JP2006049770A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平滑面で形成したサセプタ11の表面に、該サセプタ11にて支持する基板17の外径に対応した基板保持用切欠孔19を有するとともに、前記基板17の厚さに対応した厚さを有する基板保持部材18を設置する。
【選択図】 図1
Description
Claims (1)
- 加熱手段により加熱されるサセプタの表面に基板を支持し、該サセプタを介して前記基板を加熱するとともに、該基板の表面に気相原料を供給して薄膜を堆積させる気相成長装置において、平滑面で形成したサセプタの表面に、該サセプタにて支持する基板の外径に対応した基板保持用切欠孔を有するとともに、前記基板の厚さに対応した厚さを有する基板保持部材を設置したことを特徴とする気相成長装置。
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JP2004232293A JP2006049770A (ja) | 2004-08-09 | 2004-08-09 | 気相成長装置 |
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JP2004232293A JP2006049770A (ja) | 2004-08-09 | 2004-08-09 | 気相成長装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013110150A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Lintec Corp | 光照射装置および光照射方法 |
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2004
- 2004-08-09 JP JP2004232293A patent/JP2006049770A/ja active Pending
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