JP2006080276A - 電子ビーム描画装置 - Google Patents
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Abstract
マルチビーム方式の電子ビーム描画装置において、高精度な電子ビーム調整を行うことが出来る電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】
電子源110から放出された電子ビーム111を、コンデンサレンズ112を通して平行ビームとなし、アパーチャ−アレイ113により複数のポイントビームに分離せしめ、個別にアライメント用偏向が可能なマルチアライナーアレイ129と、個別にオンオフ用偏向が可能なブランカーアレイ115とブランキング絞り119とを通して、前記複数のポイントビームを個々に試料124上に結像せしめる電子光学系を備えた電子ビーム描画装置において、前記マルチアライナーアレイ129によって前記ブランキング絞り119位置での電子ビームの位置を個々に調整するよう構成したことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
図1に、本発明の第1の実施例になる電子ビーム描画装置の装置構成を示す。
図4に、本発明の第2の実施例になる電子ビーム描画装置の装置構成を示す。
Claims (6)
- 電子源から放出された電子ビームを、コンデンサレンズを通して平行ビームとなし、アパーチャ−アレイにより複数のポイントビームに分離せしめ、個別にアライメント用偏向が可能なマルチアライナーアレイと、個別にオンオフ用偏向が可能なブランカーアレイとブランキング絞りとを通して、前記複数のポイントビームを個々に試料上に結像せしめる電子光学系を備えた電子ビーム描画装置において、前記マルチアライナーアレイによって前記ブランキング絞り位置での電子ビームの位置を個々に調整するよう構成したことを特徴とする電子ビーム描画装置。
- 前記ブランカーアレイの電極方向と前記マルチアライナーアレイの電極方向とを異ならしめたことを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム描画装置。
- 前記ポイントビームが、前記ブランキング絞りの開口を通過する際に前記ブランカーアレイにオフセット電圧を印加する手段を設けてなることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム描画装置。
- 電子源から放出された電子ビームを、コンデンサレンズを通して平行ビームとなし、アパーチャ−アレイにより複数のポイントビームに分離せしめ、個別にアライメント用偏向が可能なマルチアライナーアレイと、個別にオンオフ用偏向が可能なブランカーアレイとブランキング絞りとを通して、前記複数のポイントビームを個々に試料上に結像せしめる電子光学系を備えた電子ビーム描画装置において、前記マルチアライナーアレイは、2段以上のマルチアライナーアレイで構成され、前記ブランカーアレイの位置をほぼ偏向中心として前記マルチアライナーアレイを動作させるよう構成したことを特徴とする電子ビーム描画装置。
- 前記マルチアライナーアレイを、前記ブランカーアレイより下流に配置してなることを特徴とする請求項4に記載の電子ビーム描画装置。
- 前記ブランキング絞りの開口が、縦横の長さが異なるスリット状をなすことを特徴とする請求項4に記載の電子ビーム描画装置。
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