JP2006065040A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学部品その他の部品への風や熱の影響を抑え、光源素子の交換を容易にする。
【解決手段】3段構造とし、上段シャーシs3上にレーザダイオードf2,f4を設置し、その下の2段目を通風空間として排熱し、光ファイバーe2,e4を風の当たらない側板i3,i4の外側を通して一段目の結像光学系nへ導いた。2段目を通風空間には、ペルチェ素子k、ヒートシンクh1、h2、排気ファンc1,c2を設置した。レーザダイオードf2,f4には断熱カバー材gを被せ、結露や環境温度から保護した。
【選択図】図4
【解決手段】3段構造とし、上段シャーシs3上にレーザダイオードf2,f4を設置し、その下の2段目を通風空間として排熱し、光ファイバーe2,e4を風の当たらない側板i3,i4の外側を通して一段目の結像光学系nへ導いた。2段目を通風空間には、ペルチェ素子k、ヒートシンクh1、h2、排気ファンc1,c2を設置した。レーザダイオードf2,f4には断熱カバー材gを被せ、結露や環境温度から保護した。
【選択図】図4
Description
本発明は、複数の光源素子と排熱用の通風路を有した露光装置に関する。
現在、半導体レーザや発光ダイオード等の光源素子が多くの光学分野で利用されている。なかでもマルチチャンネル露光装置のように光源素子を多数要する場合がある。多数の光源素子を装備する場合、装置小型化等のため高密度に配置することが好ましいが、高密度ゆえに温度上昇が著しくなる。光源素子は温度変化により光量が不安定となるし、また、著しい温度上昇は素子寿命を短期化させる。そのため排熱性の高い構造を採用したり、一定の温度に温度調整する必要がある。
特許文献1には、高密度に配置された多数の素子を良好に温度制御することを目的とした露光装置が記載されている。
特許文献1記載の露光装置は、吸気口と排気口とをヒートシンク(同文献中符号18)の相対する側面に形成し、これらの吸気口及び排気口に直角に連続する他の2面に、多数の半導体レーザ(同文献中符号11)が支持された支持板(同文献中符号17)を1対配置した構造を有する。すなわち、吸気口が設けられた面と排気口が設けられた面と一対の支持板とにより四角柱の4側面が形成された外形を有し、この4側面に垂直な底面を露光装置に固定している。吸気口から排気口までを結ぶ通風路は直線状に抜けるように形成されている。
特開2002−344181号公報
特許文献1記載の露光装置は、吸気口と排気口とをヒートシンク(同文献中符号18)の相対する側面に形成し、これらの吸気口及び排気口に直角に連続する他の2面に、多数の半導体レーザ(同文献中符号11)が支持された支持板(同文献中符号17)を1対配置した構造を有する。すなわち、吸気口が設けられた面と排気口が設けられた面と一対の支持板とにより四角柱の4側面が形成された外形を有し、この4側面に垂直な底面を露光装置に固定している。吸気口から排気口までを結ぶ通風路は直線状に抜けるように形成されている。
ところで、工業用の高出力レーザにおいては、半導体レーザダイオードの交換寿命は比較的短く、交換頻度が高くなっており、交換の容易性を軽視できない。
特許文献1に記載の露光装置によると、半導体レーザダイオードが側面に設置されているので、周囲に他の部品が設置されてしまうと、支持板を移動することなく、半導体レーザダイオード単体を交換することが難しい。支持板又は支持板を含んだモジュールを移動する場合には、迅速な交換作業とはならず、1素子のための交換作業としては不効率である。交換しやすくするために半導体レーザダイオード周囲に空間を残すと、部品の実装密度が下がり、コンパクトな装置とならない。
特許文献1に記載の露光装置によると、半導体レーザダイオードが側面に設置されているので、周囲に他の部品が設置されてしまうと、支持板を移動することなく、半導体レーザダイオード単体を交換することが難しい。支持板又は支持板を含んだモジュールを移動する場合には、迅速な交換作業とはならず、1素子のための交換作業としては不効率である。交換しやすくするために半導体レーザダイオード周囲に空間を残すと、部品の実装密度が下がり、コンパクトな装置とならない。
また、光ファイバーその他の光学部品やレーザ光に風が当たると光が揺らぐなどの悪影響を及ぼすことがある。
特許文献1に記載の露光装置によると、光源素子を支持する支持板の高さ範囲と同じ高さ範囲に吸気口と排気口が形成されている。そのため、吸気口の付近や排気口の付近は勿論、光源素子の周囲において風が発生しやすくなり、部品の配置に不都合が生じる場合がある。
特許文献1に記載の露光装置によると、光源素子を支持する支持板の高さ範囲と同じ高さ範囲に吸気口と排気口が形成されている。そのため、吸気口の付近や排気口の付近は勿論、光源素子の周囲において風が発生しやすくなり、部品の配置に不都合が生じる場合がある。
本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、複数の光源素子が配置され、排熱性が確保され、光学部品その他の部品への風やこの風による熱の影響が抑えられ、光源素子の交換が容易にされた露光装置を提供することを課題とする。
以上の課題を解決するための請求項1記載の発明は、ベースと、
前記ベース上の空間を上下に仕切って上下の通風を遮断する中段部材と、
前記中段部材上の空間を上下に仕切って上下の通風を遮断する金属製の上段部材と、
前記上段部材と前記中段部材との間の側面に前記上段部材から前記中段部材まで構成されて内外の通風を遮断する側壁と、
前記上段部材と前記中段部材との間の他の側面に設けられ、前記上段部材と前記中段部材との間の空間へ吸気する吸気部と、
前記上段部材と前記中段部材との間の他の側面に設けられ、前記上段部材と前記中段部材との間の空間から排気する排気部と、
前記上段部材の上面に固定された複数の光源素子と、
前記上段部材の下面に固定されたヒートシンクと、
入射端が前記光源素子に接続され、前記上段部材上から前記側壁の外側を通されて前記中段部材下に引き回され、前記中段部材下の空間に出射端が配置された光ファイーバーとを備え、
前記吸気部から吸気し前記排気部から排気して前記上段部材と前記中段部材との間の空間を通風するとともに、前記光源素子からの光を露光光として前記中段部材より下の位置から出射する露光装置である。
前記ベース上の空間を上下に仕切って上下の通風を遮断する中段部材と、
前記中段部材上の空間を上下に仕切って上下の通風を遮断する金属製の上段部材と、
前記上段部材と前記中段部材との間の側面に前記上段部材から前記中段部材まで構成されて内外の通風を遮断する側壁と、
前記上段部材と前記中段部材との間の他の側面に設けられ、前記上段部材と前記中段部材との間の空間へ吸気する吸気部と、
前記上段部材と前記中段部材との間の他の側面に設けられ、前記上段部材と前記中段部材との間の空間から排気する排気部と、
前記上段部材の上面に固定された複数の光源素子と、
前記上段部材の下面に固定されたヒートシンクと、
入射端が前記光源素子に接続され、前記上段部材上から前記側壁の外側を通されて前記中段部材下に引き回され、前記中段部材下の空間に出射端が配置された光ファイーバーとを備え、
前記吸気部から吸気し前記排気部から排気して前記上段部材と前記中段部材との間の空間を通風するとともに、前記光源素子からの光を露光光として前記中段部材より下の位置から出射する露光装置である。
したがって請求項1記載の発明によれば、金属製の上段部材の上面に複数の光源素子が固定される。これらの光源素子が発する熱は金属製の上段部材の下面に固定されたヒートシンクに吸熱される。吸気部から吸気し排気部から排気して上段部材と中段部材との間の空間が通風され、この空間に設置されているヒートシンクが空冷されてヒートシンクの熱が外部へ排出される。
吸気部及び排気部が上段部材と中段部材との間の側面に設けられているので、上段部材と中段部材との間において側方から吸気してヒートシンクに風を送り、ヒートシンクを通過した空気を上段部材と中段部材との間において側方へ排気することができる。その一方、光ファイバーは、上下の通風を遮断する上段部材の上面に固定された光源素子に接続され、内外の通風を遮断する側壁の外側を通り、上下の通風を遮断する中段部材下に出射端が配置されるから、上段部材と中段部材との間の通風により生じる風が光ファイバーに当たることは防がれる。
また、中段部材下に光ファイバーの出射端が配置され、露光光を中段部材より下の位置から出射するので、光ファイバーの出射端から、露光光出射までの光学系を中段部材下に設置することができる。その光学系や、その他の中段部材下に設置される部品に上部空間で生じる風が当たることは上下の通風を遮断する中段部材により防止される。
光源素子を上段部材の上面に配置し、上段部材と中段部材との間を通風空間として熱交換用部品を配置し、その他の光学部品や電気部品を中段部材下に配置することにより部品の実装密度が下がらずコンパクトな装置とすることができるとともに、それらの熱交換用部品、光学部品や電気部品が光源素子の交換の邪魔とならず、光源素子を迅速、容易に交換できる。
しかるに、複数の光源素子を上段部材の上面に配置することができ、上段部材と中段部材との間の通風空間により排熱性が確保でき、上段部材上及び中段部材下に設置される部品や光ファイバーへの風やこの風による熱の影響を抑えることができ、光源素子の交換を容易に行うことができる。
なお、本発明を規定する「上」「下」の文言は、ベースを基準に表現したものにすぎず、水平配置、垂直配置、傾斜配置などベースの配置方向は任意である。
吸気部及び排気部が上段部材と中段部材との間の側面に設けられているので、上段部材と中段部材との間において側方から吸気してヒートシンクに風を送り、ヒートシンクを通過した空気を上段部材と中段部材との間において側方へ排気することができる。その一方、光ファイバーは、上下の通風を遮断する上段部材の上面に固定された光源素子に接続され、内外の通風を遮断する側壁の外側を通り、上下の通風を遮断する中段部材下に出射端が配置されるから、上段部材と中段部材との間の通風により生じる風が光ファイバーに当たることは防がれる。
また、中段部材下に光ファイバーの出射端が配置され、露光光を中段部材より下の位置から出射するので、光ファイバーの出射端から、露光光出射までの光学系を中段部材下に設置することができる。その光学系や、その他の中段部材下に設置される部品に上部空間で生じる風が当たることは上下の通風を遮断する中段部材により防止される。
光源素子を上段部材の上面に配置し、上段部材と中段部材との間を通風空間として熱交換用部品を配置し、その他の光学部品や電気部品を中段部材下に配置することにより部品の実装密度が下がらずコンパクトな装置とすることができるとともに、それらの熱交換用部品、光学部品や電気部品が光源素子の交換の邪魔とならず、光源素子を迅速、容易に交換できる。
しかるに、複数の光源素子を上段部材の上面に配置することができ、上段部材と中段部材との間の通風空間により排熱性が確保でき、上段部材上及び中段部材下に設置される部品や光ファイバーへの風やこの風による熱の影響を抑えることができ、光源素子の交換を容易に行うことができる。
なお、本発明を規定する「上」「下」の文言は、ベースを基準に表現したものにすぎず、水平配置、垂直配置、傾斜配置などベースの配置方向は任意である。
請求項2記載の発明は、前記ヒートシンクと前記上段部材との間にペルチェ素子が設置されてなることを特徴とする請求項1に記載の露光装置である。
したがって請求項2記載の発明によれば、ペルチェ素子により積極的に温度を制御することができる。
請求項3記載の発明は、前記光源素子を覆い前記光源素子及び前記上段部材の上面に密着する断熱材が設けられてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置である。
したがって請求項3記載の発明によれば、光源素子及び上段部材の上面に材が密着するので、光源素子周りの結露を防ぐことができ、光源素子の水分による故障を防ぐことができる。特にペルチェ素子等により強制冷却する場合に有効である。また、断熱材を使用するので、環境との熱収支をほとんど無くすことができ、環境変化を考慮することなく、本露光装置単体を対象に熱的設計を行っても温度調整の精度を十分に高いものとすることができる。
請求項4記載の発明は、前記中段部材が金属製であり、
前記中段部材下に設置され、発熱部が前記中段部材に接続された電気基板と、
前記中段部材の上面に固定されたヒートシンクとを備えることを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載の露光装置である。
前記中段部材下に設置され、発熱部が前記中段部材に接続された電気基板と、
前記中段部材の上面に固定されたヒートシンクとを備えることを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載の露光装置である。
したがって請求項4記載の発明によれば、電気基板に実装された例えば、光源素子を駆動する電力変換用のトランジスタなどの発熱の大きい電子部品の放熱板を、金属製の中段部材に熱伝導可能に接続して熱を中段部材、さらにヒートシンクに導き、上段部材と中段部材との間の通風空間により排熱することができる。また、電気基板は中段部材下に設置されるから、上段部材上に設置された光源素子の交換の妨げとならない。
以上説明したように本発明によれば、複数の光源素子を上段部材の上面に配置することができ、上段部材と中段部材との間の通風空間により排熱性が確保でき、上段部材上及び中段部材下に設置される部品や光ファイバーへの風やこの風による熱の影響を抑えることができ、光源素子の交換を容易に行うことができるという効果がある。
以下に本発明の一実施の形態につき図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。
図1は本実施形態の露光装置を搭載した画像記録装置の斜視図である。図2は、図1における露光装置の矢視A図(a)、矢視B図(b)、矢視C図(c)、矢視D図(d)、矢視E図である。図3は、図1における蓋を外した状態の露光装置の矢視A図(a)、矢視B図(b)、矢視C図(c)、矢視D図(d)、矢視E図である。図4は、図2におけるF−F断面図である。図5は、図2におけるG−G断面図である。なお、図3中にも対応するF−F線、G−G線を示した。
図1に示すように本実施形態の露光装置1は、ベース2上に設置された直方体の外形を有するケース8に蓋9が被された構造を有する。
露光装置1は、ネジシャフト4、ガイドシャフト3等の機構を利用した移動装置により副走査方向に往復動する。
露光装置1は露光光7を出射し、主走査のために回転するドラム5の周面に保持された被露光材6に照射する。
露光装置1は、ネジシャフト4、ガイドシャフト3等の機構を利用した移動装置により副走査方向に往復動する。
露光装置1は露光光7を出射し、主走査のために回転するドラム5の周面に保持された被露光材6に照射する。
次に、露光装置1の詳細につき説明する。
図2〜図5に示すように、ケース8は、4枚の側板i1〜i4からなる囲いと、上端に固定された上段シャーシs3と、中段に固定された中段シャーシs2とから構成されている。ケース8がベース2に設置されることで3段構造が構成されている。ベース2上には下段シャーシs1が設置されている。
蓋9、側板i1〜i4、上段シャーシs3、中段シャーシs2及び下段シャーシs1は、アルミ板、銅板、鋼板等の金属板により形成される。中段シャーシs2は、風が通るような穴は設けられず、ベース2上の空間を上下に仕切って自己の上下の通風を遮断する。上段シャーシs3は、風が通るような穴は設けられず、中段シャーシs2上の空間を上下に仕切って自己の上下の通風を遮断する。
図2〜図5に示すように、ケース8は、4枚の側板i1〜i4からなる囲いと、上端に固定された上段シャーシs3と、中段に固定された中段シャーシs2とから構成されている。ケース8がベース2に設置されることで3段構造が構成されている。ベース2上には下段シャーシs1が設置されている。
蓋9、側板i1〜i4、上段シャーシs3、中段シャーシs2及び下段シャーシs1は、アルミ板、銅板、鋼板等の金属板により形成される。中段シャーシs2は、風が通るような穴は設けられず、ベース2上の空間を上下に仕切って自己の上下の通風を遮断する。上段シャーシs3は、風が通るような穴は設けられず、中段シャーシs2上の空間を上下に仕切って自己の上下の通風を遮断する。
側板i1の中段シャーシs2と上段シャーシs3との間の範囲に排気口が設けられ、そこに排気ファンc1,c2が嵌め付けられて排気部が側面に構成されている。排気ファンc1,c2が2段目の通風の動力となっている。
側板i1の反対側に位置する側板i2は、中段シャーシs2と下段シャーシs1との間の側面を被っており、中段シャーシs2と上段シャーシs3との間の側面を被っておらず開放している。この開放された開口dが排気ファンc1,c2の反対側に設けられた吸気口となっている。この開口dが吸気部である。なお、開口dに吸気ファンを設置しても良い。
上記側板i1,i2に対して直角に配置され、互いに相対する側壁を構成する側板i3、側板i4は、中段シャーシs2と上段シャーシs3との間の側面を被っている。側板i3,i4の上段シャーシs3と中段シャーシs2との間の部分は、風が通るような穴は設けられず、内外の通風を遮断する。
上段シャーシs3、中段シャーシs2及び側板i3,i4は、2段目の開口dから排気ファンc1,c2までの通風空間を囲み、直線的に風が抜けるように開口dから排気ファンc1,c2までの通風を案内する。
また、側板i3,i4は、中段シャーシs2と下段シャーシs1との間の側面を被っている。但し、側板i3にはケーブル通し孔a1,a2が空けられおり、側板i4にはケーブル通し孔a3,a4及び窓bが設けられている。ケーブル通し孔a1〜a4は、側板i3,i4を構成する金属板に貫通孔が空けられ、その切り口にケーブルと貫通孔との間を塞ぐスポンジ、ゴム等の部材が付設されたものである。
上段シャーシs3、中段シャーシs2及び側板i3,i4は、2段目の開口dから排気ファンc1,c2までの通風空間を囲み、直線的に風が抜けるように開口dから排気ファンc1,c2までの通風を案内する。
また、側板i3,i4は、中段シャーシs2と下段シャーシs1との間の側面を被っている。但し、側板i3にはケーブル通し孔a1,a2が空けられおり、側板i4にはケーブル通し孔a3,a4及び窓bが設けられている。ケーブル通し孔a1〜a4は、側板i3,i4を構成する金属板に貫通孔が空けられ、その切り口にケーブルと貫通孔との間を塞ぐスポンジ、ゴム等の部材が付設されたものである。
図3に示すように、上段シャーシs3の上面には複数の半導体レーザダイオードf1〜f4が固定されている。図3(e)に示すように本実施形態では、16個の半導体レーザダイオードf1〜f4を設置した。
側板i3付近に設置された半分に当たる8個の半導体レーザダイオードf1,f2に接続された光ファイバーe1,e2は、上段シャーシs3上から側板i3が構成する側壁の外側を通され、ケーブル通し孔a1,a2に挿入されて中段シャーシs2下の1段目に導かれている。
側板i4付近に設置された残りの8個の半導体レーザダイオードf3,f4に接続された光ファイバーe3,e4は、上段シャーシs3上から側板i4が構成する側壁の外側を通され、ケーブル通し孔a3,a4に挿入されて中段シャーシs2下の1段目に導かれている。
半導体レーザダイオードf1〜f4の交換のため、光ファイバーコネクタ(図示せず)が半導体レーザダイオードf1〜f4と光ファイバーe1〜e4との間又は光ファイバーe1〜e4の途中に設けられる。
側板i3付近に設置された半分に当たる8個の半導体レーザダイオードf1,f2に接続された光ファイバーe1,e2は、上段シャーシs3上から側板i3が構成する側壁の外側を通され、ケーブル通し孔a1,a2に挿入されて中段シャーシs2下の1段目に導かれている。
側板i4付近に設置された残りの8個の半導体レーザダイオードf3,f4に接続された光ファイバーe3,e4は、上段シャーシs3上から側板i4が構成する側壁の外側を通され、ケーブル通し孔a3,a4に挿入されて中段シャーシs2下の1段目に導かれている。
半導体レーザダイオードf1〜f4の交換のため、光ファイバーコネクタ(図示せず)が半導体レーザダイオードf1〜f4と光ファイバーe1〜e4との間又は光ファイバーe1〜e4の途中に設けられる。
図4及び図5に示すように、上段シャーシs3の下面には、ペルチェ素子kを介在させてヒートシンクh1が固定されている。
中段シャーシs2の上面には、ヒートシンクh2が直に固定されている。
以上のようにして、ペルチェ素子k、ヒートシンクh1及びヒートシンクh2は2段目の通風空間に設置されている。
中段シャーシs2の上面には、ヒートシンクh2が直に固定されている。
以上のようにして、ペルチェ素子k、ヒートシンクh1及びヒートシンクh2は2段目の通風空間に設置されている。
図4に示すように1段目においては、ケーブル通し孔a1〜a4を通して内部に導かれた光ファイバーe1〜e4の出射端が束ねられて所定の配列による光ファイバーアレイmが構成され、下段シャーシs1に固定されている。また、下段シャーシs1には結像光学系nが設置されている。
半導体レーザダイオードf1〜f4からのレーザ光は、光ファイバーe1〜e4を通って、光ファイバーアレイmから所定の配列で結像光学系nに入射し、結像光学系nで所定の倍率に変換されて露光光7として窓bから外部に出射する。
また、排気ファンc1、c2が稼働し、上段シャーシs3と中段シャーシs2との間の空間を通風する。
半導体レーザダイオードf1〜f4からのレーザ光は、光ファイバーe1〜e4を通って、光ファイバーアレイmから所定の配列で結像光学系nに入射し、結像光学系nで所定の倍率に変換されて露光光7として窓bから外部に出射する。
また、排気ファンc1、c2が稼働し、上段シャーシs3と中段シャーシs2との間の空間を通風する。
図4に示すように、蓋9の内側には断熱カバー材gが嵌められている。断熱カバー材gは、図4に示すように、上段シャーシs3の上面に固定された半導体レーザダイオードf1〜f4を被う凹形状に予め加工されており、半導体レーザダイオードf1〜f4を被っている。また、断熱カバー材gは半導体レーザダイオードf1〜f4及びその周囲の上段シャーシs3の上面に密着している。断熱カバー材gとしては、加工しやすく半導体レーザダイオードf1〜f4を傷つけない例えばスポンジ状のものが好ましい。
図5に示すように1段目においては、電気基板p,qが設置されている。電気基板pに実装された電力変換用のトランジスタp1の放熱板p2を中段シャーシs2に直接、又は図示するように電気基板p上の金属パターンp3や接続金具p4を介して接続する。
電気基板p,qには、半導体レーザダイオードf1〜f4の制御回路、ペルチェ素子の制御回路、排気ファンの電源装置、結像光学系nのレンズの移動を制御する制御回路等が実装されている。電気配線は、ケーブル通し孔a1〜a4や部材の隙間、追加して設けたケーブル通し孔を利用して配線される。
熱対策が必要な発熱部を有する電気基板pを中段シャーシs2にのみ固定しても良いし、図示するように下段シャーシs1に固定しても良い。熱対策の必要のない発熱性の低い電気基板qは下段シャーシs1にのみ固定する。
電気基板p,qには、半導体レーザダイオードf1〜f4の制御回路、ペルチェ素子の制御回路、排気ファンの電源装置、結像光学系nのレンズの移動を制御する制御回路等が実装されている。電気配線は、ケーブル通し孔a1〜a4や部材の隙間、追加して設けたケーブル通し孔を利用して配線される。
熱対策が必要な発熱部を有する電気基板pを中段シャーシs2にのみ固定しても良いし、図示するように下段シャーシs1に固定しても良い。熱対策の必要のない発熱性の低い電気基板qは下段シャーシs1にのみ固定する。
なお、電気基板p,qを支持する下段シャーシs1と、光ファイバーアレイm及び結像光学系nを支持する下段シャーシs1とは一体の一部品でも良いし、分離した別部品でも良い。
下段シャーシs1をベース2に固定しても良いし、下段シャーシs1をケース8の下端に固定してもよい。また、下段シャーシs1を排して、本実施形態において下段シャーシs1に固定している部品をベース2に直接固定しても良い。
下段シャーシs1をベース2に固定しても良いし、下段シャーシs1をケース8の下端に固定してもよい。また、下段シャーシs1を排して、本実施形態において下段シャーシs1に固定している部品をベース2に直接固定しても良い。
本実施形態によれば、半導体レーザダイオードf1〜f4の稼働により熱が発生しても、その熱は、金属製の上段シャーシs3を介して、また、ペルチェ素子kとヒートシンクh1を介して2段目、すなわち、中段シャーシs2と上段シャーシs3との間の通風空間に放出される。排気ファンc1,c2が稼働することにより、通風空間が十分に換気され、半導体レーザダイオードf1〜f4を発熱源とする熱を排気ファンc1,c2から暖気とともに排出できる。
また、電気基板pで熱が発生しても、その熱は、金属製の中段シャーシs2を介して、また、ヒートシンクh2を介して2段目、すなわち、中段シャーシs2と上段シャーシs3との間の通風空間に放出される。排気ファンc1,c2が稼働することにより、通風空間が十分に換気され、電気基板pを発熱源とする熱を排気ファンc1,c2から暖気とともに排出できる。
2段目の空間、すなわち、通風空間で発生する風及び吸排気により生じる風が、1段目に設置された光ファイバーアレイm及び結像光学系n等の光学系、その他の1段目に設置された部品に当たることは中段シャーシs2と側板i1〜i4による囲いによって防止され、半導体レーザダイオードf1〜f4からの光を結像光学系nまで導光する光ファイバーe1〜e4に当たることは上段シャーシs3、側板i3,i4及び中段シャーシs2により防止される。
半導体レーザダイオードf1〜f4を3段目に、熱交換用部品を2段目に、その他の光学部品や電気部品を1段目に設置することにより部品の実装密度が下がらずコンパクトな装置とすることができるとともに、それらの1段目、2段目の部品が3段目に設置されている半導体レーザダイオードf1〜f4の交換の邪魔とならず、半導体レーザダイオードf1〜f4を迅速、容易に交換できる。
しかるに、複数の半導体レーザダイオードf1〜f4を上段シャーシs3の上面に配置することができ、2段目の通風空間により排熱性が確保でき、光ファイバーe1〜e4や1段目、3段目に設けられた光学部品その他の部品への風やこの風による熱の影響を抑えることができ、半導体レーザダイオードf1〜f4の交換を容易に行うことができる。
また、電気基板pで熱が発生しても、その熱は、金属製の中段シャーシs2を介して、また、ヒートシンクh2を介して2段目、すなわち、中段シャーシs2と上段シャーシs3との間の通風空間に放出される。排気ファンc1,c2が稼働することにより、通風空間が十分に換気され、電気基板pを発熱源とする熱を排気ファンc1,c2から暖気とともに排出できる。
2段目の空間、すなわち、通風空間で発生する風及び吸排気により生じる風が、1段目に設置された光ファイバーアレイm及び結像光学系n等の光学系、その他の1段目に設置された部品に当たることは中段シャーシs2と側板i1〜i4による囲いによって防止され、半導体レーザダイオードf1〜f4からの光を結像光学系nまで導光する光ファイバーe1〜e4に当たることは上段シャーシs3、側板i3,i4及び中段シャーシs2により防止される。
半導体レーザダイオードf1〜f4を3段目に、熱交換用部品を2段目に、その他の光学部品や電気部品を1段目に設置することにより部品の実装密度が下がらずコンパクトな装置とすることができるとともに、それらの1段目、2段目の部品が3段目に設置されている半導体レーザダイオードf1〜f4の交換の邪魔とならず、半導体レーザダイオードf1〜f4を迅速、容易に交換できる。
しかるに、複数の半導体レーザダイオードf1〜f4を上段シャーシs3の上面に配置することができ、2段目の通風空間により排熱性が確保でき、光ファイバーe1〜e4や1段目、3段目に設けられた光学部品その他の部品への風やこの風による熱の影響を抑えることができ、半導体レーザダイオードf1〜f4の交換を容易に行うことができる。
本実施形態によれば、ペルチェ素子kにより半導体レーザダイオードf1〜f4の熱を上段シャーシs3を介して吸熱し、その吸熱をヒートシンクh1及び排気ファンc1,c2による空冷により外部へ排出することができる。
高温多湿の環境下において、ペルチェ素子kにより強制冷却しても、断熱カバー材gの作用により半導体レーザダイオードf1〜f4及びその周囲の上段シャーシs3上面に結露を生じさせることがなく、半導体レーザダイオードf1〜f4を水に触れさせることが防がれる。
また、断熱カバー材gにより環境との熱収支をほとんど無くすことができ、環境変化を考慮することなく、本露光装置単体を対象に熱的設計を行っても温度調整の精度を十分に高いものとすることができる。
高温多湿の環境下において、ペルチェ素子kにより強制冷却しても、断熱カバー材gの作用により半導体レーザダイオードf1〜f4及びその周囲の上段シャーシs3上面に結露を生じさせることがなく、半導体レーザダイオードf1〜f4を水に触れさせることが防がれる。
また、断熱カバー材gにより環境との熱収支をほとんど無くすことができ、環境変化を考慮することなく、本露光装置単体を対象に熱的設計を行っても温度調整の精度を十分に高いものとすることができる。
上記実施形態に拘わらず、4段以上の構造をとる場合には、半導体レーザダイオードf1〜f4の交換を容易にするため、上段シャーシs3を最上段のシャーシとすることが好ましい。半導体レーザダイオードf1〜f4の交換容易性を損なわない場合は、半導体レーザダイオードf1〜f4より上に部品を搭載する段を設けても良い。上段シャーシs3を最上段のシャーシとする場合、半導体レーザダイオードf1〜f4の排熱のための通風空間は上段シャーシs3より下に熱伝導良好に配置する必要があるから、上から2段目に配置することが好ましい。上記本実施形態の通風空間(本実施形態における2段目)を部分的又は全体的に2段以上の構造としたり、通風空間の下の部品搭載スペース(本実施形態における1段目)を部分的又は全体的に2段以上の構造とすることは任意である。
1 露光装置
2 ベース
3 ガイドシャフト
4 ネジシャフト
5 ドラム
6 被露光材
7 露光光
8 ケース
9 蓋
a1〜a4 ケーブル通し孔
b 窓
c1,c2 排気ファン
d 開口
e1〜e4 光ファイバー
f1〜f4 半導体レーザダイオード
g 断熱カバー材
h1 ヒートシンク
h2 ヒートシンク
i1〜i4 側板
k ペルチェ素子
m 光ファイバーアレイ
n 結像光学系
p,q 電気基板
p1 トランジスタ
p2 放熱板
p3 金属パターン
p4 接続金具
s1 下段シャーシ
s2 中段シャーシ
s3 上段シャーシ
2 ベース
3 ガイドシャフト
4 ネジシャフト
5 ドラム
6 被露光材
7 露光光
8 ケース
9 蓋
a1〜a4 ケーブル通し孔
b 窓
c1,c2 排気ファン
d 開口
e1〜e4 光ファイバー
f1〜f4 半導体レーザダイオード
g 断熱カバー材
h1 ヒートシンク
h2 ヒートシンク
i1〜i4 側板
k ペルチェ素子
m 光ファイバーアレイ
n 結像光学系
p,q 電気基板
p1 トランジスタ
p2 放熱板
p3 金属パターン
p4 接続金具
s1 下段シャーシ
s2 中段シャーシ
s3 上段シャーシ
Claims (4)
- ベースと、
前記ベース上の空間を上下に仕切って上下の通風を遮断する中段部材と、
前記中段部材上の空間を上下に仕切って上下の通風を遮断する金属製の上段部材と、
前記上段部材と前記中段部材との間の側面に前記上段部材から前記中段部材まで構成されて内外の通風を遮断する側壁と、
前記上段部材と前記中段部材との間の他の側面に設けられ、前記上段部材と前記中段部材との間の空間へ吸気する吸気部と、
前記上段部材と前記中段部材との間の他の側面に設けられ、前記上段部材と前記中段部材との間の空間から排気する排気部と、
前記上段部材の上面に固定された複数の光源素子と、
前記上段部材の下面に固定されたヒートシンクと、
入射端が前記光源素子に接続され、前記上段部材上から前記側壁の外側を通されて前記中段部材下に引き回され、前記中段部材下の空間に出射端が配置された光ファイーバーとを備え、
前記吸気部から吸気し前記排気部から排気して前記上段部材と前記中段部材との間の空間を通風するとともに、前記光源素子からの光を露光光として前記中段部材より下の位置から出射する露光装置。 - 前記ヒートシンクと前記上段部材との間にペルチェ素子が設置されてなることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記光源素子を覆い前記光源素子及び前記上段部材の上面に密着する断熱材が設けられてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 前記中段部材が金属製であり、
前記中段部材下に設置され、発熱部が前記中段部材に接続された電気基板と、
前記中段部材の上面に固定されたヒートシンクとを備えることを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載の露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004248291A JP2006065040A (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004248291A JP2006065040A (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | 露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006065040A true JP2006065040A (ja) | 2006-03-09 |
Family
ID=36111589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004248291A Pending JP2006065040A (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006065040A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009530670A (ja) * | 2006-03-21 | 2009-08-27 | エクスポーズ ホールディング アーゲー | 内面ドラム・イメージセッタ |
-
2004
- 2004-08-27 JP JP2004248291A patent/JP2006065040A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009530670A (ja) * | 2006-03-21 | 2009-08-27 | エクスポーズ ホールディング アーゲー | 内面ドラム・イメージセッタ |
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