JP2006090527A - マイクロバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のシリコン基板を用いて形成され流体の流出口12が厚み方向に貫設され一表面側において流出口12の周部に弁座13が突設された弁座形成基板10と、第2のシリコン基板を用いて形成されて流出口12を開閉する弁体23を有し弁座形成基板10の上記一表面側に固着される弁体形成基板20と、弁体23を駆動するマイクロアクチュエータ用のアクチュエータ形成基板30とを備え、弁座形成基板10に、弁座形成基板10と弁体形成基板20との間に形成される流体の流路に連通する流入口11が厚み方向で貫設され、〔流入口11の圧力損失〕>〔流出口12の圧力損失〕の関係を満たすように流入口11および流出口12の構造パラメータを設定する。
【選択図】 図1
Description
〔流入口の圧力損失〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とする。
〔各流入口それぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とする。
〔圧力調整用流路の圧力損失〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とする。
〔各圧力調整用流路それぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とする。
以下、本実施形態のマイクロバルブについて図1〜図3を参照しながら説明する。なお、本実施形態のマイクロバルブは、例えば、小型の燃料電池や燃料改質器への液体燃料(例えば、メタノール、純水、メタノール水溶液など)の供給路上に設けて使用することができるが、他の用途への使用も可能である。 本実施形態のマイクロバルブは、導電率が比較的低い半導体基板(例えば、シリコン基板)を用いて形成され流体(例えば、液体燃料)の流入口11および流出口(弁口)12が厚み方向に貫設されるとともに一表面(図1における上面)側において流出口12の周部に弁座13が突設された弁座形成基板10と、導電率が比較的高い半導体基板(例えば、シリコン基板)を用いて形成され弁座形成基板10の上記一表面側に固着されるフレーム21およびフレーム21の内側に配置され流出口12を開閉するように上記厚み方向に変位可能な弁体23およびフレーム21の一表面(図1における上面)側でフレーム21と弁体23とを連結する薄肉の撓み部22を一体に有する弁体形成基板20と、ガラス基板を用いて形成され弁体形成基板20の一表面(図1における上面)側に固着されるアクチュエータ形成基板30とを備えている。ここにおいて、本実施形態では、弁体23が可動電極24を兼ねており、アクチュエータ形成基板30は、弁体23との対向部位に弁体23からなる可動電極24とともに弁体23を駆動する静電型のマイクロアクチュエータを構成する金属薄膜(例えば、クロム薄膜)からなる固定電極31を有している。すなわち、本実施形態のマイクロバルブは、対向配置される一対の電極間に作用する静電力によって弁体23を弁座形成基板10の厚み方向に変位させるものであって、上記一対の電極の一方を構成する可動電極24を弁体形成基板20の弁体23に備え、弁体形成基板20と固着されるアクチュエータ形成基板30に上記一対の電極の他方を構成する固定電極31が設けられている。なお、固定電極31を構成する金属薄膜の材料はクロムに限らず、例えば、アルミニウム、ニッケル、チタン、タングステン、金などを採用してもよい。また、弁体形成基板20の基礎となるシリコン基板として導電率が比較的低いシリコン基板を採用して、弁体23における流出口12との対向面とは反対側に、可動電極24を高濃度不純物拡散層や金属膜により構成するようにしてもよい。
〔流入口11の圧力損失〕>〔流出口12の圧力損失〕
の関係を満たすように設計すればよい。
の関係は、下記の数式に整理することができる。
本実施形態のマイクロバルブの基本構成は実施形態1と略同じであって、図4および図5に示すように、実施形態1に比べて流入口11のサイズ(流入口11の流路の半径r)を小さくして、開口形状が円形状の流入口11を複数形成している点が相違する。ここにおいて、各流入口11のサイズは同じサイズに設定してある。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
〔各流入口11それぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口12の圧力損失〕
の関係を満たすように設計すればよい。
〔各流入口11それぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口12の圧力損失〕
の関係は、下記の数式のように整理することができる。
本実施形態のマイクロバルブの基本構成は実施形態1と略同じであって、図6〜図8に示すように、流入口11の内径と流出口12の内径とを同じ寸法としている点と、弁座形成基板10の上記一表面に形成された流路用凹部14の平面形状が相違する。すなわち、本実施形態では、流路用凹部14を、流入口11を囲むように形成された内周形状が矩形状の流入口側凹部14bと、流出口12を囲むように形成された内周形状が矩形状の流出口側凹部14cと、流入口側凹部14bと流出口側凹部14cとの間に形成された細長の圧力調整用凹部14aとで構成してある。ここにおいて、流路用凹部14は、一般的な半導体製造プロセスで利用されるリソグラフィ技術とドライエッチング技術とを利用することで形成してある。また、本実施形態では、弁座形成基板10の上記一表面に凹設された圧力調整用凹部14aが、弁座形成基板10と弁体形成基板20との間において流入口11の2次側の空間E4と流出口12の1次側の空間E1とを連通させる圧力調整用流路(マイクロチャネル)を構成しており、圧力調整用流路14aの長手方向に直交する断面(流路断面)の形状は矩形状の形状となっている。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
〔圧力調整用流路14aの圧力損失〕>〔流出口12の圧力損失〕
の関係を満たすように設計すればよい(要するに、圧力調整用流路14aにより流量が制限されるように各構造パラメータを設計すればよい)。
〔圧力調整用流路14aの圧力損失〕>〔流出口12の圧力損失〕
の関係は、下記の数式のように整理することができる。
本実施形態のマイクロバルブの基本構成は実施形態3と略同じであり、図9に示すように、流入口側凹部14bと流出口側凹部14cとの間に複数の圧力調整用凹部14aを形成している点が相違する。なお、実施形態3と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
〔各圧力調整用流路14aそれぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口12の圧力損失〕
の関係を満たすように設計すればよい。
〔各圧力調整用流路14aそれぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口12の圧力損失〕
の関係は、下記の数式のように整理することができる。
11 流入口
12 流出口
13 弁座
14 流路用凹部
20 弁体形成基板
21 フレーム
22 撓み部
23 弁体
25 圧力調整用ダイヤフラム部
30 アクチュエータ形成基板
31 固定電極
33 ギャップ形成用凹部
Claims (4)
- 第1の半導体基板もしくはガラス基板を用いて形成され流体の流出口が厚み方向に貫設され一表面側において流出口の周部に弁座が突設された弁座形成基板と、第2の半導体基板を用いて形成されて流出口を開閉する弁体を有し弁座形成基板の上記一表面側に固着される弁体形成基板と、弁体を駆動するマイクロアクチュエータとを備え、弁座形成基板と弁体形成基板との一方に、弁座形成基板と弁体形成基板との間に形成される流体の流路に連通する流体の流入口が厚み方向で貫設され、
〔流入口の圧力損失〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とするマイクロバルブ。 - 第1の半導体基板もしくはガラス基板を用いて形成され流体の流出口が厚み方向に貫設され一表面側において流出口の周部に弁座が突設された弁座形成基板と、第2の半導体基板を用いて形成されて流出口を開閉する弁体を有し弁座形成基板の上記一表面側に固着される弁体形成基板と、弁体を駆動するマイクロアクチュエータとを備え、弁座形成基板と弁体形成基板との一方に、弁座形成基板と弁体形成基板との間に形成される流体の流路に連通する流体の流入口が厚み方向で複数貫設され、
〔各流入口それぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とするマイクロバルブ。 - 流体の流出口が厚み方向に貫設され一表面側において流出口の周部に弁座が形成された弁座形成基板と、流出口を開閉する弁体を有し弁座形成基板の上記一表面側に固着される弁体形成基板と、弁体を駆動するマイクロアクチュエータとを備え、弁座形成基板と弁体形成基板との一方に、流体の流入口が厚み方向で貫設されるとともに、弁座形成基板と弁体形成基板との間において流入口の2次側の空間と流出口の1次側の空間とを連通させる圧力調整用流路が凹設され、
〔圧力調整用流路の圧力損失〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とするマイクロバルブ。 - 流体の流出口が厚み方向に貫設され一表面側において流出口の周部に弁座が形成された弁座形成基板と、流出口を開閉する弁体を有し弁座形成基板の上記一表面側に固着される弁体形成基板と、弁体を駆動するマイクロアクチュエータとを備え、弁座形成基板と弁体形成基板との一方に、流体の流入口が厚み方向で貫設されるとともに、弁座形成基板と弁体形成基板との間において流入口の2次側の空間と流出口の1次側の空間とを連通させる圧力調整用流路が複数凹設され、
〔各圧力調整用流路それぞれの圧力損失の総和〕>〔流出口の圧力損失〕
の関係を満たすことを特徴とするマイクロバルブ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008223906A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Okm:Kk | 弁駆動用アクチュエータ |
JP2009228799A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Yokogawa Electric Corp | マイクロバルブ |
JP2018517576A (ja) * | 2015-05-13 | 2018-07-05 | ベルキン ビーブイBerkin B.V. | バルブユニットを備える流体流動装置、および、その製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03204482A (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-06 | Kojundo Chem Lab Co Ltd | 微量制御弁 |
JPH04506392A (ja) * | 1989-06-23 | 1992-11-05 | アイシー・センサーズ・インコーポレーテッド | 半導体マイクロアクチュエータ |
JPH06299968A (ja) * | 1993-04-16 | 1994-10-25 | Honda Motor Co Ltd | マイクロポンプ |
JPH07508085A (ja) * | 1992-06-26 | 1995-09-07 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロ弁 |
JPH1113926A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-22 | Yokogawa Electric Corp | 電空変換器及びそのバルブユニット |
JP2003120851A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体マイクロバルブ |
JP2004176802A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | マイクロバルブ |
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2004
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04506392A (ja) * | 1989-06-23 | 1992-11-05 | アイシー・センサーズ・インコーポレーテッド | 半導体マイクロアクチュエータ |
JPH03204482A (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-06 | Kojundo Chem Lab Co Ltd | 微量制御弁 |
JPH07508085A (ja) * | 1992-06-26 | 1995-09-07 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロ弁 |
JPH06299968A (ja) * | 1993-04-16 | 1994-10-25 | Honda Motor Co Ltd | マイクロポンプ |
JPH1113926A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-22 | Yokogawa Electric Corp | 電空変換器及びそのバルブユニット |
JP2003120851A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体マイクロバルブ |
JP2004176802A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | マイクロバルブ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008223906A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Okm:Kk | 弁駆動用アクチュエータ |
JP2009228799A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Yokogawa Electric Corp | マイクロバルブ |
JP2018517576A (ja) * | 2015-05-13 | 2018-07-05 | ベルキン ビーブイBerkin B.V. | バルブユニットを備える流体流動装置、および、その製造方法 |
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