JP2003332070A - 電気光学装置およびその製造方法、ならびに電子機器 - Google Patents
電気光学装置およびその製造方法、ならびに電子機器Info
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Abstract
る光を、陰極を通して基板とは反対側に取り出すタイプ
の電気光学装置において、電極特性を劣化させることな
く外光反射を低減することができ、製造コストを低減で
きるようにする。 【解決手段】 基板20上に回路部11を形成し、回路
部11に設けられた駆動用TFT123に接続する画素
電極としての陽極23またはその上層に設けられる機能
層110のうち正孔注入層の少なくとも一方を光吸収性
材料として、インクジェット法などで製造する。また、
それらを含む画素部を覆う光透過性の封止基板30に、
陽極23上に対応する開口部31aを残して、光吸収膜
31を形成する。
Description
びその製造方法、ならびに電子機器に関する。
下、ELと略記する)表示装置などの電気光学装置にお
いては、基板上に複数の回路素子、陽極、EL物質など
の電気光学物質、陰極などが積層され、それらを封止基
板によって基板との間に挟んで封止した構成を具備して
いるものがある。具体的には、発光物質を含む発光層を
陽極および陰極の電極層で挟んだ構成を具備しており、
陽極側から注入された正孔と、陰極側から注入された電
子とを蛍光能を有する発光層内で再結合し、励起状態か
ら失括する際に発光する現象を利用している。
過性として、発光層から放射される光を、陰極を通して
基板とは反対側に取り出すタイプの装置があった。この
タイプの装置には、陽極が光反射性を有するものと無反
射性を有するものがあった。陽極には仕事関数の高い材
料を用いる必要があり、前者の例としては、銀(Ag)
あるいはアルミニウム(Al)などの金属を下地層とす
るITO(Indium Tin Oxide)などで構成された陽極が
あった。また後者の例としては、カーボンなどの導電性
材料を樹脂に分散させた陽極があった。
うなタイプの従来の電気光学装置では、まず陽極が光反
射性を有する場合、封止基板側から見たときに、外光が
陽極に反射されて外光反射(映り込み)が起こり、電気
光学装置の視認性の妨げていた。そのための対策として
電気光学装置の表面などに反射低減部材として、電気光
学装置の発光機構とは別に、円偏光板を貼り付けること
が行われている。ところが、円偏光板は外光ばかりでな
く発光層から放射される光も、例えば半分程度に落とす
ので、反射性の電極を用いていても表示光量は低下して
いた。したがって、外光反射を防ぐためだけに、高価な
円偏光板を、製造コストが高くつく貼り付け工程によっ
て設ける必要があるという問題があった。またこれらの
陽極ではその上層に正孔注入層を別に設けなければなら
ないために、製造コストが高くつくという問題もあっ
た。次に、無反射性の陽極の場合、樹脂にカーボンなど
の導電性材料を分散させるため、導電性が劣り、表面の
凹凸が大きいなど成膜性が劣ったものとなっていた。そ
の結果、陽極の電極特性が劣るものとなったり、素子寿
命が短くなったりするなどの問題があった。
のであって、陰極を光透過性として、発光層から放射さ
れる光を、陰極を通して基板とは反対側に取り出すタイ
プの電気光学装置において、電極特性を劣化させること
なく外光反射を低減することができるとともに、製造コ
ストを低減できる電気光学装置およびその製造方法、な
らびにそのような電気光学装置を備えた電子機器を提供
することを目的とする。
めに、本発明の電気光学装置は、対向する電極間に、正
孔注入層と発光層とを備える電気光学装置であって、前
記電極のうちの一方または前記正孔注入層の少なくとも
一方が、光吸収性を有することを特徴とする。このよう
な電気光学装置によれば、電気光学装置の外部から電極
を通して内部に入射する外光が、電極または正孔注入層
の少なくとも一方によって吸収されるから、外光がそれ
らに反射して外部に戻る外光反射を低減することができ
る。その結果、例えば円偏光板などを用いて実現される
反射低減部材の機能を、電極または正孔注入層の少なく
とも一方が兼ねることができるから、そのような反射低
減部材を別に設ける必要がなく、製造コストを低減する
ことができる。
電気光学装置であり、前記電極のうち一方または前記正
孔注入層の少なくとも一方が、光吸収性材料により構成
されることが好ましい。このような電気光学装置によれ
ば、電極または正孔注入層の少なくとも一方を構成する
材料そのものが、光吸収性を有するので、光吸収性を付
与することが容易となる。その結果、製造コストを低減
することができる。
電気光学装置であり、前記光吸収性材料が、液状化可能
とされた材料であることが好ましい。このような電気光
学装置によれば、光吸収性材料が液状化可能であるか
ら、例えば印刷法またはインクジェット法などによっ
て、液状化された光吸収性材料によって組成物インクを
形成し、その組成物インクを吐出・乾燥させることによ
って、必要なパターンを成膜することができる。その結
果として、一様な層膜を形成してから部分的に層膜を除
去してパターンを形成するという材料および製造工程の
無駄が低減され、製造コストを低減することができる。
さらに、発光層などを印刷法やインクジェット法により
形成する場合、同一のプロセスで製造できるので製造効
率を向上することができる。ここで、液状化とは、所定
の材料を蒸発または揮発可能な液体中に含ませることに
よって、液体状とすることを意味する。したがって、例
えば溶媒に材料を溶かして液体状とすること、および材
料を液体中に分散させて液体状とすることを含むものと
する。後者の場合、材料は粉体として形成されてもよい
し、粉砕されて砕片とされていてもよい。また印刷法ま
たはインクジェット法によって製造可能であれば、他の
形態をとることにより液状化してもよい。
電気光学装置であり、前記電極のうち一方が光吸収性の
導電性高分子材料により構成されることが好ましい。こ
のような電気光学装置によれば、電極が光吸収性の導電
性高分子材料により構成されるから、その材料特性とし
て導電性を備えており、良好な導電性を得ることができ
る。その結果、導電性が製造方法など材料特性以外の要
因によって影響されることが少ないから、良好な電極特
性を有する電気光学装置を容易に製造することができ
る。
電気光学装置であり、前記電極のうち一方と前記正孔注
入層とが、それぞれを兼ねる光吸収性を有する導電性材
料からなる単層構造によって構成されることが好まし
い。このような電気光学装置によれば、電極と正孔注入
層を兼ねる単層構造によって構成するから、例えばそれ
ぞれを別々の製造工程により2層構造を設ける構成とす
る場合などに比べて製造コストを低減することができ
る。
電気光学装置であり、前記光吸収性を有する導電性材料
が導電性高分子材料により構成されることが好ましい。
このような電気光学装置によれば、導電性高分子材料を
用いるので、液状化が容易であるから、印刷法やインク
ジェット法などの方法により製造することが容易とな
る。
電気光学装置であり、前記一方の電極が基板上に形成さ
れた駆動用電子素子に接続されるのが好ましい。このよ
うな電気光学装置によれば、電極または正孔注入層の少
なくとも一方が光吸収性を有するので、電極(画素電
極)、または電極の直上が光吸収性を有する。その結果
として、画素電極に対応する部分での外光反射を低減す
ることができるので、画素電極に対応する表示の視認性
を向上することができる。
正孔注入層、発光層が配置された発光素子が基板に形成
されてなる電気光学装置であって、前記電極のうち一方
の電極上に光吸収膜が形成されたことを特徴とする。こ
のような電気光学装置によれば、電極上に所定の光透過
部を残す光吸収膜が形成されているから、光吸収膜によ
って電気光学装置内部の光が遮光されるとともに、外部
から光吸収膜に照射される光が吸収される。その結果、
所定の光透過部を除く部分で外部反射を抑えることがで
きる。そのため、電気光学装置の視認性が向上する。
のさらなる電気光学装置であり、前記光吸収膜が前記発
光素子を封止する封止基板に形成されることが好まし
い。このような電気光学装置によれば、封止基板に光吸
収膜が形成されるから、外光反射の低減の効果が特に高
い構成となる。また、このような光吸収膜は、基板上部
から封止基板までの高さ方向のいずれかの位置に設けら
れる構成でもよく、基板上部から封止基板を製造する工
程の中で、例えば陽極電極や正孔注入層を形成するのと
同様の手段によって光吸収性材料を成膜することにより
形成することができる。そのため、製造工程が共通化で
きるので製造効率が向上する。
のさらなる電気光学装置であり、前記一方の電極または
前記正孔注入層の少なくとも一方が、光吸収性を有する
ことが好ましい。このような電気光学装置によれば、電
極に対応する所定の光透過部を除く領域と、電極に対応
する領域の両方において、外光反射を低減することがで
きるので、きわめて視認性が向上した電気光学装置が実
現できる。
方法は、電極間に、正孔注入層と発光層とを備える電気
光学装置の製造方法であって、前記電極のうち一方の電
極または前記正孔注入層の少なくとも一方を、光吸収性
材料を用いて形成することを特徴とする。このような電
気光学装置の製造方法によれば、先に記載の電気光学装
置を製造することができるので、先に記載の電気光学装
置と同様の効果を奏する。
先に記載の電気光学装置の製造方法であり、前記光吸収
性材料を液状化して印刷法またはインクジェット法を用
いて前記一方の電極または前記正孔注入層を形成ことが
好ましい。このような電気光学装置の製造方法によれ
ば、光吸収性材料を液状化して印刷法またはインクジェ
ット法を用いるので、液状化された光吸収性材料を、パ
ターニングし、乾燥させることによって、必要なパター
ンを成膜することができる。その結果として、一様な層
膜を形成してから部分的に層膜を除去してパターンを形
成するという材料および製造工程の無駄が低減され、製
造コストを低減することができる。
先に記載の電気光学装置の製造方法であり、基板上に、
前記発光層を駆動するための駆動素子を含む回路部を形
成した後、前記一方の電極上に光吸収膜を形成すること
が好ましい。このような電気光学装置の製造方法によれ
ば、所定の光透過部を残して光吸収膜が形成されるの
で、外光反射の低減された電気光学装置を製造すること
ができる。
電極間に正孔注入層と発光層とを備える発光素子が基板
上に形成されてなり、前記発光素子を覆うように封止材
が形成されてなる電気光学装置の製造方法であって、前
記封止材を形成した後、前記封止材上に光吸収膜を形成
することを特徴とする。このような電気光学装置の製造
方法によれば、封止材を形成した後光吸収膜を形成する
ので、光吸収膜を形成するときに封止材によって発光素
子が保護されるから、例えば不活性雰囲気など特別な製
造環境を前提とする必要がないので、光吸収膜の形成工
程が、より容易となり製造効率が向上する。
先に記載の電気光学装置の製造方法であり、前記光吸収
膜を、前記一方の電極間を仕切るバンク層として形成す
ることが好ましい。このような電気光学装置の製造方法
によれば、電極間を仕切るバンク層の形成と光吸収膜の
形成を兼ねることができるので、製造工程を簡素化で
き、製造コストを低減することができる。
先に記載の電気光学装置の製造方法であり、前記光吸収
膜を印刷法またはインクジェット法により形成すること
が好ましい。このような電気光学装置の製造方法によれ
ば、印刷法またはインクジェット法を用いるので、製造
が容易である。特に陽極電極または正孔注入層の少なく
とも一方を同様に形成する場合には製造工程を兼用でき
るので製造効率が向上する。
学装置を備えたことを特徴とする。このような電子機器
としては、例えば、携帯電話機、移動体情報端末、時
計、ワープロ、パソコンなどの情報処理装置などを例示
することができる。このように電子機器の表示部に、本
発明の表示装置を採用することによって、外光反射を低
減することができるとともに、製造コストが低減できる
電子機器を提供することが可能となる。
装置およびその製造方法、ならびに電子機器の実施の形
態について、図面を参照して説明する。なお、係る実施
の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明
を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内
で任意に変更可能である。なお、以下に示す各図におい
ては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさ
とするため、各層や各部材ごとに縮尺を異ならせてあ
る。
の第1の実施形態として、電気光学物質の一例である電
界発光型物質、中でも有機エレクトロルミネッセンス
(EL)材料を用いたEL表示装置について説明する。
図1は本実施形態に係るEL表示装置の配線構造を示す
模式図である。
置)は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ(Th
in Film Transistor、以下では、TFTと略記する)を
用いたアクティブマトリクス方式のEL表示装置であ
る。
に、複数の走査線101…と、各走査線101に対して
直角に交差する方向に延びる複数の信号線102…と、
各信号線102に並列に延びる複数の電源線103…と
がそれぞれ配線された構成を有するとともに、走査線1
01…と信号線102…の各交点付近に、画素領域A…
が設けられている。
ルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを備える
データ線駆動回路100が接続されている。また、走査
線101には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備え
る走査線駆動回路80が接続されている。
1を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチ
ング用TFT112と、このスイッチング用TFT11
2を介して信号線102から共有される画素信号を保持
する保持容量113と、該保持容量113によって保持
された画素信号がゲート電極に供給される駆動用TFT
123(駆動用電子素子)と、この駆動用TFT123
を介して電源線103に電気的に接続したときに当該電
源線103から駆動電流が流れ込む陽極23(陽極電
極)と、この陽極23と陰極50(陰極電極)との間に
挟み込まれた機能層110とが設けられている。陽極2
3と陰極50と機能層110により、発光素子が構成さ
れている。
1が駆動されてスイッチング用TFT112がオン状態
になると、そのときの信号線102の電位が保持容量1
13に保持され、該保持容量113の状態に応じて、駆
動用TFT123のオン・オフ状態が決まる。そして、
駆動用TFT123のチャネルを介して、電源線103
から陽極23に電流が流れ、さらに機能層110を介し
て陰極50に電流が流れる。機能層110は、これを流
れる電流量に応じて発光する。そこで、発光はそれぞれ
陽極23…ごとにオン・オフを制御されるから、陽極2
3は画素電極となっている。
的な態様を図2〜4を参照して説明する。図2はEL表
示装置1の構成を模式的に示す平面図である。図3は図
2のA−B線に沿う断面図、図4は図2のC−D線に沿
う断面図である。
は、電気絶縁性を備える基板20と、図示略のスイッチ
ング用TFTに接続された画素電極が基板20上にマト
リックス状に配置されてなる図示略の画素電極域と、画
素電極域の周囲に配置されるとともに各画素電極に接続
される電源線103…と、少なくとも画素電極域上に位
置する平面視ほぼ矩形の画素部3(図中一点鎖線枠内)
とを具備して構成されている。また画素部3は、中央部
分の実表示領域4(図中二点鎖線枠内)と、実表示領域
4の周囲に配置されたダミー領域5(一点鎖線および二
点鎖線の間の領域)とに区画されている。
する表示領域R、G、BがA−B方向およびC−D方向
に離間して配置されている。また、実表示領域4の図中
両側には、走査線駆動回路80、80が配置されてい
る。この走査線駆動回路80、80はダミー領域5の下
側に位置して設けられている。
回路90が配置されている。この検査回路90はダミー
領域5の下側に位置して設けられている。この検査回路
90は、EL表示装置1の作動状況を検査するための回
路であって、例えば検査結果を外部に出力する不図示の
検査情報出力手段を備え、製造途中や出荷時の表示装置
の品質、欠陥の検査を行うことができるように構成され
ている。
駆動電圧は、所定の電源部から駆動電圧導通部310
(図3参照)および駆動電圧導通部340(図4参照)
を介して印加されている。また、これら走査線駆動回路
80および検査回路90への駆動制御信号および駆動電
圧は、このEL表示装置1の作動制御を司る所定のメイ
ンドライバなどから駆動制御信号導通部320(図3参
照)および駆動電圧導通部350(図4参照)を介して
送信および印加されるようになっている。なお、この場
合の駆動制御信号とは、走査線駆動回路80および検査
回路90が信号を出力する際の制御に関連するメインド
ライバなどからの指令信号である。
ように、基板20と封止基板30とが封止樹脂40を介
して貼り合わされている。基板20、封止基板30およ
び封止樹脂40とで囲まれた領域には、光透過性を有す
る乾燥剤45が挿入されるとともに、例えば窒素ガスな
どの不活性ガスが充填された不活性ガス充填層46が形
成されている。
けて電子回路を形成することができる絶縁性の板状部材
であればどのようなものでもよく、光透過性を有する必
要はない。
ラスチックなどの光透過性と電気絶縁性を有する板状部
材を採用することができる。封止基板30の上面には、
例えば艶消しや黒色などのインクなどにより光の反射と
透過を抑える光吸収膜31が形成されている。光吸収膜
31は、実表示領域4にある陽極23…のそれぞれの上
方の対応する位置には開口部31a…(光透過部)が設
けられており、光が透過できる構成とされている。また
封止樹脂40は、例えば熱硬化樹脂あるいは紫外線硬化
樹脂からなるものであり、特に熱硬化樹脂の一種である
エポキシ樹脂よりなることが好ましい。
するための駆動用TFT123…などを含む回路部11
が形成され、回路部11の上部には駆動用TFT123
…に接続されたそれぞれの陽極23…が図2の表示領域
R、G、Bの位置に対応して形成されている。実表示領
域4内の陽極23…の上層には機能層110が形成さ
れ、その上層には、陰極50が形成されている。なお回
路部11には、走査線駆動回路80、検査回路90およ
びそれらを接続して駆動するための駆動電圧動通部31
0、340、350、駆動制御信号導通部320などが
含まれている。
孔を機能層110に注入する機能と、光を吸収する機能
を備える。そのため、仕事関数が高く、導電性を有する
光吸収性材料が採用できる。光吸収性は、封止基板30
側からの入射光の映り込みが、EL表示装置1の視認性
の低下を招かない程度であればよい。したがって、波長
は可視光の範囲でもよい。さらにEL表示装置1の使用
環境に応じて、外光が、例えば屋内の照明光といった特
定の波長範囲に限定される場合、その波長範囲に限って
光吸収性を有するものでもよい。。また吸収の程度はE
L表示装置1の用途や発光量に応じて表示のコントラス
トが適宜となるように相対的に設定することができる。
そのため、光吸収性は、黒色を含むことはもちろんであ
るが、黒色とは限らず、反射率が0%となることを意味
するものではない。
導電性高分子材料を好適に用いることができる。例え
ば、カーボンブラック、ポリピロール誘導体(例えばポ
リピロールなど、およびそのドーピング体)、ポリチオ
フェン誘導体(例えばPEDOTなど、およびそのドー
ピング体)、ポリアニリン誘導体(例えばポリアニリン
など、およびそのドーピング体)、電荷移動錯体(例え
ばTTF−TCNQ電荷移動錯体(Tetrathiafulvalene
(TTF), 7,7,8,8,-Tetracyano-quinodimethane(TCN
Q)))などを採用することができる。
5を参照して説明する。図5は本実施形態の機能層11
0の概略構成を説明するための概念図である。機能層1
10は、陽極23と陰極50に挟まれる多層構造を備え
ており、陽極23側から順に、正孔の注入効率を向上す
る正孔注入層70、正孔の輸送効率を向上する正孔輸送
層71および有機EL層60(発光層)を備えている。
このような正孔注入層70および正孔輸送層71を陽極
23と有機EL層60の間に設けることにより、有機E
L層60の発光効率、寿命などの素子特性が向上する。
そして、有機EL層60では、陽極23から正孔注入層
70、正孔輸送層71を経て注入された正孔と、陰極1
2からの注入された電子とが結合して蛍光を発生させる
構成が形成されている。
ては、例えばポリチオフェン誘導体、ポリピロール誘導
体など、または、それらのドーピング体などが採用でき
る。例えば、ポリチオフェン誘導体では、PEDOTに
PSS(ポリスチレンスルフォン酸)をドープしたPE
DOT:PSSが採用できる。より具体的な一例を挙げ
れば、その一種であるバイトロン−p(Bytron-p:バイ
エル社製)などを好適に用いることができる。なお、こ
の例は光吸収性を備えている例であるが、陽極23が光
吸収性を備えている場合には、正孔注入層70は光吸収
性を備えていない材料でもよい。
正孔を輸送できれば周知のどのような正孔輸送材料であ
ってもよい。例えば、そのような材料として、アミン
系、ヒドラゾン系、スチルベン系、スターバスト系など
に分類される有機材料が種々知られている。また正孔輸
送層71は、正孔注入層70を兼ねるものであってもよ
い。
ては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の
発光材料を用いることができる。具体的には、(ポリ)
フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビ
ニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(P
P)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニ
ルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポ
リメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン
系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料
に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色
素などの高分子系材料、例えば、ルブレン、ペリレン、
9,10-ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブ
タジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等
の材料をドープして用いることもできる。
示領域4およびダミー領域5の総面積より広い面積を備
え、それぞれを覆うように形成されている。陰極50
は、陽極23の対向電極として、電子を有機EL層60
に注入する機能を備える。また本実施形態では、有機E
L層60から発光する光を陰極50側から取り出すの
で、光透過性を備える必要がある。そのために光透過性
であって、仕事関数が低い材料から構成される。
金属またはカルシウムを主成分とする合金を有機EL層
60側に積層して第1の陰極層とし、その上層にアルミ
ニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金、もしく
は銀または銀−マグネシウム合金などを積層して第2の
陰極層とした積層体を採用することができる。その際、
光透過性は、それぞれの層厚を光透過性を有するまでに
薄くすることによって得ることができる。
て、酸素や水分などとの化学反応から保護するととも
に、陰極50の導電性を高めるために設けられる。した
がって、化学的に安定で仕事関数が低く、かつ光透過性
が得られるならば、単層構造でもよく、また金属材料に
限るものではない。
FT123の近傍の構成について、図6〜9を参照して
簡単に説明する。図6は、図1の画素領域Aの平面視模
式図である。図7は、図6のE部におけるF−G方向に
沿った断面図である。図8は、図6のH部におけるI−
J方向に沿った断面図である。図9は、図6のG部にお
けるL−M方向に沿った断面図である。
に駆動用TFT123が、H部に保持容量113が、K
部にスイッチング用TFT112が形成され、それぞ
れ、図1に示すように、互いに接続され、走査線10
1、信号線102、ソース電極243(電源線103)
とも接続されている。
23の近傍の構成を図7を参照して簡単に説明する。図
7に示すように、基板20の表面には、図示略のSiO
2を主体とする下地保護層を下地として、その上層にシ
リコン層241が形成されている。このシリコン層24
1の表面は、SiO2および/またはSiNを主体とす
るゲート絶縁層282によって覆われている。なお、本
明細書において、「主体」とする成分とは、構成成分の
うち最も含有率の高い成分を指すこととする。
ート絶縁層282を挟んでゲート電極242と重なる領
域がチャネル領域241aとされている。なお、このゲ
ート電極242は図示略の走査線101の一部である。
一方、シリコン層241を覆い、ゲート電極242が形
成されたゲート絶縁層282の表面は、SiO2を主体
とする第1層間絶縁層283によって覆われている。
41aのソース側にはソース領域241Sが、チャネル
領域241aのドレイン側には濃度ドレイン領域241
Dが設けられている。ソース領域241Sおよびドレイ
ン領域241Dには濃度傾斜が設けられ、いわゆるLD
D(Light Doped Drain)構造となっている。ソース領
域241Sは、ゲート絶縁層282と第1層間絶縁層2
83とにわたって開孔するコンタクトホール243aを
介して、ソース電極243に接続されている。このソー
ス電極243は、上述した電源線103(図1、6参
照、図7においてはソース電極243の位置に紙面垂直
方向に延在する)の一部として構成される。一方、ドレ
イン領域241Dは、ゲート絶縁層282と第1層間絶
縁層283とにわたって開孔するコンタクトホール24
3bを介して、ソース電極243と同一層からなるドレ
イン電極244に接続されている。
4が形成された第1層間絶縁層283の上層は、例えば
アクリル系の樹脂成分を主体とする第2層間絶縁層28
4によって覆われている。この第2層間絶縁層284
は、アクリル系の絶縁膜以外の材料、例えば、SiN、
SiO2などを用いることもできる。そして、陽極23
が、この第2層間絶縁層284の面上に形成されるとと
もに、当該第2層間絶縁層284に設けられたコンタク
トホール23aを介してドレイン電極244に接続され
ている。すなわち、陽極23は、ドレイン電極244を
介して、シリコン層241のドレイン領域241Dに接
続されている。
4の表面は、陽極23と、図示略の例えばSiO2など
の親液性材料を主体とする親液性制御層と、アクリルや
ポリイミドなどからなる有機バンク層221とによって
覆われている。図3、4に示すように、有機バンク層2
21…は、陽極23…の間にその回りを取り囲むように
2次元的に配置されており、機能層110…から上側に
発光された光が、有機バンク層221によって仕切られ
る構成とされている。なお、本実施形態における親液性
制御層の「親液性」とは、少なくとも有機バンク層22
1を構成するアクリル、ポリイミドなどの材料と比べて
親液性が高いことを意味するものとする。以上に説明し
た基板20から第2層間絶縁層284までの層は回路部
11を構成している。
ー表示を行うべく構成されている。すなわち図2におけ
る光の三原色R、G、Bに対応する表示領域R、G、B
ごとに機能層110…に含まれる各有機EL層60が、
それぞれ三原色に対応して形成されている。すなわち、
有機EL層60…が表示領域R、G、Bごとに異なるだ
けなので、詳細の説明は省略する。
ート電極242とソース電極243とが第1層間絶縁層
283を介して対向することにより形成されている。ま
たスイッチング用TFT112は、図9に示すように、
シリコン層241と同様の構成のシリコン層250によ
って、信号線102に接続するドレイン領域250S、
ゲート絶縁層282を挟んで走査線101と対向するキ
ャリア領域250a、コネクタ260を介してゲート電
極242に接続するドレイン領域250Dから構成され
た、駆動用TFT123と同様の構造を備えるスイッチ
ング素子である。
製造方法の一例について、図10を参照して説明する。
図10(a)〜(d)に示す各断面図は、図6中のF−
G線の断面図に対応しており、各製造工程順に示してい
る。なお以下の説明では、本発明に特に関係する工程、
すなわち、回路部11が形成されたあとの工程を中心に
して説明する。
FT123と信号線102などが適宜の方法によって形
成された様子を示す。例えば、ポリシリコン層を形成
し、ポリシリコン層をフォトリソグラフィ法によりパタ
ーニングし、島状のシリコン層241などを形成し、プ
ラズマCVD法、熱酸化法などにより、シリコン酸化膜
によって、ゲート絶縁層282を形成し、シリコン層2
41などにイオン注入法により不純物をドープして、駆
動用TFT123などを形成し、金属膜によりゲート電
極242などを形成し、それらの上層に第1層間絶縁層
283を形成してからパターニングすることによって、
コンタクトホール243a、243bなどを形成したも
のである。
FT112、保持容量113が形成されていることは言
うまでもないが、本質的な差異はないので、以下では本
発明に関わりの深い駆動用TFT123の近傍を例にと
って説明することにする。
に、第1層間絶縁層283を覆う第2層間絶縁層284
を、例えばアクリル系樹脂などの高分子材料もしくはシ
リコン酸化膜などの無機材料によって形成する。さら
に、第2層間絶縁層284のうち、駆動用TFTのドレ
イン電極244に対応する部分を、例えばエッチングに
より除去してコンタクトホール23aを形成する。
間絶縁層284の上に、陽極23が形成される領域を空
けて、有機バンク層221、221を形成する。具体的
には、例えばアクリル樹脂、ポリイミド樹脂などのレジ
ストを溶媒に溶かしたものを、スピンコート法、ディッ
プコート法などの各種塗布法により塗布して有機質層を
形成してから、エッチングなどによってパターニングす
ることができる。しかし、印刷法またはインクジェット
法によって、組成物インクを吐出・乾燥して形成すれ
ば、パターンニングの工程が不要となり材料の無駄もな
くなるから、より好ましい。
ンク層221、221間に、第2層間絶縁層284のコ
ンタクトホール23aを介してドレイン電極244と導
通する陽極23を形成する。すなわち、陽極23に用い
る光吸収性の導電性高分子材料を溶媒に溶かすか、また
は粉体化して液体中に分散させることにより液状化して
組成物インクを形成し、印刷法またはインクジェット法
により、組成物インクを吐出・乾燥して所定位置に成膜
する。組成物インクとしては、例えば、PEDOTなど
のポリチオフェン誘導体およびそのドーパントなどの混
合物を、イソプロピルアルコールなどの極性溶媒に溶解
させたものを用いることができる。
に組成物インクを充填し、インクジェットヘッドの吐出
ノズルを第2層間絶縁層284などの陽極形成面に対向
させ、インクジェットヘッドと基材(基板20)とを相
対移動させながら、吐出ノズルから1滴当たりの液量が
制御された液滴を謡曲形成面に吐出する。次に、吐出後
の液滴を乾燥処理して組成物インクに含まれる溶媒また
は液体を蒸発させることにより、陽極23が形成され
る。
ターンも形成する。なお、図3、4では、これら陽極2
3、ダミーパターンを総称して陽極23としている。ダ
ミーパターンは、第2層間絶縁層284を介して下層の
メタル配線へ接続しない構成とされている。すなわち、
ダミーパターンは、島状に配置され、実表示領域4に形
成されている陽極23の形状とほぼ同一の形状を有して
いる。
を形成していく。すなわち、正孔注入層70、正孔輸送
層71、有機EL層60、電子輸送層52を順次成膜す
る。そして、機能層110、有機バンク層221などを
覆う陰極50を透明電極として成膜する。機能層11
0、陰極50は、上記と同様の印刷法またはインクジェ
ット法、あるいは蒸着法などにより成膜することができ
る。なお、この機能層110の形成工程以降は、正孔注
入層70、正孔輸送層71、有機EL層60および電子
輸送層52などの酸化を防止すべく、窒素雰囲気、アル
ゴン雰囲気などの不活性ガス雰囲気で行うことが望まし
い。
を内側に形成した封止基板30を、封止樹脂40を介し
て回路部11上に取り付けて、回路部11を封止する。
その際、不活性雰囲気中で行うことにより、不活性ガス
充填層46が形成される。
たはインクジェット法などにより、陽極23…に対応し
た開口部31aを設けるように光吸収膜31を形成す
る。もちろん、可能であれば、封止基板30の上面また
は下面にあらかじめ光吸収膜31のパターンを形成して
おき、封止基板30を封止樹脂40によって固定する際
に、陽極23…との位置合わせを行ってもよい。
を形成することにより、光吸収膜31を形成する組成物
インクは、基板20上部に形成した成膜物に対する可溶
性、親液性および導電性などを考慮することなく選択す
ることができるので、遮光性のみを備える適宜の安価な
組成物インクを採用することができるという利点があ
る。
に係るEL表示装置1を得ることができる。なお本実施
形態に係るEL表示装置1は、機能層110で発光させ
られた光が陰極50を透過することにより基板20の反
対側に出射するタイプの装置である。
極23または正孔注入層70の少なくとも一方に光吸収
性材料を用いるから、外光反射を低減することができ、
EL表示装置1の画素電極である陽極23に対応した各
発光領域での視認性を向上することができる。また、封
止基板30上に光吸収膜31を設けて陽極23の間の領
域を遮光するから、陽極23に対応する各発光領域の周
囲が遮光され、その結果コントラストを向上することが
でき、かつ、発光領域以外の外光反射による映り込みを
防止して視認性をさらに向上することができる。
明したものであり、インクジェット法によって成膜する
際、成膜対象によっては吐出に先立って、例えばプラズ
マ処理などによって、親インク化工程、撥インク化工程
を施すなどの周知の適宜処理を行うことは言うまでもな
い。また、インクジェット法によって重ねて成膜を行う
際、下層の再溶解を防止するために、上層の組成物イン
クの溶媒などに下層を溶解させないものを用いることは
言うまでもない。
孔注入層70の少なくとも一方に、光吸収性材料を使う
として説明したが、必ずしも材料全体が均一の光吸収性
を備えていなくともよい。例えば、それぞれの材料内で
光吸収性が分布を有するものであってもよい。したがっ
て、陽極23または正孔注入層70の少なくとも一方
の、膜厚方向のいずれかの位置に光吸収性を備えること
によって、封止基板30から見たときに光吸収性を備え
るものであってもよい。またそれぞれを、光吸収性の異
なる組成を積層した多層構造で形成してもよい。
説明する。本変形例では、第1の実施形態において、封
止基板30に形成された光吸収膜31を有機バンク層2
21に設ける点のみが異なる。本変形例では、有機バン
ク層221の高さ方向のいずれかの位置に、遮光性材料
により光吸収膜31を形成するものである。また、有機
バンク層221自体を遮光性の材料で形成して光吸収膜
31と兼用したり、有機バンク層221の表面を遮光性
材料で覆うようにしたりして光吸収膜31を形成しても
よい。このような遮光性材料としては、例えば黒色など
に着色されたアクリル樹脂、ポリイミド樹脂などが採用
できる。
われた光吸収膜31を形成することができるので、封止
基板30に保護されて耐久性の高い光吸収膜31を構成
することができる。また、有機バンク層221自体を遮
光性材料で形成すれば、有機バンク層221は陽極23
の周りに必ず形成するものであるから、工程を増やすこ
となく光吸収膜31を形成することができてはなはだ効
率的かつ経済的である。
の説明では、光吸収膜31を、封止基板30または有機
バンク層221に設けた例を説明したが、さらに広く、
基板20上部から封止基板30までの高さ方向のいずれ
かの位置に設けた構成としても同様の遮光効果を得るこ
とができる。
のEL表示装置を備えた電子機器の具体例について図1
1に基づき説明する。図11(a)は、携帯電話の一例
を示した斜視図である。図11(a)において、符号1
000は携帯電話本体を示し、符号1001は前記のE
L表示装置を用いた表示部を示している。図11(b)
は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図
11(b)において、符号1100は時計本体を示し、
符号1101は前記のEL表示装置を用いた表示部を示
している。図11(c)は、ワープロ、パソコンなどの
携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図1
1(c)において、符号1200は情報処理装置、符号
1201はキーボードなどの入力部、符号1202は前
記のEL表示装置を用いた表示部、符号1203は情報
処理装置本体を示している。
子機器は、前記の第1、2または3の実施形態のEL表
示装置を用いた表示部を備えたものであり、先の第1、
2または3の実施形態のEL表示装置の特徴を有するの
で、表示特性、信頼性が向上するとともに、製造コスト
が低減された電子機器となる。これらの電子機器を製造
するには、第1、2または3の実施形態のEL表示装置
1を、携帯電話、携帯型情報処理装置、腕時計型電子機
器などの各種電子機器の表示部に組み込むことにより製
造される。
光学装置によれば、画素電極を構成する陽極電極として
好適な特性を備えながら光吸収性を有する材料を用いる
ので、電極特性を劣化させることなく画素電極からの外
光反射を低減でき、その結果、電気光学装置の視認性を
向上することができるという効果を奏する。
陽極電極上に所定の光透過部を残す光吸収膜を形成する
ので、陽極電極上の光透過部以外での外光反射を低減で
き、その結果、電気光学装置の視認性を向上することが
できるという効果を奏する。
によれば、液状化可能な光吸収性材料により、印刷法ま
たはインクジェット法によって、電気光学装置を製造す
るので、製造効率が向上するとともに材料の無駄がなく
なるから、電気光学装置の製造コストを低減することが
できるという効果を奏する。
明に係る電気光学装置を備えるので本発明に係る電気光
学装置と同様の効果を備えた電子機器となる。
配線構造を示す模式図である。
構成を模式的に示す平面図である。
成を説明するための概念図である。
図である。
図である。
図である。
の製造方法を説明する工程図である。
斜視図である。
Claims (17)
- 【請求項1】 対向する電極間に、正孔注入層と発光層
とを備える電気光学装置であって、 前記電極のうちの一方または前記正孔注入層の少なくと
も一方が、光吸収性を有することを特徴とする電気光学
装置。 - 【請求項2】 前記電極のうち一方または前記正孔注入
層の少なくとも一方が、光吸収性材料により構成された
ことを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。 - 【請求項3】 前記光吸収性材料が、液状化可能とされ
た材料であることを特徴とする請求項2に記載の電気光
学装置。 - 【請求項4】 前記電極のうち一方が光吸収性の導電性
高分子材料により構成されたことを特徴とする請求項1
〜3のいずれかに記載の電気光学装置。 - 【請求項5】 前記電極のうち一方と前記正孔注入層と
が、それぞれを兼ねる光吸収性を有する導電性材料から
なる単層構造によって構成されたことを特徴とする請求
項1〜3のいずれかに記載の電気光学装置。 - 【請求項6】 前記光吸収性を有する導電性材料が導電
性高分子材料であることを特徴とする請求項5に記載の
電気光学装置。 - 【請求項7】 前記一方の電極が基板上に形成された駆
動用電子素子に接続されてなることを特徴とする請求項
1〜6のいずれかに記載の電気光学装置。 - 【請求項8】 電極間に正孔注入層、発光層が配置され
た発光素子が基板に形成されてなる電気光学装置であっ
て、 前記電極のうち一方の電極上に光吸収膜が形成されたこ
とを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項9】 前記光吸収膜が前記発光素子を封止する
封止基板に形成されたことを特徴とする請求項8に記載
の電気光学装置。 - 【請求項10】 前記一方の電極または前記正孔注入層
の少なくとも一方が、光吸収性を有することを特徴とす
る請求項8または9に記載の電気光学装置。 - 【請求項11】 電極間に、正孔注入層と発光層とを備
える電気光学装置の製造方法であって、 前記電極のうち一方の電極または前記正孔注入層の少な
くとも一方を、光吸収性材料を用いて形成することを特
徴とする電気光学装置の製造方法。 - 【請求項12】 前記光吸収性材料を液状化して印刷法
またはインクジェット法を用いて前記一方の電極または
前記正孔注入層を形成することを特徴とする請求項11
に記載の電気光学装置の製造方法。 - 【請求項13】 基板上に、前記発光層を駆動するため
の駆動素子を含む回路部を形成した後、前記一方の電極
上に光吸収膜を形成することを特徴とする請求項11ま
たは12に記載の電気光学装置の製造方法。 - 【請求項14】 電極間に正孔注入層と発光層とを備え
る発光素子が基板上に形成されてなり、前記発光素子を
覆うように封止材が形成されてなる電気光学装置の製造
方法であって、 前記封止材を形成した後、前記封止材上に光吸収膜を形
成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 【請求項15】 前記光吸収膜を、前記一方の電極間を
仕切るバンク層として形成することを特徴とする請求項
13に記載の電気光学装置の製造方法。 - 【請求項16】 前記光吸収膜を印刷法またはインクジ
ェット法により形成することを特徴とする請求項13〜
15のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法。 - 【請求項17】 請求項1〜10のいずれかに記載の電
気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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