JP2006066887A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板31と、メサ11と、メサ11上に形成されたソース電極13、ドレイン電極14及びゲート電極12とを備え、メサ11上面には、櫛形状のソース電極13及びドレイン電極14の指状部13a、14aが互いに組み合わさるように対向して位置し、かつミアンダ形状のゲート電極12がソース電極13とドレイン電極14との間に位置する形状の上面パターンが形成され、ソース電極13及びドレイン電極14の指状部13a、14aの基部となる共通部13b、14bは、メサ11上面に形成され、ゲート電極12における指状部13a、14aと平行な直線部12aの下方に位置する部分は、ゲート電極12における隣り合う直線部12aをつなぐ屈曲部12bの下方に位置する部分と電気的に分離されている。
【選択図】 図1A
Description
このGaAsFETは、複数の単位FETが電気的に並列接続したマルチフィンガー型のFETであって、櫛形状のソース電極143及びドレイン電極144の指状部が互いに組み合わさるように対向して形成され、そのソース電極143とドレイン電極144との間に櫛形状のゲート電極142の指状部が形成された配線レイアウトを有する。
図1Aは本実施の形態のGaAsFETの外観図を示し、図1Bは同GaAsFETの上面図を示し、図1Cは同GaAsFETの断面図(図1Aのbb’線における断面図)を示し、図1Dは同GaAsFETの断面図(図1Aのaa’線における断面図)を示している。
まず、基板31上に、MOCVD法またはMBE法等を用いてバッファ層32、バッファ層33、チャネル層34、スペーサ層35、キャリア供給層36、ショットキー層37及びコンタクト層38を順次エピタキシャル成長させてエピタキシャル層30を形成する(図2(a))。
図3Aは本実施の形態のGaAsFETの外観図を示し、図3Bは同GaAsFETの上面図を示し、図3Cは同GaAsFETの断面図(図3Aのbb’線における断面図)を示し、図3Dは同GaAsFETの断面図(図3Aのaa’線における断面図)を示している。
まず、基板31上に、MOCVD法またはMBE法等を用いてバッファ層32、バッファ層33、チャネル層34、スペーサ層35、キャリア供給層36、ショットキー層37及びコンタクト層38を順次エピタキシャル成長させてエピタキシャル層30を形成する(図4(a))。
12、122、142 ゲート電極
12a、122a 直線部
12b、122b 屈曲部
13、123、143 ソース電極
13a、14a、123a、124a 指状部
13b、14b、123b、124b 共通部
14、124、144 ドレイン電極
15 ゲート電極分離溝
16 高抵抗領域
30 エピタキシャル層
31、131、140 基板
32、33 バッファ層
34 チャネル層
35 スペーサ層
36 キャリア供給層
37 ショットキー層
38 コンタクト層
51、52、53、54 フォトレジスト
132 GaAsエピタキシャル層
133 GaAs層
134 AlGaAs層
135 n型GaAs層
Claims (8)
- 基板と、
チャネル層を含み、前記基板上に形成されたメサと、
前記メサ上に形成された櫛形状のソース電極及びドレイン電極と、ミアンダ形状のゲート電極とを備え、
前記メサ上には、前記ソース電極及びドレイン電極の指状部が互いに組み合わさるように対向して位置し、かつ前記ゲート電極が前記ソース電極とドレイン電極との間に位置する形状の上面パターンが形成され、
前記ソース電極及びドレイン電極の指状部の基部となる共通部は、前記メサ上面に形成され、
前記ゲート電極における前記指状部と平行な直線部の下方に位置する部分は、前記ゲート電極における隣り合う前記直線部をつなぐ屈曲部の下方に位置する部分と電気的に分離されている
ことを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記メサにおける前記ゲート電極の屈曲部の下方に位置する部分は、トランジスタとして機能しない
ことを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記メサには、前記チャネル層を横切る溝が形成されており、
前記ゲート電極の屈曲部は、前記溝上に形成される
ことを特徴とする請求項2に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記メサは、バッファ層と、チャネル層と、キャリア供給層と、ショットキー層と、コンタクト層とが順次積層されて構成され、
前記溝は、前記バッファ層が露出するように前記コンタクト層に対してエッチングを行って形成され、
前記ソース電極及びドレイン電極の指状部及び共通部は、前記コンタクト層上に形成され、
前記ゲート電極の屈曲部は、前記溝により露出したバッファ層上に形成される
ことを特徴とする請求項3に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記メサには、前記チャネル層を横切る高抵抗領域が形成されており、
前記ゲート電極の屈曲部は、前記高抵抗領域上に形成される
ことを特徴とする請求項2に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記メサは、バッファ層と、チャネル層と、キャリア供給層と、ショットキー層と、コンタクト層とが順次積層されて構成され、
前記高抵抗領域は、前記バッファ層に達するように前記コンタクト層から不純物を注入して形成され、
前記ソース電極及びドレイン電極の指状部及び共通部は、前記コンタクト層上に形成され、
前記ゲート電極の屈曲部は、前記コンタクト層に形成された高抵抗領域上に形成される
ことを特徴とする請求項5に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記ソース電極及びドレイン電極の指状部と、前記ソース電極及びドレイン電極の共通部とは、同一平面上に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記基板の上面は、(1 0 0)平面であり、
前記ゲート電極の直線部の方向と、前記基板の〈0 −1 −1〉方向とのなす角度θは、45゜である
ことを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
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