図示せず)を含む。この部分は、異なる色からなるか、又は異なるロゴ、絵柄、又はシンボルを含む別の取り外し可能部品と交換することができる。
典型的なディスプレイ装置2040のディスプレイ2030は、ここに説明されたように、双安定ディスプレイを含む種々のディスプレイのうちの何れかでありうる。その他の実施例では、当該技術分野における熟練者に対して周知であるように、ディスプレイ2030は、上記に説明したように、例えばプラズマ、EL、OLED、STN LCD、又はTFT LCDのようなフラットパネルディスプレイ、若しくはCRT又はその他の真空管装置のような、非フラットパネルディスプレイを含む。しかしながら、本実施例を説明する目的のために、ディスプレイ2030は、ここに説明されたように、干渉変調器ディスプレイを含む。
典型的なディスプレイ装置2040の1つの実施例の構成要素が、図11Bに模式的に図示される。図示された典型的なディスプレイ装置2040は、ハウジング2041を含む。ハウジング2041は、少なくとも部分的にその中に閉じ込められた付加的な構成要素を含むことができる。例えば、1つの実施例では、典型的なディスプレイ装置2040は、トランシーバ2047に接続されたアンテナ2043を含むネットワークインターフェース2027を含む。トランシーバ2047は、プロセッサ2021に接続され、プロセッサ2021は調整ハードウェア2052に接続される。調整ハードウェア2052は、信号を調整する(例えば、信号をフィルタする)ように構成されうる。調整ハードウェア2052は、スピーカ2045及びマイクロフォン2046に接続される。プロセッサ2021も、入力装置2048及びドライバコントローラ2029に接続される。ドライバコントローラ2029は、フレームバッファ2028に接続、及びアレイドライバ2022に接続される。また、アレイドライバ2022は、ディスプレイアレイ2030にも接続されている。電源2050は、特定の典型的なディスプレイ装置2040設計によって必要とされるように、全ての構成要素に電力を供給する。
ネットワークインターフェース2027は、アンテナ2043及びトランシーバ2047を含んでいる。これによって、典型的なディスプレイ装置2040は、ネットワークを介して1又は複数の装置と通信することができる。1つの実施例では、ネットワークインターフェース2027は、プロセッサ2021の要求を軽減させるためにある種の処理能力を持つことができる。アンテナ2043は、信号を送受信するために当該技術分野における熟練者に公知の何れかのアンテナである。1つの実施例では、アンテナは、IEEE802.11(a),(b),又は(g)を含む、IEEE802.11規格にしたがってRF信号を送信し、受信する。他の1つの実施例では、アンテナは、ブルートゥース(BLUETOOTH)規格にしたがってRF信号を送信し、受信する。セルラ電話機の場合、アンテナは、CDMA、GSM、AMPS若しくは無線セル電話ネットワーク内で通信するために使用されるその他の公知の信号を受信するように設計される。トランシーバ2047は、アンテナ2043から受信された信号を前処理する。これによって、信号が受信され、プロセッサ2021によってさらに操作されるようになる。トランシーバ2047は、また、プロセッサ2021から受信された信号を処理する。これによって、信号はアンテナ2043を経由して、典型的なディスプレイ装置2040から送信されるようになる。
代替実施例では、トランシーバ2047は、受信機によって置き換えることが可能である。更に別の代替実施例では、ネットワークインターフェース2027は、画像ソースによって置き換えられることができる。画像ソースは、プロセッサ2021に送られるべき画像データを記憶又は生成することができる。例えば、画像ソースは、画像データを含むディジタルビデオディスク(DVD)又はハードディスクドライブであるか、あるいは画像データを生成するソフトウェアモジュールでありうる。
プロセッサ2021は、典型的なディスプレイ装置2040の全体動作を制御する。プロセッサ2021は、ネットワークインターフェース2027又は画像ソースからの圧縮画像データのようなデータを受信し、このデータを、そしてデータを、生の画像データ、又は生の画像データに用意に処理できるフォーマットに処理する。プロセッサ2021は、その後、この処理されたデータをドライバコントローラ2029へ、又は記憶するためにフレームバッファ2028へ送る。生のデータは、一般に、画像の内の各位置における画像特性を識別する情報を称する。例えば、そのような画像特性は、色彩、彩度、及びグレースケールレベルを含むことができる。
1つの実施例では、プロセッサ2021は、マイクロコントローラ、CPU、若しくは論理ユニットを含み、典型的なディスプレイ装置2040の動作を制御する。調整ハードウェア2052は、スピーカ2045に信号を送信するために、及びマイクロフォン2046から信号を受信するために、増幅器及びフィルタを含む。調整ハードウェア2052は、典型的なディスプレイ装置2040内部のディスクリートな構成要素、若しくは、プロセッサ2021又はその他の構成要素の内部に組み込まれることができる。
ドライバコントローラ2029は、プロセッサ2021により発生された生の画像データをプロセッサ2021から直接又はフレームバッファ2028からのいずれかで取得し、アレイドライバ2022への高速送信に適切であるように生の画像データを再フォーマット化する。具体的には、ドライバコントローラ2029は、生の画像データを、ラスタ状のフォーマットを有するデータフローに再フォーマットする。これによって、データフローは、ディスプレイアレイ2030全体をスキャニングするために適した時間順を有するようになる。そして、ドライバコントローラ2029は、フォーマットされた情報をアレイドライバ2022へ送る。LCDコントローラのような、ドライバコントローラ2029が、スタンドアローンの集積回路(IC)としてシステムプロセッサ2021に良く関連付けられるが、そのようなコントローラは、多くの方法で実現することができる。これらは、ハードウェアとしてプロセッサ2021に搭載されたり、ソフトウェアとしてプロセッサ2021に搭載されたり、あるいはアレイドライバ2022を備えたハードウェアに完全に統合されうる。
一般に、アレイドライバ2022は、フォーマット化された情報をドライバコントローラ2029から受信し、ディスプレイのピクセルのx−y行列から到来する数百本、ときには数千本のリード線に毎秒何回も適用される波形のパラレルセットに、ビデオデータを何度も再フォーマットする。
1つの実施例では、ドライバコントローラ2029、アレイドライバ2022、及びディスプレイアレイ2030は、ここに説明されたいずれのタイプのディスプレイに対しても適切である。例えば、1つの実施例では、ドライバコントローラ2029は、従来型のディスプレイコントローラ又は双安定ディスプレイコントローラ(例えば、干渉変調器コントローラ)である。別の実施例では、アレイドライバ2022は、従来型のドライバ又は双安定ディスプレイドライバ(例えば、干渉変調器ディスプレイ)である。1つの実施例では、ドライバコントローラ2029は、アレイドライバ2022と統合される。そのような実施例は、例えば携帯電話、時計、及びその他の小面積ディスプレイのような高度に集積されたシステムにおいて一般的である。更に別の実施例では、ディスプレイアレイ2030は、典型的なディスプレイアレイ又は双安定ディスプレイアレイ(例えば、干渉変調器のアレイを含んでいるディスプレイ)である。
入力装置2048は、典型的なディスプレイ装置2040の動作をユーザが制御することを可能にする。1つの実施例では、入力装置2048は、クワーティ(QWERTY)キーボード又は電話キーパッドのようなキーパッド、ボタン、スイッチ、接触感応スクリーン、感圧又は感熱膜を含む。1つの実施例では、マイクロフォン2046は、典型的なディスプレイ装置2040のための入力装置である。マイクロフォン2046がこの装置にデータを入力するために使用される時、典型的なディスプレイ装置2040の動作を制御するために、ユーザによって音声命令が与えられる場合がある。
電源2050は、当該技術分野において周知のような各種のエネルギー貯蔵装置を含むことができる。例えば、1つの実施例では、電源2050は、例えばニッケル−カドミウム電池又はリチウムイオン電池のような、充電可能な電池である。別の実施例では、電源2050は、キャパシタ、若しくはプラスチック太陽電池、及びソーラーセル塗料を含む太陽電池や、キャパシタ、あるいは回復可能なエネルギー源である。別の実施例では、電源2050は、壁のコンセントから電力を受け取るように構成される。
いくつかの実施では、上述したように、制御プログラム能力が、電子表示システム内の幾つかの位置に配置することができるドライバコントローラ内に常駐する。いくつかの場合では、制御プログラム能力が、アレイドライバ2022内に常駐する。当該技術における熟練者であれば、上述した最適化が、任意の数のハードウェア及び/又はハードウェア構成要素の中に、種々の構成で実施されうることを認識するであろう。当該技術分野における熟練者であれば、多くのかつ種々の変形が、本発明の精神から逸脱することなくなされうることが理解されよう。従って、本発明の態様は、説明のみのものであり、本発明の範囲を制限することを意図していないことが明確に理解されるべきである。
図1は、干渉変調器ディスプレイの一つの実施例の一部を示す等測図であり、第一の干渉変調器の可動反射層がリリース位置にあり、第二の干渉変調器の可能反射層がアクチュエートされた位置にある。 図2は、3×3の干渉変調器ディスプレイを組み込んだ電子装置の一つの実施例を示すシステムブロック図である。 図3は、図1に示す干渉変調器の一つの典型的な実施例における印加電圧に対する可動ミラー位置の図である。 図4は、干渉変調器ディスプレイを駆動するために使用される行電圧と列電圧のセットを示す図である。 図5Aは、ディスプレイデータのフレームを、図2に示す3×3干渉変調器ディスプレイに書き込むために使用される行信号及び列信号のための一つの典型的なタイミング図を示す。 図5Bは、ディスプレイデータのフレームを、図2に示す3×3干渉変調器ディスプレイに書き込むために使用される行信号及び列信号のための一つの典型的なタイミング図を示す。 図6Aは、図1に示す装置の断面図である。 図6Bは、干渉変調器の代替実施例を示す断面図である。 図6Cは、干渉変調器の別の代替実施例を示す断面図である。 図7は、異なるディスプレイデータのフレームへの逆の書き込み極性の印加を示すタイミング図である。 図8は、本発明の第一の実施例におけるフレーム更新期間の間の書き込みサイクル及び保持サイクルを示すタイミング図である。 図9は、本発明の第一の実施例におけるフレーム更新期間の間の書き込みサイクル及び保持サイクルを示すタイミング図である。 図10は、フレーム更新期間の間の可変長書き込みサイクル及び保持サイクルを示すタイミング図である。 図11Aは、複数の干渉変調器を備えたビジュアルディスプレイ装置の実施例を示すシステムブロック図である。 図11Bは、複数の干渉変調器を備えたビジュアルディスプレイ装置の実施例を示すシステムブロック図である。

Claims (50)

  1. MEMSディスプレイ素子をアクチュエートさせる方法であって、前記MEMSディスプレイ素子は、MEMSディスプレイ素子のアレイの一部からなっており、前記方法は、
    ディスプレイ書き込み処理の第一の部分の間、第一の極性の電位差を用いて、ディスプレイデータを、前記MEMSディスプレイ素子に書き込むことと、
    前記ディスプレイ書き込み処理の第二の部分の間、前記第一の極性と逆の極性を持つ電位差を用いて、前記ディスプレイデータを、前記MEMSディスプレイ素子に再び書き込むことと、
    前記ディスプレイ書き込み処理の第三の部分の間、前記第一の極性を持つ第一のバイアス電位を、前記MEMSディスプレイ素子に印加することと、
    前記ディスプレイ書き込み処理の第四の部分の間、前記逆の極性を持つ第二のバイアス電位を、前記MEMSディスプレイ素子に印加することと
    を備える。
  2. 請求項1に記載の方法において、前記ディスプレイ書き込み処理の前記第一の部分は、ディスプレイデータの第一のフレームを、前記MEMSディスプレイ素子のアレイに書き込むことを含み、前記ディスプレイ書き込み処理の前記第二の部分は、ディスプレイデータの前記第一のフレームを、前記MEMSディスプレイ素子のアレイに再び書き込むことを含む。
  3. 請求項2に記載の方法において、前記ディスプレイ書き込み処理の前記第三及び第四の部分は、前記再び書き込むことの後に、ディスプレイデータの前記第一のフレームを保持することを含む。
  4. 請求項3に記載の方法において、前記書き込むこと、再び書き込むこと、第一のバイアス電圧を印加すること、及び第二のバイアス電圧を印加することを用いて、ディスプレイデータの第二のフレームを書き込むことを更に備える。
  5. 請求項1に記載の方法において、前記ディスプレイ書き込み処理の前記第一の部分は、ディスプレイデータの第一の行を、前記MEMSディスプレイ素子のアレイに書き込むことを含み、前記ディスプレイ書き込み処理の前記第二の部分は、ディスプレイデータの前記第一の行を、前記MEMSディスプレイ素子のアレイに再び書き込むことを含む。
  6. 請求項5に記載の方法において、前記ディスプレイ書き込み処理の前記第三及び第四の部分は、前記再び書き込むことの後に、ディスプレイデータの前記第一の行を保持することを備える。
  7. 請求項6に記載の方法において、前記書き込むこと、再び書き込むこと、第一のバイアス電圧を印加すること、及び第二のバイアス電圧を印加することを用いて、ディスプレイデータの第二の行を書き込むことを更に備える。
  8. 請求項1に記載の方法において、前記ディスプレイ書き込み処理の前記第一、第二、第三、及び第四の部分はそれぞれ、ディスプレイデータのフレームがディスプレイシステムによって取得されるレートの逆数によって定義される時間期間のおおよそ1/4からなる。
  9. 請求項1に記載の方法において、前記第一の部分と前記第二の部分とは合わせて、ディスプレイデータのフレームがディスプレイシステムによって取得されるレートの逆数によって定義される時間期間の1/2未満である。
  10. 請求項1に記載の方法において、前記第一の部分は、第一の時間期間続き、前記第二の部分は、第二の時間時間続く。
  11. 請求項10に記載の方法において、前記第1の時間期間と前記第2の時間期間とは異なっている。
  12. 請求項11に記載の方法において、前記第1及び第2の時間期間は、極性に依存する誘電体充電レートに少なくとも部分的に基づいて決定される。
  13. MEMSディスプレイ素子のアレイ上のディスプレイデータのフレームを維持する方法であって、ディスプレイデータのフレームがディスプレイシステムによって取得されるレートの逆数によって少なくとも部分的に定義された時間期間の間、ほぼ等しい逆極性のバイアス電圧を前記MEMSディスプレイ素子に交互に印加することを備える。
  14. 請求項13に記載の方法において、前記時間の期間の各々は、1/(2f)に実質的に等しく、fは、定義されたフレームリフレッシュサイクルの頻度である。
  15. 請求項13に記載の方法において、前記時間の期間の各々は、1/(4f)に実質的に等しく、fは、定義されたフレームリフレッシュサイクルの頻度である。
  16. ディスプレイデータのフレームを、MEMSディスプレイ素子のアレイに、定義されたフレーム更新期間毎に1フレームの割合で書き込む方法であって、
    ディスプレイデータを前記MEMSディスプレイ素子に書き込むことであって、前記書き込むことには、前記フレーム更新期間よりも短い時間を要することと、
    極性を交互に変えながらバイアス電位のシリーズを、前記フレーム更新期間の残りについて、前記MEMSディスプレイ素子に印加することと
    を備える。
  17. 請求項16に記載の方法において、前記シリーズは、前記フレーム更新期間の残りのおおよそ半分の間、第一の極性を加えることと、前記フレーム更新期間のおおよそ半分の間、第二の逆の極性を加えることとからなる。
  18. フレーム更新レートで画像を表示するように構成されたMEMSディスプレイ装置であって、前記フレーム更新レートはフレーム更新期間を定義しており、前記ディスプレイ装置は、極性バランスしたバイアス電圧のシーケンスを、少なくとも1フレーム更新期間の部分についてMEMSディスプレイアレイの実質的に全ての列に印加するように構成された列ドライバ回路を備え、前記部分は、第一のフレームに対するフレーム書き込み処理を完了することと、次に続くフレームに対するフレーム書き込み処理を開始することとの間の残り時間によって定義される。
  19. 請求項18に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記ドライバ回路は、前記フレーム更新期間の部分の間、前記ディスプレイアレイの実質的に全ての列に同じ電圧を印加するように構成されている。
  20. 請求項18に記載の装置において、
    ディスプレイと、
    前記ディスプレイと電気的に通信するプロセッサであって、画像データを処理するように構成されたプロセッサと、
    前記プロセッサと電気的に通信するメモリ装置と
    を更に備える。
  21. 請求項20に記載の装置において、前記ドライバ回路は、少なくとも一つの信号を前記ディスプレイに送るように構成されている。
  22. 請求項21に記載の装置において、
    前記画像データの少なくとも一部を前記ドライバ回路に送るように構成されたコントローラを更に備える。
  23. 請求項20に記載の装置において、
    前記画像データを前記プロセッサに送るように構成された画像ソースモジュールを更に備える。
  24. 請求項23に記載の装置において、前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバ、及び送信機のうちの少なくとも一つを備える。
  25. 請求項20に記載の装置において、
    入力データを受信し、前記入力データを前記プロセッサに通信するように構成された入力装置を更に備える。
  26. MEMSディスプレイを駆動する方法であって、前記ディスプレイの実質的に全てのピクセルを定期的にリリースすることを備え、前記定期的にリリースすることは、通常の観察者に対する前記ディスプレイの視覚的外見についての知覚可能な影響がないように、頻繁ではないレートで各ピクセルに対して行われる。
  27. 請求項26に記載の方法において、前記頻繁ではないレートは、1時間のディスプレイ使用毎に1回よりも遅いレートである。
  28. 請求項26に記載の方法において、前記頻繁ではないレートは、画像データが100,000回表示されたフレーム毎に1回よりも遅いレートである。
  29. MEMSディスプレイ装置であって、
    複数のピクセルを有する画像を表示する手段と、
    前記表示する手段の実質的に全てのピクセルを定期的にリリースする手段とを備え、前記定期的にリリースすることは、通常の観察者に対する前記表示する手段の視覚的外見についての知覚可能な影響がないように、頻繁ではないレートで各ピクセルに対して行われる。
  30. 請求項29に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記表示する手段は、複数の行と列内に配置されたディスプレイ素子のアレイを備える。
  31. 請求項30に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記アレイは、干渉変調器を備える。
  32. 請求項30に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記リリースする手段は、極性バランスしたバイアス電圧のシーケンスを、前記アレイの実質的に全ての列に印加するように構成された列ドライバ回路を備える。
  33. 請求項32に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記頻繁ではないレートは、1時間のディスプレイ使用毎に1回よりも遅いレートである。
  34. 請求項32に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記頻繁ではないレートは、画像データが100,000回表示されたフレーム毎に1回よりも遅いレートである。
  35. 請求項32に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    前記アレイと電気的に通信するプロセッサであって、画像データを処理するように構成されたプロセッサと、
    前記プロセッサと電気的に通信するメモリ装置と
    を更に備える。
  36. 請求項35に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    前記画像データの少なくとも一部を前記ドライバ回路に送るように構成されたコントローラを更に備える。
  37. 請求項35に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    前記画像データを前記プロセッサに送るように構成された画像ソースモジュールを更に備える。
  38. 請求項37に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバ、及び送信機のうちの少なくとも一つを備える。
  39. 請求項35に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    入力データを受信し、前記入力データを前記プロセッサに通信するように構成された入力装置を更に備える。
  40. フレーム更新レートで画像を表示するように構成されたMEMSディスプレイ装置であって、前記フレーム更新レートはフレーム更新期間を定義しており、前記ディスプレイ装置は、
    画像を表示する手段と、
    極性バランスしたバイアス電圧のシーケンスを、少なくとも1フレーム更新期間の部分に対して前記表示する手段に印加する手段とを備え、前記部分は、第一のフレームに対するフレーム書き込み処理を完了することと、次に続くフレームに対するフレーム書き込み処理を開始することとの間の残り時間によって定義される。
  41. 請求項40に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記表示する手段は、複数の行と列内に配置されたMEMS素子のアレイを備える。
  42. 請求項41に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記アレイは干渉変調器を備える。
  43. 請求項41に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記印加する手段は、ドライバ回路である。
  44. 請求項41に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記印加する手段は、プロセッサである。
  45. 請求項43に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記ドライバ回路は、前記フレーム更新期間の部分の間、前記アレイの実質的に全ての列に同じ電圧を印加するように構成されている。
  46. 請求項43に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    前記アレイと電気的に通信するプロセッサであって、画像データを処理するように構成されたプロセッサと、
    前記プロセッサと電気的に通信するメモリ装置と
    を更に備える。
  47. 請求項46に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    前記画像データの少なくとも一部を前記ドライバ回路に送るように構成されたコントローラを更に備える。
  48. 請求項46に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    前記画像データを前記プロセッサに送るように構成された画像ソースモジュールを更に備える。
  49. 請求項48に記載のMEMSディスプレイ装置において、前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバ、及び送信機のうちの少なくとも一つを備える。
  50. 請求項46に記載のMEMSディスプレイ装置において、
    入力データを取得し、前記入力データを前記プロセッサに通信するように構成された入力装置を更に備える。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012037894A (ja) * 2005-12-07 2012-02-23 Qualcomm Mems Technologies Inc Mems表示要素にデータを書き込むための方法及び装置
JP2013200483A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Toshiba Corp 表示装置及びその駆動方法

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7471444B2 (en) * 1996-12-19 2008-12-30 Idc, Llc Interferometric modulation of radiation
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7499208B2 (en) * 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7551159B2 (en) * 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
US7515147B2 (en) * 2004-08-27 2009-04-07 Idc, Llc Staggered column drive circuit systems and methods
US7560299B2 (en) * 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7889163B2 (en) * 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US20060066594A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Karen Tyger Systems and methods for driving a bi-stable display element
US8878825B2 (en) * 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7626581B2 (en) * 2004-09-27 2009-12-01 Idc, Llc Device and method for display memory using manipulation of mechanical response
US8514169B2 (en) 2004-09-27 2013-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and system for writing data to electromechanical display elements
US7136213B2 (en) * 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US7724993B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7679627B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US7545550B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7843410B2 (en) * 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7345805B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7532195B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7446927B2 (en) * 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US7675669B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7310179B2 (en) * 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US7948457B2 (en) * 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
KR20080027236A (ko) * 2005-05-05 2008-03-26 콸콤 인코포레이티드 다이나믹 드라이버 ic 및 디스플레이 패널 구성
US7355779B2 (en) * 2005-09-02 2008-04-08 Idc, Llc Method and system for driving MEMS display elements
US8391630B2 (en) 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US8194056B2 (en) * 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US8049713B2 (en) * 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7957589B2 (en) * 2007-01-25 2011-06-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Arbitrary power function using logarithm lookup table
US8736590B2 (en) 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US8405649B2 (en) * 2009-03-27 2013-03-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US20110109615A1 (en) * 2009-11-12 2011-05-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Energy saving driving sequence for a display
US20110148837A1 (en) * 2009-12-18 2011-06-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Charge control techniques for selectively activating an array of devices
JP5310529B2 (ja) * 2009-12-22 2013-10-09 株式会社豊田中央研究所 板状部材の揺動装置
US9110200B2 (en) 2010-04-16 2015-08-18 Flex Lighting Ii, Llc Illumination device comprising a film-based lightguide
BR112012026329A2 (pt) 2010-04-16 2019-09-24 Flex Lighting Ii Llc sinal compreendendo um guia de luz baseado em película
TWI410731B (zh) * 2010-07-30 2013-10-01 Novatek Microelectronics Corp 雙穩態顯示裝置及驅動方法
JP6828671B2 (ja) * 2017-12-12 2021-02-10 株式会社デンソー 入力装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08234706A (ja) * 1994-12-28 1996-09-13 Canon Inc 表示素子用反転信号生成回路とそれを用いた表示装置
JPH0973067A (ja) * 1995-06-15 1997-03-18 Canon Inc 光学変調装置及び画像表示装置の駆動法
JPH10171409A (ja) * 1996-11-28 1998-06-26 Texas Instr Inc <Ti> ロード/リセット・シーケンスを自動的に供給する方法

Family Cites Families (161)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4571603A (en) 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4500171A (en) 1982-06-02 1985-02-19 Texas Instruments Incorporated Process for plastic LCD fill hole sealing
US4482213A (en) 1982-11-23 1984-11-13 Texas Instruments Incorporated Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs
US5633652A (en) * 1984-02-17 1997-05-27 Canon Kabushiki Kaisha Method for driving optical modulation device
US4566935A (en) 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4709995A (en) 1984-08-18 1987-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Ferroelectric display panel and driving method therefor to achieve gray scale
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US5096279A (en) 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5835255A (en) * 1986-04-23 1998-11-10 Etalon, Inc. Visible spectrum modulator arrays
FR2605444A1 (fr) 1986-10-17 1988-04-22 Thomson Csf Procede de commande d'un ecran matriciel electrooptique et circuit de commande mettant en oeuvre ce procede
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
US4982184A (en) 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5079544A (en) 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5446479A (en) * 1989-02-27 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Multi-dimensional array video processor system
US5287096A (en) 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
KR100202246B1 (ko) 1989-02-27 1999-06-15 윌리엄 비. 켐플러 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
US5206629A (en) 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US5192946A (en) 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
US5227900A (en) 1990-03-20 1993-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Method of driving ferroelectric liquid crystal element
CH682523A5 (fr) 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
US5357267A (en) * 1990-06-27 1994-10-18 Canon Kabushiki Kaisha Image information control apparatus and display system
US5099353A (en) 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5083857A (en) 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
EP0467048B1 (en) 1990-06-29 1995-09-20 Texas Instruments Incorporated Field-updated deformable mirror device
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5192395A (en) 1990-10-12 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Method of making a digital flexure beam accelerometer
US5526688A (en) 1990-10-12 1996-06-18 Texas Instruments Incorporated Digital flexure beam accelerometer and method
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
US5602671A (en) 1990-11-13 1997-02-11 Texas Instruments Incorporated Low surface energy passivation layer for micromechanical devices
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
CA2063744C (en) * 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5179274A (en) 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
US5563398A (en) 1991-10-31 1996-10-08 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator scanning system
CA2081753C (en) 1991-11-22 2002-08-06 Jeffrey B. Sampsell Dmd scanner
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
CA2087625C (en) * 1992-01-23 2006-12-12 William E. Nelson Non-systolic time delay and integration printing
US5296950A (en) 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
US5212582A (en) 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method
EP0562424B1 (en) 1992-03-25 1997-05-28 Texas Instruments Incorporated Embedded optical calibration system
US5312513A (en) 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
JPH0651250A (ja) * 1992-05-20 1994-02-25 Texas Instr Inc <Ti> モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ
JPH06214169A (ja) * 1992-06-08 1994-08-05 Texas Instr Inc <Ti> 制御可能な光学的周期的表面フィルタ
US5818095A (en) 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
EP0610665B1 (en) 1993-01-11 1997-09-10 Texas Instruments Incorporated Pixel control circuitry for spatial light modulator
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5461411A (en) 1993-03-29 1995-10-24 Texas Instruments Incorporated Process and architecture for digital micromirror printer
US5489952A (en) 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5365283A (en) 1993-07-19 1994-11-15 Texas Instruments Incorporated Color phase control for projection display using spatial light modulator
US5526172A (en) 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
US5581272A (en) 1993-08-25 1996-12-03 Texas Instruments Incorporated Signal generator for controlling a spatial light modulator
US5552925A (en) 1993-09-07 1996-09-03 John M. Baker Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates
US5457493A (en) 1993-09-15 1995-10-10 Texas Instruments Incorporated Digital micro-mirror based image simulation system
US5629790A (en) * 1993-10-18 1997-05-13 Neukermans; Armand P. Micromachined torsional scanner
US5526051A (en) 1993-10-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Digital television system
US5497197A (en) 1993-11-04 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated System and method for packaging data into video processor
US5459602A (en) 1993-10-29 1995-10-17 Texas Instruments Micro-mechanical optical shutter
US5452024A (en) 1993-11-01 1995-09-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system
US5517347A (en) 1993-12-01 1996-05-14 Texas Instruments Incorporated Direct view deformable mirror device
CA2137059C (en) * 1993-12-03 2004-11-23 Texas Instruments Incorporated Dmd architecture to improve horizontal resolution
US5583688A (en) 1993-12-21 1996-12-10 Texas Instruments Incorporated Multi-level digital micromirror device
US5448314A (en) 1994-01-07 1995-09-05 Texas Instruments Method and apparatus for sequential color imaging
US5444566A (en) 1994-03-07 1995-08-22 Texas Instruments Incorporated Optimized electronic operation of digital micromirror devices
US6710908B2 (en) * 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US20010003487A1 (en) * 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7460291B2 (en) * 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US6040937A (en) * 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US5497172A (en) 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5454906A (en) 1994-06-21 1995-10-03 Texas Instruments Inc. Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices
US5499062A (en) 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
US5485304A (en) * 1994-07-29 1996-01-16 Texas Instruments, Inc. Support posts for micro-mechanical devices
US5544268A (en) * 1994-09-09 1996-08-06 Deacon Research Display panel with electrically-controlled waveguide-routing
US5552924A (en) 1994-11-14 1996-09-03 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device having an improved beam
US5610624A (en) * 1994-11-30 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect
US5567334A (en) 1995-02-27 1996-10-22 Texas Instruments Incorporated Method for creating a digital micromirror device using an aluminum hard mask
US5610438A (en) * 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
US5535047A (en) 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device
JP3799092B2 (ja) * 1995-12-29 2006-07-19 アジレント・テクノロジーズ・インク 光変調装置及びディスプレイ装置
EP0877272B1 (en) * 1997-05-08 2002-07-31 Texas Instruments Incorporated Improvements in or relating to spatial light modulators
US5883684A (en) * 1997-06-19 1999-03-16 Three-Five Systems, Inc. Diffusively reflecting shield optically, coupled to backlit lightguide, containing LED's completely surrounded by the shield
US6028690A (en) * 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
US6180428B1 (en) * 1997-12-12 2001-01-30 Xerox Corporation Monolithic scanning light emitting devices using micromachining
US6151167A (en) * 1998-08-05 2000-11-21 Microvision, Inc. Scanned display with dual signal fiber transmission
JP3919954B2 (ja) * 1998-10-16 2007-05-30 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US20070285385A1 (en) * 1998-11-02 2007-12-13 E Ink Corporation Broadcast system for electronic ink signs
JP3466951B2 (ja) * 1999-03-30 2003-11-17 株式会社東芝 液晶表示装置
US6201633B1 (en) * 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
US6862029B1 (en) * 1999-07-27 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color display system
US6433907B1 (en) * 1999-08-05 2002-08-13 Microvision, Inc. Scanned display with plurality of scanning assemblies
US6245590B1 (en) * 1999-08-05 2001-06-12 Microvision Inc. Frequency tunable resonant scanner and method of making
US6362912B1 (en) * 1999-08-05 2002-03-26 Microvision, Inc. Scanned imaging apparatus with switched feeds
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6549338B1 (en) * 1999-11-12 2003-04-15 Texas Instruments Incorporated Bandpass filter to reduce thermal impact of dichroic light shift
US6552840B2 (en) * 1999-12-03 2003-04-22 Texas Instruments Incorporated Electrostatic efficiency of micromechanical devices
US6548908B2 (en) * 1999-12-27 2003-04-15 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in passive devices
US6545335B1 (en) * 1999-12-27 2003-04-08 Xerox Corporation Structure and method for electrical isolation of optoelectronic integrated circuits
US6674090B1 (en) * 1999-12-27 2004-01-06 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in active
US6747775B2 (en) * 2000-03-20 2004-06-08 Np Photonics, Inc. Detunable Fabry-Perot interferometer and an add/drop multiplexer using the same
US6853129B1 (en) * 2000-07-28 2005-02-08 Candescent Technologies Corporation Protected substrate structure for a field emission display device
US6792293B1 (en) * 2000-09-13 2004-09-14 Motorola, Inc. Apparatus and method for orienting an image on a display of a wireless communication device
AU1320502A (en) * 2000-10-12 2002-04-22 Reveo Inc Digital light processing based 3d projection system and method
US6859218B1 (en) * 2000-11-07 2005-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic display devices and methods
US7291363B2 (en) * 2001-06-30 2007-11-06 Texas Instruments Incorporated Lubricating micro-machined devices using fluorosurfactants
US6862022B2 (en) * 2001-07-20 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor
US6870581B2 (en) * 2001-10-30 2005-03-22 Sharp Laboratories Of America, Inc. Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination
JP2003255338A (ja) * 2002-02-28 2003-09-10 Mitsubishi Electric Corp 液晶表示装置
US7283112B2 (en) 2002-03-01 2007-10-16 Microsoft Corporation Reflective microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system
US6862141B2 (en) * 2002-05-20 2005-03-01 General Electric Company Optical substrate and method of making
CN1656534B (zh) * 2002-05-29 2010-12-01 Zbd显示器有限公司 显示设备及寻址方法
JP2003058134A (ja) * 2002-06-28 2003-02-28 Seiko Epson Corp 電気光学装置および電気光学物質の駆動方法、その駆動回路、ならびに電子機器および表示装置
US6741377B2 (en) * 2002-07-02 2004-05-25 Iridigm Display Corporation Device having a light-absorbing mask and a method for fabricating same
TWI266106B (en) * 2002-08-09 2006-11-11 Sanyo Electric Co Display device with a plurality of display panels
US6775047B1 (en) * 2002-08-19 2004-08-10 Silicon Light Machines, Inc. Adaptive bipolar operation of MEM device
TW544787B (en) * 2002-09-18 2003-08-01 Promos Technologies Inc Method of forming self-aligned contact structure with locally etched gate conductive layer
US20050264472A1 (en) * 2002-09-23 2005-12-01 Rast Rodger H Display methods and systems
US6747785B2 (en) * 2002-10-24 2004-06-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEMS-actuated color light modulator and methods
EP1561349B1 (en) * 2002-11-07 2011-05-04 Sony Deutschland GmbH Illumination arrangement for a projection system
US6972881B1 (en) * 2002-11-21 2005-12-06 Nuelight Corp. Micro-electro-mechanical switch (MEMS) display panel with on-glass column multiplexers using MEMS as mux elements
WO2004097506A2 (en) * 2003-04-24 2004-11-11 Displaytech, Inc. Microdisplay and interface on a single chip
US6829132B2 (en) * 2003-04-30 2004-12-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control of micro-electromechanical device
US6741384B1 (en) * 2003-04-30 2004-05-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Control of MEMS and light modulator arrays
US7072093B2 (en) * 2003-04-30 2006-07-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical interference pixel display with charge control
US7190380B2 (en) * 2003-09-26 2007-03-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating and displaying spatially offset sub-frames
US7173314B2 (en) * 2003-08-13 2007-02-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Storage device having a probe and a storage cell with moveable parts
JP2004145286A (ja) * 2003-08-28 2004-05-20 Seiko Epson Corp 画像表示装置及び画像表示方法、並びに画像表示プログラム
US20050057442A1 (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Olan Way Adjacent display of sequential sub-images
US20050068583A1 (en) * 2003-09-30 2005-03-31 Gutkowski Lawrence J. Organizing a digital image
US6861277B1 (en) * 2003-10-02 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of forming MEMS device
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US20060044291A1 (en) * 2004-08-25 2006-03-02 Willis Thomas E Segmenting a waveform that drives a display
US7560299B2 (en) * 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7366393B2 (en) * 2006-01-13 2008-04-29 Optical Research Associates Light enhancing structures with three or more arrays of elongate features

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08234706A (ja) * 1994-12-28 1996-09-13 Canon Inc 表示素子用反転信号生成回路とそれを用いた表示装置
JPH0973067A (ja) * 1995-06-15 1997-03-18 Canon Inc 光学変調装置及び画像表示装置の駆動法
JPH10171409A (ja) * 1996-11-28 1998-06-26 Texas Instr Inc <Ti> ロード/リセット・シーケンスを自動的に供給する方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012037894A (ja) * 2005-12-07 2012-02-23 Qualcomm Mems Technologies Inc Mems表示要素にデータを書き込むための方法及び装置
JP2013200483A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Toshiba Corp 表示装置及びその駆動方法

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