JP2006098697A - 光導波路及びその製造方法 - Google Patents
光導波路及びその製造方法Info
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Abstract
【解決手段】 本光導波路は、下部クラッド並びに導波部及びスポットサイズ変換部から成るコアを有し、変換部の断面幅が高さ方向に徐々に小さくなる部分を有し、変換部の底面幅及び高さが先端に向かって次第に変化し、先端が光の進行方向と交差する面により断ち切られた形状であることを特徴とする。また、本光導波路の製造方法は、高さが一定で、底面幅が徐々に変化し、光の進行方向と交差する面により先端が断ち切られた形状で、断面がほぼ矩形のコアを形成する第1の工程及びコアをエッチングすることにより、断面幅が高さ方向に徐々に小さくなり、コアの底面幅の変化に対応して高さが変化する形状のコアを形成する第2の工程を含むことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
(第1の実施の形態)
(製法)
(第2の実施の形態)
(作用)
(実施例1)
(実施例2)
(比較例1)
102、202、302…下部クラッド
103、207、303…コア
106、208、306…上部クラッド
Claims (6)
- 下部クラッド並びに導波部及びスポットサイズ変換部から成るコアを有する光導波路であって、
該変換部の断面幅は、該下部クラッドから該コアに向かう高さ方向に徐々に小さくなる部分を有し、
該変換部の底面幅及び該変換部の高さが該変換部の先端に向かって次第に変化し、
該変換部の先端が該コア中を伝搬する光の進行方向と交差する面により断ち切られた形状であることを特徴とする光導波路。 - 前記変換部の底面幅の変化に対応して前記変換部の高さが変化していることを特徴とする請求項1に記載の光導波路。
- 前記先端に向かって、前記変換部の底面幅及び高さが徐々に小さくなることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路。
- 前記変換部の光の進行方向に直交する断面が三角形状、台形状、五角形状又は六角形状であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光導波路。
- 高さが一定で、底面幅が先端に向かって徐々に変化し、コア中を伝搬する光の進行方向と交差する面により該先端が断ち切られた形状で、該光の進行方向に直交する断面がほぼ矩形のコアを形成する第1の工程及び
該コアをエッチングすることにより、断面幅が高さ方向に向かって徐々に小さくなる形状、かつ該コアの底面幅の変化に対応して高さが徐々に変化する形状のコアを形成する第2の工程
を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記第1の工程は、下部クラッド上にコア膜を成膜する工程、
前記断面幅が徐々に変化し、先端が前記光の進行方向と交差する面により断ち切られた形状のマスクを前記コア膜上に形成するマスク工程並びに、
フォトリソグラフィ及びエッチングにより前記コア膜からコアを形成するコア形成工程を含み、
前記第2の工程により、該コア形成工程により形成された前記底面幅の変化に対応して、前記高さが徐々に変化する形状のコアを形成することを特徴とする請求項5に記載の光導波路の製造方法。
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JP2004284270A JP2006098697A (ja) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | 光導波路及びその製造方法 |
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-
2004
- 2004-09-29 JP JP2004284270A patent/JP2006098697A/ja active Pending
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