JP2006063412A - 成膜方法および成膜装置 - Google Patents
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Abstract
ホルダの寿命を延長可能な成膜方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】
開口部の周囲に段差を有し、段差下部が開口部側に張り出して保持部を構成するホルダを用い、前記段差上に板状成膜対象物を保持し、開口部側から板状成膜対象物上に成膜を行う成膜方法において、成膜方法は、段差下部先端が磨耗したホルダの段差上にはサブホルダを設置した、ホルダの段差上方に板状成膜対象物を配置するロード工程と、前記ホルダの段差上方にサブホルダを介して保持された板状成膜対称物上に前記開口部、サブホルダを介して成膜を行う成膜工程と、前記ホルダから成膜後の板状成膜対象物を取り出すアンロード工程と、を含む。
【選択図】 図2
Description
図3Aに示すように、インライン式成膜装置10は、カセットステーション20、脱着ステーション30、真空槽40、キャリアリターン50を有する。カセットステーション20は大気雰囲気で、複数枚の基板を収容したカセット21を複数収容する。カセットステーション20内には基板移し変え用のロボット23が配置されている。脱着ステーション30は、キャリアに搭載されたホルダ1上の成膜済みのガラス基板5を受け取って(アンロードして)、カセット21に収容し、カセット21から新たな未成膜のガラス基板5を取出し、ホルダ1上に搭載(ロード)する場所である。ロボット23は、ガラス基板5を裏側から吸着し、ホルダ1とカセット21との間でガラス基板5を移し変える。ガラス基板はホルダごと成膜装置内を移動する。なお、成膜対象物はガラス基板に限らない。他の板状基板でもよい。
本発明の他の目的は、ホルダの寿命を延長可能な成膜方法および成膜装置を提供することである。
図1に示すように、インライン式成膜装置10は、カセットステーション20、脱着ステーション30、真空槽40、キャリアリターン50を有する。真空槽内の各室はゲートバルブで分離されている。カセットステーション20は大気雰囲気で、複数枚(例えば20ないし25枚)のガラス基板を収容したカセット21を複数収容する。成膜前のガラス基板を複数枚収容したカセットを搬入し、順次成膜を行い、成膜後のガラス基板を複数枚カセットに収容して搬出する。カセットステーション20内には基板移し変え用のロボット23が配置されている。
200,000+5,000×30=350,000/2年、
すなわち、175,000円/年
であった。
200,000+5,000×60+10,000+1、000×30
=540,000/4年、
すなわち135,000円/年
であった。差額は1ホルダ当たり、40,000円/年である。成膜装置には60ホルダ使用しているので、成膜装置あたりの差額は、
40,000×60=2,400,000円/年
であった。
2 段差
3 開口
5 成膜対象物(基板)
7 サブホルダ
8 車輪
9 ラックアンドピニオン
10 成膜装置
20 カセットステーション
21 カセット
23 ロボット
30 脱着ステーション
40 真空槽
41 仕込室
42 加熱室
43 成膜室
44 取出室
50 キャリアリタ−ン
HA 保持エリア
Claims (5)
- 開口部の周囲に段差を有し、段差下部が開口部側に張り出して保持部を構成するホルダを用い、前記段差上に板状成膜対象物を保持し、開口部側から板状成膜対象物上に成膜を行う成膜方法において、
段差下部先端が磨耗したホルダの段差上にはサブホルダを設置した、ホルダの段差上方に板状成膜対象物を配置するロード工程と、
前記ホルダの段差上方にサブホルダを介して保持された板状成膜対称物上に前記開口部、サブホルダを介して成膜を行う成膜工程と、
前記ホルダから成膜後の板状成膜対象物を取り出すアンロード工程と、
を含む成膜方法。 - 前記サブホルダは、開口部を囲む閉じた形状を有する請求項1記載の成膜方法。
- 前記サブホルダは、成膜対象物に対して所定幅以上の保持エリアを確保する請求項1または2記載の成膜方法。
- さらに、前記ロード工程および前記アンロード工程が、ロボットにより前記板状成膜対象物を吸着保持して、前記板状成膜対象物を移し変える工程を含む請求項1〜3のいずれか1項記載の成膜方法。
- 開口部の周囲に段差を有し、段差下部が開口部側に張り出して保持部を構成するホルダを用い、前記ホルダの段差下部上に板状成膜対象物を保持し、開口部側から板状成膜対象物上に成膜を行う成膜装置において、段差下部先端が磨耗したホルダと、段差下部先端が磨耗したホルダの段差上に設置され、前記開口部側に張り出すサブホルダと、を含む成膜装置。
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JP2004248729A JP4408071B2 (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | 成膜方法および成膜装置 |
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CN107505740A (zh) * | 2017-09-15 | 2017-12-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板承载装置 |
CN107505740B (zh) * | 2017-09-15 | 2020-06-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板承载装置 |
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