JP2006064751A - 静電アクチュエータおよび光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】構造が単純で、起動時の回転トルクを得やすい。
【解決手段】ミラー111が形成された可動部材101は、2層構造(可動部材134、135、絶縁材136)であり、梁部材102も2層構造であり、保持部材104も2層構造(保持部材131、132、絶縁材133)である。櫛歯状電極114と115、櫛歯状電極112と113、櫛歯状電極118と119、櫛歯状電極116と117がかみ合うように形成される。コンタクト部125、122、電極116、114にV1、可動電極に0Vを印加することにより、可動部材101は時計方向に回転し、コンタクト部127、121、電極118、112にV2、可動電極に0Vを印加することにより、可動部材101は反時計方向に回転する。
【選択図】図1
【解決手段】ミラー111が形成された可動部材101は、2層構造(可動部材134、135、絶縁材136)であり、梁部材102も2層構造であり、保持部材104も2層構造(保持部材131、132、絶縁材133)である。櫛歯状電極114と115、櫛歯状電極112と113、櫛歯状電極118と119、櫛歯状電極116と117がかみ合うように形成される。コンタクト部125、122、電極116、114にV1、可動電極に0Vを印加することにより、可動部材101は時計方向に回転し、コンタクト部127、121、電極118、112にV2、可動電極に0Vを印加することにより、可動部材101は反時計方向に回転する。
【選択図】図1
Description
本発明は、マイクロマシニング技術を応用した微小光学系、ミラー走査装置に関し、デジタル複写機、及びレーザプリンタ等の書込系に用いられる光走査装置、バーコードリーダー等の読み取り装置、または投射型画像表示装置に好適な技術に関する。
従来の振動ミラーは、同一直線上に設けられた2本の梁で支持されたミラー基板を、ミラー基板に対向する位置に設けた電極との間の静電引力で、2本の梁をねじり回転軸として往復振動させている(例えば、非特許文献1を参照)。マイクロマシニング技術で形成されるこの振動ミラーは、従来のモーターを使ったポリゴンミラーの回転による光走査装置と比較して、構造が簡単で半導体プロセスでの一括形成が可能なため、小型化が容易で製造コストも低く、また単一の反斜面であるため複数面による精度のばらつきがなく、さらに往復走査であるため高速化にも対応できる等の効果が期待できる。
このような静電駆動の振動ミラーとしては、梁をS字型として剛性を下げ、小さな駆動力で大きな振れ角が得られるようにしたもの(例えば、特許文献1を参照)、梁の厚さをミラー基板、フレーム基板よりも薄くしたもの(例えば、特許文献2を参照)、固定電極をミラー部の振動方向に重ならない位置に配置したもの(例えば、特許文献3、非特許文献2を参照)、また、対向電極をミラーの振れの中心位置から傾斜させて設置することで、ミラーの振れ角を変えずに駆動電圧を下げたものがある(例えば、非特許文献3を参照)。
IBM J.Res.Develop Vol.24 (1980)
The 13th Annual International Workshop on MEMS2000 (2000) 473-478
The 13th Annual International Workshop on MEMS2000 (2000) 645-650
特許第2924200号公報
特開平7−92409号公報
特許第3011144号公報
2本の梁で可動部材を両側から保持し、この梁をねじり回転軸として可動部材を静電引力により往復振動させる静電アクチュエータとしては、可動部材を一方の共通電極として、ねじり回転軸の両側にある駆動のための他方の2つの電極を、可動部材の平面側に対向させるものと、可動部材の端面側に対向させるものがある。
ここで、静電引力Wは、誘電率をε、印加電圧をV、電極間距離をt、電極面積をSとすると次式で与えられる。
W=0.5ε(V/t)2S
静電力引力を発生させる電極をミラー基板の端面側に対向させて形成した静電アクチュエータは構造が簡単で形成方法も容易であるが、可動部材の変位が大きくなると、電極間距離が大きくなり、静電引力が小さくなる欠点があった。また可動部材が静止している状態では、電圧を印加しても電極間に作用する静電引力が回転軸に対して鏡面対称で作用するので回転トルクとならないで、起動が困難であった。
W=0.5ε(V/t)2S
静電力引力を発生させる電極をミラー基板の端面側に対向させて形成した静電アクチュエータは構造が簡単で形成方法も容易であるが、可動部材の変位が大きくなると、電極間距離が大きくなり、静電引力が小さくなる欠点があった。また可動部材が静止している状態では、電圧を印加しても電極間に作用する静電引力が回転軸に対して鏡面対称で作用するので回転トルクとならないで、起動が困難であった。
本発明の目的は、上記の欠点を解消し構造が単純で、起動時の回転トルクを得やすい静電アクチュエータ及び光走査装置を提供することにある。
本発明は、可動部材が梁部材で保持部材と連結されており、静電引力により可動部材が変位する静電アクチュエータにおいて、静電引力を発生させる電極が多層構造に形成されていることを最も主要な特徴とする。
本発明(請求項1)の静電アクチュエータは、可動部材が梁部材で保持部材と連結されており、静電引力により可動部材が変位し、静電引力を発生させる電極が多層構造に形成されているので、高い静電トルクを得ることができる。
本発明(請求項2)の静電アクチュエータは、梁部材が可動部材の回転中心軸上に設けられ、保持部材上で可動部材の回転中心を軸とした回転対称の位置に静電引力を発生させる電極の一方が多層構造に形成されていて、静電引力を発生させる電極の他の一方は可動部材上で多層構造であるので、高い回転トルクを持つ、回転アクチュエータとして動作する。
本発明(請求項3)の静電アクチュエータは、可動部材上と保持部材上に形成された静電引力を発生させる電極が共に2層であるので形成工程を簡潔にできる。
本発明(請求項4)の静電アクチュエータは、可動部材上に形成された静電引力を発生させる多層電極が2層であり、保持部材上に形成された静電引力を発生させる多層電極が3層であるので、より高い回転トルクを発生できる。
本発明(請求項5)の静電アクチュエータは、静電引力を発生させる電極が櫛歯構造の電極であるので、静電引力を強く発生させ、より高い回転トルクを得ることができる。
本発明(請求項6)の静電アクチュエータは、可動部材がリブ構造を有しているので、可動部材を軽量化でき、低電圧で駆動できる。
本発明(請求項7)の静電アクチュエータは、可動部材、梁部材、及び保持部材は同一の基板より加工形成してなるので、寸法精度が良く、且つ変位精度を高くできる。
本発明(請求項8)の静電アクチュエータは、単結晶シリコンを材料として形成されているので、欠陥が少なく、アクチュエータの寿命を長くできる。
本発明(請求項9)に記載の光偏向装置は静電アクチュエータを使用しているので構造が単純で、偏向精度が高く寿命を長くできる。
本発明(請求項10)の光偏向装置は、ミラー面が梁部材の中心と同一であるでの、反射ビームの形状変化の少ない光偏向装置とすることができる。
以下、発明の実施の形態について図面により詳細に説明する。
図1は、本発明の実施例1に係る光走査装置の構成を示す。図1(a)は光走査装置全体の正面図、図1(b)は正面図中のA、A’間に示される点線部の断面図、図1(c)は正面図中のB、B’間に示される点線部の断面図、図1(d)は正面図中C、C’間に示される点線部の断面図である。
図1は、本発明の実施例1に係る光走査装置の構成を示す。図1(a)は光走査装置全体の正面図、図1(b)は正面図中のA、A’間に示される点線部の断面図、図1(c)は正面図中のB、B’間に示される点線部の断面図、図1(d)は正面図中C、C’間に示される点線部の断面図である。
可動部材101は、同一直線上に設けられた2本の梁部材102、103でその中央部分を支持されている。可動部材101は図1(b)に示すように、第1の可動部材134が、絶縁材料136を介して、第2の可動部材135と一体の2層構造をなしている。
同様に梁部材102も図1(c)に示すように、第1の梁部材137が、絶縁材料139を介して、第2の梁部材138と一体の2層構造をなしている。また梁部材103の構成は梁部材102と同じである。2本の梁部材102、103は、可動部材101が必要とする振れ角が得られるような剛性となるように断面寸法、形状、長さが設定され、可動部材101の外側に設けられた共通の保持部材104に固定されている。
可動部材101の梁に支持されていない両側の端面には静電引力を形成する電極として、第1の可動部材134中に櫛歯状電極113、115、第2の可動部材135中に櫛歯状電極117、119が保持部材104に近接対向して形成されている。可動部材101上には使用する光に対して十分な反射率をもつミラー111が形成されている。
保持部材104は図1(b)に示すように、第1の保持部材131が、絶縁材料133を介して、第2の保持部材132と一体の2層構造をなしている。保持部材中、第1の保持部材131には櫛歯状電極114が、第1の可動部材134中の櫛歯状電極115とかみ合うように、また櫛歯状電極112が第1の可動部材中134中の櫛歯状電極113とかみ合うように形成されている。同様に第2の保持部材132には櫛歯状電極118が、第2の可動部材135中の櫛歯状電極119とかみ合うように、また櫛歯状電極116が第2の可動部材中135中の櫛歯状電極117とかみ合うように形成されている。
保持部材中、第1の保持部材131には櫛歯状電極112に電圧を印加するための電流経路106とコンタクト部121、及び櫛歯状電極114に電圧を印加するための電流経路105とコンタクト部122が形成されていて、この2つのコンタクト部は絶縁スリット107、108、109、110により互いに絶縁されている。加えて第1の保持部材131には可動部材中の櫛歯状電極113,115に電圧を印加するためのコンタクト部129が形成されている。
また第2の保持部材132には櫛歯状電極116に電圧を印加するための電流経路124とコンタクト部125、及び櫛歯状電極118に電圧を印加するための電流経路126とコンタクト部127が形成されていて、この2つのコンタクト部は絶縁スリット141、142、143、144により互いに絶縁されている図1(d)。コンタクト部127の断面において、図1(d)と同様に、電流経路124が電流経路126に相当し、絶縁スリット141、142が絶縁スリット143、144に相当する。
本発明の静電アクチュエータの駆動方法及び動作を図2を用いて説明する。図中の電源V1に電圧を印加すると(電極214、216=V1、可動電極=0V)、静電引力は2層構成の可動部材中の電極と、2層構成の保持部材中の電極の内、213−216間、217−216間、219−214間及び、215−214間に作用する。このうち可動部材101を梁部材を軸として回転する方向に作用する回転モーメントMの大小関係はM(213−216)>M(217−216)であり、またM(219−214)>M(215−214)である。さらにM(213−216)とM(219−214)は可動部材を断面図中で時計方向に回転させるトルクとして作用する。したがって電圧を印加することにより可動部材は断面図中で、時計方向に回転変位する。
また、図中の電源V2に電圧を印加すると(電極212、218=V2、可動電極=0V)、静電引力は2層構成の可動部材中の電極と、2層構成の保持部材中の電極の内、217−212間、213−212間、215−218間及び、219−218間に作用する。このうち可動部材を梁部材を軸として回転する方向に作用する回転モーメントMの大小関係はM(217−212)>M(213−212)であり、またM(215−218)>M(219−218)である。さらにM(217−212)とM(215−218)は可動部材を断面図中で反時計方向に回転させるトルクとして作用する。したがって電圧を印加することにより可動部材は断面図中で、反時計方向に回転変位する。
本発明の実施例1における光走査装置の製造方法を図3を用いて説明する。可動部材、梁部材、保持部材の形成には高精度の微細加工が容易で導電性材料として使用できる低抵抗の単結晶シリコンからなるSOI基板を用いた。
厚さ50umの両面研磨された2枚のシリコン基板331、332を厚さ5μmのシリコン酸化膜333を介して接合し、SOI基板とした。このSOI基板からシリコンの微細加工技術として知られる、フォトリソグラフィーとドライエッチングの手法を用いて、2層構成の保持部材304(2mm×2mm)、2層構成の梁部材302、303(幅20μm、長さ500μm)、2層構成の可動部材301(1mm×1mm)、2層構成の櫛歯状電極312、313、314、315、316、317、318、319(長さ100μm、間隔5μm、ピッチ50μm)、基板331中に絶縁スリット部307、308、309、310(幅5μm)コンタクト部形成のための貫通穴328,329,340(500μm×500μm)を形成した。また基板332中にも、基板331中の絶縁スリット部(307、308、309、310)と同様の図示しない絶縁スリット部(341〜344)(幅5μm)を形成した(図3(a))。
次に、酸化膜333が表面に現れている部分のうち絶縁スリット部307、308、309、310、341、342、343、344を除く部分の酸化膜(図中点線部)をドライエッチングの手法で除去した(図3(b))。
最後に、コンタクト部321、322、325、327、329、330(300μm×300μm)と可動部材上にミラー部311(800μm×800μm)を形成して(図3(c))、本発明の光走査装置が完成した。
図4は、本発明の実施例2に係る光走査装置の構成を示す。図4(a)は光走査装置全体の正面図、図4(b)は正面図中のA、A’間に示される点線部の断面図、図4(c)は正面図中のB、B’間に示される点線部の断面図、図4(d)は正面図中C、C’間に示される点線部の断面図である。実施例2は、リブ構造を除いて基本的に実施例1と同様である。
可動部材401は同一直線上に設けられた2本の梁部材402、403でその中央部分を支持されている。可動部材401は図4(b)に示すように、第1の可動部材434が、絶縁材料436を介して、第2の可動部材435と一体の2層構造をなしている。
同様に梁部材402も図4(c)に示すように、第1の梁部材437が、絶縁材料439を介して、第2の梁部材438と一体の2層構造をなしている。また梁部材403の構成は梁部材402と同じである。2本の梁部材402、403は、可動部材が必要とする振れ角が得られるような剛性となるように断面寸法、形状、長さが設定され、可動部材の外側に設けられた共通の保持部材404に固定されている。
可動部材の梁に支持されていない両側の端面には静電引力を形成する電極として、第1の可動部材434中に櫛歯状電極413、415、第2の可動部材435中に櫛歯状電極417、419が保持部材404に近接対向して形成されている。可動部材401上には使用する光に対して十分な反射率をもつミラー411が形成されている。また可動部材のミラーが形成されていない面にはリブ構造420が形成されている。
保持部材404は図4(b)に示すように、第1の保持部材431が、絶縁材料433を介して、第2の保持部材432と一体の2層構造をなしている。保持部材中、第1の保持部材431には櫛歯状電極414が、第1の可動部材434中の櫛歯状電極415とかみ合うように、また櫛歯状電極412が第1の可動部材中434中の櫛歯状電極413とかみ合うように形成されている。同様に第2の保持部材432には櫛歯状電極418が、第2の可動部材435中の櫛歯状電極419とかみ合うように、また櫛歯状電極416が第2の可動部材中435中の櫛歯状電極417とかみ合うように形成されている。
保持部材404中、第1の保持部材431には櫛歯状電極412に電圧を印加するための電流経路406とコンタクト部421、及び櫛歯状電極414に電圧を印加するための電流経路405とコンタクト部422が形成されていて、この2つのコンタクト部は絶縁スリット407、408、409、410により互いに絶縁されている。加えて第1の保持部材431には可動部材中の櫛歯状電極413,415に電圧を印加するためのコンタクト部429が形成されている。
また第2の保持部材432には櫛歯状電極416に電圧を印加するための電流経路424とコンタクト部425、及び櫛歯状電極418に電圧を印加するための図示しない電流経路426とコンタクト部427が形成されていて、この2つのコンタクト部は絶縁スリット441、442、図示しない絶縁スリット443、444により互いに絶縁されている(図4(d))。
図5は、本発明の実施例2に係る光走査装置の構成を示す。図5(a)は光走査装置全体の正面図、図5(b)は正面図中のA、A’間に示される点線部の断面図である。
本実施例では、可動部材中501上に形成されたミラー511は2層構成の可動部材の1層を除去し、中央の絶縁膜状に形成されている。その他の部分は実施例1と同様である。
図6は、本発明の実施例4に係る光走査装置の構成を示す。図6(a)は光走査装置全体の正面図、図6(b)は正面図中のA、A’間に示される点線部の断面図である。
本実施例では、保持部材は3層構成である。そして、保持部材の第3層目641においても、櫛歯状電極642、643とそれらに電圧を印加するためのコンタクト部644,645が形成されている。その他の部分は実施例1と同様である。
101 可動部材
102、103 梁部材
104 保持部材
111 ミラー
113〜119 櫛歯状電極
121、122 コンタクト部
107〜110 絶縁スリット
102、103 梁部材
104 保持部材
111 ミラー
113〜119 櫛歯状電極
121、122 コンタクト部
107〜110 絶縁スリット
Claims (10)
- 可動部材が梁部材で保持部材と連結され、静電引力により可動部材が変位する静電アクチュエータにおいて、静電引力を発生させる電極は多層構造に形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1記載の静電アクチュエータにおいて、梁部材は可動部材の回転中心軸上に設けられ、保持部材上で可動部材の回転中心を軸とした回転対称の位置に静電引力を発生させる電極の一方が多層構造に形成されていて、静電引力を発生させる電極の他の一方は可動部材上で多層構造に形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1または2記載の静電アクチュエータにおいて、可動部材上と保持部材上に形成された静電引力を発生させる電極は、共に2層であることを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1または2記載の静電アクチュエータにおいて、可動部材上に形成された静電引力を発生させる多層電極は2層であり、保持部材上に形成された静電引力を発生させる多層電極は3層であることを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、静電引力を発生させる電極は櫛歯構造の電極であること特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、可動部材はリブ構造を有していることを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、可動部材、梁部材、及び保持部材は同一の基板より加工形成してなることを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項7記載の静電アクチュエータは単結晶シリコンを材料として形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、可動部材の表面にはミラー部材が形成され、ミラー部材に入射した光線を梁部材を軸とした回転方向に偏向走査することを特徴とする光走査装置。
- 請求項9記載の光走査装置において、ミラー面は梁部材の中心と同一であることを特徴とする光走査装置。
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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