JP4181533B2 - 電子ビーム描画装置 - Google Patents
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- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
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Description
図1に、本発明の第1の実施例になる電子ビーム描画装置の装置構成を示す。
図4に、本発明の第2の実施例になる電子ビーム描画装置の装置構成を示す。
Claims (5)
- 描画処理が実行される試料を保持するステージと、
電子源から放出された電子ビームを、コンデンサレンズを通して平行ビームとなし、アパーチャ−アレイにより複数のポイントビームに分離せしめ、個別にアライメント用偏向が可能なマルチアライナーアレイと、個別にオンオフ用偏向が可能なブランカーアレイとを含むマルチビーム形成手段と、
当該マルチビーム形成手段により形成されたマルチビームを前記試料上に投影するためのダブレットレンズとを有する電子ビーム描画装置において、
当該ダブレットレンズは、第1投影レンズと、該第1投影レンズよりも試料側に配置された第2投影レンズと、前記第1投影レンズと第2投影レンズの間に配置され、前記マルチビームが通過する穴を備えたブランキング絞りとを備え、
前記マルチアライナーアレイによって、前記ブランキング絞り位置での電子ビームの位置を、前記ブランカーアレイの偏向がオフの際に前記マルチビームが当該ブランキング絞りの穴の中心を通過するように個々に調整するよう構成したことを特徴とする電子ビーム描画装置。 - 前記ブランカーアレイの電極方向と前記マルチアライナーアレイの電極方向とを異ならしめたことを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム描画装置。
- 前記ポイントビームが、前記ブランキング絞りの開口を通過する際に前記ブランカーアレイにオフセット電圧を印加する手段を設けてなることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マルチアライナーアレイを、前記ブランカーアレイより下流に配置してなることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム描画装置。
- 前記ブランキング絞りの開口が、縦横の長さが異なるスリット状をなすことを特徴とする請求項4に記載の電子ビーム描画装置。
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