JP2006085174A - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】散乱バーの数、サイズおよび位置は、c:PSMプロセスの第二露光ステップに使用するトリム露光エネルギに対するCDの所望の感度レベルおよび/または所望の同一焦点CDを実現するように最適化することができる。光学近接効果補正を実現するように等密度バイアスを補償するために、トリム露光線量を調整したり、トリムマスク上で使用するトリム幅を最適化したりすることができる。
【選択図】図6(b)
Description
「Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography」、Alfred K. Wong、SPIE press、2001年3月
「Performance optimization of the Double Exposure Alt PSM for sub-100nm ICs」、G. Vandenberghe、BACUS 4562-3
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは、基本的に静止状態に保たれている。そして、放射線ビームに与えたパターン全体が1回で目標部分Cに投影される(すなわち1回の静止露光)。次に基板テーブルWTがX方向および/あるいはY方向にシフトされ、異なる目標部分Cが照射され得る。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズが、1回の静止露光で描像される目標部分Cのサイズを制限する。
2.走査モードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを同期走査する一方、放射線ビームに与えられたパターンを目標部分Cに投影する(つまり1回の動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの拡大(縮小)および像反転特性によって決定される。走査モードでは、露光フィールドの最大サイズが、1回の動的露光で目標部分の(非走査方向における)幅を制限し、走査動作の長さが目標部分の(走査方向における)高さを決定する。
3.別のモードでは、マスクテーブルMTが基本的に静止状態に維持されて、プログラマブルパターニングデバイスを保持し、放射線ビームに与えられたパターンを目標部分Cに投影する間に、基板テーブルWTが動作するか、走査される。このモードでは、一般的にパルス状放射線ソースを使用して、基板テーブルWTを動作させるごとに、または走査中に連続する放射線パルス間に、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクなしリソグラフィに容易に適用することができる。
(1)大きい近接効果、
(2)レンズの収差に対する高い感度、
(3)マスクの(低い)製造可能性である。
1)ウェハのレベルにおける露光線量、
2)隣接する線の近接線(高密度または分離)、および
3)選択したNAおよび照明モード、
に依存する。
(a)第二(つまり「トリム」露光)ステップで露光線量を調整する。
(b)トリムマスクのPSR領域の幅を最適化する。
(c)トリムマスク上に「散乱バー」の形態で補助形態を含む。
(d)トリムマスク上に含まれる散乱バーの数および位置を最適化する。
(e)トリムステップの開口数(NA)/照明を最適化する。
これらの方法については、図5から図12に関して以下でさらに詳細に説明する。
alt:PSMの製造がさらに容易になる。これは、alt:PSMでの位相エラーが位相幅の関数になり得るからである。これは、像を変位させ、ゲート線のプロセスウィンドウを小さくする効果を有する。より均一な位相幅を有するマスクを設計することにより、マスクの位相エラーを軽減することができる。
(1)より小さい位相幅Wpsを使用することにより、レンズ収差に対する感度が低下する。
近接効果が小さくなる(これは、図2(a)で示すタイプの従来のAlt:PSMマスクを使用する場合より、様々なピッチでも回折パターンがさらに類似するからである)。
(3)のせいで、複数のピッチにわたって重なるプロセスウィンドウが大きくなる。
10%トリムエネルギに対する感度=ΔCD/0.1×トリムエネルギ
ここで、
ΔCD=1.1×トリムエネルギでのCD−トリムエネルギでのCD
である。
トリム線量にオフセットを適用する、つまり露光システムごとに異なるトリム線量を設定することによって、異なる露光システム(つまり異なるリソグラフィ機械)を一致させる。例えば、図5は、シグマ(σ)のミスマッチにより異なる露光システム間の近接一致の問題がある状況を示す。適切なトリムマスクの設計およびデルタトリムエネルギを使用して、ピッチ直線性に対するシグマの効果を補償することができる。
トリム露光での線量マッピングによって像露光領域にわたる近接効果を補正する。この場合、トリムステップで所定の線量輪郭を使用することにより、等密度バイアスを補正することができる。例えば図11を参照されたい。これは露光領域にわたって与えられた不均一なトリム線量を示し、線量輪郭は、同じ露光領域にわたって等密度バイアスを補償するように設計されている。図11では、Y軸に沿った等密度バイアスが、x軸に沿った「スリット位置」に対してプロットされ、「スリット位置」という用語は、露光領域の位置のx座標を指すために使用される。この用語は、代替的に「スロット」と言うこともある。したがって、例えば露光領域が26×33mmである場合、スリット位置は−13mmから+13mmの範囲である。
ウェハ全体で近接効果を補正する。この場合も、ウェハ上の等密度バイアスを補償するように、露光システムを使用してウェハ全体の不均一なトリム線量輪郭を設定することができる。これを図12に示す。
2、3、4 埋め込み型移相区域
8 保護影領域(PSR)
10 散乱バー
Claims (23)
- リソグラフィ装置であって、
放射線ビームを調整するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスと、
パターニングデバイスを支持するように構築された支持体とを有し、パターニングデバイスは、放射線ビームの断面にパターンを与えて、パターン形成した放射線ビームを形成することが可能であり、さらに、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
パターン形成した放射線ビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムとを有し、
パターニングデバイスが、相補型移相マスク描像プロセスに使用するトリムマスクを有し、トリムマスクが、自身上に設けた少なくとも1つの散乱バーを有するリソグラフィ装置。 - パターニングデバイスからのパターンを基板に投影するように配置構成されたリソグラフィ投影装置であって、パターニングデバイスが、相補型移相マスク描像プロセスで使用するトリムマスクを有し、トリムマスクが、自身上に設けた少なくとも1つの散乱バーを有するリソグラフィ投影装置。
- 相補型移相マスク描像に使用するトリムマスクであって、トリムマスクが、自身上に設けた少なくとも1つの散乱バーを有するトリムマスク。
- トリムマスクが、自身上に設けた複数の散乱バーを有する、請求項3に記載のトリムマスク。
- トリムマスクが、自身上に設けた複数の保護影領域を有し、前記保護影領域それぞれの各側に単一の散乱バーが配置されるように、散乱バーが配置構成される、請求項4に記載のトリムマスク。
- トリムマスクが、自身上に設けた複数の保護影領域を有し、前記保護影領域それぞれの各側に少なくとも2つの散乱バーが配置されるように、散乱バーが配置構成される、請求項4に記載のトリムマスク。
- マスクが、ガラストリムマスク上に設けたバイナリクロムである、請求項4に記載のトリムマスク。
- 相補型移相マスク(c:PSM)描像技術を使用するデバイス製造方法であって、
放射線の第一パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第一パターン形成ビームが、第一放射線ビームに露光した交番移相マスクを使用して形成され、さらに、
放射線の第二パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第二パターン形成ビームが、第二放射線ビームに露光したトリムマスクを使用して形成され、
トリムマスクが第二放射線ビームに露光される時間の長さ、および第二放射線ビームの強度が、少なくとも多少の光学近接効果補正を実現するように、トリムマスク上の少なくとも1つの形態に従って選択される方法。 - トリムマスクが、放射線の第一パターン形成ビームを使用して基板の目標部分に形成された形態を保護するために、複数の保護影領域を含み、トリム露光の露光線量が、デバイス製造方法の結果として基板の目標部分に形成された1つまたは複数の所定の形体で所望の限界寸法(CD)を実現するように、保護影領域の所定の幅に従って選択される、請求項8に記載のデバイス製造方法。
- トリムマスクが、放射線の第一パターン形成ビームを使用して基板の目標部分に形成された形体を保護するために、複数の保護影領域を含み、保護影領域の幅が、基板の目標部分に形成される1つまたは複数の所定の形体の、トリム露光中に与えられる露光線量に対する所望の感度レベルを達成するように選択される、請求項8に記載のデバイス製造方法。
- 相補型移相マスク(c:PSM)描像技術を使用するデバイス製造方法であって、
放射線の第一パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第一パターン形成ビームが、第一放射線ビームに露光した交番移相マスクを使用して形成され、さらに、
放射線の第二パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第二パターン形成ビームが、第二放射線ビームに露光したトリムマスクを使用して形成され、トリムマスクが、自身上に設けた少なくとも1つの散乱バーを有するデバイス製造方法。 - 散乱バーの数、サイズおよび位置が、相補型移相マスク描像プロセスを使用して基板の目標部分に形成される所定の形態について、所望の等焦点限界寸法(CD)を達成するように最適化される、請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 散乱バーの数、サイズおよび位置が、基板の目標部分に形成される所定の形態について、c:PSM描像プロセスのトリム露光中に与えられる露光線量に対する限界寸法(CD)の所望の感度レベルを達成するように最適化される、請求項11に記載のデバイス製造方法。
- トリム露光中に与えられる露光線量が、露光領域にわたって不均一な輪郭を有し、前記輪郭が、少なくとも多少の光学近接効果補正を実現するように成形される、請求項11に記載のデバイス製造方法。
- トリム露光中に与えられる露光線量が、基板にわたって不均一な輪郭を有し、前記輪郭が、少なくとも多少の光学近接効果補正を実現するように成形される、請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 複数の異なる露光システムを使用し、異なる露光システムが異なる照明設定を有し、トリム露光では、異なるシステムによって異なるトリムエネルギが与えられ、トリムマスクの設計と、露光システムごとに与えられるトリムエネルギの差が、異なる露光システム間の光学近接不整合効果を少なくとも部分的に補償するように選択される、請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 交番移相マスクが、自身上に形成された複数のゲート線および複数の移相領域を有し、各ゲート線が、2つの前記移相領域間に挟まれ、交番移相マスクがさらに、自身上に形成された複数のダミー領域を含み、各ダミー形態が前記移相領域に隣接して配置される、請求項11に記載のデバイス製造方法。
- 交番移相マスクが暗視野交番移相マスクである、請求項11に記載のデバイス製造方法。
- リソグラフィの相補型移相マスク(c:PSM)を設計する方法を実行する機械で実行可能な命令を有する機械読み取り式媒体であり、
複数のゲート線および複数の移相領域を組み込むように交番移相マスクを設計することと、
交番移相マスクとともに使用するために、自身上に複数の散乱バーを有するトリムマスクを設計することとを含む機械読み取り式媒体。 - 方法がさらに、
このように設計された交番移相マスクおよびトリムマスクを使用して、二重露光描像技術で所望の同一焦点限界寸法(CD)を達成するように、前記散乱バーの数、サイズおよび位置を最適化することを含む、請求項19に記載の機械読み取り式媒体。 - 方法がさらに、前記移相領域の少なくとも幾つかに隣接して配置されたダミー領域を含むように交番移相マスクを設計することを含む、請求項19に記載の機械読み取り式媒体。
- 相補型移相マスク(c:PSM)描像技術を使用するデバイス製造方法であって、
放射線の第一パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第一パターン形成ビームが、第一放射線ビームに露光したトリムマスクを使用して形成され、さらに、
放射線の第二パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第二パターン形成ビームが、第二放射線ビームに露光した交番移相マスクを使用して形成され、
トリムマスクが第一放射線ビームに露光する時間の長さ、および第一放射線ビームの強度が、少なくとも多少の光学近接効果補正を実現するようにトリムマスク上の少なくとも1つの形態に従って選択されるデバイス製造方法。 - 相補型移相マスク(c:PSM)描像技術を使用するデバイス製造方法であって、
放射線の第一パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第一パターン形成ビームが、第一放射線ビームに露光したトリムマスクを使用して形成され、さらに、
放射線の第二パターン形成ビームを基板の目標部分に投影することを含み、前記第二パターン形成ビームが、第二放射線ビームに露光した交番移相マスクを使用して形成され、
トリムマスクが、自身上に設けた少なくとも1つの散乱バーを有するデバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/939,966 US8304180B2 (en) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006085174A true JP2006085174A (ja) | 2006-03-30 |
Family
ID=36034405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005265695A Pending JP2006085174A (ja) | 2004-09-14 | 2005-09-13 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8304180B2 (ja) |
JP (1) | JP2006085174A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060904 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20070622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080725 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081024 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100105 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100118 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20100219 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110131 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110203 |