JP2006070345A - フラットパネルディスプレイ用Ag基合金配線電極膜およびAg基合金スパッタリングターゲット、並びにフラットパネルディスプレイ - Google Patents
フラットパネルディスプレイ用Ag基合金配線電極膜およびAg基合金スパッタリングターゲット、並びにフラットパネルディスプレイ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 フラットパネルディスプレイ用の配線電極膜であって、Biを0.01〜1.5at%含有し(Cu、Au及びPdよりなる群から選択される1種以上を合計で0.1〜1.5at%含んでいてもよい)、残部実質的にAgからなることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用Ag基合金配線電極膜。
Description
次の要領で評価用薄膜を作製した。ターゲットとして純Agスパッタリングターゲット(サイズφ101.6mm×t5mm)か、純Agスパッタリングターゲット上に合金元素のチップ(サイズ5mm×5mm×t1mm)を所定数配置した複合スパッタリングターゲット(サイズφ101.6mm×t5mm)、またはAg基合金スパッタリングターゲット(サイズφ101.6mm×t5mm)のいずれかを用い、スパッタリング装置〔(株) 島津製作所製HSM-552〕を使用して、DCマグネトロンスパッタリング法(背圧:0.27×10-3Pa以下,Arガス圧:0.27Pa,Arガス流量:30sccm,スパッタパワー:DC 200 W,極間距離:52mm,基板温度:150℃)で、ガラス基板(Corning社製♯1737,直径:50.8mm,厚さ:0.7mm)上に、表1または表2に示す目標膜厚300nmの純Ag薄膜またはAg基合金薄膜を成膜した。これらの評価用薄膜のうち、純Ag薄膜(試料No.1)を除くAg基合金薄膜(試料No.2〜15)の組成は、ICP(Inductively Coupled Plasma)発光分析法またはICP質量分析法で調べた。この様にして得られた評価用薄膜の耐凝集性と電気抵抗率を下記の通り評価した。
本発明では、耐凝集性を「加熱処理により生じるAgの凝集が抑制され、該凝集に起因する表面粗さ(平均粗さRa)の増加が抑制される性能」と定義し、以下の要領で測定した表面粗さの増加量によって耐凝集性を評価した。まず、走査型プローブ顕微鏡(Digital Instruments社製Nanoscope IIIa)を用いて、AFM(Atomic Force Microscope)観察モードにより、評価用薄膜の表面粗さを測定した。次に、これらの評価用薄膜に対し、下記の条件で加熱処理を行った。
・雰囲気:大気中(1条件)
・加熱温度:450℃,500℃,550℃(3条件)
・加熱時間:0.5h(1条件)
・加熱繰り返し回数:1,2,3,4,5回(5条件)
(以上、合計15条件)
次に、以下の要領で電気抵抗率を測定した。まず日置電機(株)製3226 mΩ Hi TESTERを用いて直流四探針法によりシート抵抗Rsを測定し、次にTENCOR INSTRUMENTS社製alpha-step 250を用いて膜厚tを測定し、これらの結果を基に、電気抵抗率ρ(シート抵抗Rs×膜厚t)を算出し、この電気抵抗率ρの数値から、いずれの薄膜も加熱処理前は凝集が生じていないことを確認した。
Claims (5)
- フラットパネルディスプレイ用の配線電極膜であって、Biを0.01〜1.5at%含有し、残部実質的にAgからなることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用Ag基合金配線電極膜。
- 更にCu、Au及びPdよりなる群から選択される1種以上を合計で0.1〜1.5at%含有する請求項1に記載のフラットパネルディスプレイ用Ag基合金配線電極膜。
- 前記請求項1または請求項2に記載のフラットパネルディスプレイ用Ag基合金配線電極膜の成膜に用いられるスパッタリングターゲットであって、Biを0.1〜9at%含有し、残部実質的にAgからなることを特徴とするAg基合金スパッタリングターゲット。
- 更にCu、Au及びPdよりなる群から選択される1種以上を合計で0.1〜1.5at%含有する請求項3に記載のAg基合金スパッタリングターゲット。
- 前記請求項1または請求項2に記載のフラットパネルディスプレイ用Ag基合金配線電極膜を用いたものであることを特徴とするフラットパネルディスプレイ。
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