JP2006054163A - 発光装置及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】 複雑な製造工程を経ずに配線や陰極での光反射を抑えてコントラスト向上を実現することができ、製造コストを抑えることもできる発光装置、及び当該発光装置を搭載した電子機器を提供すること。
【解決手段】 基板2を透過した入射光は、一部がハーフミラー14又は37で反射し、残りはこのハーフミラー14又は37を透過し、ソース配線17や陰極34で反射して戻ってくる。したがって、ハーフミラー14とソース配線17、ハーフミラー37と陰極34との距離をそれぞれ所定の距離にすることで、ハーフミラー14又は37で反射する光と、ソース配線17又は陰極34で反射する光とを干渉させて打ち消し合うようにすることができる。
【選択図】 図5

Description

本発明は、例えば有機EL(Electro-Luminescence)装置、無機EL装置に代表される発光装置及び当該発光装置を搭載した電子機器に関する。
ボトムエミッション型の有機EL装置は、例えばガラス基板等の透明な基板の一面側に絶縁膜を介して複数の発光素子(画素)が設置され、各画素間に対応する領域には配線等が形成される。各画素で発生した光は、当該基板を透過して射出される。この基板は、発光層からの光を外部に透過する一方で、外部からの光を有機EL装置内部に入射させる場合もある。有機EL装置の内部では、各画素の発光部とそれ以外の画素間との面積比が例えば4:6程度になっており、外部から基板を透過してきた入射光の大部分が画素間に設けられた配線で反射する。また、配線で反射しなくても、画素等を透過し陰極となる共通電極で反射する場合もある。従って、この有機EL装置を駆動したとき、表示面には画素からの発光と、配線や共通電極による反射光とが混ざり合って表示されるため、コントラストの低下を招くことになる。
このようなコントラスト低下を抑えるため、従来では、例えば表示部に円偏光板を重ねることで配線や共通電極に入射光を到達させないようにする方法や、特許文献1に開示されるように、配線間に光を吸収する有機材料をブラックマトリクスとして配置することで、内部で反射した光を外部に漏らさないようにする方法が提案されている。
特開平10−214043号公報
しかしながら、円偏光板は高価であるため、当該円偏光板を用いた発光装置のコストは増大する。一方、上記特許文献1に記載の方法では、配線間を埋めるようにブラックマトリクスをパターニングする必要があり、製造工程が煩雑で困難なものになってしまう上、ブラックマトリクスには炭素が含まれているため、配線同士が炭素を介して電気的に導通してしまう可能性が高い。
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、複雑な製造工程を経ずとも配線や陰極での光反射を抑えて表示コントラストの向上を実現することができ、かつ製造コストを抑えることもできる発光装置、及び当該発光装置を搭載した電子機器を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明に係る発光装置は、透明な基板と、前記基板の一面側に設けられ電気信号により発光する発光層と、前記発光層に前記電気信号を伝えるための導電部とを有し、前記発光層からの光が前記基板を透過して射出される発光装置であって、前記導電部と前記基板との間に、前記導電部と所定の距離をおいて、前記基板を通して入射される入射光の一部を反射し、残りの入射光を透過する光半透過半反射層が設けられたことを特徴とする。
本発明では、基板を透過した入射光は、一部が光半透過半反射層で反射し、残りが光半透過半反射層を透過し導電部で反射して戻ってくる。したがって、光半透過半反射層と導電部との距離を所定の距離にすることで、光半透過半反射層で反射する光と、導電部で反射する光とを干渉させて打ち消し合うようにすることができる。これにより、当該発光装置を駆動したとき、導電部からの反射光が視認されないため、コントラストを向上させることができる。また、本発明では、例えば導電部が形成された部分に光半透過半反射層を形成すれば良いため、配線間を埋めるようなパターニングは必要無く、円偏光板を用いる必要も無い。これにより、本発光装置は煩雑な製造工程を経ることもなく、低コストで製造できる。
また光半透過半反射層と導電部との間には、様々な透明絶縁部材を介挿することができ、材料の選択が自由である。更には、例えばブラックマトリクスのように光を吸収する部材を配置した場合、変換された熱が当該光吸収部材に蓄積され、発光装置に悪影響を及ぼすおそれがあるが、本発明では光半透過半反射層を配置し、光を干渉させて打ち消しあうようにしたので蓄熱することも無く、発光装置を安定して駆動することができる。特に本発明を有機EL装置に適用した場合には、発光層に悪影響を与えることなく装置を駆動することができる。
ここで、「所定の距離」については、光半透過半反射層で反射する光と導電部で反射する光とが干渉して打ち消しあうような距離、例えば0次干渉が起こる距離とすることが好ましい。しかし、例えば光半透過半反射層と導電部とが近づきすぎて絶縁部材を介挿することが困難な場合等には、1次干渉や2次干渉が起こる距離としても構わない。なお、入射光の「一部」及び「残り」の表現は、入射光の強度又は光量についての「一部」及び「残り」を意味するものであって、波長成分の「一部」及び「残り」を意味するものではない。
また、前記光半透過半反射層は、前記導電部のパターンとほぼ同一のパターンになるように設けられることが好ましい。この場合、光半透過半反射層の形状を、導電部の形状と同一になるようにパターンを形成しても良い。これにより、導電部及び光半透過半反射層を作製する際に同様の工程を繰りかえせば良く、特別な製造工程を設ける必要が無くなる。また、導電部より光半透過半反射層を広い範囲に形成しても良い。これにより、例えば斜め方向からの光を透過・反射することもでき、コントラストが一層向上する。
また本発明は、前記導電部及び前記発光層に電気的に接続されたトランジスタを具備し、前記導電部が、前記トランジスタのゲート線及びソース線のうち少なくとも一方に該当することが好ましい。通常、TFTアクティブマトリクス型の発光装置では、各発光層にそれぞれトランジスタが形成され、各トランジスタには配線のゲート線やソース線等が形成される。このように、発光層間に配線が多く形成されるTFTアクティブマトリクス型の発光装置にあっては、当該配線での反射を抑えることができるため、本発明の意義は特に大きい。
また、前記導電部は、前記発光層の共通電極であることが好ましい。本発明によれば、発光層を透過して共通電極で反射する光を打ち消すことができるので、一層コントラストが良くなる。この場合、光半透過半反射層は陰極となる共通電極から所定の距離をおいて形成することが好ましい。
また、前記所定の距離をd1、前記入射光の波長をλ1、前記導電部と前記光半透過半反射層との間の領域の屈折率をn1、ゼロ以上の整数をm1とすると、前記距離d1が、 d1=λ1(1/2+m1)/2n1・・・・(式1)
で表されるように、前記光半透過半反射層が設けられることが好ましい。本発明は、いわゆるブラッグの式を用い所定の距離d1を計算した上で、光半透過半反射層を配置するので、干渉の精度を高めることができる。
また、前記(式1)におけるλ1の値が、可視光の中心波長付近の値であることが好ましい。可視光の中でも中心波長付近の光は人間にとって高感度で認識される。本発明によれば、当該中心波長付近の光の反射を抑えることができるので、他の波長の光の反射を抑えた場合と比べて反射光がより減少する。これにより、コントラスト向上の効果を一層高めることができる。
また、前記光半透過半反射層で反射する反射光の強度と、前記光半透過半反射膜を透過して前記導電部で反射し、再び前記光半透過半反射膜を透過した戻り光の強度とがほぼ等しくなるように前記半透過半反射層の透過率と反射率が設定されていることが好ましい。これにより、光半透過半反射層で反射する光と導電部で反射した光とがほぼ完全に打ち消し合うことになる。
また、前記光半透過半反射層が金属からなることが好ましい。本発明の光半透過半反射層は、光の干渉を起こすために必要な部位であるため、屈折率、層厚などの物理特性が変化するのは好ましくない。金属は一般的に水銀などの液体金属を除いては、高温下であっても樹脂と比べて変形しにくい性質を有する。従って、当該発光装置を駆動したときに発生する熱によって変形しにくく、屈折率、層厚等の物理特性が変化することは無いので、高いコントラスト状態を維持することができる。本発明で用いられる金属としては、例えばアルミニウム等の反射性の高い金属が好ましい。このような金属を薄膜の層にすることで、光を透過させることもできる。この場合、膜質向上のためアルミニウムに例えば銅やネオジム等を加えても良い。
本発明の別の手段に係る発光装置は、透明な基板と、前記基板の一面側に設けられ電気信号により発光する発光層と、前記発光層に前記電気信号を伝えるための導電部とを有し、前記発光層からの光が前記基板を透過して射出される発光装置であって、前記導電部と前記基板との間に設けられ、前記基板側からの光を反射する光反射層と、前記光反射層と前記基板との間に前記光反射層と所定の距離をおいて設けられ、前記基板を通して入射される入射光の一部を透過し、残りの入射光を反射する光半透過半反射層とを具備することを特徴とする。
本発明では、光半透過半反射層を透過した光を導電部で反射させるのではなく、当該光を反射させるための光反射層を別途設けるようにしたので、導電部の配置に拘束されずに当該光反射層を任意の場所に設けることができる。例えば導電部が形成された領域だけではなく、発光層の周りの全域に光半透過半反射層及び光反射層を形成しても良い。また、光反射層を構成する材料については、特に導電性を有しているかどうかは問われないため、反射特性の良い最適な材料を選択することができる。
また、前記光半透過半反射層が、前記光反射層のパターンとほぼ同一のパターンになるように設けられていることが好ましい。この場合、光半透過半反射層の形状を、光反射層の形状と同一になるようにパターンを形成しても良い。これにより、光半透過半反射層及び光反射層を作製する場合に同様の工程を繰りかえせば良く、特別な製造工程を設ける必要が無い。また、光反射層よりも光半透過半反射層を広い範囲に形成しても良い。これにより、例えば斜め方向からの光を透過・反射することもでき、コントラストが一層向上する。
また、前記所定の距離をd2、前記入射光の波長をλ2、前記光反射層と前記光半透過半反射層との間の領域の屈折率をn2、ゼロ以上の整数をm2とすると、前記距離d2が、
d2=λ2(1/2+m2)/2n2・・・・(式2)
で表されるように、光反射層と前記光半透過半反射層とが設けられることが好ましい。本発明は、いわゆるブラッグの式を用い所定の距離d2を計算した上で、光反射層と前記光半透過半反射層とを配置するので、干渉の精度を高めることができる。
また、前記(式2)におけるλ2の値が、可視光の中心波長付近の値であることが好ましい。本発明によれば、視感度の高い当該中心波長付近の光の反射を抑えることができるので、他の波長の光の反射を抑えた場合と比べて、反射光をより減少させることができる。これにより、コントラスト向上の効果を一層高めることができる。
また、前記光半透過半反射層で反射する光の強度と、前記光半透過半反射膜を透過して前記光反射層で反射し、再び前記光半透過半反射膜を透過する光の強度が、ほぼ等しくなるように前記半透過半反射層の透過率と反射率が設定されていることが好ましい。これにより、光半透過半反射層で反射する光と、光反射層で反射した光とがほぼ完全に打ち消し合うことになる。
また、前記光半透過半反射層が、金属からなることが好ましい。当該発光装置を駆動したときに発生する熱等によって変形しにくく、屈折率、層厚等の物理特性も変化することが無いので、高いコントラストの状態を維持することができる。
本発明に係る電子機器は、上記の発光装置を搭載したことを特徴とする。これにより、コントラストが高く、製造コストがかからない電子機器を得ることができる。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態を図面に基づき説明する。以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。
図1は、有機EL装置1の全体構成を概略的に示す斜視図である。
有機EL装置1は、基板2に回路素子や配線、さらには絶縁層等が形成された基体10と、この基体10上に形成された有機EL素子3と、基体10の端部に取り付けられた外付け回路部4とを有しており、外付け回路部4から供給される電気信号に応じて有機EL素子3が発光することで、画像や動画等を表示できるようになっている。また、有機EL素子3及び基体10を覆うように封止部5が形成されている。以下本実施形態では、薄膜トランジスタ(Thin film Transistor:TFT)が形成されたアクティブマトリクス型であり、かつ、有機EL素子3により発生した光が基体10を透過して取り出されるボトムエミッション型である有機EL装置1を例に挙げて説明する。
図2は、図1の有機EL装置1の平面図である。この図では、図1の有機EL素子3及び封止部5を省略している。図3は、有機EL装置1のA−B断面を示す断面図である。図4は、有機EL装置1のC−D断面を示す断面図である。図5は、有機EL装置1の実表示領域Pの断面拡大図である。
図2に示すように、基体10は、画素部7(一点鎖線内の領域)と周縁部8(一点鎖線の外の領域)とに区画され、画素部7内では、実表示領域P(二点鎖線内の領域)とダミー領域Q(一点鎖線と二点鎖線との間の領域)とに更に区画される。また、画素部7の実表示領域Pは、有機EL素子3からの光が通過する画素領域Kと、電極や配線等が配置される画素間Lとに区画される。
図3、図4及び図5を参照して説明する。基体10の構成要素である基板2は、例えば、ガラス、石英、樹脂(プラスチックシート、プラスチックフィルム)等からなる透明基板である。本実施形態に係る有機EL装置1はボトムエミッション型であるため、光を取り出すためには基板2を透明にする必要がある。なお、基板2を透明にすることによって、外部からの光が基板2を透過して内部に到達する場合もある。基板2の表面2bには、下地として例えばSiO2等の透明な下地保護層11が形成されている。
図5に示すように、画素部7の実表示領域Pでは、下地保護層11上に、シリコン膜12、第1絶縁層(ゲート絶縁層)13、ハーフミラー14、ゲート配線15、第2絶縁層16、ソース配線17、ドレイン電極18、第3絶縁層19が形成されている。これらは画素間Lに形成される。また、図3、4に示すように、画素部7のダミー領域Qでは、下地保護層11上に、走査駆動回路20、データ駆動回路21、検査回路22等が形成されている。また、外付け回路部4に接続された電源線(図示せず)も形成されている。
シリコン膜12は、チャネル領域、ソース領域及びドレイン領域を有する駆動用トランジスタを形成する。シリコン膜12のうち、ゲート絶縁層13を挟んでゲート配線15と重なる領域がチャネル領域12aである。チャネル領域12aのソース側には、低濃度ソース領域12b及び高濃度ソース領域12sが形成され、チャネル領域12aのドレイン側には、低濃度ドレイン領域12c及び高濃度ドレイン領域12dが形成されている。このように駆動用薄膜トランジスタは、LDD(Light Doped Drain)構造を有する。
高濃度ソース領域12s及び高濃度ドレイン領域12dには、ゲート絶縁層13と第2絶縁層16とを連続して開孔したコンタクトホール23、24が形成されている。また、高濃度ドレイン領域12d側には、画素電極(陽極31)に接続されるように、第3絶縁層19を貫通してコンタクトホール25が形成されている。
ゲート絶縁層13は、例えばSiO2やSiN等で形成された透明な層であり、シリコン膜12とゲート配線15とを絶縁している。
ゲート配線15及びソース配線17は、図2に示すようにそれぞれマトリックス状に配設され、ゲート配線15は、例えばアルミニウムや銅等を用い図2のX方向に延びるように、また、ソース配線17は、ゲート配線15とほぼ直交する図2のY方向に延びるように形成されている。ソース配線17は、コンタクトホール23及びソース電極17aを介して高濃度ソース領域12sに接続される。また、ドレイン電極18は、高濃度ドレイン領域12dに接続されている。
第2絶縁層16は、主にSiO2からなる透明な層であり、ゲート配線15、ソース配線17、ドレイン電極18を絶縁している。
ゲート絶縁層13上には、例えばソース配線17と同一の形状でハーフミラー14が形成される。ハーフミラー14は、例えばアルミニウム等の金属からなり、薄膜状に形成することで基板2、下地保護層11及びゲート絶縁層13を透過した光の一部を基板2に向けて反射し、残りの光を透過できるようになっている。膜質向上のため、アルミニウムに例えば銅やネオジウム等を加えても良い。
また、外部からの入射光の波長をλ1、ソース配線17とハーフミラー14との間の領域(本実施形態においては、第2絶縁層16)の屈折率をn1、ゼロ以上の整数をm1とすると、ソース配線17から、
d1=λ1(1/2+m1)/2n1
で表される距離d1をおいて、ハーフミラー14を設けることが好ましい。このように設計すると、基板2を透過しハーフミラー14で反射した光と、ハーフミラー14をそのまま透過しソース配線17で反射した光が干渉して打ち消される。
また、可視光の中では中心波長付近の光が人間にとって高感度で認識されるため、中心波長付近の光の反射を抑えることができれば、他の波長の光の反射を抑えた場合と比べて、反射光をより減少させることができる。そこで、λ1を可視光線の中心波長、例えば520nmとしたときに算出されるd1の距離にハーフミラー14を設けることがより好ましい。本実施形態においては、第2絶縁層16(SiO2)の屈折率が1.46であるから、0次の干渉(m1=0)は、d1=89nmの距離で起こることになる。したがって、ソース配線17から89nmの距離にハーフミラー14を設けるようにする。
上記のように所定の距離にハーフミラー14を設けるためには、例えばソース配線17とハーフミラー14とに挟まれる第2絶縁層16の膜厚を適宜調節すればよい。即ちd1=89nmと算出された場合には、第2絶縁層16の膜厚を89nmとすることで、ハーフミラー14を所望の距離に設置することができる。
また、ハーフミラー14の膜厚を調節することによって(即ち、反射率および透過率の調整)、このハーフミラー14で反射する光の強度、及びハーフミラー14を透過する光の強度を変えることができる。例えば、ハーフミラー14の膜厚を薄くすれば、透過する光の強度が大きくなり、反射する光の強度が小さくなる。逆に、ハーフミラー14の膜厚を厚くすれば、透過する光の強度が小さくなり、反射する光の強度が大きくなる。したがって、基板2を透過しハーフミラー14で反射した光の強度と、ハーフミラー14をそのまま透過した後ソース配線17で反射し、再びハーフミラーを透過した光の強度とが同一になるような膜厚(例えば、10nm)であって、かつ光の位相が反転する距離にハーフミラー14を形成するのが好適である。このようにすれば、ハーフミラー14を透過してソース配線17で反射した光と、ハーフミラー14で反射した光とがほぼ完全に干渉し合い打ち消されることになる。
なお、ここではn1の値を第2絶縁層16の屈折率としたが、例えばゲート絶縁層13内にハーフミラー14を設ける場合には、当該ハーフミラー14とソース配線17との間の領域にゲート絶縁層13と第2絶縁層16とが含まれるため、これらの屈折率をもとにd1を算出する。また、上記のようにハーフミラー14の形状をソース配線17の形状と同一になるようにパターンを形成しても良いし、ソース配線17よりもハーフミラー14が広くなるように形成することで、斜め方向からの光を透過・反射できるようにしても良い。
第3絶縁層19は、例えばアクリル系の樹脂とし、ソース配線17とドレイン電極18及びコンタクトホール25とを絶縁する。なお、アクリル系の絶縁膜以外の材料、例えば、SiN、SiO2などを用いることもできる。
また、ダミー領域Qに設けられる走査駆動回路20は、シフトレジスタ等のメモリや信号レベルを変換するレベルシフタ等の回路を有しており、ゲート配線15に接続されている。データ駆動回路21は、このシフトレジスタ、レベルシフタの他、ビデオラインやアナログシフタ等の回路を有しており、ソース配線17に接続されている。走査駆動回路20及びデータ駆動回路21は、駆動制御信号線28a、28b(図3、4参照)を介して駆動部4に接続されており、当該外付け回路部4の制御によりゲート配線15及びソース配線17に電気信号を出力する。検査回路22は、有機EL装置1の作動状況を検査するための回路であり、例えば検査結果を外部に出力する検査情報出力手段(図示せず)等を備え、製造途中や出荷時の表示装置の品質、欠陥の検査を行うことができるように構成されている。また、走査駆動回路20、データ駆動回路21及び検査回路22は、駆動電源線29a、29bを介して電源に接続される。
周縁部8には、有機EL素子3に接続する接続用配線27が形成される。この接続用配線27は外付け回路部4に接続されており、当該接続用配線27を介して外付け回路部4からの電気信号を有機EL素子3に供給する。
一方、有機EL素子3は、陽極31、正孔注入層32、発光層33、共通電極(陰極)34、画素開口膜35及び有機バンク層36を有する。これらは上述した基体10上に積層される。陽極31、正孔注入層32及び発光層33は画素領域Kに形成され、画素開口膜35及び有機バンク層36は主に画素間Lに形成される。
陽極31は、正孔注入層32に正孔を注入する透明な電極であり、例えばITO(Indium Tin Oxide)等から形成され、コンタクトホール25を介してドレイン電極18に接続される。
正孔注入層32は、陽極31から注入された正孔を発光層33に輸送する層であり、例えばポリチオフェン誘導体、ポリピロール誘導体、あるいはそれらのドーピング体等から形成されている。また、陰極34は、外付け回路部4からの電気信号に応じて発光層33に電子を注入する層であり、例えばカルシウム等の金属により形成されている。陰極34は、実表示領域Pおよびダミー領域Qより広い面積を備え、それぞれの領域を覆うように形成され、有機EL素子3の外側を覆った状態に形成されている。この陰極34は、接続用配線27に接続され、当該接続用配線27を介して外付け回路部4に接続されている。なお製造時の陰極34の腐食防止のため、陰極34の上層部に例えばアルミニウム等の保護層を形成してもよい。
発光層33は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料、例えば低分子材料や高分子材料により形成されている。この発光層33では、正孔注入層32からの正孔と陰極34からの電子とが結合して光を発する。発光層33には、赤色光を発する層(33R)、緑色光を発する層(33G)、青色光を発する層(33B)の3種類がある。各発光層33R、33G、33Bからの光が、陽極31、正孔注入層32及び基体10を透過することで、基板2の実表示領域Pに画像や動画等が表示される。
画素開口膜35は、画素領域Kを区画する絶縁膜である。この画素開口膜35は、開口部35aにおいて陽極31からの正孔の移動を可能にすると共に、開口部35a以外での正孔の移動が起こらないように隔離している。
有機バンク層36は、正孔注入層32や発光層33をインクジェットによる液滴吐出法等で形成する際の隔壁であり、また、隣接する正孔注入層32及び発光層33の間で正孔の移動が起こらないようにする絶縁層である。有機バンク層36は、例えばアクリルやポリイミド等で形成される。なお、基板2から透過して内部に入射した光が陰極34に達し、当該陰極34で反射する場合もあるため、この有機バンク層36内に、陰極34から上述した所定の距離d1を置いてハーフミラー37が設けられている。ハーフミラー37は、上述したハーフミラー14と同様、基板2を通して入射した光の一部を反射し、残りを透過することができるようになっている。
図6は、このように構成された有機EL装置1の配線構造を概念的に示す模式図である。
この有機EL装置1によれば、ゲート配線15を介してゲート信号がONになると、スイッチング用TFT100がオン状態になる。するとそのときのソース配線17の電位が保持容量101に保持され、該保持容量101の電位状態に応じて、駆動用TFT12のON電流値が決まる。駆動用TFT12は、この状態に応じて電源線102から陽極31に電流を流す。陽極31は、正孔注入層32を介して発光層33に正孔を供給し、陰極34からは発光層33に電子が移動する。このように、電流が陽極31から陰極34に流れることにより、発光層33はこの電流量に応じて発光する。なお、保持容量101は、上述のハーフミラー14を利用して形成しても良い。
次に、本実施形態に係る有機EL装置1の製造工程について簡単に説明する。なお、本実施形態においては、基体10及び有機EL素子3の画素部7の領域を形成する工程を説明し、周縁部8を形成する工程の説明は省略する。
まず、公知の方法により、基板2に下地保護層11を形成し、その上にシリコン膜12を形成し、レーザーアニールにてポリシリコン化する。シリコン膜12をゲート絶縁層13で覆った後、ゲート配線15を形成する。
次に、ゲート絶縁層13上にソース配線17とほぼ同一のパターンとなるように、ハーフミラー14をパターニングして形成する。ハーフミラー14上には、当該ハーフミラー14とソース配線17との距離が上述した距離d1となるように決められた膜厚で、第2絶縁層16を形成する。
次に、コンタクトホール23、24、及びこのコンタクトホール23、24を介して接続するソース電極17aおよびドレイン電極18を形成し、さらに第2絶縁層16上に、ハーフミラー14と同一のパターンで、ハーフミラー14に重なるようにソース配線17をパターニングする。次に、ソース配線17及びドレイン電極18上に全体を覆う第3絶縁層19の形成をし、ドレイン側のコンタクトホール25をエッチングして形成する。なお、コンタクトホール25は、陽極31と接続させるため画素領域Kに形成する。このようにして駆動回路部分が形成される。
次に、有機EL素子3を形成する工程を説明する。
基体10の全面を覆っている第3絶縁層19上に、陽極31となる透明な導電膜を成膜し、画素領域Kに陽極31が形成されるようにこの導電膜をパターニングする。このとき、同時にダミー領域のダミーパターン(図示せず)も形成する。本工程により、画素領域Kでコンタクトホール25を介して陽極31とドレイン電極18とが接続される。
次に、第3絶縁層19の露出部分上に、やや陽極31に重なるように絶縁層である画素開口膜35を形成する。
この画素開口膜35上に、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等のレジストを溶媒に溶解した材料を用い、スピンコート法、ディップコート法などの各種塗布法により有機バンク層36を形成する。有機バンク層36内にはバンク形成工程を2回に分け、中間にハーフミラー37を形成してもよい。
次に、全面を所定温度、例えば70〜80℃に加熱してO2プラズマ処理を施す。このプラズマ処理は、大気雰囲気中で酸素を反応ガスとする処理であり、開口部35の壁面35a、上面35b、および陽極31の表面をそれぞれ親液化する。また、大気雰囲気中で4フッ化メタンを反応ガスとするCF4プラズマ処理により、有機バンク層36の上面36bおよび開口部36aを撥液性にする。その後、各部を室温まで冷却する。
次に、例えばインクジェット法等の液滴吐出法や、スピンコート法などにより、正孔注入層32を打ち込む。その後、乾燥処理および熱処理を行い、陽極31上に正孔注入層32を形成する。打ち込まれた液滴は、親液性処理がなされた陽極31上で広がり、開口部35a内に満たされ、その一方で、撥液性処理された有機バンク層36の開口部36aおよび上面36bでは液滴がはじかれて付着しない。なお、本工程以降は、正孔注入層32および発光層33の酸化を防止するため、窒素雰囲気、アルゴン雰囲気などの不活性ガス雰囲気で行うのが好ましい。
正孔注入層32を乾燥してアニールした後、例えばインクジェット法により、発光層形成材料を正孔注入層32上に吐出し、乾燥処理および熱処理を行って発光層33を形成する。本工程では、例えば発光層33Bの材料を青色の表示領域に選択的に塗布し、乾燥処理した後、同様にして緑色(33G)、赤色(33R)についてもそれぞれその表示領域に1色ずつ選択的に塗布し乾燥処理する。また、必要に応じて発光層33の上に電子注入層を形成してもよい。
乾燥とアニールをした後は、例えば蒸着法等の物理的気相蒸着法によりカルシウムを成膜して陰極34の形成を行う。陰極34が、発光層33、有機バンク層36の上面36b、有機バンク層36の外側部を形成する壁面36c(図3)を覆い、上述した接続用配線27に接続する。
なお、陰極34上に陰極保護層を形成する場合には、蒸着法等の物理的気相蒸着法により陰極34上に、例えばアルミニウム等の膜を成膜する。このようにして形成された駆動回路部を含む基体10、及び有機EL素子3のほぼ全体を封止部5により缶封止して有機EL装置1が完成する。
次に、図7(a)、(b)、および図8(a)、(b)を用い、本実施例と従来例を比較する。なお本図に於いては、原理的なところのみを示し、細部は省略してある。
図7は、本実施形態と異なりハーフミラー14又は37を設けていない場合であり、基板2を通して入射した光がソース配線17や陰極34等で反射し、発光層33で発光した光と共に射出されるため、著しく表示のコントラストを低下させている。この様子を画素間にあるソース配線17のハッチの有無で表現した。一方、図8に示した本実施形態の場合、ハーフミラー14又は37を設けたので、基板2を通して透過した光は、その一部がハーフミラー14又は37で反射し、残りの光はこのハーフミラー14又は37を透過し、ソース配線17や陰極34で反射して戻ってくる。しかしこの時、ハーフミラー14とソース配線17、ハーフミラー37と陰極34との距離を前述したそれぞれの所定の距離d1、d2にすることで、ハーフミラー14又は37で反射する光と、ソース配線17又は陰極34で反射する戻り光とを、ハーフミラーの外で干渉させて打ち消し合うようにすることができる。従って、当該有機EL装置1を駆動したときに実表示領域Pの反射光が抑えられるので、コントラストを向上させることができる。また、本実施形態では、ソース配線17や陰極34が形成された部分にハーフミラー14又は37を形成すれば良いため、ブラックマトリクスをゲート配線15やソース配線17等の配線間に埋める必要がなく、円偏光板等を用いる必要も無い。これにより、煩雑な製造工程を経ることなく、低コストの有機EL装置を提供できる。
(第2実施形態)
次に、本発明に係る発光装置の第2実施形態を説明する。第1実施形態と同様、以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。また、第1実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態では、ハーフミラーの構成が第1実施形態と異なっているため、この点を中心に説明する。
図9は、本実施形態に係る有機EL装置200の断面を示す概略図である。
有機EL装置200は、基板2に回路素子や配線、さらには絶縁層等が形成された基体10と、この基体10上に形成された有機EL素子3と、基体10の端部2a(図2)に取り付けられた外付け回路部4とを有しており、外付け回路部4から供給される電気信号に応じて有機EL素子3が発光することで、画像や動画等を表示できるようになっている。本実施形態は、薄膜トランジスタ(Thin film Transistor:TFT)が形成されたアクティブマトリクス型であり、また、有機EL素子3により発生した光が基体10を透過して取り出されるボトムエミッション型の有機EL装置である。従って、本実施形態は第1実施形態とほぼ同様であるが、基体10の下地保護層11上に、ハーフミラー50、第1透明層51、反射層52、第2透明層53が形成される点で異なっている。
ハーフミラー50は、例えばモリブデン等の金属により画素間L全体を覆うように形成されており、薄膜状にすることで、基板2及び下地保護層11を透過した光の一部を基板2に向けて反射し、残りを透過できるようになっている。また、反射層52は、ハーフミラー50と同様、例えばモリブデン等の金属により、第1透明層51を挟んでハーフミラー50と重なるように形成される。反射層52は、ハーフミラー50を透過した光がほぼ全反射するに十分な厚さ、例えば50nm程度になるように形成される。
第1透明層51は、ハーフミラー50を覆うように下地保護層11上に設けられ、第2透明層53は反射層52を覆うように第1透明層51上に設けられる。第1透明層51及び第2透明層53は、例えばSiO2等の透明な材料で形成される。
ハーフミラー50と反射層52とは同一形状であっても良いし、ハーフミラー50が反射層52よりも広くなるように形成しても良い。また、ハーフミラー50と反射層52との距離d2は、入射光の波長をλ2、第1透明層51の屈折率をn2、ゼロ以上の整数をm2とすると、
d2=λ2(1/2+m2)/2n2
で表される距離d2に設定される。このように設計することで、第1実施形態と同様に、基板2を透過しハーフミラー50で反射した光と、ハーフミラー50をそのまま透過し反射層52で反射した光が、再びハーフミラー50を透過した光と干渉して打ち消されるようになる。
上記距離d2に合う厚さに第1透明層51を調整することは難しくなく、またλ2を可視光の中心波長520nmとした場合、効率的にコントラストを向上させることができる点も、第1実施例と同じである。さらには、ハーフミラー50で反射した光の強度と、ハーフミラー50を2回透過した戻り光強度がほぼ等しくなるような膜厚(言い換えれば反射率と透過率)でハーフミラー50を形成すれば、ほぼ完全に干渉・減衰させることができる点についても、第1実施形態と同様である。
また、ハーフミラー50を形成する工程では、下地保護層11の実表示領域P上に一面にモリブデン薄膜を形成した後、パターニングにより画素領域Kの部分を除去すれば良いため、きわめて容易に形成することができる。反射層52についても同様に形成することが可能である。
このように、本実施形態によれば、ハーフミラー50を透過した光をソース配線17や陰極34で反射させるのではなく、当該光を反射させるための反射層52を別途設けるようにしたので、ソース配線17や陰極34の配置に拘束されずに当該反射層52を任意の領域に設けることができる。例えばソース配線17が形成された領域だけではなく、画素間Lの全域にハーフミラー50及び反射層52を形成しても良い。また、反射層52を構成する材料については、特に導電性を有しているかどうかは問われないため、反射特性の良い最適な材料を選択することができる。
(電子機器)
次に、本発明に係る電子機器について、携帯電話を例に挙げて説明する。
図10は、携帯電話3000の全体構成を示す斜視図である。
携帯電話3000は、筺体3001、複数の操作ボタンが設けられた操作部3002、画像や動画、文字等を表示する表示部3003を有する。表示部3003には、本発明に係る有機EL装置1が搭載される。
本実施例は、前述したように複雑な製造工程を経ずとも外光の反射を抑えることができる有機EL装置1が搭載されているので、コントラストが高く、製造コストがかからない電子機器を得ることができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、ソース配線17及び陰極34についてハーフミラー14を形成するようにしたが、例えばゲート配線15や電源線102についても反射光対策のハーフミラーを形成することが可能である。これにより、ゲート配線15や電源線102での反射も抑えられるため、一層コントラストを向上させることができる。
本発明の第1実施形態に係る有機EL装置の全体構成を示す斜視図である。 有機EL装置の平面図である。 図2のA−B方向における有機EL装置の構成を示す断面図である。 図2のC−D方向における有機EL装置の構成を示す断面図である。 図4の一部を拡大した断面拡大図である。 有機EL装置の等価回路を概念的に示す模式図である。 (a)はハーフミラーを設けないときの有機EL装置の説明図であり、(b)は表示画面を示す平面図である。 (a)はハーフミラーを設けたときの有機EL装置の原理説明図であり、(b)は表示画面を示す平面図である。 本発明の第2実施形態に係る有機EL装置の全体構成を示す断面図である。 本発明に係る電子機器の構成を示す斜視図である。
符号の説明
K…画素領域 L…画素間 1…EL装置 2…基板 3…EL素子 10…基体 11…下地保護層 12…シリコン膜 13…ゲート絶縁層 14、37、50…ハーフミラー 15…ゲート配線 16…第2絶縁層 17…ソース配線 19…第3絶縁層 34…共通電極 51…第1透明層 52…反射層 53…第2透明層 3000…携帯電話 3003…表示部

Claims (15)

  1. 透明な基板と、前記基板の一面側に設けられ電気信号により発光する発光層と、前記発光層に前記電気信号を伝えるための導電部とを有し、前記発光層からの光が前記基板を透過して射出される発光装置であって、
    前記導電部と前記基板との間に、前記導電部と所定の距離をおいて、前記基板を通して入射される入射光の一部を反射し、残りの入射光を透過する光半透過半反射層が設けられていることを特徴とする発光装置。
  2. 前記光半透過半反射層が、前記導電部のパターンとほぼ同一のパターンになるように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記導電部及び前記発光層に電気的に接続されたトランジスタを具備し、
    前記導電部が、前記トランジスタのゲート線及びソース線のうち少なくとも一方に該当することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の発光装置。
  4. 前記導電部が、前記発光層の共通電極であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の発光装置。
  5. 前記所定の距離をd1、前記入射光の波長をλ1、前記導電部と前記光半透過半反射層との間の領域の屈折率をn1、ゼロ以上の整数をm1とすると、
    前記距離d1が、
    d1=λ1(1/2+m1)/2n1・・・・(式1)
    で表されるように、前記光半透過半反射層が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちのいずれか一項に記載の発光装置。
  6. 前記(式1)におけるλ1の値が、可視光の中心波長付近の値であることを特徴とする請求項5に記載の発光装置。
  7. 前記光半透過半反射層で反射する反射光の強度と、前記光半透過半反射膜を透過して前記導電部で反射し、再び前記光半透過半反射膜を透過した戻り光の強度とがほぼ等しくなるように前記半透過半反射層の透過率と反射率が設定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のうちいずれか一項に記載の発光装置。
  8. 前記光半透過半反射層が、金属からなることを特徴とする請求項1乃至請求項7のうちいずれか一項に記載の発光装置。
  9. 透明な基板と、前記基板の一面側に設けられ電気信号により発光する発光層と、前記発光層に前記電気信号を伝えるための導電部とを有し、前記発光層からの光が前記基板を透過して射出される発光装置であって、
    前記導電部と前記基板との間に設けられ、前記基板側からの光を反射する光反射層と、 前記光反射層と前記基板との間に前記光反射層と所定の距離をおいて設けられ、前記基板を通して入射される入射光の一部を反射し、残りの入射光を透過する光半透過半反射層と
    を具備することを特徴とする発光装置。
  10. 前記光半透過半反射層が、前記光反射層のパターンとほぼ同一のパターンになるように設けられていることを特徴とする請求項9に記載の発光装置。
  11. 前記所定の距離をd2、前記入射光の波長をλ2、前記光反射層と前記光半透過半反射層との間の領域の屈折率をn2、ゼロ以上の整数をm2とすると、
    前記距離d2が、
    d2=λ2(1/2+m2)/2n2・・・・(式2)
    で表されるように、光反射層と前記光半透過半反射層とが設けられていることを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の発光装置。
  12. 前記(式2)におけるλ2の値が、可視光の中心波長付近の値であることを特徴とする請求項11に記載の発光装置。
  13. 前記光半透過半反射層で反射する光の強度と、前記光半透過半反射膜を透過して前記光反射層で反射し、再び前記光半透過半反射膜を透過する光の強度とがほぼ等しくなるように前記半透過半反射層の透過率と反射率が設定されていることを特徴とする請求項9乃至請求項12のうちいずれか一項に記載の発光装置。
  14. 前記光半透過半反射層が、金属からなることを特徴とする請求項9乃至請求項12のうちいずれか一項に記載の発光装置。
  15. 請求項1乃至請求項14のうちのいずれか一項に記載の発光装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
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