JP2006049486A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン基板上に第1の金属膜301、第1の絶縁膜401および第1の電極501からなる第1のMIM容量と、第2の金属膜302、第2の絶縁膜402および第2の電極502からなる第2のMIM容量とが形成され、第1の電極501は第2の金属膜302にタングステンプラグ601で接続され、第2の電極502は第3の金属膜303にタングステンプラグ602で接続され、各々の金属膜301,302は素子を接続する配線と共用し、第1のMIM容量と第2のMIM容量の位置を同一箇所に配置し、これらのMIM容量を並列に接続することにより、チップ面積を大きくせずに容量密度を大きくした構造の半導体装置を形成する。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明による実施の形態1の半導体装置におけるMIM容量の構造を示す平面図であり、図2は図1のA−A’線断面図である。図1および図2において、符号1は第1導電型シリコン基板に公知の技術で、フォトリソグラフィー、イオン注入、熱処理、CVD、エッチング等を行うことにより、半導体集積回路に使用されるデバイスが形成されたシリコン基板を示す。符号2はシリコン基板1上に形成された保護膜を示す。符号301は保護膜2上に形成されて第1のMIM容量の下部電極を兼ねる第1層目金属膜配線を示す。符号401は第1層目金属膜配線301上に形成された第1のMIM容量の容量絶縁膜を示す。符号501は容量絶縁膜401上に形成された第1のMIM容量の上部電極を示す。符号201は保護膜2、第1層目金属膜配線301および上部電極501上に形成された金属膜配線間の層間絶縁膜を示す。符号302は層間絶縁膜201上に形成されて第2のMIM容量の下部電極を兼ねる第2層目金属膜配線を示す。符号601は層間絶縁膜201に形成されて上部電極501と第2層目金属膜配線302とを接続するタングステンプラグを示す。符号402は第2層目金属膜配線302上に形成された第2のMIM容量の容量絶縁膜を示す。符号502は容量絶縁膜402上に形成された第2のMIM容量の上部電極を示す。符号202は層間絶縁膜201、第2層目金属膜配線301および上部電極502上に形成された金属膜配線間の層間絶縁膜を示す。符号303は層間絶縁膜202上に形成された第3層目金属膜配線を示す。符号602は層間絶縁膜202に形成されて上部電極502と第3層目金属膜配線303とを接続するタングステンプラグを示す。符号2000は保護膜を示す。
図3は本発明による実施の形態2の半導体装置におけるMIM容量の構造を示す平面図であり、図4は図3のA−A’線断面図である。図3および図4において、符号1は第1導電型シリコン基板に公知の技術で、フォトリソグラフィー、イオン注入、熱処理、CVD、エッチング等を行うことにより、半導体集積回路に使用されるデバイスが形成されたシリコン基板を示す。符号2はシリコン基板1上に形成された保護膜を示す。符号301は保護膜2上に形成されて第1のMIM容量の下部電極を兼ねる第1層目金属膜配線を示す。符号201は保護膜2および第1層目金属膜配線301上に形成された金属膜配線間の層間絶縁膜を示す。符号2011は層間絶縁膜201において、第1層目金属膜配線301上に存在する部分の層間絶縁膜(層間保護膜)を示し、第1のMIM容量の容量絶縁膜を兼ねる。符号302は層間絶縁膜2011上に形成された第2層目金属膜配線を示し、第1のMIM容量の上部電極と第2のMIM容量の下部電極とを兼ねる。符号4は第2層目金属膜配線302上に形成された第2のMIM容量の容量絶縁膜を示す。符号5は容量絶縁膜4上に形成された第2のMIM容量の上部電極を示す。符号202は層間絶縁膜201および上部電極5上に形成された金属膜配線間の層間絶縁膜を示す。符号303は層間絶縁膜202上に形成された第3層目金属膜配線を示す。符号6は層間絶縁膜202に形成されて上部電極502と第3層目金属膜配線303とを接続するタングステンプラグを示す。符号2000は保護膜を示す。
上記実施の形態1および2では、金属膜配線が3層の構造を例にとって説明したが、この実施の形態3では、図5に示すように、例えば金属膜配線が(n+1)層ある場合の構造を示している。この実施の形態では、MIM容量を最大n個重ねた構造となる。金属膜配線間の層間絶縁膜201、202、203・・・2099をCMP(化学的機械的研磨)法等により、平坦化することで、図5に示す構造が可能となる。図5において、符号403〜4099は容量絶縁膜を示し、符号503〜5099は上部電極を示し、符号603〜6099はタングステンプラグを示し、符号3099,3100は金属膜配線を示す。
図6は本実施の形態4を示す断面図である。この実施の形態4では、シリコン基板1との間に生じる寄生容量の影響を出来る限り少なくするため、MIM容量を上層に形成したものを示している。
上記実施の形態3では、図5において、容量絶縁膜401,402,403・・・4099の膜種や膜厚については特に言及をしていなかった。この実施の形態5では、容量絶縁膜401,402,403・・・4099の膜種や膜厚を異ならせることを特徴とする。すなわち、レイアウトを変更せずに容量値を変更するため、例えば、図7に示すように、膜厚の異なる容量絶縁膜4021や膜種の異なる容量絶縁膜4031を図5の容量絶縁膜402,403を形成する際にそれらと置き換えた構造とする。
上記実施の形態3の構成において、n=3で第1および第2のMIM容量を並列に接続し、単位面積当たりの容量を大きくした実施の形態6を図8および図9を使用して説明する。図8は平面図で、図9は図8のA−A’線断面図である。
図2において、電源ライン等、内部回路よりも高い電圧がMIM容量にかかる場合、第2層金属膜配線302では引き回しせず、第1層金属膜配線301と第3層金属膜配線303とで容量の電極をとることにより、2個のMIM容量の膜厚が同じであれば、1個のMIM容量の上下にかかる電圧は印加電圧の半分となる。同様に、図5に示すようにn個のMIM容量を使用する場合、1/nにする。
3層金属膜配線を例にして、本実施の形態を説明する。図10−1に示すパターンを複数準備し、第2層目金属膜配線302,3021を形成する前のタングステンプラグ6011,601のパターンのみを変更し、図10−2に示す構造にする。MIM容量の容量絶縁膜401,402の形成条件は全く同じにする。これにより、SCF(スイッチドキャパシタフィルタ)回路のように容量比を整数倍で使用する場合にレイアウトが容易である。
本実施の形態では上記実施の形態3の構造の半導体装置を製造する方法を図11−1〜図11−16を使用して説明する。
2・・・第1導電型シリコン基板と第1層目金属膜配線間の保護膜
2000・・・最上層金属膜配線上の保護膜
201・・・第1層目と第2層目の金属膜配線間の層間絶縁膜
2011・・・容量として使用した第1層目と第2層目金属膜配線間の層間絶縁膜部分
202・・・第2層目と第3層目金属膜配線間の層間絶縁膜
203・・・第3層目と第4層目金属膜配線間の層間絶縁膜
2097・・・第(n−2)層目と第(n−1)層目金属膜配線間の層間絶縁膜
2098・・・第(n−1)層目と第n層目金属膜配線間の層間絶縁膜
2099・・・第n層目と第(n+1)層目金属膜配線間の層間絶縁膜
301・・・第1層目金属膜配線
302・・・第2層目金属膜配線
3021・・・第2層目金属膜配線(並列接続用)
303・・・第3層目金属膜配線
3031・・・第3層目金属膜配線(並列接続用)
304・・・第4層目金属膜配線
3098・・・第(n−1)層目金属膜配線
3099・・・第n層目金属膜配線
3100・・・第(n+1)層目金属膜配線
4・・・配線間に形成した容量(MIM容量)絶縁膜
401・・・第1層目と第2層目金属膜配線間に形成したMIM容量絶縁膜
402・・・第2層目と第3層目金属膜配線間に形成したMIM容量絶縁膜
4021・・・第2層目と第3層目金属膜配線間に形成したMIM容量絶縁膜401と膜種、膜厚の異なる絶縁膜
403・・・第3層目と第4層目金属膜配線間に形成したMIM容量絶縁膜
4031・・・第3層目と第4層目金属膜配線間に形成したMIM容量絶縁膜401と膜種、膜厚の異なる絶縁膜
4098・・・第(n−1)層目と第n層目金属膜配線間に形成したMIM容量絶縁膜
4099・・・第n層目と第(n+1)層目金属膜配線間に形成したMIM容量絶縁膜
5・・・MIM容量の上部電極
501・・・第1層目と第2層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極
502・・・第2層目と第3層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極
503・・・第3層目と第4層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極
5098・・・第(n−1)層目と第n層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極
5099・・・第n層目と第(n+1)層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極
6・・・MIM容量部の上部電極と金属膜配線のタングステンプラグ
601・・・第1層目と第2層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極と金属膜配線のタングステンプラグ
6011・・・第1層目と第2層目金属膜配線のタングステンプラグ
602・・・第2層目と第3層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極と金属膜配線のタングステンプラグ
6021・・・第2層目と第3層目金属膜配線のタングステンプラグ
603・・・第3層目と第4層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極と金属膜配線のタングステンプラグ
6031・・・第3層目と第4層目金属膜配線のタングステンプラグ
6098・・・第(n−1)層目と第n層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極と金属膜配線のタングステンプラグ
60981・・・第(n−1)層目と第n層目金属膜配線のタングステンプラグ
6099・・・第n層目と第(n+1)層目金属膜配線間に形成したMIM容量の上部電極と金属膜配線のタングステンプラグ
60991・・・第n層目と第(n+1)層目金属膜配線のタングステンプラグ
Claims (10)
- 複数のMIM容量を有する多層配線構造の半導体装置であって、
下層の第1の金属膜配線と中間層の第2の金属膜配線との間に形成された第1の上部電極と、前記第1の金属膜配線の一部よりなる第1の下部電極と、前記第1の上部電極と前記第1の下部電極との間に存在する第1の容量絶縁膜とからなる第1のMIM容量と、
前記第2の金属膜配線と上層の第3の金属膜配線との間に形成された第2の上部電極と、前記第2の金属膜配線の一部よりなる第2の下部電極と、前記第2の上部電極と前記第2の下部電極との間に存在する第2の容量絶縁膜とからなる第2のMIM容量とを備え、
前記第1の上部電極と前記第2の上部電極とを同一箇所に重ねたことを特徴とする半導体装置。 - 前記多層配線構造は(n+1)層の金属膜配線を有し、最大でn個のMIM容量を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。ただし、nは整数で、n>1である。
- 前記複数のMIM容量を並列に接続することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記複数のMIM容量の容量絶縁膜は膜種および膜厚を同一にすることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記多層配線構造はn層の金属膜配線を有し、前記n層の金属膜配線のうちm層の金属膜配線にはMIM容量が形成され、前記n層の金属膜配線のうち(n−m)層の金属膜配線にはMIM容量がないことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。ただし、m、nは整数で、n>m>1である。
- 前記複数のMIM容量を直列に接続することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の上部電極と前記第2の上部電極の何れか一方がその上部の金属膜配線と共用され、かつ、そのときの容量絶縁膜に層間絶縁膜を使用することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 複数のMIM容量を有する多層配線構造の半導体装置の製造方法であって、
半導体基板上に保護膜を介して第1の金属膜と第1の容量絶縁膜と第2の金属膜とを堆積する工程と、
MIM容量の容量面積を設定するマスクを用いて前記第2の金属膜と前記第1の容量絶縁膜とをエッチングして第1の上部電極を形成する工程と、
前記第1の金属膜をエッチングして下層の第1の金属膜配線の一部よりなる第1の下部電極を形成する工程と、
前記第1の金属膜配線および前記第1の上部電極の上に第1の層間絶縁膜を堆積する工程と、
前記第1の上部電極および前記第1の下部電極の配線部の上の前記第1の層間絶縁膜に第1のヴィアホールを形成する工程と、
前記第1の層間絶縁膜上に第1の導電膜を堆積した後、前記第1の導電膜を平坦化して前記第1のヴィアホールに第1のプラグを形成する工程と、
前記第1のプラグを有する前記第1の層間絶縁膜上に第3の金属膜と第2の容量絶縁膜と第4の金属膜とを堆積する工程と、
再び前記マスクを用いて前記第4の金属膜と前記第2の容量絶縁膜とをエッチングして第2の上部電極を形成する工程と、
前記第3の金属膜をエッチングして中間層の第2の金属膜配線の一部よりなる第2の下部電極を形成する工程と、
前記第2の金属膜配線および前記第2の上部電極上に第2の層間絶縁膜を堆積する工程と、
前記第2の上部電極および前記第2の下部電極の配線部の上の前記第2の層間絶縁膜に第2のヴィアホールを形成する工程と、
前記第2の層間絶縁膜上に第2の導電膜を堆積した後、前記第2の導電膜を平坦化して前記第2のヴィアホールに第2のプラグを形成する工程と、
前記第2のプラグを有する前記第2の層間絶縁膜上に第5の金属膜を堆積する工程と、
前記第5の金属膜をエッチングして上層の第3の金属膜配線を形成する工程とを含み、
前記第1の上部電極と前記第2の上部電極とを同一箇所に重ねたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記複数のMIM容量の容量絶縁膜は膜種および膜厚を同一にすることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記多層配線構造はn層の金属膜配線を有し、前記n層の金属膜配線のうちm層の金属膜配線ではMIM容量の形成工程を行い、前記n層の金属膜配線のうち(n−m)層の金属膜配線ではMIM容量の形成工程を削除することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。ただし、m、nは整数で、n>m>1である。
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