JP2006093338A - フォトダイオード - Google Patents
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Abstract
【課題】高速且つ高感度のフォトダイオードを提供すること。
【解決手段】光を吸収して電荷を発生する吸収層として機能する第1の半導体層と、該第1の半導体層に接して設けられた電荷輸送層として機能する第2の半導体層とを少なくとも含み、前記第1の半導体層で発生した電荷のいずれか一方の極性の電荷を、前記第1の半導体層から前記第2の半導体層へと移動するように、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に電界が印加されるフォトダイオードにおいて、前記第1の半導体層のキャリア濃度が1017個/cm3以下であることを特徴とするフォトダイオード。
【選択図】 なし
【解決手段】光を吸収して電荷を発生する吸収層として機能する第1の半導体層と、該第1の半導体層に接して設けられた電荷輸送層として機能する第2の半導体層とを少なくとも含み、前記第1の半導体層で発生した電荷のいずれか一方の極性の電荷を、前記第1の半導体層から前記第2の半導体層へと移動するように、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に電界が印加されるフォトダイオードにおいて、前記第1の半導体層のキャリア濃度が1017個/cm3以下であることを特徴とするフォトダイオード。
【選択図】 なし
Description
本発明は、光通信等、光を検出する受光素子として利用されるフォトダイオードに関するものである。
近年、光通信の高速化にともなって、受光素子の高速化がますます重要となってきている。光通信に利用される波長は石英ファイバー用の1.3μmや1.5μm,プラスチックファイバーなどの850nmや650nmの近赤外から可視光まで広い範囲に渡り、また、遮断周波数も1GHz以上が要求されるようになってきている。
従来、高速の受光素子はpin構造を有するシリコンからなるフォトダイオードが代表的なものである。この受光素子は、光吸収をp層とi層の界面およびi層で行い、p層とn層との間に印加された電圧により形成されるi層内の大きな電場勾配を利用して、光吸収によって発生し分離した一方の極性の電荷をp層側からn層側へと移動させることで、検出信号(電流)を得るものである。
しかしながら、シリコンは間接遷移のため赤や赤外の長波長領域に対しては、光吸収係数が低く、高感度を得るためにはi層を十分厚くする必要がある。一方、受光素子の応答性は、光吸収により発生し分離した一方の極性の電荷がi層を移動する時間に依存する。このため、pin構造を有するシリコンからなるフォトダイオードでは、長波長領域の光に対しては、感度と応答性とを両立させることが困難である。
また、感度を犠牲にしてi層を薄くした場合でも、素子全体の充電時間を左右する接合容量が大きくなるため、結果として応答を遅くするという問題があった。
また、感度を犠牲にしてi層を薄くした場合でも、素子全体の充電時間を左右する接合容量が大きくなるため、結果として応答を遅くするという問題があった。
また、光吸収は厚さ方向に指数関数的に発生するが、吸収係数が小さい赤や赤外領域では、光吸収はi層全域でおこるため電子と正孔とがi層全体でそれぞれ発生する。
一方、通常は、受光面に近い領域で発生した電荷のうち、i層からp層方向へと移動する正孔は、これと逆方向に移動する電子に比べて短距離を移動することになる。しかし、i層全体で光吸収が発生する場合には、受光面から離れた深部で発生した正孔が、i層内を長距離横断してp層方向へと移動する必要がある。これに加えて、正孔の移動度は電子の移動度と比較して3倍も小さい。このため遅れて到達する電荷がフォトダイオードの応答を制限してしまうというという問題があった。また、さらには正孔の造る空間電荷のために内部電界が変調されて弱まり電子が移動する速度も十分に得られないという問題もあった。
一方、通常は、受光面に近い領域で発生した電荷のうち、i層からp層方向へと移動する正孔は、これと逆方向に移動する電子に比べて短距離を移動することになる。しかし、i層全体で光吸収が発生する場合には、受光面から離れた深部で発生した正孔が、i層内を長距離横断してp層方向へと移動する必要がある。これに加えて、正孔の移動度は電子の移動度と比較して3倍も小さい。このため遅れて到達する電荷がフォトダイオードの応答を制限してしまうというという問題があった。また、さらには正孔の造る空間電荷のために内部電界が変調されて弱まり電子が移動する速度も十分に得られないという問題もあった。
一方、直接遷移型の半導体は吸収係数が大きく、電子の移動度も大きいという特徴があるが、正孔の移動度が電子の移動度と比較して1/10以下と極端に小さく、吸収係数の小さい波長領域では応答性が遅くなってしまうという問題があった。これに対して、p型のInGaAsを吸収層、i型のInP半導体を走行層(電荷輸送層)として用いたpin型のフォトダイオードが提案されている(特許文献1参照)。このフォトダイオードのp型吸収層は、バイアスが印加された状態で空乏層化しないように一定以上のドーピング濃度に調整される。
しかしながら、光吸収はp層で発生するため、吸収係数の大きい直接遷移型半導体では、受光する光の強度が小さい場合には受光面近傍で光が吸収されても電荷が発生しないか、あるいは、光吸収により大量の電荷対が発生した場合でも、p層からi層方向へと移動する一方の極性の電荷が、ドリフト移動できる空乏層まで拡散移動により到達するまでに時間がかかる上に、再結合などで失われる確率が高い。またこれらの半導体は誘電率が大きく接合容量を小さくするためには層厚を厚くする必要があり、結晶成長の面からもコスト的に不利であった。
このように、従来の受光素子では、感度と応答速度とを高いレベルで両立させることには問題があった。また、この他にも接合容量の増大に伴う応答速度の低下や、コスト面の問題等もある。
特開2003−332612号公報
このように、従来の受光素子では、感度と応答速度とを高いレベルで両立させることには問題があった。また、この他にも接合容量の増大に伴う応答速度の低下や、コスト面の問題等もある。
本発明は、上記問題点を解決することを課題とする。すなわち、本発明は、高速且つ高感度のフォトダイオードを提供することを課題とする。
上記課題は以下の本発明により達成される。すなわち、本発明は、
<1>
光を吸収して電荷を発生する吸収層として機能する第1の半導体層と、該第1の半導体層に接して設けられた電荷輸送層として機能する第2の半導体層とを少なくとも含み、
前記第1の半導体層で発生した電荷のいずれか一方の極性の電荷を、前記第1の半導体層から前記第2の半導体層へと移動するように、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に電界が印加されるフォトダイオードにおいて、
前記第1の半導体層のキャリア濃度が1.0×1017個/cm3以下であることを特徴とするフォトダイオードである。
<1>
光を吸収して電荷を発生する吸収層として機能する第1の半導体層と、該第1の半導体層に接して設けられた電荷輸送層として機能する第2の半導体層とを少なくとも含み、
前記第1の半導体層で発生した電荷のいずれか一方の極性の電荷を、前記第1の半導体層から前記第2の半導体層へと移動するように、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に電界が印加されるフォトダイオードにおいて、
前記第1の半導体層のキャリア濃度が1.0×1017個/cm3以下であることを特徴とするフォトダイオードである。
<2>
前記第1の半導体層の吸収効率が60%以上であることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
前記第1の半導体層の吸収効率が60%以上であることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
<3>
前記第1の半導体層の吸収係数が、前記第2の半導体層の吸収係数よりも大きいことを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
前記第1の半導体層の吸収係数が、前記第2の半導体層の吸収係数よりも大きいことを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
<4>
前記第1の半導体層が直接遷移型半導体からなることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
前記第1の半導体層が直接遷移型半導体からなることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
<5>
前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素を含む化合物半導体からなることを特徴とする<4>に記載のフォトダイオードである。
前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素を含む化合物半導体からなることを特徴とする<4>に記載のフォトダイオードである。
<6>
前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素と、Nとを含む窒化物系化合物半導体であることを特徴とする<5>に記載のフォトダイオードである。
前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素と、Nとを含む窒化物系化合物半導体であることを特徴とする<5>に記載のフォトダイオードである。
<7>
前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素と、AsおよびPから選択される1種以上の元素とを含む化合物半導体であることを特徴とする<5>に記載のフォトダイオードである。
前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素と、AsおよびPから選択される1種以上の元素とを含む化合物半導体であることを特徴とする<5>に記載のフォトダイオードである。
<8>
前記第2の半導体層が、間接遷移型半導体からなることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
前記第2の半導体層が、間接遷移型半導体からなることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
<9>
前記間接遷移型半導体が、シリコン系半導体であることを特徴とする<8>に記載のフォトダイオードである。
前記間接遷移型半導体が、シリコン系半導体であることを特徴とする<8>に記載のフォトダイオードである。
<10>
前記シリコン系半導体が、炭素およびゲルマニウムから選択される1種以上の元素を含むことを特徴とする<9>に記載のフォトダイオードである。
前記シリコン系半導体が、炭素およびゲルマニウムから選択される1種以上の元素を含むことを特徴とする<9>に記載のフォトダイオードである。
<11>
前記第1の半導体層の前記第2の半導体層が設けられた側と反対側の面に、酸化物導電体からなる透明電極が設けられたことを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
前記第1の半導体層の前記第2の半導体層が設けられた側と反対側の面に、酸化物導電体からなる透明電極が設けられたことを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
<12>
前記透明電極と前記第1の半導体層との間に注入防止層を設けたことを特徴とする<11>に記載のフォトダイオードである。
前記透明電極と前記第1の半導体層との間に注入防止層を設けたことを特徴とする<11>に記載のフォトダイオードである。
<13>
前記透明電極が、p型およびn型から選択されるいずれかの伝導型の半導体からなり、且つ、前記第1の半導体層が吸収する光の波長域(受光波長域)において、前記半導体の吸収係数が前記第1の半導体層の吸収係数よりも小さいことを特徴とする<11>に記載のフォトダイオードである。
前記透明電極が、p型およびn型から選択されるいずれかの伝導型の半導体からなり、且つ、前記第1の半導体層が吸収する光の波長域(受光波長域)において、前記半導体の吸収係数が前記第1の半導体層の吸収係数よりも小さいことを特徴とする<11>に記載のフォトダイオードである。
<14>
前記第2の半導体層に接して電極が形成されていることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
前記第2の半導体層に接して電極が形成されていることを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
<15>
前記第2の半導体に接してp型およびn型から選択されるいずれかの伝導型の第3の半導体層が設けられたことを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
前記第2の半導体に接してp型およびn型から選択されるいずれかの伝導型の第3の半導体層が設けられたことを特徴とする<1>に記載のフォトダイオードである。
以上に説明したように本発明によれば、高速且つ高感度のフォトダイオードを提供することができる。
本発明のフォトダイオードは、光を吸収して電荷を発生する吸収層として機能する第1の半導体層と、該第1の半導体層に接して設けられた電荷輸送層として機能する第2の半導体層とを少なくとも含み、前記第1の半導体層で発生した電荷のいずれか一方の極性の電荷を、前記第1の半導体層から前記第2の半導体層へと移動するように、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に電界が印加されるフォトダイオードにおいて、前記第1の半導体層のキャリア濃度が1.0×1017個/cm3以下であることを特徴とする。
本発明のフォトダイオードは、吸収層として機能する第1の半導体層のキャリア濃度が1.0×1017個/cm3以下であるため、電圧が印加された場合、電荷輸送層のみならず吸収層も空欠層を形成し、これら2つの層に渡って連続した電場勾配が形成される。このため、吸収層への光入射によって発生し分離し、吸収層から電荷輸送層へと移動する電荷(順走する電荷)は、吸収層内を横断する移動においてもドリフト移動することができる。
従って、順方向へと移動する電荷が、吸収層を横切り電荷輸送層へと到達する時間を短縮できると共に、電荷輸送層に到達するまでに逆極性の電荷との再結合により消失する確率を小さくすることができる。
さらに、本発明のフォトダイオードが、面内方向の厚みが一様な層からなる電荷輸送層と吸収層とを単純に積層した態様のように、光の入射方向と電流の流れる方向とが略一致する場合には、吸収層を透過し電荷輸送層に入射した光によって電荷輸送層で発生・分離し、電荷輸送層から吸収層へと逆走する電荷についても吸収層をドリフト移動できるため、逆走する電荷による応答性の低下を抑制することができる。なお、以下の説明においては、特に説明の無い限り、光の入射方向と電流の流れる方向とが略一致する場合を前提として説明する。
さらに、本発明のフォトダイオードが、面内方向の厚みが一様な層からなる電荷輸送層と吸収層とを単純に積層した態様のように、光の入射方向と電流の流れる方向とが略一致する場合には、吸収層を透過し電荷輸送層に入射した光によって電荷輸送層で発生・分離し、電荷輸送層から吸収層へと逆走する電荷についても吸収層をドリフト移動できるため、逆走する電荷による応答性の低下を抑制することができる。なお、以下の説明においては、特に説明の無い限り、光の入射方向と電流の流れる方向とが略一致する場合を前提として説明する。
また、吸収層として機能する第1の半導体層のキャリア濃度は上述したように1.0×1017個/cm3以下であること必要であるが、1.0×1016個/cm3以下であることが好ましく、1.0×1015個/cm3以下であることがより好ましい。
キャリア濃度が1.0×1017個/cm3を超える場合には、電圧を印加しても吸収層内に十分な電場勾配が形成できない。このため、吸収層内を順走および逆走する電荷は、ドリフト移動ではなくより移動速度の遅い拡散移動によって移動するため、応答速度が低下してしまう。
キャリア濃度が1.0×1017個/cm3を超える場合には、電圧を印加しても吸収層内に十分な電場勾配が形成できない。このため、吸収層内を順走および逆走する電荷は、ドリフト移動ではなくより移動速度の遅い拡散移動によって移動するため、応答速度が低下してしまう。
ドリフト移動の可能な電場勾配の形成能力という点では、第1の半導体層のキャリア濃度は小さければ小さい程好ましいが、キャリア濃度が小さ過ぎて抵抗が高くなり過ぎる場合には、電荷輸送層に分配される電圧が低下し、電荷輸送層での電荷のドリフト移動が不充分となり、高速フォトダイオードとして機能しなくなる場合がある。このため、第1の半導体層のキャリア濃度は、1.0×1010個/cm3以上であることが好ましく、1.0×1012個/cm3以上であることがより好ましく、1.0×1013個/cm3以上であることが更に好ましい。
なお、本発明において、キャリア濃度の測定には、標準的に利用される方法として、空乏層容量の測定、接合容量の測定、ホール効果測定による方法などを用いることができる。これらのなかでも、4電極によるvan der Pauw法を用いることが望ましい。
また、本発明のフォトダイオードは、光を効率的に吸収する吸収層(第1の半導体層)と、電流として流れる電荷が高速に移動することができる電荷輸送層(第2の半導体層)とを有し、高感度および高速化の両立に適したいわゆる機能分離型のフォトダイオードであるが、上述したようにより高速化することができる。このように本発明のフォトダイオードは従来と同様の高い感度を得ることができるにもかかわらず更に高速化が可能であり、さらに近年要求される1GHz以上の遮断周波数を得ることも容易である。
なお、第1の半導体層の吸収効率は60%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましい。吸収効率が60%未満では十分な感度が得られない場合がある。また、吸収層で吸収しきれなかった光が電荷輸送層で吸収されて、電荷の発生を引き起こし遅い電荷による周波数特性の劣化を引き起こす場合がある。
ここで、当該吸収効率とは、下式(1)で定義される値である。
式(1) 吸収効率=(i0−i)/i0
但し、式(1)において、i0は第1の半導体層への光入射強度、iは強度i0で入射した光が第1の半導体層を透過する際の光の強度を表す。また、吸収効率は、透過率Tを用いて、吸収効率=(1−T)としても表される。
式(1) 吸収効率=(i0−i)/i0
但し、式(1)において、i0は第1の半導体層への光入射強度、iは強度i0で入射した光が第1の半導体層を透過する際の光の強度を表す。また、吸収効率は、透過率Tを用いて、吸収効率=(1−T)としても表される。
この吸収効率は、光透過率Tを求めることで簡単に測定できる。光透過率は分光光度計を用いる。ここで、測定試料が、測定対象となる材料のみからなる場合には、この試料の光透過強度を試料の有無で比較する。また、基板上に形成した薄膜が測定対象である場合には、参照光には基板のみを用い、基板上に薄膜を形成した試料の測定値と比較することによって測定することができる。
また、第1の半導体層の吸収係数は、第2の半導体層の吸収係数よりも大きいことが好ましい。従って、本発明のフォトダイオードの構成が、光の入射方向と電流の流れる方向とが略一致する場合においては、第1の半導体層の厚さ(光の入射方向に対する厚み、すなわち、電流の流れる方向の厚み)を小さくすることができるため、第1の半導体層内を逆走する電荷の走行時間をより短くでき、より応答性を向上させることができる。
次に、本発明のフォトダイオードの具体例について図面を用いて説明する。
図1は、本発明のフォトダイオードの構成例を示す概略模式図であり、図1中、10は透明電極、11は吸収層(第1の半導体層)、12は電荷輸送層(第2の半導体層)、13は基板(第3の半導体層)、20および21は配線、100はフォトダイオードである。
図1に示すフォトダイオード100は、基板13の片面上に電荷輸送層12、吸収層11、および、透明電極10がこの順に積層されてなる。また、透明電極10には配線20が接続され、基板13には配線21が接続されており、吸収層11に光が入射した際に発生したいずれか一方の極性の電荷を、吸収層11から電荷輸送層12へと電場勾配を利用してドリフト移動できるように電圧が印加される。
図1は、本発明のフォトダイオードの構成例を示す概略模式図であり、図1中、10は透明電極、11は吸収層(第1の半導体層)、12は電荷輸送層(第2の半導体層)、13は基板(第3の半導体層)、20および21は配線、100はフォトダイオードである。
図1に示すフォトダイオード100は、基板13の片面上に電荷輸送層12、吸収層11、および、透明電極10がこの順に積層されてなる。また、透明電極10には配線20が接続され、基板13には配線21が接続されており、吸収層11に光が入射した際に発生したいずれか一方の極性の電荷を、吸収層11から電荷輸送層12へと電場勾配を利用してドリフト移動できるように電圧が印加される。
図2は、本発明のフォトダイオードの他の構成例を示す概略模式図であり、200がフォトダイオードを表し、図1に示すフォトダイオード100において、透明電極10と吸収層11との間に電荷注入防止層14を設けたものである。また、図3は、本発明のフォトダイオードの他の構成例を示す概略模式図であり、300がフォトダイオードを表し、図1に示すフォトダイオードにおいて、透明電極10の代わりに、第1の半導体層11よりもワイドバンドギャップの第4の半導体層15を設けたものである。
なお、図1〜3において、第1の半導体層11および第2の半導体層12はi型の半導体であり、第3の半導体層13はn型あるいはp型の半導体であり、第4の半導体層15はp型もしくはp-型のワイドバンドギャップ半導体、又は、n型もしくはn-型のワイドバンドギャップ半導体である。
次に、図1〜3に示すフォトダイオード100、200、300のバンドダイヤグラムを図面を用いて説明する。図4は図1に示すフォトダイオード100のバンドダイヤグラムを示す図であり、図5は図2に示すフォトダイオード200のバンドダイヤグラムを示す図であり、図6は図3に示すフォトダイオード300のバンドダイヤグラムを示す図であり、これら図中の各符号は図1〜3中に示す各部材に対応している。また、図中の2つの点線の間隔で示される電位差(ΔE)はバイアス電位を表す。
次に、図1〜3に示すフォトダイオード100、200、300のバンドダイヤグラムを図面を用いて説明する。図4は図1に示すフォトダイオード100のバンドダイヤグラムを示す図であり、図5は図2に示すフォトダイオード200のバンドダイヤグラムを示す図であり、図6は図3に示すフォトダイオード300のバンドダイヤグラムを示す図であり、これら図中の各符号は図1〜3中に示す各部材に対応している。また、図中の2つの点線の間隔で示される電位差(ΔE)はバイアス電位を表す。
図4〜6に示されるように、フォトダイオード100、200、300は、電荷輸送層12のみならず、吸収層11も電位に対して勾配を形成してしているため、光の吸収層への入射により吸収層11で発生・分離し、順走する負電荷は、吸収層11内を移動する際もドリフト移動することができる。また、吸収層11で吸収しきれずに電荷輸送層12に入射した光により、電荷輸送層12内で発生・分離し、逆走する正電荷も吸収層11内を移動する際にもドリフト移動することができる。
更に、必要に応じて、第1の半導体層11の配線20側に第1の半導体層11よりもバンドギャップの大きい電荷注入防止層14や、第4の半導体層15を設けることもできる。
更に、必要に応じて、第1の半導体層11の配線20側に第1の半導体層11よりもバンドギャップの大きい電荷注入防止層14や、第4の半導体層15を設けることもできる。
次に、本発明のフォトダイオードを構成する吸収層や電荷輸送層、また、必要に応じて設けられるその他の層・部材等についてより詳細に説明する。
<吸収層(第1の半導体層)>
第1の半導体層は、上述したようなキャリア濃度を満たすことが必要であり、伝導型としてはi型のほかにn-型やp-型であっても良い。このキャリア濃度は不純物濃度により調整することができる。また、その電気抵抗は0.1〜1.0×1015Ω・cmの範囲内で設定されることが好ましく、1〜1.0×1015Ω・cmの範囲内で設定されることがより好ましい。また、電場が、吸収層あるいは電荷輸送層に偏ることを避けるために電荷輸送層と同程度の値に調整されることが好ましい。
<吸収層(第1の半導体層)>
第1の半導体層は、上述したようなキャリア濃度を満たすことが必要であり、伝導型としてはi型のほかにn-型やp-型であっても良い。このキャリア濃度は不純物濃度により調整することができる。また、その電気抵抗は0.1〜1.0×1015Ω・cmの範囲内で設定されることが好ましく、1〜1.0×1015Ω・cmの範囲内で設定されることがより好ましい。また、電場が、吸収層あるいは電荷輸送層に偏ることを避けるために電荷輸送層と同程度の値に調整されることが好ましい。
吸収層の厚さは、上述したように吸収効率が60%以上となるように選択されることが好ましい。このような要件を満たせない場合には既述したように周波数特性の劣化を引き起こしてしまう場合がある。また吸収層の厚さは、電荷が吸収層を横切って移動する通過時間を左右する。そのため所望の遮断周波数に必要な通過時間が得られるように、吸収層内の電場と、電荷の移動度とを考慮して吸収層の厚みを決定することができる。なお、吸収層内の電場は、空乏層を形成する吸収層および電荷輸送層に印加される電圧の分配電圧から決定できる。
吸収層に使用できる半導体材料としては、上述したようなキャリア濃度を満たすことができるのであれば特に限定されないが、直接遷移型半導体を用いることが好ましい。直接遷移型半導体としては、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素を含む化合物半導体を挙げることができ、この化合物半導体に更にNを添加した窒化物半導体や、AsおよびPから選択される1種以上の元素を添加した化合物半導体を挙げることができる。
具体例としては、GaAs,GaInAs,AlGaInAsなどのGaAs系半導体、InP,InAsP,GaInPなどのInP系、GaN,GaInN,InNなどの窒化物半導体を用いることが好ましい。また、Al(1-x)Ga(1-y)In(1-z)N(1-a)P(1-b)As(1-c)(0≦x,y,z≦1、x+y+z<3、0≦a,b,c≦1、a+b+c<3)からなる化合物半導体を使用することも好ましい。中でもAl(1-x)Ga(1-y)In(1-z)N系の窒化物半導体は耐絶縁性に優れる上に移動度が大きいため、応答性をより向上させることができる点で好適である。
またこれらの吸収層として用いることができる半導体材料は単結晶、微結晶、多結晶、非晶質であっても良い。また、これら無機系の半導体材料の代わりに、金属フタロシアニンなどの有機顔料やシアニン色素の蒸着して形成される膜などで吸収層が構成されていてもよい。
またこれらの吸収層として用いることができる半導体材料は単結晶、微結晶、多結晶、非晶質であっても良い。また、これら無機系の半導体材料の代わりに、金属フタロシアニンなどの有機顔料やシアニン色素の蒸着して形成される膜などで吸収層が構成されていてもよい。
吸収層の吸収係数としては、少なくとも検出対象となる光の波長に対して2000cm-1以上であることが望ましい。従って、吸収係数が2000cm-1で、吸収効率が60%を満たす吸収層の厚みは4500nmであるから、吸収層の厚みは1nm〜4500nmの範囲内で設定されることが好ましく、2nm〜3000nmの範囲内で設定されることが好ましい。厚みが4500nmを超えると応答性が低下してしまう場合があり、厚みが1nm未満の場合には十分な感度が得られない場合がある。
<電荷輸送層(第2の半導体層)>
電荷輸送層は、電圧が印加された際に、この層を流れる電荷がドリフト移動できるように電場勾配が形成できることが必要である。このような条件を満たすためには、電荷輸送層の不純物濃度を調整することによりそのキャリア濃度を1.0×1010個/cm3〜1.0×1017個/cm3の範囲内とすることが好ましく、1.0×1011個/cm3〜1.0×1016個/cm3の範囲内とすることがより好ましい。また、伝導型としてはi型のほかにn-型やp-型であっても良い。加えて、その電気抵抗は0.1〜1.0×1016Ω・cmの範囲内であることが好ましく、1〜1.0×1015Ω・cmの範囲内であることがより好ましい。。
電荷輸送層は、電圧が印加された際に、この層を流れる電荷がドリフト移動できるように電場勾配が形成できることが必要である。このような条件を満たすためには、電荷輸送層の不純物濃度を調整することによりそのキャリア濃度を1.0×1010個/cm3〜1.0×1017個/cm3の範囲内とすることが好ましく、1.0×1011個/cm3〜1.0×1016個/cm3の範囲内とすることがより好ましい。また、伝導型としてはi型のほかにn-型やp-型であっても良い。加えて、その電気抵抗は0.1〜1.0×1016Ω・cmの範囲内であることが好ましく、1〜1.0×1015Ω・cmの範囲内であることがより好ましい。。
電荷輸送層を流れる電荷は正孔、電子のいずれであっても良い。通常は、電荷輸送層を流れる電荷は移動度の大きい電子である場合が多いので、吸収層および電荷輸送層の伝導帯のエネルギー準位が一致することが望ましい。また、電荷輸送層を流れる電荷が正孔の場合には、吸収層および電荷輸送層の価電子帯のエネルギー準位が一致することが望ましい。これら2つの層のエネルギー準位は、吸収層および電荷輸送層を構成する半導体の組成を制御することにより一致させることができる。
電荷輸送層の材料としては電荷移動度が大きい材料が望ましい。また、吸収層と電荷輸送層との接合容量の増大による応答速度の低下を防ぐために誘電率が小さい材料を用いることが好ましい。この場合、電荷輸送層の膜厚を薄くできるため、内部電界が高く、電荷の移動速度が大きくなり、また、電荷が移動する距離が短くなるのでより高速化することができる。
電荷輸送層を構成する半導体材料としては、間接遷移型半導体を用いることが好ましく、具体的にはシリコン系半導体を使用することができる。シリコン系半導体は誘電率が低いため接合容量をより小さくすることが容易であり、より高速化することが可能である。
また、シリコン系半導体は、炭素やゲルマニウムを含むものであってもよい。シリコンに炭素を加えることによって誘電率を更に小さくできるため、電荷輸送層の厚みを所望の周波数応答性を確保するための接合容量を達成するために必要な薄さに調整することができ、結果として電荷輸送層を流れる電荷の移動時間を短くすることができる。また、さらにワイドバンドギャップ化することができるため暗電流の発生を抑えることもできる。
また、シリコン系半導体は、炭素やゲルマニウムを含むものであってもよい。シリコンに炭素を加えることによって誘電率を更に小さくできるため、電荷輸送層の厚みを所望の周波数応答性を確保するための接合容量を達成するために必要な薄さに調整することができ、結果として電荷輸送層を流れる電荷の移動時間を短くすることができる。また、さらにワイドバンドギャップ化することができるため暗電流の発生を抑えることもできる。
一方、シリコンにゲルマニウムを加えることによって、電子や正孔の移動度を増大させることができる。これにより、より高速のフォトダイオードを得ることができる。但し、ゲルマニウムの添加は誘電率を増加させるため、接合容量の増大を抑えるために電荷輸送層の膜厚を厚くすることが必要となる場合がある。このため、シリコン系半導体に含まれるゲルマニウムの量は、電荷の移動度向上による応答性の向上効果から、電荷輸送層の膜厚増大に伴う応答性の低下による相殺効果を差し引いた分が極大となるように選択されることが好ましい。
また窒化物半導体のような広い範囲でバンドギャップを調整することができる半導体を使用することもできる。この場合、電荷輸送層としての吸収係数やキャリア濃度の条件は上記した場合と同じである。なお、電荷輸送層には吸収層を透過する光が入射してしまう場合がある。従って、移動速度の遅いキャリアの発生を抑制するために、電荷輸送層に入射する光は、吸収されにくいことが望ましい。そのため入射波長が500nm以下の短波長の場合には、電荷輸送層が窒化物半導体から構成される場合には、その組成は、AlxGayInzN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1)において、Z<0.3であることが望ましい。
また窒化物半導体のような広い範囲でバンドギャップを調整することができる半導体を使用することもできる。この場合、電荷輸送層としての吸収係数やキャリア濃度の条件は上記した場合と同じである。なお、電荷輸送層には吸収層を透過する光が入射してしまう場合がある。従って、移動速度の遅いキャリアの発生を抑制するために、電荷輸送層に入射する光は、吸収されにくいことが望ましい。そのため入射波長が500nm以下の短波長の場合には、電荷輸送層が窒化物半導体から構成される場合には、その組成は、AlxGayInzN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1)において、Z<0.3であることが望ましい。
これらの電荷輸送層の膜厚は、印加される電圧と、接合容量と、この層を流れる電荷の移動速度とを考慮して決定されるが、100nmから30000nmの範囲内であることが好ましい。膜厚が100nm未満では接合容量の増加により応答性が低下してしまう場合があり、30000nmを超える場合には、電荷輸送層を流れる電荷の移動時間が長くなり応答性が低下してしまう場合がある。
電荷輸送層は、吸収層で吸収しきれずに電荷輸送層に入射する光による電荷の発生を抑制するために、吸収係数が小さい材料からなることが好ましく、上述した間接遷移型半導体や、吸収層よりバンドギャップが大きい半導体から構成されていることが好ましい。
これらの電荷輸送層としては、第3の半導体層としても機能するシリコン基板上に形成されたシリコン系半導体(薄膜)が好ましく使用できる。なお、シリコン基板としてはp型あるいはn型が使用できる。このシリコン基板に対してさらに電流の引き出し電極を設けることができる。これらの電荷輸送層を構成する半導体は単結晶、微結晶、多結晶、非晶質のいずれであっても良い。
これらの電荷輸送層としては、第3の半導体層としても機能するシリコン基板上に形成されたシリコン系半導体(薄膜)が好ましく使用できる。なお、シリコン基板としてはp型あるいはn型が使用できる。このシリコン基板に対してさらに電流の引き出し電極を設けることができる。これらの電荷輸送層を構成する半導体は単結晶、微結晶、多結晶、非晶質のいずれであっても良い。
<透明電極等、その他の構成>
吸収層の光が入射する側の面(吸収層の電荷輸送層が設けられた側と反対側の面)には透明電極を設けることもでき、この場合、光は、透明電極を介して吸収層に入射する。
吸収層の光が入射する側の面(吸収層の電荷輸送層が設けられた側と反対側の面)には透明電極を設けることもでき、この場合、光は、透明電極を介して吸収層に入射する。
また、透明電極と吸収層との間には電荷注入防止層を形成しても良い。電荷注入防止層を設けることにより、透明電極からの正孔あるいは電子の吸収層への注入を抑えて、暗電流を低減することができる。
この電荷注入防止層は、吸収層よりバンドギャップの広い半導体を用いて作製することができる。電荷輸送層を流れる電荷が吸収層で発生した電子である場合には、透明電極は負の電圧を印加するため電子が注入しないように伝導帯に障壁を作り、吸収層で発生した正孔が界面で蓄積しないように価電子帯が吸収層と障壁を作らない構成が望ましい。
この電荷注入防止層は、吸収層よりバンドギャップの広い半導体を用いて作製することができる。電荷輸送層を流れる電荷が吸収層で発生した電子である場合には、透明電極は負の電圧を印加するため電子が注入しないように伝導帯に障壁を作り、吸収層で発生した正孔が界面で蓄積しないように価電子帯が吸収層と障壁を作らない構成が望ましい。
また、透明電極の吸収層が設けられた側と反対側の面には、吸収層へ十分な光を入射させるために反射防止層を設けても良い。
なお、透明電極として、p型(あるいはp-型)、および、n型(あるいはn-型)から選択されるいずれかの伝導型の半導体を用いることもできる。この透明電極として機能する半導体の吸収係数は、吸収層が吸収する光の波長域(受光波長域)において、吸収層の吸収係数よりも小さいことが好ましい。
なお、透明電極として、p型(あるいはp-型)、および、n型(あるいはn-型)から選択されるいずれかの伝導型の半導体を用いることもできる。この透明電極として機能する半導体の吸収係数は、吸収層が吸収する光の波長域(受光波長域)において、吸収層の吸収係数よりも小さいことが好ましい。
<窒化物半導体>
次に、本発明のフォトダイオードの吸収層を構成する材料として好適な窒化物半導体の形成についてより詳細に説明する。
本発明のフォトダイオードに用いることができる窒化物半導体には、後述するような不純物を添加して上述したキャリア濃度を満たす範囲内で、i型のみならず、p-型やn-型の半導体としてもよい。
また、窒化物半導体の組成は、測定対象となる光の波長に応じてその組成を調整することができる。例えば、500nm以下の短波長の光に対しては、AlxGayInzN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1)において、Z<0.3であることが望ましく、500nm以上においては、0.3≦Zとすることが望ましい。
また、窒化物半導体が、水素原子を0.1原子%から40原子%の範囲内で含んでいても良い。窒化物半導体は単結晶でも非晶質でも微結晶、多結晶でも多結晶でも良い。但し、窒化物半導体はが、微結晶,多結晶の場合には結合欠陥、転位欠陥や結晶粒界の欠陥などが多いため、窒化物半導体中に水素やハロゲン元素など添加することによって、これら欠陥を不活性化することが好ましい。水素やハロゲンの窒化物半導体中への添加は、その成膜時や、成膜後の後工程を含めて、600℃以下の低温で行われることが好ましい。
次に、本発明のフォトダイオードの吸収層を構成する材料として好適な窒化物半導体の形成についてより詳細に説明する。
本発明のフォトダイオードに用いることができる窒化物半導体には、後述するような不純物を添加して上述したキャリア濃度を満たす範囲内で、i型のみならず、p-型やn-型の半導体としてもよい。
また、窒化物半導体の組成は、測定対象となる光の波長に応じてその組成を調整することができる。例えば、500nm以下の短波長の光に対しては、AlxGayInzN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1)において、Z<0.3であることが望ましく、500nm以上においては、0.3≦Zとすることが望ましい。
また、窒化物半導体が、水素原子を0.1原子%から40原子%の範囲内で含んでいても良い。窒化物半導体は単結晶でも非晶質でも微結晶、多結晶でも多結晶でも良い。但し、窒化物半導体はが、微結晶,多結晶の場合には結合欠陥、転位欠陥や結晶粒界の欠陥などが多いため、窒化物半導体中に水素やハロゲン元素など添加することによって、これら欠陥を不活性化することが好ましい。水素やハロゲンの窒化物半導体中への添加は、その成膜時や、成膜後の後工程を含めて、600℃以下の低温で行われることが好ましい。
水素やハロゲン元素は結晶内の結合欠陥や結晶粒界の欠陥などに取り込まれ電気的な補償を行う作用を有する。このため、水素やハロゲン元素を添加した窒化物半導体では、光を吸収した際に発生する電荷や、電荷の拡散・移動に影響を及ぼすトラップが無くなり、優れた光電気的特性を得ることが可能である。なお、窒化物半導体中の水素量についてはハイドロジェンフォワードスキャタリング(HFS)により絶対値を測定することができるし、赤外吸収スペクトルを利用して推定することもできる。
この窒化物半導体は非晶質でも微結晶、多結晶、あるいは、単結晶のいずれであっても良い。結晶系は立方晶あるいは6方晶系が混合していても良いし、いずれか一つであっても良い。面方位は複数であっても良いが、一種類であることが望ましい。さらに成膜時の積層方向に対する成長断面は柱状構造をとっていても、平滑な単結晶でも良い。
なお、当該単結晶とは、例えば透過電子線回折パターンや反射電子線回折においてスポット状の輝点が主であり、リング状の回折パターンでなくほとんどスポット状に近いものからスポット状さらにストリーク状のものまたX線回折では一つの面方位がほぼ全体の強度の80%以上を占めているものを指す。
これらの窒化物半導体を用いてフォトダイオードとするためには例えばn型シリコン基板上にi型Si層を形成した基板を用いた場合には、このi型Si層上に直接i型の窒化物化合物半導体を形成することができる。
なお、窒化物半導体は、600℃以下の温度で作製することが望ましい。特にIn量が多い場合には500℃以下が望ましい。
なお、窒化物半導体は、600℃以下の温度で作製することが望ましい。特にIn量が多い場合には500℃以下が望ましい。
<フォトダイオードの製造方法>
次に、本発明のフォトダイオードの製造方法の具体例について図面を用いて説明する。
図7は本発明のフォトダイオードの製造に用いられる成膜装置の一例を示す概略模式図であり、1は真空に排気しうる容器(反応容器)、2は排気口、3は基板ホルダー、4は基板加熱用のヒーター、5,6は容器1に接続された石英管、7は高周波コイル、8はマイクロ導波管、9a,9b,9c,9dはガス導入管を表す。
次に、本発明のフォトダイオードの製造方法の具体例について図面を用いて説明する。
図7は本発明のフォトダイオードの製造に用いられる成膜装置の一例を示す概略模式図であり、1は真空に排気しうる容器(反応容器)、2は排気口、3は基板ホルダー、4は基板加熱用のヒーター、5,6は容器1に接続された石英管、7は高周波コイル、8はマイクロ導波管、9a,9b,9c,9dはガス導入管を表す。
この成膜装置は、反応容器1と、反応容器1内に設けられた基板ホルダー3と、基板ホルダー3の一方の面側に近接して設けられたヒータ4と、反応容器1と連通し、基板ホルダー3のヒーター4が設けられた側(以下、「下側」、「下方」と略す)に接続された排気口2と、反応容器1と連通し、基板ホルダー3の上方側にV字を成すように接続された2本の石英管5,6から構成されている。
なお、石英管5は、容器1と接続された側と反対側に設けられたガス導入管9aと、側面に設けられたガス導入管9cと連通しており、石英管5のガス導入管9aとガス導入管9cとが設けられた間にはマイクロ導波管8が取り付けられている。また、石英管6は、容器1と接続された側と反対側に設けられたガス導入管9bと、側面に設けられたガス導入管9dと連通しており、石英管5のガス導入管9aとガス導入管9cとが設けられた間には高周波コイル7が取り付けられている。
この成膜装置を利用して窒化物半導体からなる半導体層を形成する場合、チッ素元素源として、例えば、N2を用いガス導入管9aから石英管5に導入することができる。
この際、マグネトロンを用いたマイクロ波発振器(図示せず)に接続されたマイクロ導波管8に2.45GHzのマイクロ波が供給され石英管5内に放電を発生させる。
この際、マグネトロンを用いたマイクロ波発振器(図示せず)に接続されたマイクロ導波管8に2.45GHzのマイクロ波が供給され石英管5内に放電を発生させる。
また、別のガス導入管9bから、例えば、H2を石英管6に導入する。この際、高周波発振器(図示せず)から高周波コイル7に13.56MHzの高周波を供給し、石英管6内に放電を発生させる。
さらに、この石英管6内の放電空間の下流側よりトリメチルガリウムをガス導入管9cより導入することによって、基板ホルダー3上に設置された基板上にチッ化ガリウム結晶を成膜することができる。
さらに、この石英管6内の放電空間の下流側よりトリメチルガリウムをガス導入管9cより導入することによって、基板ホルダー3上に設置された基板上にチッ化ガリウム結晶を成膜することができる。
ここで、基板温度が高い場合、および/または、ガリウム等のIII族元素を含む原料ガスの流量が少ない場合には、基板上に形成される窒化物半導体は結晶になりやすい。なお、結晶性−非晶質性の度合いは、基板の種類、基板温度、ガスの流量や圧力、放電出力等の条件にも依存するため、これらの条件も調整することによって、基板上に形成される窒化物半導体の結晶性−非晶質性の度合いを制御することができる。
窒化物半導体を形成する場合、基板温度は一般的に100℃〜600℃の範囲内に設定することが好ましい。
また、結晶性/非結晶性の制御という観点からは、基板温度が300℃より高い場合には結晶化しやすく、それ以下では非晶質化しやすい。但し、基板温度が300℃より低い場合でもIII族を含む原料ガスの流量を少なくすれば結晶化しやすくなる。また、例えばH2を導入して放電を行った場合にはさらに結晶化を進めることができる。
また、結晶性/非結晶性の制御という観点からは、基板温度が300℃より高い場合には結晶化しやすく、それ以下では非晶質化しやすい。但し、基板温度が300℃より低い場合でもIII族を含む原料ガスの流量を少なくすれば結晶化しやすくなる。また、例えばH2を導入して放電を行った場合にはさらに結晶化を進めることができる。
なお、III族元素を含む原料ガスとしては、トリメチルガリウムの代わりに、例えば、インジウム、アルミニウムを含む有機金属化合物を用いることもできるし、2種以上の有機金属化合物からなるガスを混合して利用することもできる。また、上述したようにトリメチルガリウム等の1種類の有機金属化合物をガス導入管9dから導入する場合に、他の種類の有機金属化合物を更に導入する場合にはガス導入管9cから別々に導入しても良い。
一方、本発明のフォトダイオードを構成する吸収層(第1の半導体層)や電荷輸送層(第2の半導体層)、また必要に応じて設けられる他の半導体層には、p,n制御のために元素をドープすることができる。
n型用の元素としてはIa族のLi,Ib族のCu,Ag,Au,IIa族のMg、I
Ib族のZn,IVa族のSi,Ge,Sn,Pb,VIa族のS,Se,Teを用いることができる。
また、p型用の元素としてはIa族のLi,Na,K,Ib族のCu,Ag,Au,I
Ia族のBe,Mg,Ca,Sr,Ba,Ra,IIb族のZn,Cd,Hg,IVa族のC,Si,Ge,Sn,Pb,VIa族のS,Se,Te、VIb族のCr,Mo,W,VIIIa族のFe,Co,Niなどを用いることができる。
中でもn型用の元素としては、特に、Si,Ge,Snが好ましく、p型用の元素としては、特に、Be,Mg,Ca,Zn,Srが好ましい。
n型用の元素としてはIa族のLi,Ib族のCu,Ag,Au,IIa族のMg、I
Ib族のZn,IVa族のSi,Ge,Sn,Pb,VIa族のS,Se,Teを用いることができる。
また、p型用の元素としてはIa族のLi,Na,K,Ib族のCu,Ag,Au,I
Ia族のBe,Mg,Ca,Sr,Ba,Ra,IIb族のZn,Cd,Hg,IVa族のC,Si,Ge,Sn,Pb,VIa族のS,Se,Te、VIb族のCr,Mo,W,VIIIa族のFe,Co,Niなどを用いることができる。
中でもn型用の元素としては、特に、Si,Ge,Snが好ましく、p型用の元素としては、特に、Be,Mg,Ca,Zn,Srが好ましい。
ドーピングの方法としてはn型用としてはSiH4,Si2H6,GeH4,GeF4,SnH4を、p型用としてはBeH2,BeCl2,BeCl4,ビスシクロペンタジエニルマグネシウム、ジメチルカルシウム、ジメチルストロンチウム、ジメチル亜鉛、ジエチル亜鉛、などをガス状態で使用できる。また、これら元素を第1〜第3の半導体の各々に必要に応じてドーピングするには、熱拡散法、イオン注入法等の公知の方法を採用することができる。
具体的には、C,Si,Ge,Snから選ばれた少なくとも一つ以上の元素を含むガス、あるいはBe,Mg,Ca,Zn,Srから選ばれた少なくとも1つ以上の元素を含むガスを、高周波コイル7や、マイクロ導波管8による放電空間の下流側(ガス導入管9c又はガス導入管9d)から導入することによってn型、p型等任意の伝導型の窒化物半導体を得ることができる。なお、ドーピング元素がCの場合には、条件によっては有機金属化合物に含まれる炭素を利用することもできる。
但し、吸収層(第1の半導体層)への上述した元素のドープは、既述したようにキャリア濃度が1.0×1017個/cm3以下となるように調整される必要があり、i型、n-型あるいはp-型となるように調整され、電荷輸送層(第2の半導体層)に関してもi型、n-型あるいはp-型となるように調整される必要がある。
上述のような成膜装置において、放電エネルギーにより形成される活性チッ素あるいは活性水素を独立に制御してもよいし、NH3のようなチッ素と水素原子を同時に含むガスを用いてもよい。さらにH2を加えてもよい。また、有機金属化合物から活性水素が遊離生成する条件を用いることもできる。
このようにすることによって、基板上には活性化されたIII族原子と、チッ素原子とが制御された状態で存在し、かつ、活性化された水素原子が有機金属化合物に含まれるメチル基やエチル基等の炭化水素基をメタンやエタン等の不活性分子にするために、低温での成膜においても形成される窒化物半導体膜中の欠陥を抑制することができる。
このようにすることによって、基板上には活性化されたIII族原子と、チッ素原子とが制御された状態で存在し、かつ、活性化された水素原子が有機金属化合物に含まれるメチル基やエチル基等の炭化水素基をメタンやエタン等の不活性分子にするために、低温での成膜においても形成される窒化物半導体膜中の欠陥を抑制することができる。
上述の成膜装置において活性化手段として、高周波発振器、マイクロ波発振器、エレクトロサイクロトロン共鳴方式やヘリコンプラズマ方式であっても良いし、これらを一つを用いても良いし、二つ以上を用いてもよい。また、二つ共マイクロ波発振器であっても良いし、2つ共高周波発振器で有っても良い。また高周波放電の場合、誘導型でも容量型でも良い。また2つ共エレクトロンサイクロトロン共鳴方式を用いても良い。
異なる活性化手段(励起手段)を用いる場合には、同じ圧力で同時に放電が生起できるようにする必要があり、石英管5,6の放電領域内と成膜部(反応容器1内)とに圧力差を設けても良い。また、同一圧力で行う場合、異なる活性化手段(励起手段)、例えば、マイクロ波と高周波放電を用いると励起種の励起エネルギーを大きく変えることができ、形成される窒化物半導体からなる膜の膜質制御に有効である。
この他にも通常の有機金属気相成長法や分子線エピタキシー法を使用することが出来るが、活性窒素あるいは活性水素を同時に使用することは有効である。チッ素原料としてはN2,NH3,NF3,N2H4、メチルヒドラジンなどの気体や液体を気化あるいは電荷ガスでバブリングすることによって使用することができる。
なお、上述のような成膜装置を用いてシリコン系の半導体を形成する場合には、放電エネルギーにより形成される活性水素をもちいて、シランやジシラン、ゲルマンなどの原料ガスをガス導入管9cやガス導入管9dから、ジボランやホスフィンなどのドーピングガスとともに導入することができる。
また、Al,Ga,Inから選択される一種以上の元素と、AsおよびPから選択される一種以上の元素とを含む化合物半導体を形成する場合には、トリメチルガリウム、トリエチルガリウム、トリメチルアルミニウム、トリメチルインジウム等の有機金属化合物およびアルシン、ホスフィンなどの水素化物を原料にする有機金属着気相成長法(MOCVD)や、固体のガリウム、アルミニウム、インジウム、砒素、りんなどの原料を高真空中で溶解あるいは昇華せしめて基板上に結晶を成長させる分子線エピタキシー成長法(MBE)法を用いることができる。さらにこれらのIII族およびV族の二種類の元素を原子層一層づづ交互に積み重ねる原子層成長法(ALE)などを使用することもできる。
また、Al,Ga,Inから選択される一種以上の元素と、AsおよびPから選択される一種以上の元素とを含む化合物半導体を形成する場合には、トリメチルガリウム、トリエチルガリウム、トリメチルアルミニウム、トリメチルインジウム等の有機金属化合物およびアルシン、ホスフィンなどの水素化物を原料にする有機金属着気相成長法(MOCVD)や、固体のガリウム、アルミニウム、インジウム、砒素、りんなどの原料を高真空中で溶解あるいは昇華せしめて基板上に結晶を成長させる分子線エピタキシー成長法(MBE)法を用いることができる。さらにこれらのIII族およびV族の二種類の元素を原子層一層づづ交互に積み重ねる原子層成長法(ALE)などを使用することもできる。
上述したような方法を利用して、第1の半導体層が窒化物半導体からなり、第2の半導体層がシリコン系半導体からなるフォトダイオードを作製する場合、水素を含む低温成長による成膜法により接合界面での結合欠陥を不活性化すると同時に互いに異なる熱膨張による成膜後の欠陥の発生を防止し良好なヘテロ接合を形成することができる。
このような、ヘテロ接合を有する本発明のフォトダイオードは、高速且つ高感度であるのみならず、耐電圧性、耐光性、耐熱性、耐酸化性にも優れる。
このような、ヘテロ接合を有する本発明のフォトダイオードは、高速且つ高感度であるのみならず、耐電圧性、耐光性、耐熱性、耐酸化性にも優れる。
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例
に制限されるものではない。
なお、以下の実施例、比較例に示すフォトダイオードは、n型のシリコンからなる市販の半導体基板(第3の半導体層)上に、電荷輸送層(第2の半導体層)、吸収層(第1の半導体層)、ITO(Indium Tin Oxide)からなる透明電極とを順に積層し、半導体基板側とITO電極側とに配線を取り付けたものである。
に制限されるものではない。
なお、以下の実施例、比較例に示すフォトダイオードは、n型のシリコンからなる市販の半導体基板(第3の半導体層)上に、電荷輸送層(第2の半導体層)、吸収層(第1の半導体層)、ITO(Indium Tin Oxide)からなる透明電極とを順に積層し、半導体基板側とITO電極側とに配線を取り付けたものである。
(実施例1)
フォトダイオードの作製には、10%の弗化水素酸水溶液でエッチングした面方位(100)の抵抗率が0.5Ωcmのn型Si基板上に、エピタキシャル成長により、抵抗率1000Ωcmで膜厚が4μmのi型シリコン層を積層したウェハーを用いた。次に、このi型シリコン層上に膜厚0.4μmのInN結晶層(Mgをドープしたi型の水素化InN膜)を上述した成膜装置を利用してリモートプラズマMOCVD法で形成し、さらにInN結晶層上に電極として膜厚0.1μmの透明導電膜(ITO)を形成した。最後にSi基板表面とITO電極に設けられた引出し端子より配線を取り出し、同軸のコネクターに接続してフォトダイオードを得た。
ここで、受光面積はITO薄膜のサイズで決定する。また、ITOは電子ビーム蒸着法などでマスクを用いて作製することができるため、フォトダイオードの構成を簡単にすることができる。このため基板の低コスト化とあわせてフォトダイオードの製造コストの低価格化が実現できる。
フォトダイオードの作製には、10%の弗化水素酸水溶液でエッチングした面方位(100)の抵抗率が0.5Ωcmのn型Si基板上に、エピタキシャル成長により、抵抗率1000Ωcmで膜厚が4μmのi型シリコン層を積層したウェハーを用いた。次に、このi型シリコン層上に膜厚0.4μmのInN結晶層(Mgをドープしたi型の水素化InN膜)を上述した成膜装置を利用してリモートプラズマMOCVD法で形成し、さらにInN結晶層上に電極として膜厚0.1μmの透明導電膜(ITO)を形成した。最後にSi基板表面とITO電極に設けられた引出し端子より配線を取り出し、同軸のコネクターに接続してフォトダイオードを得た。
ここで、受光面積はITO薄膜のサイズで決定する。また、ITOは電子ビーム蒸着法などでマスクを用いて作製することができるため、フォトダイオードの構成を簡単にすることができる。このため基板の低コスト化とあわせてフォトダイオードの製造コストの低価格化が実現できる。
なお、InN結晶層は以下のようにして作製した。まず、n型Si基板上にi型シリコン層を積層した基板を、i型シリコン層を上向きにしてホルダー3に載せ、排気口2を介して容器1内を真空排気後、ヒーター4により基板を400℃に加熱した。次にN2ガスをガス導入管9aより直径25mmの石英管5内に2000sccm導入し、マイクロ波導波管8を介して2.45GHzのマイクロ波を出力250Wにセットしチューナでマッチングを取り放電を行った。この時の反射波は0Wであった。またH2ガスをガス導入管9bより直径30mmの石英管6内に100sccm導入し、高周波コイル7の高周波の出力を100Wにセットした。この時の反射波は0Wであった。この状態でガス導入管9cより20℃で保持されたトリメチルインジウム(TMIn)の蒸気を水素をキャリアガスとして用いバブリングしながらマスフローコントローラーを通して1sccm導入した。さらにシクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.1at%になるように導入した。この時のバラトロン真空計で測定した容器1内の反応圧力は65Paであった。
この状態で成膜を60分行い、膜厚0.4μmで、Mgをドープしたi型の水素化InN膜をSi基板のi型シリコン層上に形成した。なお、この水素化InN膜のキャリア濃度、電気抵抗、吸収係数、吸収効率を表1に示す。
この状態で成膜を60分行い、膜厚0.4μmで、Mgをドープしたi型の水素化InN膜をSi基板のi型シリコン層上に形成した。なお、この水素化InN膜のキャリア濃度、電気抵抗、吸収係数、吸収効率を表1に示す。
(実施例2)
実施例1と同じn型Si基板上にi型シリコン層を積層したウエハーを用い、このi型シリコン層上に、InP結晶層を以下のようにして積層した。
まず、高真空排気が可能な分子線エピタキシャル成長(MBE)装置に、ウエハーを設置した。続いて原料としてIn金属とP(黄燐)とを別々の坩堝に仕込んだ。その後、装置内を圧力が1×10-3Paとなるまで排気した。この状態で、ウエハーを500℃に加熱した。さらにInを仕込んだ坩堝を500℃に加熱し、Pを仕込んだ坩堝は400℃に加熱した。各々の坩堝の温度が一定になった状態でそれぞれの坩堝のシャッターを開けて、ウエハーのi型シリコン層上にi型のInP結晶を成長させた。
この状態で成膜を120分行い、膜厚0.5μmで、アンドープのi型InP結晶層を積層した。このInP膜のキャリア濃度、電気抵抗、吸収係数、吸収効率等を表1に示す。
実施例1と同じn型Si基板上にi型シリコン層を積層したウエハーを用い、このi型シリコン層上に、InP結晶層を以下のようにして積層した。
まず、高真空排気が可能な分子線エピタキシャル成長(MBE)装置に、ウエハーを設置した。続いて原料としてIn金属とP(黄燐)とを別々の坩堝に仕込んだ。その後、装置内を圧力が1×10-3Paとなるまで排気した。この状態で、ウエハーを500℃に加熱した。さらにInを仕込んだ坩堝を500℃に加熱し、Pを仕込んだ坩堝は400℃に加熱した。各々の坩堝の温度が一定になった状態でそれぞれの坩堝のシャッターを開けて、ウエハーのi型シリコン層上にi型のInP結晶を成長させた。
この状態で成膜を120分行い、膜厚0.5μmで、アンドープのi型InP結晶層を積層した。このInP膜のキャリア濃度、電気抵抗、吸収係数、吸収効率等を表1に示す。
(実施例3)
i型シリコン層の代わりに膜厚5μmのi型Si0.8Ge0.2層をn型Si基板上にエピタキシャル成長させた基板を用いた以外は、実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
i型シリコン層の代わりに膜厚5μmのi型Si0.8Ge0.2層をn型Si基板上にエピタキシャル成長させた基板を用いた以外は、実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(実施例4)
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.05at%(500ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.05at%(500ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(実施例5)
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.02at%(200ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.02at%(200ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(実施例6)
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.01at%(100ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.01at%(100ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(実施例7)
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.005at%(50ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.005at%(50ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(実施例8)
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.002at%(20ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.002at%(20ppm)になるように導入した以外は実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(比較例1)
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.5at%になるように導入した以外は、実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、シクロペンタジエニルマグネシウム錯体を、インジウム元素に対してマグネシウム元素が0.5at%になるように導入した以外は、実施例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(比較例2)
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、その膜厚を0.15μmとした以外は、比較例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
Mgをドープした水素化InN膜の成膜に際して、その膜厚を0.15μmとした以外は、比較例1と同様にしてフォトダイオードを作製した。
(比較例3)
浜松ホトニクス製Sipinフォトダイオード(S5973、受光径0.4mm、遮断周波数1.2GHz,830nmの感度は0.37A/W)を比較例3のフォトダイオードとして用いた。
なお、この市販のpinフォトダイオードは、薄いp層と厚いi層とn層とから構成されており、i層を空乏層として吸収層と電荷輸送層との機能を兼ねた働きをしている(吸収層と電荷輸送層とが分離したものでは無い)。
浜松ホトニクス製Sipinフォトダイオード(S5973、受光径0.4mm、遮断周波数1.2GHz,830nmの感度は0.37A/W)を比較例3のフォトダイオードとして用いた。
なお、この市販のpinフォトダイオードは、薄いp層と厚いi層とn層とから構成されており、i層を空乏層として吸収層と電荷輸送層との機能を兼ねた働きをしている(吸収層と電荷輸送層とが分離したものでは無い)。
(評価)
以上の実施例1〜3および比較例1〜3のフォトダイオードの遮断周波数(相対値)および相対感度を計算により求めた結果を表1および表2に示す。
以上の実施例1〜3および比較例1〜3のフォトダイオードの遮断周波数(相対値)および相対感度を計算により求めた結果を表1および表2に示す。
表1および表2からわかるように本発明のフォトダイオードは、従来のシリコンを用いたpin型フォトダイオードや、吸収層のキャリア濃度が高く、この層内の電荷の移動が拡散移動によるタイプのフォトダイオードと比べると応答速度が2〜3倍であり、感度についてもより優れており、より高速且つ高感度であることがわかった。
なお、表1および表2中に示すキャリア濃度、電気抵抗、吸収係数、吸収効率の測定と、遮断周波数、相対感度の計算は以下のようにして行った。
−キャリア濃度−
キャリア濃度は、van der Pauw法を利用して以下のように測定した。
まず、大きさ約10mmの試料を用い、4隅にInを用いてオーミックコンタクトを取った電極を形成した。次に、試料表面に反時計回りでabcdの4電極を形成した。
測定に際しては、磁場の強さは約2540Gaussとし、2端子に流す測定電流は1から5mAまで、1mA毎に5水準とした。
この状態で、垂直な磁場中に置かれた試料の電極ab間に電流Iabを流すと、電極cd間に電圧Vcdが発生する。また、試料の電極bc間に電流Ibcを流すと、電極da間に電圧Vdaが発生する。
ここで、Rab,cd=Vcd/Iab,Rbc,da=Vda/Ibcとすると、
試料の抵抗率ρは下式(2)で表される。
・式(2) ρ=πt(Rab,cd+Rbc,da)f/(2ln2)
但し、式(2)において、fは試料の形状ファクターであり、tは膜厚である。
なお、fはRab,cdとRbc,daとを用いた近似式で求めることができる。
−キャリア濃度−
キャリア濃度は、van der Pauw法を利用して以下のように測定した。
まず、大きさ約10mmの試料を用い、4隅にInを用いてオーミックコンタクトを取った電極を形成した。次に、試料表面に反時計回りでabcdの4電極を形成した。
測定に際しては、磁場の強さは約2540Gaussとし、2端子に流す測定電流は1から5mAまで、1mA毎に5水準とした。
この状態で、垂直な磁場中に置かれた試料の電極ab間に電流Iabを流すと、電極cd間に電圧Vcdが発生する。また、試料の電極bc間に電流Ibcを流すと、電極da間に電圧Vdaが発生する。
ここで、Rab,cd=Vcd/Iab,Rbc,da=Vda/Ibcとすると、
試料の抵抗率ρは下式(2)で表される。
・式(2) ρ=πt(Rab,cd+Rbc,da)f/(2ln2)
但し、式(2)において、fは試料の形状ファクターであり、tは膜厚である。
なお、fはRab,cdとRbc,daとを用いた近似式で求めることができる。
次に、bd間に電流を流し、垂直に磁場を印加すると電極ac間に電圧が生じる。さらに、Hall係数RHは磁場の無い時と有る時のRbd,acを測定することにより、下式(3)から求めることができる。
・式(3) RH=tΔRbd,ac/(H×108)
但し、式(3)中、ΔRbd,ac=((Vac−Vac0)/Ibd)であり、Hは磁束密度を表し、Vacは磁場が印加された状態の電極ac間の電圧、Vac0は磁場が印加されない状態の電極ac間の電圧を表す。
・式(3) RH=tΔRbd,ac/(H×108)
但し、式(3)中、ΔRbd,ac=((Vac−Vac0)/Ibd)であり、Hは磁束密度を表し、Vacは磁場が印加された状態の電極ac間の電圧、Vac0は磁場が印加されない状態の電極ac間の電圧を表す。
ここで、キャリア密度は下式(4)から求めることができる。
・式(4) キャリア密度=γH/(etΔRbd,ac)
但し、式(4)中、γはキャリア速度の統計的分布のための補正係数であり、γとして0.85を用いた。また、eは、電気素量である。
・式(4) キャリア密度=γH/(etΔRbd,ac)
但し、式(4)中、γはキャリア速度の統計的分布のための補正係数であり、γとして0.85を用いた。また、eは、電気素量である。
−電気抵抗−
電気抵抗はvan der Pauw法を用いて測定した。
電気抵抗はvan der Pauw法を用いて測定した。
−吸収係数および吸収効率−
吸収層の吸収係数は、フォトダイオードを作製する時と同一の成膜条件でサファイヤ基板に成膜した半導体膜の膜厚と吸光度とを測定し、下式(5)を利用して求めた。
・式(5) Log(I/I0)=−αd
ここで、式(5)中、I0は、半導体膜に入射する光の強度、Iは半導体膜を透過した光の強度、αは半導体膜の吸収係数、dは半導体膜の膜厚を表す。
ここで、吸光度は、同一の成膜条件でサファイヤ基板に成膜した半導体膜を分光光度計(日立社製、U3000)によって測定して求めた。この時、参照としては半導体膜を形成しないサファイア基板を用いた。また、この半導体膜の膜厚は触針式の表面粗さ測定装置(東京精密社製、サーフコム550)と走査型電子顕微鏡(日本電子社製、JSM−6700F)により撮影した半導体膜の断面写真とを併用して測定した。また、吸収効率は、既述したように透過率T(=I/I0)から求めた。
吸収層の吸収係数は、フォトダイオードを作製する時と同一の成膜条件でサファイヤ基板に成膜した半導体膜の膜厚と吸光度とを測定し、下式(5)を利用して求めた。
・式(5) Log(I/I0)=−αd
ここで、式(5)中、I0は、半導体膜に入射する光の強度、Iは半導体膜を透過した光の強度、αは半導体膜の吸収係数、dは半導体膜の膜厚を表す。
ここで、吸光度は、同一の成膜条件でサファイヤ基板に成膜した半導体膜を分光光度計(日立社製、U3000)によって測定して求めた。この時、参照としては半導体膜を形成しないサファイア基板を用いた。また、この半導体膜の膜厚は触針式の表面粗さ測定装置(東京精密社製、サーフコム550)と走査型電子顕微鏡(日本電子社製、JSM−6700F)により撮影した半導体膜の断面写真とを併用して測定した。また、吸収効率は、既述したように透過率T(=I/I0)から求めた。
−遮断周波数−
表1に示す遮断周波数は、比較例3に示すシリコンからなるpinフォトダイオードの遮断周波数を基準値とし、その相対値として求めた。
なお、個々のフォトダイオードの遮断周波数は、下式(6)および得られたフォトダイオードの各種特性値(仮定値、推定値含む)を基に以下のようにして算出した。
・式(6) ft=0.35/√(τCR 2+Tr2)
ただし、式(6)中、ftは遮断周波数、τCRは接合容量で決まる応答時間、Trはキャリアの移動時間(10−90%)を表す。
表1に示す遮断周波数は、比較例3に示すシリコンからなるpinフォトダイオードの遮断周波数を基準値とし、その相対値として求めた。
なお、個々のフォトダイオードの遮断周波数は、下式(6)および得られたフォトダイオードの各種特性値(仮定値、推定値含む)を基に以下のようにして算出した。
・式(6) ft=0.35/√(τCR 2+Tr2)
ただし、式(6)中、ftは遮断周波数、τCRは接合容量で決まる応答時間、Trはキャリアの移動時間(10−90%)を表す。
従って、遮断周波数ftを求めるためには、応答時間τCRおよびキャリアの移動時間Trを各々求める必要がある。
この応答時間τCRは、下式(7)で表すことができる。
・式(7) τCR=1/R(εr1/d1+εr2/d2)d1d2/(Sε0εr1εr2)
ここで、式(7)中、Rは、インピーダンスを表し、高速応答性確保の観点から、遮断周波数の計算に際しては50Ωと仮定した。また、εr1は吸収層の比誘電率、d1は吸収層の層厚、εr2は電荷輸送層の比誘電率、d2は電荷輸送層の層厚、Sは受光部の面積(ITO電極の面積)であり、これら5つのパラメータで求められる 。
なお、各層の誘電率はS.M.SZE “Physics of Semiconductor Devices”、半導体技術(東京大学出版)庄野克房著等によった。
この応答時間τCRは、下式(7)で表すことができる。
・式(7) τCR=1/R(εr1/d1+εr2/d2)d1d2/(Sε0εr1εr2)
ここで、式(7)中、Rは、インピーダンスを表し、高速応答性確保の観点から、遮断周波数の計算に際しては50Ωと仮定した。また、εr1は吸収層の比誘電率、d1は吸収層の層厚、εr2は電荷輸送層の比誘電率、d2は電荷輸送層の層厚、Sは受光部の面積(ITO電極の面積)であり、これら5つのパラメータで求められる 。
なお、各層の誘電率はS.M.SZE “Physics of Semiconductor Devices”、半導体技術(東京大学出版)庄野克房著等によった。
一方、移動時間Trは下式(8)で表すことができる。
・式(8) Tr=電荷輸送層の層厚/電荷輸送層を移動するキャリアの速度
ここで、電荷輸送層を移動するキャリアの速度は、電界Eと移動度μととの積μEとして求めることができる。
移動時間Trの計算に際しては、全体の印加電圧は3Vとした。また、移動度は、半導体の組成がSiの場合には、電子移動度を1500cm2/Vs、正孔移動度を450cm2/Vs、Si0.8Ge0.2の場合は、電子移動度を2700cm2/Vs、正孔移動度を800cm2/Vsと仮定した(S.M.SZE “Physics of Semiconductor Devices”、半導体技術(東京大学出版)庄野克房)。
・式(8) Tr=電荷輸送層の層厚/電荷輸送層を移動するキャリアの速度
ここで、電荷輸送層を移動するキャリアの速度は、電界Eと移動度μととの積μEとして求めることができる。
移動時間Trの計算に際しては、全体の印加電圧は3Vとした。また、移動度は、半導体の組成がSiの場合には、電子移動度を1500cm2/Vs、正孔移動度を450cm2/Vs、Si0.8Ge0.2の場合は、電子移動度を2700cm2/Vs、正孔移動度を800cm2/Vsと仮定した(S.M.SZE “Physics of Semiconductor Devices”、半導体技術(東京大学出版)庄野克房)。
−相対感度−
表1に示す相対感度は、比較例3に示すシリコンからなるpinフォトダイオードの感度を基準値とし、その相対値として求めた。なお、比較例3に示すシリコンからなるpinフォトダイオードにおいては、正孔の移動距離は電子の1/3と仮定した。また、実施例および比較例に示す全てのフォトダイオードにおいて、吸収層で吸収し発生したキャリアが感度に寄与するものと仮定した。
また感度は吸収層の吸収光量と輸送層での吸収量を基にした。輸送層での正孔と電子の移動度の違いから、応答性への影響を吸収量の深さ方向の分布を考慮して決定した。
加えて、感度は、最大効率であると仮定した(光の吸収により生成したキャリアの量子効率を1.0と仮定し、電荷輸送層へのキャリアの注入効率を1.0と仮定した)。この場合、感度は吸収層による光吸収効率で決定される。また比較例3のSipinフォトダイオードの場合には光生成キャリアはi層の空乏層で行われるためi層における吸収効率と、各例の吸収層の光吸収効率との比較によって相対感度を求めた。ここで薄い吸収層内で光吸収が起こりかつ電場が形成されない場合(比較例1)には吸収層内での再結合による損失が起こるため1/3の損失を仮定した。
表1に示す相対感度は、比較例3に示すシリコンからなるpinフォトダイオードの感度を基準値とし、その相対値として求めた。なお、比較例3に示すシリコンからなるpinフォトダイオードにおいては、正孔の移動距離は電子の1/3と仮定した。また、実施例および比較例に示す全てのフォトダイオードにおいて、吸収層で吸収し発生したキャリアが感度に寄与するものと仮定した。
また感度は吸収層の吸収光量と輸送層での吸収量を基にした。輸送層での正孔と電子の移動度の違いから、応答性への影響を吸収量の深さ方向の分布を考慮して決定した。
加えて、感度は、最大効率であると仮定した(光の吸収により生成したキャリアの量子効率を1.0と仮定し、電荷輸送層へのキャリアの注入効率を1.0と仮定した)。この場合、感度は吸収層による光吸収効率で決定される。また比較例3のSipinフォトダイオードの場合には光生成キャリアはi層の空乏層で行われるためi層における吸収効率と、各例の吸収層の光吸収効率との比較によって相対感度を求めた。ここで薄い吸収層内で光吸収が起こりかつ電場が形成されない場合(比較例1)には吸収層内での再結合による損失が起こるため1/3の損失を仮定した。
1 真空に排気しうる容器(反応容器)
2 排気口
3 基板ホルダー
4 基板加熱用のヒーター
5,6 石英管
7 高周波コイル
8 マイクロ導波管
9a,9b,9c,9dガス導入管
10 透明電極
11 吸収層(第1の半導体層)
12 電荷輸送層(第2の半導体層)
13 基板(第3の半導体層)
14 電荷注入防止層
15 第4の半導体層
20、21 配線
100、200、300 フォトダイオード
2 排気口
3 基板ホルダー
4 基板加熱用のヒーター
5,6 石英管
7 高周波コイル
8 マイクロ導波管
9a,9b,9c,9dガス導入管
10 透明電極
11 吸収層(第1の半導体層)
12 電荷輸送層(第2の半導体層)
13 基板(第3の半導体層)
14 電荷注入防止層
15 第4の半導体層
20、21 配線
100、200、300 フォトダイオード
Claims (15)
- 光を吸収して電荷を発生する吸収層として機能する第1の半導体層と、該第1の半導体層に接して設けられた電荷輸送層として機能する第2の半導体層とを少なくとも含み、
前記第1の半導体層で発生した電荷のいずれか一方の極性の電荷を、前記第1の半導体層から前記第2の半導体層へと移動するように、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に電界が印加されるフォトダイオードにおいて、
前記第1の半導体層のキャリア濃度が1.0×1017個/cm3以下であることを特徴とするフォトダイオード。 - 前記第1の半導体層の吸収効率が60%以上であることを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
- 前記第1の半導体層の吸収係数が、前記第2の半導体層の吸収係数よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
- 前記第1の半導体層が直接遷移型半導体からなることを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
- 前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素を含む化合物半導体からなることを特徴とする請求項4に記載のフォトダイオード。
- 前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素と、Nとを含む窒化物系化合物半導体であることを特徴とする請求項5に記載のフォトダイオード。
- 前記直接遷移型半導体が、Al,GaおよびInから選択される1種以上の一元素と、AsおよびPから選択される1種以上の元素とを含む化合物半導体であることを特徴とする請求項5に記載のフォトダイオード。
- 前記第2の半導体層が、間接遷移型半導体からなることを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
- 前記間接遷移型半導体が、シリコン系半導体であることを特徴とする請求項8に記載のフォトダイオード。
- 前記シリコン系半導体が、炭素およびゲルマニウムから選択される1種以上の元素を含むことを特徴とする請求項9に記載のフォトダイオード。
- 前記第1の半導体層の前記第2の半導体層が設けられた側と反対側の面に、酸化物導電体からなる透明電極が設けられたことを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
- 前記透明電極と前記第1の半導体層との間に注入防止層を設けたことを特徴とする請求項11に記載のフォトダイオード。
- 前記透明電極が、p型およびn型から選択されるいずれかの伝導型の半導体からなり、且つ、前記第1の半導体層が吸収する光の波長域(受光波長域)において、前記半導体の吸収係数が前記第1の半導体層の吸収係数よりも小さいことを特徴とする請求項11に記載のフォトダイオード。
- 前記第2の半導体層に接して電極が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
- 前記第2の半導体に接してp型およびn型から選択されるいずれかの伝導型の第3の半導体層が設けられたことを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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WO2012120869A1 (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | 住友化学株式会社 | 半導体基板、半導体装置および半導体基板の製造方法 |
US9640586B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-05-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor diodes, and variable resistance memory devices |
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- 2004-09-22 JP JP2004275742A patent/JP2006093338A/ja active Pending
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WO2012120869A1 (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | 住友化学株式会社 | 半導体基板、半導体装置および半導体基板の製造方法 |
US8901605B2 (en) | 2011-03-07 | 2014-12-02 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Semiconductor wafer, semiconductor device, and method of producing semiconductor wafer |
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