JP2006076838A - Iii−v族化合物単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ドーパントであるTe原子またはZn原子の損失が少ないIII−V族化合物単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】 ドーパント原料3としてIII族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金を準備する工程と、ドーパント原料3とIII−V族化合物原料2と種結晶1とを結晶成長容器11に収納する工程と、ドーパント原料とIII−V族化合物原料とを含む融液4を種結晶1に接触するように形成する工程と、融液4からドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族窒化物単結晶5を種結晶1上に成長させる工程とを含むIII−V族化合物結晶を成長させる工程とを含むIII−V族化合物単結晶の製造方法。
【選択図】 図1
【解決手段】 ドーパント原料3としてIII族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金を準備する工程と、ドーパント原料3とIII−V族化合物原料2と種結晶1とを結晶成長容器11に収納する工程と、ドーパント原料とIII−V族化合物原料とを含む融液4を種結晶1に接触するように形成する工程と、融液4からドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族窒化物単結晶5を種結晶1上に成長させる工程とを含むIII−V族化合物結晶を成長させる工程とを含むIII−V族化合物単結晶の製造方法。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族化合物結晶の製造方法に関する。
III−V族化合物単結晶の製造方法としては、一般的に、III−V族化合物原料を含む融液を形成し、この融液からIII−V族化合物単結晶を成長させる方法がよく用いられる。かかる方法としては、チョクラルスキ法(Czochralski method;以下、CZ法という)、液体封止引上法(Liquid Encapsulated Czochralski method;以下、LEC法という)などの引上法、水平ブリッジマン法(Horizontal Bridgman method;以下、HB法という)、温度傾斜法(Gradient Freeze method;以下GF法という)などの横型ボート法、縦型ブリッジマン法(Vertical Bridgman method;以下、VB法という)、縦型温度傾斜法(Vertical Gradient Freeze method;以下、VGF法という)などの縦型ボート法など各種の単結晶成長方法が採用されている(たとえば、特許文献1および特許文献2を参照)。
このIII−V族化合物単結晶は、半導体としての性質を有するため、各種電子素子の材料として有用であり、III−V族化合物単結晶の導電性を変化させるために、各種のドーパントが添加される。III−V族化合物単結晶にn型の導電性を付与するためのn型ドーパントとしては、Te原子、Si原子などがあり、III−V族化合物単結晶にp型の導電性を付与するためのp型ドーパントとしては、Zn原子などがある。ここで、Te原子は、ドーピングされたIII−V族化合物単結晶からの脱離が少なく、高いキャリア濃度までドーピングができる観点から、ドーパントとして好ましい原子である。
上記のような融液からIII−V族化合物単結晶を成長させる方法において、ドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族化合物単結晶を成長させるために、ドーパント原料としてTe単体またはZn金属と、III−V族化合物原料とを加熱して、これらを含む融液を形成すると、Te原子およびZn原子はそれらの蒸気圧が高いために、融液から蒸発してしまい、III−V族化合物単結晶にドーピングされるTe原子またはZn原子の量が減少するという問題点があった。
特開平08−151290号公報
特開平11−335194号公報
本発明は、ドーパントであるTe原子またはZn原子の損失が少ないIII−V族化合物単結晶の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、ドーパントを含むIII−V族化合物単結晶の製造方法であって、ドーパント原料としてIII族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金を準備する工程と、ドーパント原料とIII−V族化合物原料と種結晶とを結晶成長容器に収納する工程と、ドーパント原料とIII−V族化合物原料とを含む融液を種結晶に接触するように形成する工程と、融液からドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族窒化物単結晶を種結晶上に成長させる工程とを含むIII−V族化合物単結晶の製造方法である。
本発明にかかるIII−V族化合物単結晶の製造方法において、ドーパント原料とIII−V族化合物原料と種結晶とを結晶成長容器に収納する工程が、ドーパント原料をIII−V族化合物原料に埋め込む工程と、ドーパント原料が埋め込まれたIII−V族化合物原料と種結晶とを結晶成長容器に収納する工程とを含むことができる。
上記のように、本発明によれば、ドーパントであるTe原子またはZn原子の損失が少ないIII−V族化合物単結晶の製造方法を提供することができる。
本発明にかかるIII−V族化合物単結晶の製造方法は、図1を参照して、ドーパントを含むIII−V族化合物単結晶の製造方法であって、ドーパント原料3としてIII族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金を準備する工程と、ドーパント原料3とIII−V族化合物原料2と種結晶1とを結晶成長容器11に収納する工程と、ドーパント原料3とIII−V族化合物原料2とを含む融液4を種結晶1に接触するように形成する工程と、融液4からドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族窒化物単結晶5を種結晶1上に成長させる工程とを含む。
蒸気圧が高いTe原子またはZn原子をIII−V族化合物単結晶にドーピングする際、ドーピング原料としてIII族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金を用いて、このドーピング原料とIII−V族化合物原料とを含む融液を形成することにより、融液からのTe原子またはZn原子の蒸発が抑制され、III−V族化合物単結晶にドーピングされるTe原子またはZn原子の損失が抑制される。
本III−V族化合物単結晶の製造方法は、III−V族化合物原料とドーピング材料とを含む融液から種結晶を用いてドーパントを含むIII−V族化合物単結晶を成長させる方法であれば、各種の単結晶成長方法に適用することができる。具体的には、CZ法、LEC法などの引上法、HB法、GF法などの横型ボート法、VB法、VGF法など縦型ボート法などに適用することができる。これらの単結晶成長方法のうち、大口径で転位密度の低い単結晶が得られる観点から、VB法、VGF法など縦型ボート法、CZ法、LEC法などの引上法が好ましく用いられる。
ここで、図1および図3を参照して、本発明にかかるIII−V族化合物単結晶の製造方法のVB法に適用する実施形態について説明する。
図3を参照して、VB法に用いられるVB装置10は、外側容器16と、結晶成長容器11、結晶成長容器11を収納する容器12、容器12を昇降させる昇降軸13、容器12の外周に設けられた円筒形のヒータ14a,14b,14c,14d,14e、これらのヒータ14a,14b,14c,14d,14eの外周に設けられた円筒形の断熱材15を備える。
VB法による結晶成長方法とは、図3を参照して、結晶成長容器11に種結晶1と接触する融液4と種結晶1を収納し、融液4の表面から融液4と種結晶1との界面にかけて温度が低下するような温度勾配がかかるようにヒータ14a,14b,14c,14d,14eの温度を調節して(たとえば、ヒータ14aの温度T14a、ヒータ14bの温度T14b、ヒータ14cの温度T14c、ヒータ14dの温度T14dおよびヒータ14eの温度T14eを、T14a≦T14b≦T14c≦T14d≦T14eとして)、融液4から種結晶1上にIII−V族化合物単結晶5を成長させる方法である。
本発明においては、まず、III−V族化合物単結晶のドーパント原料として、III族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金を準備する。上記の合金におけるTeまたはZnの原子%には、特に制限はないが、40原子%以上70原子%以下が好ましい。TeまたはZnの原子%が小さくなるほどドーパント量が少なくなり、大きくなるほどTe原子またはZn原子の融液からの蒸発が大きくなる。
また、上記合金の製造方法には、特に制限はなく、たとえばIII族元素とTe単体またはIII族元素と金属Znを加熱溶融させた後、除冷することにより上記合金が得られる。III族元素がたとえばGaである場合において、たとえばGaTe合金(Ga原子%:Te原子%=50:50)を得るためには、図4を参照して、等原子(モル)量の金属GaおよびTe単体を850℃以上に加熱溶融させた後除冷する。また、たとえばGaZn合金(Ga原子%:Zn原子%=50:50)を得るためには、図5を参照して、等原子(モル)量の金属Gaおよび金属Znを420℃以上に加熱溶融させた後除冷する。
次に、図1および図3を参照して、図1(a)に示すように、VB装置10内の結晶成長容器11に、上記のドーパント原料3(III族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金)と、III−V族化合物原料2と、種結晶1とを収納する。
ここで、III−V族化合物原料は、III族元素およびV族元素を含有する原料であれば特に制限なく、アモルファス(非結晶体)、多結晶体、多形体などが用いられる。また、III族元素の単体または化合物とV族元素の単体または化合物とをIII−V族化合物原料として用いることもできる。たとえば、III−V族化合物単結晶としてGaAs単結晶を成長させる場合には、III−V族化合物原料として、GaAs非結晶体、GaAs多結晶体の他、金属GaとAs単体とをも用いることができる。また、種結晶は、特に制限はないが、転位密度の小さい単結晶を成長させる観点から、成長させる単結晶と同種類の単結晶が好ましく用いられる。
次に、図1および図3を参照して、ヒータ14a,14b,14c,14d,14eにより結晶成長容器11を加熱することにより、図1(b)に示すように、ドーパント原料とIII−V族化合物原料とを含む融液4を、種結晶1に接触するように形成する。
次に、図1および図3を参照して、ヒータ14a,14b,14c,14d,14eの温度を調節して、融液4の表面から融液4と種結晶1との界面にかけて温度が低下するような温度勾配をかけることにより、図1(c)に示すように、融液4からドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族化合物単結晶5を種結晶1上に成長させる。さらに、図3に示すように、昇降軸13を下降させることにより、結晶成長容器11を降下させて、さらに融液4からIII−V族化合物単結晶5を成長させる。
本発明にかかるIII−V族化合物単結晶の製造方法において、図1および図2を参照して、ドーパント原料3とIII−V族化合物原料2と種結晶1とを結晶成長容器11に収納する工程が、ドーパント原料3をIII−V族化合物原料2に埋め込む工程と、ドーパント原料1が埋め込まれたIII−V族化合物原料2と種結晶1とを結晶成長容器に収納する工程とを含むことができる。
III元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金とされたドーパント原料をさらにIII−V族化合物原料に埋め込むことにより、Te原子またはZn原子が融液から蒸発するのをさらに抑制することができる。
ここで、図2を参照して、III−V族化合物原料2にドーパント原料3を埋め込む工程を詳細に説明する。まず、図2(a)に示すように、III−V族化合物原料(幅W×幅W×高さH)に穴2h(直径D×深さL)をあける。III−V族化合物原料と穴との大きさには特に制限はないが、たとえば、幅30mm×幅30mm×高さ30mm程度のIII−V族化合物原料2に、直径15mm×深さ20mm程度の穴をあけることにより、ドーパント原料3を確実にIII−V族化合物原料2に埋め込むことができる。
次に、図2(b)に示すように、上記穴2hにドーパント原料3を収納した後、図2(c)に示すように、上記穴2hをIII−V族化合物原料2pで塞ぐことにより、ドーパント原料3がIII−V族化合物原料2に埋め込まれる。
なお、ドーパント原料の量によっては、ドーパント原料が埋め込まれたIII−V族化合物原料(以下、ドーパント埋め込み原料という)とドーパント原料が埋め込まれていないIII−V族化合物原料が存在する場合があるが、この場合には、ドーパント埋め込み原料は、結晶成長容器に収納されたIII−V族化合物原料全体高さの半分の高さより底部側の領域に配置されていることが、融液からのドーパントの蒸発を抑制する観点から好ましい。
(実施例1)
図1および図3を参照して、まず、図1(a)に示すように、結晶成長容器11として内径7.62cm(3インチ)×高さ40cmのpBN(pyrolytic boron nitride)製の坩堝を用いて、この坩堝に、種結晶としてGaAs単結晶と、III−V族化合物原料2として3.5kgのGaAs多結晶体と、ドーパント原料3として2.5gのGaTe合金(Ga原子%:Te原子%=50:50、Te含有量1.6g)とを収納した。次に、図1(b)に示すように、1240℃以上に加熱して、GaTeおよびGaAsを含む融液4を、種結晶1に接触するように形成した。次に、図1(c)に示すように、融液4と結晶(種結晶1またはIII−V族化合物単結晶5)との界面における結晶成長温度を1238℃、融液側の温度勾配を1〜2℃/cm、結晶側の温度勾配を5〜6℃/cmとして、III−V族化合物単結晶5であるGaAs単結晶を成長させた。
図1および図3を参照して、まず、図1(a)に示すように、結晶成長容器11として内径7.62cm(3インチ)×高さ40cmのpBN(pyrolytic boron nitride)製の坩堝を用いて、この坩堝に、種結晶としてGaAs単結晶と、III−V族化合物原料2として3.5kgのGaAs多結晶体と、ドーパント原料3として2.5gのGaTe合金(Ga原子%:Te原子%=50:50、Te含有量1.6g)とを収納した。次に、図1(b)に示すように、1240℃以上に加熱して、GaTeおよびGaAsを含む融液4を、種結晶1に接触するように形成した。次に、図1(c)に示すように、融液4と結晶(種結晶1またはIII−V族化合物単結晶5)との界面における結晶成長温度を1238℃、融液側の温度勾配を1〜2℃/cm、結晶側の温度勾配を5〜6℃/cmとして、III−V族化合物単結晶5であるGaAs単結晶を成長させた。
得られたGaAs結晶におけるTe原子のドーパント率(仕込みのドーパント質量に対する結晶内に入ったドーパント質量の百分率)は25%であった。また、このGaAs結晶の中央部において、ドーパントとして入ったTe原子濃度は1.9×1018cm-3であった。ここで、結晶内に入ったドーパント質量は、結晶の各部におけるドーパント濃度(本実施例においてはTe原子濃度)を積分することにより求めた。また、結晶内のドーパント濃度はグロー放電型質量分析法により測定した。
また、このGaAs単結晶の成長開始点から長さ2.0cm後の中央部(以下、成長初期部という)におけるTe原子濃度は8.6×1017cm-3であり、成長終了点から長さ2.0cm前の中央部(以下、成長終期部という)におけるTe原子濃度は3.7×1018cm-3であった。結果を表1にまとめた。
また、実施例1と同様の条件で、2ロット目、3ロット目のGaAs単結晶の成長を行なった。2ロット目のGaAs単結晶のTe原子のドーパント率は26%であり、その中央部におけるTe原子濃度は2.1×1018cm-3であった。また、3ロット目のGaAs単結晶のTe原子のドーパント率は25%であり、その中央部におけるTe原子濃度は1.9×1018cm-3であった。結果を表1にまとめた。
(比較例1)
ドーパント原料3として1.8gのTe単体を用いた他は、実施例1と同様にして、GaAs単結晶を成長させた。このGaAs単結晶のTe原子のドーパント率は10%であり、その中央部におけるTe原子濃度は1.7×1018cm-3であった。また、このGaAs単結晶の成長初期部および成長終期部におけるTe原子濃度はそれぞれ8.4×1017cm-3、3.7×1018cm-3であった。
ドーパント原料3として1.8gのTe単体を用いた他は、実施例1と同様にして、GaAs単結晶を成長させた。このGaAs単結晶のTe原子のドーパント率は10%であり、その中央部におけるTe原子濃度は1.7×1018cm-3であった。また、このGaAs単結晶の成長初期部および成長終期部におけるTe原子濃度はそれぞれ8.4×1017cm-3、3.7×1018cm-3であった。
また、比較例1と同様の条件で、2ロット目、3ロット目のGaAs単結晶の成長を行なった。2ロット目のGaAs単結晶のTe原子のドーパント率は9%であり、その中央部におけるTe原子濃度は1.3×1018cm-3であった。また、3ロット目のGaAs単結晶のTe原子のドーパント率は16%であり、その中央部におけるTe原子濃度は1.7×1018cm-3であった。結果を表1にまとめた。
(実施例2)
ドーパント原料3として7.0gのGaZn合金(Ga原子%:Zn原子%=50:50、Zn含有量3.4g)を用いた他は、実施例1と同様にして、GaAs単結晶を成長させた。このGaAs単結晶のZn原子のドーパント率は60%であり、その中央部におけるZn原子濃度は1.8×1019cm-3であった。結果を表1にまとめた。
ドーパント原料3として7.0gのGaZn合金(Ga原子%:Zn原子%=50:50、Zn含有量3.4g)を用いた他は、実施例1と同様にして、GaAs単結晶を成長させた。このGaAs単結晶のZn原子のドーパント率は60%であり、その中央部におけるZn原子濃度は1.8×1019cm-3であった。結果を表1にまとめた。
(比較例2)
ドーパント原料3として3.0gの金属Znを用いた他は、実施例2と同様にして、GaAs単結晶を成長させた。このGaAs単結晶のZn原子のドーパント率は35%であり、その中央部におけるZn原子濃度は2.0×1019cm-3であった。結果を表1にまとめた。
ドーパント原料3として3.0gの金属Znを用いた他は、実施例2と同様にして、GaAs単結晶を成長させた。このGaAs単結晶のZn原子のドーパント率は35%であり、その中央部におけるZn原子濃度は2.0×1019cm-3であった。結果を表1にまとめた。
上記表1において、実施例1と比較例1とを、実施例2と比較例2とを対比すると明らかなように、ドーパント原料としてTe単体に変えてGaTe合金を用いることによりGaAs単結晶へのTe原子のドーパント率は10%から25%に向上し、金属Znに変えてGaZn合金を用いることによりGaAs単結晶へのZn原子のドーパント率は35%から60%に向上した。
また、ドーパント原料としてTe単体に変えてGaTe合金を用いることにより、GaAs単結晶中(ロット内)およびGaAs単結晶間(ロット間)のTe原子濃度のばらつきが小さくなった。これは、ドーパント原料としてGaTe合金を用いることにより、融液へのTe原子がより均一に拡散していることを示すものと考えられる。
なお、今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
上記のように、本発明によればIII−V族化合物単結晶のドーパントであるTe原子またはZn原子の損失を少なくできるため、III−V族化合物単結晶の製造方法に広く利用することができる。
1 種結晶、2,2p III−V族化合物原料、2h 穴、3 ドーパント原料、4 融液、5 III−V族化合物単結晶、10 VB装置、11 結晶成長容器、12 容器、13 昇降軸、14a,14b,14c,14d,14e ヒータ、15 断熱材、16 外側容器。
Claims (2)
- ドーパントを含むIII−V族化合物単結晶の製造方法であって、
ドーパント原料としてIII族元素とTeとを含む合金またはIII族元素とZnとを含む合金を準備する工程と、
前記ドーパント原料とIII−V族化合物原料と種結晶とを結晶成長容器に収納する工程と、
前記ドーパント原料と前記III−V族化合物原料とを含む融液を前記種結晶に接触するように形成する工程と、
前記融液からドーパントとしてTe原子またはZn原子を含むIII−V族窒化物単結晶を前記種結晶上に成長させる工程とを含むIII−V族化合物単結晶の製造方法。 - 前記ドーパント原料と前記III−V族化合物原料と前記種結晶とを前記結晶成長容器に収納する工程が、前記ドーパント原料を前記III−V族化合物原料に埋め込む工程と、前記ドーパント原料が埋め込まれたIII−V族化合物原料と前記種結晶とを前記結晶成長容器に収納する工程とを含む請求項1に記載のIII−V族化合物単結晶の製造方法。
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JP2004263538A JP2006076838A (ja) | 2004-09-10 | 2004-09-10 | Iii−v族化合物単結晶の製造方法 |
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