JP2006070309A - Crucible for vapor deposition, and vapor deposition apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crucible for vapor deposition capable of enhancing the yield by preventing occurrence of splash when melting a vapor deposition material. <P>SOLUTION: A degassing cutout part 11 to connect an upper face 10a of a crucible to a lower face 10b thereof is formed in an outer circumferential surface of a crucible 10 for vapor deposition which is opened upwardly and downwardly and has a cavity part 6 to store sintered body pellets 2 consisting of the vapor deposition material. When the crucible 10 is attached to a recess 4 for the crucible of a hearth 3, the degassing cutout part 11 is not brought into contact with an inner wall surface of the recess 4 for the crucible, but forms the recess 4 for the crucible to be an open space. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、蒸着対象物に蒸着材料を蒸着する際に用いられる蒸着用るつぼおよび蒸着装置に関するものである。   The present invention relates to a crucible for vapor deposition and a vapor deposition apparatus used when vapor deposition material is vapor-deposited on a vapor deposition object.

電子ビームによって蒸着材料を溶融して蒸発させ、基板、眼鏡用レンズ等の蒸着対象物に蒸着材料を蒸着する蒸着装置は、蒸着材料からなる焼結体ペレットを蒸着用るつぼにが装填し、このるつぼを水冷式のハースに装着し、電子ビームの照射によって前記焼結体ペレットの上層部を溶融、蒸発させることにより、蒸着材料を蒸着対象物に蒸着するものである（例えば、特許文献１，２参照）。
実公平７−４５５６０号公報 実開平５−７２９６４号公報 A vapor deposition apparatus that melts and vaporizes a vapor deposition material by an electron beam and deposits the vapor deposition material on a vapor deposition target such as a substrate or a lens for eyeglasses is loaded with a sintered pellet made of the vapor deposition material in a vapor deposition crucible. A crucible is attached to a water-cooled hearth, and the upper layer portion of the sintered pellet is melted and evaporated by irradiation with an electron beam, thereby depositing a deposition material on the deposition target (for example, Patent Document 1, 2).
No. 7-45560 Japanese Utility Model Publication No. 5-72964

このような蒸着装置に用いられる蒸着用るつぼとしては、上方のみが開放した有底筒状のるつぼと、上下が開放した無底筒状のものとの２種類がある（例えば、特許文献３〜５参照）。これらのるつぼのうち本発明は後者の無底筒状の蒸着用るつぼに関するものであり、特に蒸着材料の飛散（スプラッシュともいう）を防止し得るようにした蒸着用るつぼを提供することにある。
実開平３−１８１６２号公報 実公平６−９０１１号公報 特開２００３−１４７５０９号公報 As a crucible for vapor deposition used in such a vapor deposition apparatus, there are two types, a bottomed cylindrical crucible opened only at the top and a bottomless cylindrical crucible opened up and down (for example, Patent Documents 3 to 3). 5). Among these crucibles, the present invention relates to the latter bottomless cylindrical vapor deposition crucible, and particularly to provide a vapor deposition crucible that can prevent the vapor deposition material from scattering (also called splash).
Japanese Utility Model Publication No. 3-18162 Japanese Utility Model Publication No. 6-9011 JP 2003-147509 A

蒸着装置による蒸着対象物への蒸着が終了すると、蒸着材料は冷えて固まりその一部がるつぼの内壁面に固着する。蒸着用るつぼは次の蒸着に再利用するために、内壁面に固着した焼結体ペレットを適宜な工具で叩いたり掻き落として取り除く必要がある。その際、無底筒状の蒸着用るつぼは、上下の開口部のどちらからでも工具を差し込めることから、有底筒状の蒸着用るつぼに比べて蒸着材料の除去作業を容易に行えるという利点を有する。   When the vapor deposition on the vapor deposition object by the vapor deposition apparatus is completed, the vapor deposition material is cooled and solidified, and a part thereof is fixed to the inner wall surface of the crucible. In order to reuse the crucible for vapor deposition for the next vapor deposition, it is necessary to remove the sintered pellet fixed to the inner wall surface by hitting or scraping it off with an appropriate tool. In that case, since the bottomless cylindrical vapor deposition crucible can insert a tool from either of the upper and lower openings, it is easier to remove the vapor deposition material than the bottomed cylindrical vapor deposition crucible Have

蒸着るつぼに装填した蒸着材料からなる焼結体ペレットを電子ビームの照射によって加熱し溶融することにより、蒸着材料のスプラッシュが発生する。このスプラッシュした微細な蒸着材料が蒸着対象物に達すると被蒸着面に付着したり、その表面が損傷したりするため蒸着製品に不良が生じ、歩留りを低下させるという不具合があった（例えば、特許文献６参照）。このような蒸着材料のスプラッシュは、蒸着材料に高エネルギーを与えるため、主として蒸着材料中に存在する空隙を満たしていた気体や蒸着材料自体の解離により発生した気体が急激に膨張し、蒸着材料の溶融部分から破裂することにより生じるものである。
特開２０００−６３１７１ The sintered compact pellet made of the vapor deposition material loaded in the vapor deposition crucible is heated and melted by irradiation with an electron beam, thereby generating a splash of the vapor deposition material. When the splashed fine vapor deposition material reaches the vapor deposition object, it adheres to the vapor deposition surface or the surface thereof is damaged, resulting in a defect in the vapor deposition product and a decrease in yield (for example, patents). Reference 6). Since the vapor deposition material splash imparts high energy to the vapor deposition material, the gas that mainly fills the voids present in the vapor deposition material or the gas generated by the dissociation of the vapor deposition material itself rapidly expands, It is caused by bursting from the melted part.
JP 2000-63171 A

スプラッシュが生じる様子を図９および図１０を用いて説明する。図９は従来の蒸着用るつぼの外観斜視図、図１０（ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態、（ｂ）は電子ビームにより焼結体ペレットの上層部が溶融された状態を示す図である。これらの図において、１は無底筒状の蒸着用るつぼ、２は蒸着材料の焼結体ペレット、３は蒸着用るつぼ１が装着される水冷式のハース、４は蒸着用るつぼ１が嵌挿されるるつぼ用凹部、５はハース２内に設けられた冷却水通路である。   A state in which splash occurs will be described with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. 9 is an external perspective view of a conventional vapor deposition crucible, FIG. 10A is a state before the sintered pellet is melted, and FIG. 9B is a state where the upper layer portion of the sintered pellet is melted by an electron beam. FIG. In these figures, 1 is a bottomless cylindrical vapor deposition crucible, 2 is a sintered pellet of vapor deposition material, 3 is a water-cooled hearth to which the vapor deposition crucible 1 is attached, and 4 is a vapor deposition crucible 1 inserted. The crucible recess 5 is a cooling water passage provided in the hearth 2.

蒸着用るつぼ１は、通常熱伝導率の高い材料、例えば銅、アルミニウム、黒鉛、タングステン等によって上端から下端に向かって小径化する逆截頭円錐形を呈する筒体に形成され、内部には上下方向に全長にわたって同一内径の円柱状空洞部６が形成されている。空洞部６は蒸着るつぼ１の上方および下方が開放しており、穴径が焼結体ペレット２の外径より若干大きく設定されている。焼結体ペレット２は、全長にわたって同一外径の円柱体に形成されている。ハース３は、銅などの熱伝導率の高い材料からなる。ハース３のるつぼ用凹部４は、蒸着用るつぼ１の外形状と略同一の大きさのテーパ穴からなり、冷却効率を高めるために内壁面に蒸着用るつぼ１の外周面が接触している。   The crucible 1 for vapor deposition is formed in a cylindrical body having a reverse truncated cone shape whose diameter decreases from the upper end to the lower end with a material having high thermal conductivity, such as copper, aluminum, graphite, tungsten, etc. A cylindrical cavity 6 having the same inner diameter is formed over the entire length in the direction. The cavity 6 is open above and below the vapor deposition crucible 1, and the hole diameter is set slightly larger than the outer diameter of the sintered pellet 2. The sintered pellet 2 is formed into a cylindrical body having the same outer diameter over the entire length. Hearth 3 is made of a material having high thermal conductivity such as copper. The recess 4 for the crucible of the hearth 3 is formed by a tapered hole having the same size as the outer shape of the vapor deposition crucible 1, and the outer peripheral surface of the vapor deposition crucible 1 is in contact with the inner wall surface in order to increase the cooling efficiency.

真空中において電子ビームを焼結体ペレット２の上面に照射すると、焼結体ペレット２の上層部が溶融して蒸発する。焼結体ペレット２が熱伝導率の高い蒸着材料である場合、電子ビームによってペレットの上面中央部を溶融すると、その溶融部分２ａ（図１０（ｂ）の斜線部）は熱伝導によりペレットの上面全体にわたって広がり、最外周部が蒸着るつぼ１の内壁面に接触する。一方、蒸着るつぼ１はハース３に接触して冷却されているため、溶融部分２ａの最外周部分が冷却して蒸着用るつぼ１の内壁面に固着し、るつぼの上方側の開口部を閉塞する。図１０（ｂ）はこの状態を示す。   When an upper surface of the sintered pellet 2 is irradiated with an electron beam in a vacuum, the upper layer portion of the sintered pellet 2 is melted and evaporated. When the sintered pellet 2 is a vapor deposition material having a high thermal conductivity, when the upper surface central portion of the pellet is melted by an electron beam, the melted portion 2a (shaded portion in FIG. 10B) becomes the upper surface of the pellet by heat conduction. It spreads throughout and the outermost peripheral part contacts the inner wall surface of the vapor deposition crucible 1. On the other hand, since the vapor deposition crucible 1 is cooled in contact with the hearth 3, the outermost peripheral portion of the melting portion 2a cools and adheres to the inner wall surface of the vapor deposition crucible 1 and closes the opening on the upper side of the crucible. . FIG. 10B shows this state.

このように、電子ビームによって焼結体ペレット２の上層部を溶融して蒸発させているとき、溶融部分２ａの内部には気体が発生する。この気体は、焼結体ペレット２の上面が溶融部分２ａによって密閉されている状態にあるため、この溶融部分２ａを通って焼結体ペレット２の上方には放出されず、焼結体ペレット２の溶融していない部分２ｂの粒子間の微細な隙間を通って焼結体ペレット２の側方や下方に放出される。しかしながら、るつぼ用凹部４内は、蒸着用るつぼ１との接触によって密閉空間を形成しているので、焼結体ペレット２の側方や下方に放出された気体を外部に放出させ難い状態になっている。このため、溶融部分２ａ内に発生する気体は、溶融部２ａ内に滞留し易い。そして、この気体は溶融部２ａ内において徐々に成長してさらなる電子ビームによる加熱により急激に膨張すると破裂し、溶融部２ａの蒸着材料を周囲に飛散させる。   Thus, when the upper layer part of the sintered compact pellet 2 is melted and evaporated by the electron beam, gas is generated inside the melted part 2a. Since this gas is in a state in which the upper surface of the sintered body pellet 2 is sealed by the molten portion 2a, the gas is not released above the sintered body pellet 2 through the molten portion 2a. It is discharged to the side and below of the sintered pellet 2 through a fine gap between the particles of the unmelted portion 2b. However, since the inside of the crucible concave portion 4 forms a sealed space by contact with the vapor deposition crucible 1, it becomes difficult to release the gas released to the side or the lower side of the sintered pellet 2 to the outside. ing. For this reason, the gas generated in the melted part 2a tends to stay in the melted part 2a. The gas gradually grows in the melted part 2a and bursts when rapidly expanded by heating with a further electron beam, and the vapor deposition material of the melted part 2a is scattered around.

本発明は上記した従来の問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは蒸着材料の溶融時におけるスプラッシュの発生を防止し、蒸着製品の歩留りを向上させるようにした蒸着用るつぼを提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and its object is to prevent the occurrence of splash when the vapor deposition material is melted and to improve the yield of the vapor deposition product. To provide a crucible.

上記目的を達成するために第１の発明は、上方および下方が開放し、蒸着材料からなる焼結体ペレットを収容する空洞部を有する蒸着用るつぼにおいて、前記蒸着用るつぼの外周面に、蒸着るつぼの上面と下面を接続するガス抜き用切欠部を形成したものである。   In order to achieve the above object, the first invention is a vapor deposition crucible having a hollow portion for accommodating a sintered pellet made of a vapor deposition material, wherein the upper and lower sides are open, and the vapor deposition is performed on the outer peripheral surface of the vapor deposition crucible. A degassing notch for connecting the upper and lower surfaces of the crucible is formed.

第２の発明は、ガス抜き用切欠部を溝または平坦面で構成したものである。   In the second aspect of the present invention, the gas vent notch is constituted by a groove or a flat surface.

第３の発明は、ガス抜き用切欠部を蒸着用るつぼの外周面に複数形成したものである。   In the third invention, a plurality of notch portions for venting are formed on the outer peripheral surface of the crucible for vapor deposition.

第４の発明は、複数のガス抜き用切欠部を蒸着用るつぼの周方向に等間隔おいて形成したものである。   In the fourth invention, a plurality of notch portions for venting are formed at equal intervals in the circumferential direction of the crucible for vapor deposition.

第５の発明は、上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路を、前記るつぼ用凹部の内壁面に形成したものである。   5th invention has the hollow part which the upper and lower sides opened, and it attaches the crucible for vapor deposition with which the sintered compact pellet which consists of vapor deposition material was loaded in this hollow part in the crucible recessed part provided in the cooling hearth In the vapor deposition apparatus that heats, melts and evaporates the sintered pellet by an electron beam and deposits it on a deposition target, the space formed between the vapor deposition crucible and the crucible recess is opened to the outside. The passage to be formed is formed in the inner wall surface of the crucible recess.

本発明においては、蒸着用るつぼをハースのるつぼ用凹部に装着した状態において、ガス抜き用切欠部は、るつぼ用凹部の内壁面と接触せずにガス抜き用の通路を形成し、るつぼ用凹部を外部と連通する開放空間とする。また、蒸着用るつぼ側の代わりにハース側に形成した通路もるつぼ用凹部を開放空間とする。このため、溶融した蒸着材料内に発生した気体は急激に膨張する以前に溶融していない部分を通って焼結体ペレットの側方および下方に抜けると、ペレットの外周面とるつぼの内壁面との間およびペレットの下面とるつぼ用凹部の底面との間を通り、前記通路からるつぼ用凹部の外部に放出される。したがって、蒸着材料の溶融部内で発生した気体が成長したり破裂するようなことはなく、蒸着材料のスプラッシュを防止することができる。特に、熱伝導率が高く、電子ビームで加熱したときに焼結体ペレットの上層部全体が溶融するような蒸着材料を使用した場合に効果的である。   In the present invention, in a state where the vapor deposition crucible is attached to the hearth crucible recess, the gas vent notch forms a gas vent passage without contacting the inner wall surface of the crucible recess, and the crucible recess Is an open space that communicates with the outside. Further, the crucible recess is also used as an open space in the passage formed on the hearth side instead of the evaporation crucible side. For this reason, when the gas generated in the melted vapor deposition material passes through the part that has not melted before expanding rapidly, to the side and below the sintered pellet, the outer peripheral surface of the pellet and the inner wall surface of the crucible Between the lower surface of the pellet and the bottom surface of the crucible recess, and is discharged from the passage to the outside of the crucible recess. Therefore, the gas generated in the melted portion of the vapor deposition material does not grow or burst, and splash of the vapor deposition material can be prevented. In particular, it is effective when a vapor deposition material is used that has a high thermal conductivity and melts the entire upper part of the sintered pellet when heated by an electron beam.

以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本願発明に係る蒸着用るつぼを蒸着装置の水冷式ハースに装着した状態を示す平面図、図２は蒸着用るつぼ、焼結体ペレットおよびハースの要部の外観斜視図、図３は同蒸着用るつぼをハースのるつぼ用凹部に装填した状態の平面図、図４（ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態における図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は焼結体ペレットを溶融した状態における図３のＡ−Ａ線断面図である。なお、従来技術の欄で説明した部品等と同一のものについては同一符号をもって示す。これらの図において、全体を符号１０で示すものは、蒸着用るつぼ（以下、単につるぼともいう）、２はるつぼ１０に装填される焼結体ペレット、３は水冷式のハースである。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings.
1 is a plan view showing a state in which a vapor deposition crucible according to the present invention is mounted on a water-cooled hearth of a vapor deposition apparatus, FIG. 2 is an external perspective view of the main parts of the vapor deposition crucible, sintered pellets and hearth, FIG. FIG. 4A is a plan view showing a state where the crucible for vapor deposition is loaded in the recess for the hearth crucible, FIG. 4A is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 3 before the sintered compact is melted, and FIG. It is the sectional view on the AA line of FIG. 3 in the state which fused the pellet. The same parts as those described in the prior art column are denoted by the same reference numerals. In these drawings, what is generally indicated by reference numeral 10 is a crucible for vapor deposition (hereinafter also simply referred to as a crucible), 2 is a sintered pellet loaded in the crucible 10, and 3 is a water-cooled hearth.

前記るつぼ１０は、上端より下端に向かって小径化する逆截頭円錐形を呈する無底筒状体に形成され、焼結体ペレット２が装填される空洞部６を有している。前記空洞部６は、穴径が全長にわたって同一の円柱状に形成され、るつぼ１０の上方および下方に開口している。るつぼ１０の外周面には、２つのガス抜き用切欠部１１が周方向に１８０°離間して形成されている。このガス抜き用切欠部１１は、るつぼ１０の外周面の一部をＤ字状にカットすることにより形成された平坦面で構成されている。また、ガス抜き用切欠部１１は、るつぼ１０の高さ方向の全長にわたって形成することによりるつぼ１０の上面１０ａと下面１０ｂを接続している。このようなガス抜き用切欠部１１は、るつぼ１０をハース３のるつぼ用凹部４内に装填した状態において、るつぼ用凹部４の内壁面と接触せず、るつぼ用凹部４の内部を外部に連通させる通路１５を形成する。   The crucible 10 is formed in a bottomless cylindrical body having a reverse truncated cone shape with a diameter decreasing from the upper end toward the lower end, and has a hollow portion 6 in which the sintered pellet 2 is loaded. The hollow portion 6 is formed in a columnar shape having the same hole diameter over the entire length, and opens above and below the crucible 10. Two degassing notches 11 are formed on the outer peripheral surface of the crucible 10 so as to be separated from each other by 180 ° in the circumferential direction. This notch part 11 for gas venting is comprised by the flat surface formed by cutting a part of outer peripheral surface of the crucible 10 in D shape. Further, the gas vent notch 11 connects the upper surface 10 a and the lower surface 10 b of the crucible 10 by being formed over the entire length in the height direction of the crucible 10. In the state where the crucible 10 is loaded in the crucible recess 4 of the hearth 3, the gas vent notch 11 does not contact the inner wall surface of the crucible recess 4 and communicates the inside of the crucible recess 4 to the outside. A passage 15 is formed.

るつぼ１０の材質としては、通常熱伝導率の高い材料、例えば銅、アルミニウム、黒鉛、タングステン等が用いられる。因みに、るつぼ１０の大きさは、高さが１５．５ｍｍ、外径は上端が３０．２ｍｍ、下端が２４．５ｍｍ（いずれもガス抜き用切欠部１１のない部分）、空洞部６の穴径は２２．６ｍｍ、ガス抜き用切欠部１１が形成されている上端側と下端側における最も薄い部分の厚さＷ1 ，Ｗ2 は、２．８ｍｍ、０．６ｍｍである。ガス抜き用切欠部１１の厚さＷ1 ，Ｗ2 や幅は、るつぼ１０の強度とハース３との接触による冷却性能、るつぼ用凹部４によるるつぼ１０の保持性能等を考慮して決定される。ガス抜き用切欠部１１を大きく形成した場合は、るつぼ用凹部４の内壁面とガス抜き用切欠部１１との間にできる通路１５も大きくなるので、溶融した蒸着材料が付着するなどしても通気が妨げられるおそれが少ない。また、るつぼ１０のガス抜き用切欠部１１が形成されている部分の肉厚Ｗ1 ，Ｗ2 を他の部分の肉厚の半分以上にしておくと、るつぼ１０の強度を著しく低下させることがない。 As a material of the crucible 10, a material having high thermal conductivity, for example, copper, aluminum, graphite, tungsten or the like is usually used. Incidentally, the size of the crucible 10 has a height of 15.5 mm, an outer diameter of 30.2 mm at the upper end, and 24.5 mm at the lower end (both without the degassing notch 11), and the hole diameter of the cavity 6 Is 22.6 mm, and the thicknesses W 1 and W 2 of the thinnest portions on the upper end side and the lower end side where the gas vent notch 11 is formed are 2.8 mm and 0.6 mm. The thicknesses W 1 , W 2 and width of the degassing notch 11 are determined in consideration of the strength of the crucible 10 and the cooling performance due to contact with the hearth 3, the holding performance of the crucible 10 by the crucible recess 4 and the like. . When the degassing notch portion 11 is formed large, the passage 15 formed between the inner wall surface of the crucible recess 4 and the degassing notch portion 11 is also enlarged, so that even if a molten vapor deposition material adheres, etc. There is little risk of airflow obstruction. Further, if the thickness W 1 , W 2 of the portion where the degassing notch 11 of the crucible 10 is formed is more than half of the thickness of the other portion, the strength of the crucible 10 may be significantly reduced. Absent.

本実施の形態では、ガス抜き用切欠部１１を点対称になるように周方向に１８０°離間させて２つ形成した場合を示したが、これに限らずガス抜き用切欠部は１つであってもよく、また３つ以上であってもよい。また、ガス抜き用凹部１１を周方向において等間隔に設けた例を示したが、これに限らず等間隔ではない位置に設けてもよい。なお、ガス抜き用切欠部１１を複数設ける場合、周方向において等間隔に設けると、るつぼ１０の温度の偏りを防止することができるためより好ましい。   In the present embodiment, the case where two gas vent notches 11 are formed 180 degrees apart in the circumferential direction so as to be point-symmetric is shown. However, the present invention is not limited to this, and there is one gas vent notch. There may be three or more. Moreover, although the example which provided the recessed part 11 for gas venting at equal intervals in the circumferential direction was shown, you may provide in the position which is not restricted to this but is not equal intervals. In the case where a plurality of the gas venting notches 11 are provided, it is more preferable to provide them at equal intervals in the circumferential direction because the temperature deviation of the crucible 10 can be prevented.

前記焼結体ペレット２は、蒸着材料の粉末を加圧プレスで成形し、常圧中で電気炉により１０００〜１４００℃に加熱して焼成処理することにより形成されたものであり、前記空洞部６より若干小さい外径を有する円柱状に形成されている。蒸着材料としては、眼鏡用レンズに反射防止膜を蒸着する場合、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム等が用いられる。例えば、酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）の粉末を、重量比９５：５の割合で混合し、３００ｋｇ／ｃｍ2 で加圧プレスした後、１３００℃で２４時間加熱して、直径２１．８〜２２．５ｍｍ、高さ１５．５〜１６．０ｍｍの円柱状の焼結体ペレットを製作する。 The sintered pellet 2 is formed by forming powder of a vapor deposition material with a pressure press, and heating and baking it at 1000 to 1400 ° C. in an electric furnace under normal pressure. It is formed in a cylindrical shape having an outer diameter slightly smaller than 6. As a vapor deposition material, niobium oxide, tantalum oxide, titanium oxide, zirconium oxide, yttrium oxide, or the like is used when an antireflection film is deposited on a spectacle lens. For example, powders of niobium oxide (Nb 2 O 5 ) and zirconium oxide (ZrO 2 ) are mixed at a weight ratio of 95: 5, press-pressed at 300 kg / cm 2 , and heated at 1300 ° C. for 24 hours. A cylindrical sintered pellet having a diameter of 21.8 to 22.5 mm and a height of 15.5 to 16.0 mm is manufactured.

このような焼結体ペレット２は、るつぼ１０とともにハース３のるつぼ用凹部４に装填される。この状態において、るつぼ１０の外周面（但し、ガス抜き用切欠部１１は除く）はるつぼ用凹部４の内壁面に接触している。焼結体ペレット２は、下端部がるつぼ１０の下方に突出して下面がるつぼ用凹部４の底面に接触し、上面がるつぼ１０の上面と略同一面を形成するかまたはそれ以下であることが好ましい。   Such a sintered pellet 2 is loaded into the crucible recess 4 of the hearth 3 together with the crucible 10. In this state, the outer peripheral surface of the crucible 10 (except for the gas vent notch 11) is in contact with the inner wall surface of the crucible recess 4. The sintered body pellet 2 has a lower end protruding below the crucible 10 and a lower surface contacting the bottom surface of the crucible recess 4, and an upper surface forming substantially the same surface as the upper surface of the crucible 10 or less. preferable.

るつぼ１０に焼結体ペレット２を装填した状態において、るつぼ１０の内壁面と焼結体ペレット３の外周面との隙間は、溶融した蒸着材料がハース３のるつぼ用凹部４内に流れ落ちないようにするために可及的小さい方が好ましいが、るつぼ１０は熱伝導率の高い金属からなり、るつぼ用凹部４の内壁面に接触して冷却水通路５内の冷却水により冷却されるため、多少の隙間であればるつぼ用凹部４内に流れ落ちる前にるつぼ１０の内壁面に接触して固化するので、特に問題になることはない。   In a state where the sintered pellet 2 is loaded in the crucible 10, the gap between the inner wall surface of the crucible 10 and the outer peripheral surface of the sintered pellet 3 prevents the melted vapor deposition material from flowing into the crucible recess 4 of the hearth 3. However, the crucible 10 is made of a metal having a high thermal conductivity and is cooled by the cooling water in the cooling water passage 5 in contact with the inner wall surface of the crucible recess 4. If it is a slight gap, it will contact the inner wall surface of the crucible 10 and solidify before flowing into the crucible recess 4, so that there is no particular problem.

前記ハース３は、銅板によって円板状に形成され、その上面には前記るつぼ１０を収納する８個のるつぼ用凹部４が回転軸１２を中心とする同一円周上に周方向に等配されて形成され、内部には前記冷却水通路５が設けられている。前記るつぼ用凹部４は、るつぼ１０の外形と略同一形状のテーパ状に形成されている。このため、るつぼ用凹部４の上端側開口部の穴径が最大で、内奥に向かって小径化しており、底面が平坦面に形成されている。るつぼ用凹部４の内壁面の垂直方向の傾斜角度は、るつぼ１０の外周面の傾斜角度より若干小さく設定されている。   The hearth 3 is formed in a disk shape by a copper plate, and eight crucible recesses 4 for accommodating the crucible 10 are arranged on the upper surface thereof in the circumferential direction on the same circumference around the rotating shaft 12. The cooling water passage 5 is provided inside. The crucible recess 4 is formed in a tapered shape that is substantially the same shape as the outer shape of the crucible 10. For this reason, the hole diameter of the opening part of the upper end side of the recessed part 4 for crucibles is the largest, it is reduced in diameter toward the inner back, and the bottom face is formed in the flat surface. The vertical inclination angle of the inner wall surface of the crucible recess 4 is set slightly smaller than the inclination angle of the outer peripheral surface of the crucible 10.

また、るつぼ用凹部４は、蒸着用るつぼ１０の高さより深く形成されている。言い換えれば、蒸着用るつぼ１０は、るつぼ用凹部４の上端の内径と一致する部分から底面までの高さが、るつぼ用凹部４の深さより短くなるように形成されている。   Further, the crucible recess 4 is formed deeper than the height of the vapor deposition crucible 10. In other words, the vapor deposition crucible 10 is formed such that the height from the portion matching the inner diameter of the upper end of the crucible recess 4 to the bottom surface is shorter than the depth of the crucible recess 4.

このように蒸着用るつぼ１０を形成することにより、蒸着用るつぼ１０は蒸着中に高温になる上部側の外周面でハース３と接触することができ、効率よく冷却することができる。また、蒸着用るつぼ１０とるつぼ用凹部４の底面との間、特に蒸着用るつぼ１０の下端とるつぼ用凹部４の底面との間に空間ができ、この空間は蒸着材料の溶融部２ａから発生した気体が通路１５に達するまでの通路となる。   By forming the evaporation crucible 10 in this manner, the evaporation crucible 10 can be in contact with the hearth 3 on the outer peripheral surface on the upper side that becomes a high temperature during the evaporation, and can be efficiently cooled. Further, a space is formed between the crucible 10 for vapor deposition and the bottom surface of the concave portion 4 for crucible, and in particular, between the lower end of the crucible 10 for vapor deposition and the bottom surface of the concave portion 4 for crucible. It becomes a passage until the gas that has reached the passage 15.

また、前記ハース３は、蒸着装置のチャンバー内に回転自在に設置されており、使用する蒸着材料を順次切り替えることができる。また、ハース３の近辺には、電子ビームの照射源である電子銃１３が配設されている。このような構成は従来から一般に知られており、例えば特許文献１，２に記載されたものがある。   Moreover, the said hearth 3 is rotatably installed in the chamber of a vapor deposition apparatus, and can sequentially switch the vapor deposition material to be used. Further, an electron gun 13 that is an electron beam irradiation source is disposed in the vicinity of the hearth 3. Such a configuration has been conventionally known, and for example, there are those described in Patent Documents 1 and 2.

前記ハース３のるつぼ用凹部４に焼結体ペレット２をるつぼ１０とともに装填すると、るつぼ１０は、上端側外周縁（ただし、ガス抜き用切欠部１１を除く）がるつぼ用凹部１０の開口部に接触し、下端が凹部４の底面から浮いた状態でるつぼ用凹部１０に保持される。るつぼ１０のガス抜き用切欠部１１は、るつぼ用凹部４の内壁面と接触せず通路１５を形成しており、るつぼ用凹部４内の開放空間を形成している。   When the sintered pellet 2 is loaded into the crucible recess 4 of the hearth 3 together with the crucible 10, the crucible 10 has an outer peripheral edge (excluding the gas vent notch 11) at the opening of the crucible recess 10. They are in contact with each other and are held in the crucible recess 10 with their lower ends floating from the bottom surface of the recess 4. The degassing notch 11 of the crucible 10 does not contact the inner wall surface of the crucible recess 4 and forms a passage 15, thereby forming an open space in the crucible recess 4.

この状態で、電子銃１３より放出された電子ビームを焼結体ペレット２の上面中央に照射すると、この照射された部分は加熱され、溶融する。そして、溶融した蒸着材料は蒸発して眼鏡用レンズ等の蒸着対象物の被蒸着面に付着し蒸着膜を形成する。   In this state, when the electron beam emitted from the electron gun 13 is irradiated onto the center of the upper surface of the sintered pellet 2, the irradiated portion is heated and melted. The melted vapor deposition material evaporates and adheres to the vapor deposition surface of the vapor deposition object such as a spectacle lens to form a vapor deposition film.

また、焼結体ペレット２の上層部の中央部分が加熱して溶融すると、この溶融部２ａは熱の伝導により上層部全体に広がる（図４（ｂ））。溶融部２ａが上層部全体に広がると、その最外周部はるつぼ１０の内壁面に接触して冷却され固着する。   When the central portion of the upper layer portion of the sintered pellet 2 is heated and melted, the melted portion 2a spreads over the entire upper layer portion due to heat conduction (FIG. 4B). When the melted part 2a spreads over the entire upper layer part, its outermost peripheral part comes into contact with the inner wall surface of the crucible 10 and is cooled and fixed.

焼結体ペレット２を電子ビームによって加熱すると、溶融部２ａ内には気体が発生するが、本発明においてはるつぼ１０に形成したガス抜き用切欠部１１によってるつぼ用凹部４を開放空間としているので、溶融部２ａ内に発生した気体をるつぼ用凹部４の外部に確実に放出させることができ、スプラッシュの発生を防止することができる。なお、溶融部２ａ内に発生する気体は、もともとペレット内部に存在していた気体や蒸着材料自体の解離により発生した気体である。焼結体ペレット２の上面は溶融部２ａによって覆われているので、ペレット内部で発生した気体が溶融部２ａの表面から上方に放出されることは少ない。しかし、るつぼ用凹部４をガス抜き用切欠部１１によって開放空間にしておくと、溶融部２ａ内に発生した気体は急激に膨張して破裂する以前に溶融していない部分２ｂの隙間を通って焼結体ペレット２の外周面および下面から外部に放出されると、焼結体ペレット２とるつぼ１０の内壁面との隙間や、焼結体ペレット２の下面とるつぼ凹部４の底面との間の隙間を通ってるつぼ用凹部４の内壁面とるつぼ１０の外周面との隙間に至る。そして、るつぼ用凹部４の内壁面とガス抜き用切欠部１１との間に形成されている通路１５を通ってるつぼ用凹部４の外部上方に放出される。したがって、溶融部２ａ内の気体が溶融部内に滞留して急激に膨張し破裂するようなことはなく、スプラッシュの発生を未然に防止することができる。   When the sintered pellet 2 is heated by an electron beam, a gas is generated in the melted portion 2a. In the present invention, the crucible recess 4 is made open by the degassing notch 11 formed in the crucible 10. The gas generated in the melting part 2a can be surely released to the outside of the crucible concave part 4, and the occurrence of splash can be prevented. Note that the gas generated in the melted part 2a is a gas originally present inside the pellet or a gas generated by dissociation of the vapor deposition material itself. Since the upper surface of the sintered pellet 2 is covered with the melting part 2a, the gas generated inside the pellet is rarely released upward from the surface of the melting part 2a. However, if the crucible recess 4 is left open by the degassing notch 11, the gas generated in the melting part 2a passes through the gap of the part 2b that has not melted before it suddenly expands and bursts. When discharged from the outer peripheral surface and the lower surface of the sintered pellet 2 to the outside, between the gap between the sintered pellet 2 and the inner wall surface of the crucible 10 and between the lower surface of the sintered pellet 2 and the bottom of the crucible recess 4 The gap between the inner wall surface of the crucible recess 4 and the outer peripheral surface of the crucible 10. And it discharge | releases to the exterior upper part of the crucible recessed part 4 through the channel | path 15 formed between the inner wall face of the crucible recessed part 4 and the notch part 11 for gas venting. Therefore, the gas in the melted part 2a does not stay in the melted part and suddenly expands and bursts, and splash can be prevented from occurring.

ここで、蒸着用るつぼ１０にガス抜き用切欠部１１を形成しておくと、溶融した蒸着材料がるつぼ１０に付着して切欠部１１を塞いだ場合は、るつぼ１０を交換すればよいので作業性がよい。   Here, if the vapor deposition crucible 10 is formed with the gas venting cutout portion 11, when the melted vapor deposition material adheres to the crucible 10 and closes the cutout portion 11, the crucible 10 may be replaced. Good sex.

図５は本発明の他の実施の形態を示す蒸着用るつぼの外観斜視図である。
この実施の形態は、るつぼ２０の外周面に形成されるガス抜き用切欠部を周方向に略等間隔おいて形成された４つの溝２１で構成したものである。溝２１の断面形状としては、半円形としたが、これに限らず矩形、Ｕ字状、Ｖ字状等適宜な形状とすることができる。その他の構造は上記した実施の形態と同一である。
このような構造からなるるつぼ２０においても上記した実施の形態と同様な原理でスプラッシュの発生を防止することができる。 FIG. 5 is an external perspective view of a vapor deposition crucible showing another embodiment of the present invention.
In this embodiment, the gas vent notch formed on the outer peripheral surface of the crucible 20 is composed of four grooves 21 formed at substantially equal intervals in the circumferential direction. The cross-sectional shape of the groove 21 is a semicircular shape, but is not limited thereto, and may be an appropriate shape such as a rectangular shape, a U shape, or a V shape. Other structures are the same as those of the above-described embodiment.
Even in the crucible 20 having such a structure, the occurrence of splash can be prevented by the same principle as in the above-described embodiment.

また、本実施の形態においては、溝２１を４つ形成しているので、仮にどれか１つの溝２１が溶融状態の蒸着材料の流入、固着によって塞がれたとしても、全ての溝２１が塞がれない限り他の開放している溝から気体をるつぼ用凹部から排出できるため好ましい。
また、これにより溝２１の大きさを小さくすることができるので、強度や冷却性能やハースによるるつぼ２０の保持性能を低下させずに所期の目的を達成することができる。
さらに、４つの溝２１をるつぼ２０の周方向に略等間隔おいて形成しているので、るつぼ２０の温度むらを抑制することができる。なお、本実施の形態では４つの溝２１を周方向において等間隔に設けた例を示したが、溝２１は３つ以下でも５つ以上でもよい。また、等間隔に設けなくてもよい。 In the present embodiment, since four grooves 21 are formed, even if any one of the grooves 21 is blocked by the inflow and adhesion of the vapor deposition material in the molten state, all the grooves 21 are As long as it is not blocked, it is preferable because gas can be discharged from the other open groove through the crucible recess.
In addition, since the size of the groove 21 can be reduced by this, the intended purpose can be achieved without deteriorating the strength, the cooling performance, and the holding performance of the crucible 20 by the hearth.
Furthermore, since the four grooves 21 are formed in the circumferential direction of the crucible 20 at substantially equal intervals, the temperature unevenness of the crucible 20 can be suppressed. In the present embodiment, an example in which four grooves 21 are provided at equal intervals in the circumferential direction is shown, but the number of grooves 21 may be three or less or five or more. Moreover, it does not need to be provided at equal intervals.

図６は本発明を蒸着装置に適用した実施の形態を示す要部の外観斜視図、図７は図６のＢ−Ｂ線断面図である。この実施の形態は、蒸着用るつぼ３０が装填されるハース３のるつぼ用凹部４に通路３１を形成したものである。蒸着用るつぼ３０は、上端より下端に向かって小径化する逆截頭円錐形を呈する無底筒状体に形成され、焼結体ペレット２が装填される空洞部６を有している。前記空洞部６は、穴径が全長にわたって同一の円柱状に形成され、るつぼ１０の上方および下方に開口している。   FIG. 6 is an external perspective view of a main part showing an embodiment in which the present invention is applied to a vapor deposition apparatus, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. In this embodiment, a passage 31 is formed in the crucible recess 4 of the hearth 3 in which the deposition crucible 30 is loaded. The crucible 30 for vapor deposition is formed in a bottomless cylindrical body having a reverse truncated cone shape with a diameter decreasing from the upper end toward the lower end, and has a cavity 6 in which the sintered pellet 2 is loaded. The hollow portion 6 is formed in a columnar shape having the same hole diameter over the entire length, and opens above and below the crucible 10.

前記通路３１は、るつぼ用凹部４の内壁面に周方向に１８０°離間して２つ形成されている。また、この通路３１は、断面形状が半円形の溝からなり、下端がるつぼ用凹部４の底面に達し、上端が冷却用ハース３の上面に開放するように形成されている。このため、焼結体ペレット２が装填された蒸着用るつぼ３０をるつぼ用凹部４内に装着した状態において、るつぼ用凹部４と蒸着用るつぼ３０との間に形成される空間３２は、通路３１によってハース３の上方に開放する開放空間を形成している。その他の構造は、上記した実施の形態と同一である。   Two passages 31 are formed on the inner wall surface of the crucible recess 4 at a distance of 180 ° in the circumferential direction. The passage 31 is formed of a groove having a semicircular cross section, and is formed so that the lower end reaches the bottom surface of the crucible recess 4 and the upper end opens to the upper surface of the cooling hearth 3. For this reason, in a state where the vapor deposition crucible 30 loaded with the sintered body pellets 2 is mounted in the crucible concave portion 4, the space 32 formed between the crucible concave portion 4 and the vapor deposition crucible 30 has a passage 31. Thus, an open space opened above the hearth 3 is formed. Other structures are the same as those of the above-described embodiment.

このような構造からなる冷却用ハース３を備えた蒸着装置においても、蒸着用るつぼ３０にガス抜き用の切欠部を形成する代わりにハース３側に通路３１を形成してるつぼ用凹部４と蒸着用るつぼ３０との間の空間３２を開放空間としているので、上記した実施例と同様な原理でスプラッシュの発生を防止することができる。   Even in the vapor deposition apparatus provided with the cooling hearth 3 having such a structure, the crucible concave portion 4 and the vapor deposition are formed by forming a passage 31 on the hearth 3 side instead of forming a gas vent notch in the vapor deposition crucible 30. Since the space 32 between the crucible 30 for use is an open space, the occurrence of splash can be prevented by the same principle as in the above-described embodiment.

この場合、図２および図５に示した蒸着用るつぼ１０，２０は消耗品なので大量に製作し、その個々にガス抜き用切欠部１１，２１を形成する必要があるため、るつぼ１０，２０の製造に手間が掛かるのに対し、ハース３側に通路３１を形成する場合は一度溝加工するだけでよいので加工に手間が掛からないという利点がある。なお、通路３１の断面形状としては、半円形としたが、これに限らず矩形、Ｕ字状、Ｖ字状等適宜な形状とすることができる。また、通路３１は２本の場合について示したが、これに限定されず１本でも３本以上でもよい。また、複数の通路を周方向において等間隔に配置した例を示したが、これに限らず等間隔ではない位置に設けてもよい。なお、複数の通路を形成する場合、周方向において等間隔に配置すると、るつぼの温度むらを抑制することができるのでより好ましい。   In this case, since the vapor deposition crucibles 10 and 20 shown in FIGS. 2 and 5 are consumables, it is necessary to manufacture them in large quantities and to form the gas vent notches 11 and 21 individually. Whereas it takes time to manufacture, in the case of forming the passage 31 on the hearth 3 side, there is an advantage that the time is not required for processing because it is only necessary to process the groove once. In addition, although the cross-sectional shape of the channel | path 31 was made into semicircle, it can be set as appropriate shapes, such as not only this but a rectangle, U shape, V shape. Moreover, although the case where two passages 31 were shown was shown, it is not limited to this and may be one or three or more. Moreover, although the example which has arrange | positioned several channel | paths at equal intervals in the circumferential direction was shown, you may provide in the position which is not restricted to this and is not equal intervals. In addition, when forming a some channel | path, when it arrange | positions at equal intervals in the circumferential direction, since the temperature nonuniformity of a crucible can be suppressed, it is more preferable.

図８は本発明のさらに他の実施の形態を示す断面図である。
この実施の形態は、るつぼ用凹部４の底面外周部にハース３の下面側に開口する通路４０を形成したものである。その他の構造は図６および図７に示した実施の形態と同一である。このような構造においても上記した実施例と同様な原理でスプラッシュの発生を防止することができる。なお、通路４０は、溶融した蒸着材料が付着した際に取り除き易いように、ストレートな孔にすることが好ましい。また、図８ではるつぼ用凹部４の底面に通路４０の開口を設けた例を示したが、通路４０は蒸着用るつぼとるつぼ用凹部の底面との間の空間に開口していればよく、例えばるつぼ用凹部の内壁面下部に通路の開口部を設けてもよい。この場合は、ハース３の側面側に開口するようにすると通路４０をストレートに形成することができる。また、図８のようにるつぼ用凹部４の底面に通路を形成する場合は、焼結体ペレットの底面によって塞がれない位置に通路の開口を設けると通気が妨げられないという意味でより好ましい。 FIG. 8 is a sectional view showing still another embodiment of the present invention.
In this embodiment, a passage 40 that opens to the lower surface side of the hearth 3 is formed on the outer peripheral portion of the bottom surface of the crucible recess 4. Other structures are the same as those of the embodiment shown in FIGS. Even in such a structure, the occurrence of splash can be prevented by the same principle as in the above-described embodiment. The passage 40 is preferably a straight hole so that it can be easily removed when the molten deposition material adheres. Moreover, although the example which provided the opening of the channel | path 40 in the bottom face of the crucible recessed part 4 was shown in FIG. 8, the channel | path 40 should just open to the space between the bottom face of the crucible for vapor deposition and the crucible recessed part, For example, a passage opening may be provided in the lower part of the inner wall surface of the crucible recess. In this case, the passage 40 can be formed straight by opening to the side of the hearth 3. Further, when the passage is formed on the bottom surface of the crucible concave portion 4 as shown in FIG. 8, it is more preferable that the passage is not obstructed if an opening of the passage is provided at a position not blocked by the bottom surface of the sintered pellet. .

なお、図１、図５および図６においては、周方向におけるハースと蒸着用るつぼとが接触する領域の割合は冷却性能を考慮して決定されるが、半分以上にしておくと冷却性能を著しく低下させることがないのでより好ましい。
また、図１、図５においては、ガス抜き用切欠部１１を蒸着用るつぼ１０，２０の外周面に高さ方向全長にわたって形成した例を示し、図６においては、通路３１をハース３のるつぼ用凹部４の内壁面に高さ方向全長にわたって形成した例を示したが、蒸着用るつぼとるつぼ用凹部の底面との間の空間と外部とをつなぐのに必要な部分だけに切欠部や通路を設けてもよい。 In FIGS. 1, 5 and 6, the ratio of the area where the hearth and the crucible for vapor deposition contact in the circumferential direction is determined in consideration of the cooling performance. Since it does not reduce, it is more preferable.
1 and FIG. 5 show an example in which the notch 11 for venting gas is formed on the outer peripheral surface of the evaporation crucibles 10 and 20 over the entire length in the height direction. In FIG. Although the example which formed in the inner wall surface of the recessed part 4 for height over the full length direction was shown, only a part required in order to connect the space between the bottom face of the crucible for vapor deposition, and the recessed part for crucibles, and the exterior, and a channel | path May be provided.

本発明は眼鏡レンズの蒸着に提供した例を示したが、これ以外の光学薄膜の蒸着にも適用することができる。   Although the present invention shows an example provided for vapor deposition of spectacle lenses, it can also be applied to vapor deposition of other optical thin films.

本願発明に係る蒸着用るつぼを蒸着装置の水冷式ハースに装填した状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which loaded the crucible for vapor deposition which concerns on this invention into the water-cooled hearth of a vapor deposition apparatus. 蒸着用るつぼ、焼結体ペレットおよびハースの要部の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the principal part of a crucible for vapor deposition, a sintered compact pellet, and a hearth. 同蒸着用るつぼをハースのるつぼ用凹部に装填した状態の平面図である。It is a top view of the state which loaded the crucible for vapor deposition in the recessed part for crucibles of a hearth. （ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態における図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は焼結体ペレットを溶融した状態における図３のＡ−Ａ線断面図である。(A) is the sectional view on the AA line of FIG. 3 in the state before fuse | melting a sintered compact pellet, (b) is the sectional view on the AA line of FIG. 3 in the state which fuse | melted the sintered compact pellet. 本発明の他の実施の形態を示す蒸着用るつぼの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the crucible for vapor deposition which shows other embodiment of this invention. 本発明を蒸着装置に適用した実施の形態を示す要部の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the principal part which shows embodiment which applied this invention to the vapor deposition apparatus. 図６のＢ−Ｂ線断面図である。It is the BB sectional view taken on the line of FIG. 本発明のさらに他の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of this invention. 従来の蒸着用るつぼの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the conventional crucible for vapor deposition. （ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態における断面図、（ｂ）は焼結体ペレットが溶融された状態を示す断面図である。(A) is sectional drawing in the state before fuse | melting a sintered compact pellet, (b) is sectional drawing which shows the state by which the sintered compact pellet was fuse | melted.

符号の説明Explanation of symbols

１…蒸着用るつぼ、２…焼結体ペレット、３…水冷式ハース、４…るつぼ用凹部、５…冷却水通路、６…空洞部、１０…蒸着用るつぼ、１１…ガス抜き用切欠部、１５…通路、２０…蒸着用るつぼ、２１…溝、３０…蒸着用るつぼ、３１…通路、３２…空間、４０…通路。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Deposition crucible, 2 ... Sintered pellet, 3 ... Water-cooled hearth, 4 ... Recessed crucible, 5 ... Cooling water passage, 6 ... Cavity, 10 ... Deposition crucible, 11 ... Degassing notch, DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Passage, 20 ... Deposition crucible, 21 ... Groove, 30 ... Deposition crucible, 31 ... Passage, 32 ... Space, 40 ... Passage.

Claims (5)

上方および下方が開放し、蒸着材料からなる焼結体ペレットを収容する空洞部を有する蒸着用るつぼにおいて、
前記蒸着用るつぼの外周面に、蒸着るつぼの上面と下面を接続するガス抜き用切欠部を形成したことを特徴とする蒸着用るつぼ。 In the crucible for vapor deposition having a hollow portion that is open at the top and bottom and accommodates a sintered pellet made of a vapor deposition material,
A vapor deposition crucible, wherein a gas vent notch for connecting an upper surface and a lower surface of the vapor deposition crucible is formed on the outer peripheral surface of the vapor deposition crucible. 請求項１記載の蒸着用るつぼにおいて、
ガス抜き用切欠部が溝または平坦面であることを特徴とする蒸着用るつぼ。 In the crucible for vapor deposition according to claim 1,
A vapor deposition crucible, wherein the gas vent notch is a groove or a flat surface. 請求項１または２記載の蒸着用るつぼにおいて、
ガス抜き用切欠部が蒸着用るつぼの外周面に複数形成されていることを特徴とする蒸着用るつぼ。 In the crucible for vapor deposition according to claim 1 or 2,
A vapor deposition crucible, wherein a plurality of gas vent notches are formed on the outer peripheral surface of the vapor deposition crucible. 請求項３記載の蒸着用るつぼにおいて、
複数のガス抜き用切欠部が蒸着用るつぼの外周面の周方向に等間隔おいて形成されていることを特徴とする蒸着用るつぼ。 In the crucible for vapor deposition according to claim 3,
A crucible for vapor deposition, wherein a plurality of notch portions for venting are formed at equal intervals in the circumferential direction of the outer peripheral surface of the crucible for vapor deposition. 上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、
前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路を、前記るつぼ用凹部の内壁面に形成したことを特徴とする蒸着装置。
A vacuum crucible for vapor deposition in which a hollow part having an open upper part and a lower part is opened and a sintered compact pellet made of a vapor deposition material is loaded in the hollow part is mounted in a crucible recess provided in a cooling hearth, and the sintered compact In a vapor deposition apparatus that heats, melts, and evaporates pellets by an electron beam and deposits them on a deposition target,
A vapor deposition apparatus, wherein a passage for opening a space formed between the vapor deposition crucible and the crucible concave portion to the outside is formed on an inner wall surface of the crucible concave portion.
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