JP2006049034A - 画像表示装置の製造方法および画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 メタルバック膜間の面放電を抑制しつつ、生産性が高く、低コストかつ高品質である画像表示装置の製造方法及びそれにより製造された画像表示装置を提供する。
【解決手段】 多数の電子放出素子が配列された背面基板2と対向配置される前面基板上に遮光層22bをパターン形成する工程と、前記遮光層が存在しない部分に、複数の蛍光体層6aを互いに間隔をあけて不連続にパターン形成する工程と、前記蛍光体層の上面にアノード電極機能を有するメタルバック層7を成膜する工程とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 多数の電子放出素子が配列された背面基板2と対向配置される前面基板上に遮光層22bをパターン形成する工程と、前記遮光層が存在しない部分に、複数の蛍光体層6aを互いに間隔をあけて不連続にパターン形成する工程と、前記蛍光体層の上面にアノード電極機能を有するメタルバック層7を成膜する工程とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、画像表示装置の製造方法および画像表示装置に係り、とくに電子放出素子を用いた平面型画像表示装置の製造方法に関する。
近時、次世代の画像表示装置として、多数の電子放出素子を並べて、蛍光面と対向配置させた平面型画像表示装置の開発が進められている。電子放出素子には様々な種類があるが、いずれも基本的には電界放出を用いており、これらの電子放出素子を用いた表示装置は、一般に、フィールド・エミッション・ディスプレイ(以下、FEDと称する)と呼ばれている。FEDのうち表面伝導型電子放出素子を用いた表示装置は、表面伝導型電子放出ディスプレイ(以下、SEDと称する)とも呼ばれているが、本明細書中においてはSEDも包含する総称としてFEDという用語を用いる。
FEDにおいて、実用的な表示特性を得るためには、通常の陰極線管と同様の蛍光体を用い、さらに蛍光体の上に「メタルバック」と呼ばれるアルミニウム薄膜を形成した蛍光面を用いることが必要となる。この場合、蛍光面に印加するアノード電圧は最低でも数kV、できれば10kV以上にすることが望まれる。
しかし、FEDの前面基板と背面基板との間隙は、解像度や支持部材の特性などの観点からあまり大きくすることができず、1〜2mm程度に設定する必要がある。このため、FEDでは、前面基板と背面基板との狭い間隙に強電界が形成され、長時間にわたって画像形成させると両基板間において放電(メタルバック膜間の面放電;真空アーク放電)が生じ易くなる。放電が発生すると、数アンペアから数百アンペアに及ぶ大きな放電電流が瞬時に流れるため、カソード部の電子放出素子やアノード部の蛍光面が破壊され、あるいは損傷を受けるおそれがある。このような不良発生につながる放電は製品としては許容されない。したがって、FEDを実用化するためには、長期間にわたり放電によるダメージが発生しないようにする必要がある。
特許文献1は、放電が発生したときのダメージを緩和するために、アノード電極として用いているメタルバック層を分割し、抵抗部材を介して蛍光面外に設けられた共通電極と接続する技術を開示している。
特開平10−326583号公報
しかし、上記の従来技術においては、成膜したメタルバック膜を分割するための分断工程が必要になるので、生産性が低く、コスト高になりやすいという問題点があった。また、メタルバック膜分断工程において、その下地層である蛍光体層が損傷するおそれがあった。
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、メタルバック膜間の面放電を抑制しつつ、生産性が高く、低コストかつ高品質である画像表示装置の製造方法及びそれにより製造された画像表示装置を提供することを目的とする。
本発明に係る画像表示装置の製造方法は、多数の電子放出素子が配列された背面基板と対向配置される前面基板上に遮光層をパターン形成する工程と、前記遮光層が存在しない部分に、複数の蛍光体層を互いに間隔をあけて不連続にパターン形成する工程と、前記蛍光体層の上面にアノード電極機能を有するメタルバック層を成膜する工程と、を具備することを特徴とする。
本発明に係る画像表示装置は、多数の電子放出素子が配列された背面基板と対向配置される前面基板上にパターン形成された遮光層と、前記遮光層が存在しない部分に、フォトリソグラフィ法を用いて互いに間隔をあけて不連続にパターン形成された複数の蛍光体層と、前記蛍光体層の上面に成膜形成されたアノード電極機能を有するメタルバック層と、を具備することを特徴とする。
上記の蛍光体層は、互いに異なる蛍光物質を含む複数種の蛍光体セグメントが所定の繰り返しパターンに配列されたものである。これらの蛍光体セグメントは、矩形状または短冊状の形態をなしており、少なくとも同種間(例えば赤(R)と赤(R))が所定の間隔をあけて不連続にパターン形成されるが、同種間ばかりでなく異種間(例えば赤(R)と緑(G)と青(B))においても互いに所定の間隔をあけて不連続にパターン形成されることがより好ましい。
フォトリソグラフィ法は、湿式プロセス、乾式プロセスのいずれであってもよいが、湿式プロセスを用いることがより好ましい。最適の湿式プロセスでは、フォトレジスト溶液(溶剤を含む)に対して蛍光体粒子を所定の割合で調合した混合溶液をスピンコーティング法、バーコーター法、あるいはロールコーター法等を用いて前面基板上に塗布し、加熱乾燥し、露光し、現像し、最終的に焼成してフォトレジストを焼失させ、所定パターンの蛍光体層を得る。なお、蛍光体層の形成にはスクリーン印刷法を用いることもできる。カラー蛍光面を形成する場合は、赤(R)、緑(G)、青(B)ごとにフォトリソグラフィ法を3回繰り返して矩形状又は短冊状の蛍光体画素が縦横に規則配列された3色パターンを形成する。
メタルバック層は、蛍光体層の上面(トップ面)を覆うように形成されるが、蛍光体層の側壁には形成されない。このため、成膜後に分断工程を経ることなく、成膜したままの状態で隣り合う蛍光体層パターンの互いの導通が妨げられ、放電の発生が有効に防止される。矩形状又は短冊状の蛍光体画素を区画する縦区画線の幅は20〜50μmの範囲とし、横区画線(ストライプ)の幅は50〜300μmの範囲とする。これら縦横区画線の幅は、蛍光体層の断面形状(矩形、台形、逆台形)に拘わらず、蛍光体層のボトムにおける相互間隔をいうものとする。
蛍光体層の厚みは、塗布厚さや蛍光体粒子の粒径に依存するものであるが、通常の場合はおよそ7〜10μmの範囲である。蛍光体層には、カラーTV用CRTに一般に用いられているZnS系、Y2O3 系、Y2O2S系などの蛍光体を用いることができる。カラーTV用CRTの蛍光体は、数kV〜数10kVの電圧で加速された電子を照射して良好な輝度と発色が得られ、比較的安価であるにもかかわらず高輝度性能を有するからである。
本発明において、蛍光体層はフォトリソグラフィ法により高精細かつ高精度にパターン形成することができるが、これに対応するメタルバック層もフォトリソグラフィ法を用いて高精細かつ高精度にパターン形成することができる。メタルバック層の厚みは、通常の場合はおよそ50〜200nm(0.05〜0.2μm)の範囲である。
本発明によれば、フォトリソグラフィ法により蛍光体層をパターン形成し、パターン化した蛍光体層の上面にメタルバック層を積層するだけでよいので、その後にメタルバック層を分断する後工程を省略することができる。このため、製造プロセスが簡略化されるという大きなメリットがある。また、本発明によれば、メタルバック層分断工程がないため、その下地層にあたる蛍光体層が損傷を受けるおそれがなくなるというメリットがある。勿論、本発明によればメタルバック膜間の面放電を抑制することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について添付の図面を参照して説明する。
図1を参照して本実施形態の画像表示装置としてのFEDを製造するための方法について説明する。
FEDの前面基板となるガラス基板2を所定の薬液を用いて洗浄処理し、所望の清浄面を得る。洗浄した前面基板2の内面に黒色顔料などの光吸収物質を含む遮光層形成溶液を塗布する。塗布膜を加熱乾燥した後に、マトリックスパターンに対応する位置に開孔を有するスクリーンマスクを用いて露光し、これを現像して、図1の(a)に示すマトリックスパターン遮光層22bを形成する。
次に、赤(R)の蛍光体粒子をフォトレジスト溶液(溶剤を含む)に対して所定の割合で調合した混合溶液をスピンコーティング法によって前面基板2上に所定膜厚に塗布する。塗布膜を加熱乾燥した後に、赤(R)パターンに対応する位置に開孔を有するスクリーンマスクを用いて露光し、現像する。緑(G)と青(B)についても同様のフォトリソグラフィ法を用いて所定のパターンをそれぞれ形成する。そして、最終的に基板2を焼成してフォトレジストを焼失させ、図1の(b)に示すように矩形状又は短冊状の3色パターンの蛍光体層6aが縦横に規則配列された蛍光面を得る。例えばピッチ600μmの正方画素の場合には、蛍光体層6aの縦区画線のX方向幅W1は例えば20〜50μmの範囲とする。縦区画線の幅W1は、蛍光体層の断面形状(矩形、台形、逆台形)に拘わらず、隣り合う蛍光体層6a同士のボトム間隔で規定される。なお、蛍光体層6aの横区画線(ストライプ)のY方向幅は例えば50〜300μmの範囲とする。これらの縦横区画線にはマトリックスパターン遮光層22が存在し、前面基板2のほうへ光が漏れ出さないように遮光される。
次に、R,G,Bセグメントパターンの蛍光体層6aの上面にメタルバック層7を形成する。メタルバック層7を形成するには、例えばスピンコーティング法で形成されたニトロセルロース等の有機樹脂からなる薄い膜の上に、アルミニウム(Al)膜を真空蒸着法により成膜する。さらに、これを焼成して有機物を除去する方法を採ることができる。
このメタルバック層7は、図1の(c)に示すように、蛍光体層6aの上面(トップ面)および隣り合う蛍光体層R,G,Bの相互間ボトム(すなわち遮光層22b)の上にそれぞれ形成されるが、蛍光体層6aの側壁には形成されない。この理由はメタルバック層7の膜成長が強い異方性を示すからである。なお、ピッチ600μmの正方画素の場合には、蛍光体層6aの上面に成膜されるメタルバック層のX方向幅W2は例えば140〜180μmの範囲となる。
また、メタルバック層7を、次に示すように、転写フィルムを用いて形成するようにしてもよい。転写フィルムは、ベースフィルム上に離型剤層(必要に応じて保護膜)を介してAl膜と接着剤層が順に積層された構造を有しており、この転写フィルムを、接着剤層が蛍光体層に接するように配置し、押圧処理を行う。押圧方式としては、スタンプ方式、ローラー方式等がある。こうして転写フィルムを押圧しAl膜を接着してから、ベースフィルムを剥ぎ取ることにより、蛍光体層6aの上面(トップ面)にAl膜が転写される。
次いで、このようにして形成した蛍光面6を、電子放出素子とともに真空外囲器内に配置する。これには、蛍光面6を有する前面基板2と、複数の電子放出素子8を有する背面基板1とを、フリットガラス等により真空封着し、真空容器を形成する方法が採られる。さらに、真空外囲器内でパターンの上から所定のゲッタ材を蒸着し、メタルバック層7の領域にゲッタ材の蒸着膜を形成する。
このようにして製造されたFEDにおいては前面基板2と背面基板1との間隙が極めて狭いため、両基板間で放電(絶縁破壊)が起こりやすいが、本実施形態で形成されたFEDでは、パターン形成された蛍光体層6aによってメタルバック層7が成膜したままの状態で画素セグメント毎に分断されているので、放電が発生した場合の放電電流のピーク値が抑えられ、エネルギーの瞬間的な集中が回避される。そして、放電エネルギーの最大値が低減される結果、電子放出素子や蛍光面の破壊・損傷や劣化が防止される。
次に、図2および図3に、本実施形態に共通のFEDの構造を示す。FEDは、それぞれ矩形状のガラスからなる前面基板2と背面基板1を有し、両基板1,2は1〜2mmの間隔をおいて対向配置されている。これら前面基板2と背面基板1は、矩形枠状の側壁3を介して周縁部同士が接合させ、内部が10-4Pa程度以下の高真空に維持された偏平な矩形状の真空外囲器4を構成している。
前面基板2の内面には蛍光面6が形成されている。この蛍光面6は赤(R)、緑(G)、青(B)の3色に発光する蛍光体層6aとマトリックス状の遮光層22bとで構成されている。蛍光面6上には、アノード電極として機能するとともに蛍光体層6aの光を反射する光反射膜として機能するメタルバック層7が形成されている。表示動作時、メタルバック層7には図示しない回路により所定のアノード電圧が印加されるようになっている。
背面基板1の内面上には、蛍光体層7を励起するための電子ビームを放出する多数の電子放出素子8が設けられている。これらの電子放出素子8は、画素ごとに対応して複数列および複数行に配列されている。電子放出素子8マトリックス状に配設された図示しない配線により駆動されるようになっている。また、背面基板1と前面基板2との間には、これら基板1,2に作用する大気圧に耐えられるようにするために補強として、板状または柱状の多数のスペーサ10が設けられている。
蛍光面6にはメタルバック層7を介してアノード電圧が印加され、電子放出素子8から放出された電子ビームはアノード電圧により加速されて蛍光面6に衝突する。これにより対応する蛍光体層6aが発光し、画像が表示される。
図4に本発明の実施形態に共通の、前面基板2、特に蛍光面6の構造を示す。蛍光面6は、赤(R)、緑(G)、青(B)に発光する多数の矩形状の蛍光体層を有している。前面基板2の長手方向をX軸とし、これと直交する幅方向をY軸とした場合に、蛍光体層R,G,BはX軸方向に所定のギャップ間隔に繰り返し配列され、Y軸方向には同一色の蛍光体層が所定のギャップ間隔に繰り返し配列されている。なお、所定のギャップ間隔といっても製造上の誤差の範囲内で、または設計上の公差の範囲内で変動することが許容されているため、XY平面内において蛍光体層6a間のギャップ間隔は正確には一定値であるとは言えないが、ここでは便宜上ほぼ一定値であるものとして説明する。
蛍光面6は遮光層22を備えている。この遮光層22は、図4に示すように、前面基板2の周縁部に沿って延びた矩形枠遮光層22aと、矩形枠遮光層22aの内側で蛍光体層R,G,Bの間をマトリックス状に延びたマトリックスパターン遮光層22bとを有する。
マトリックスパターン遮光層22bの上には、図5と図6に示すようにY方向に延びた抵抗調整層30の縦線部31Vが設けられ、また図5と図7に示すようにX方向に延びた抵抗調整層30の横線部31Hが設けられている。縦線部31Vおよび横線部31Hは、いずれも所定の抵抗性を有する金属酸化物の微粒子を母材とした材料を用いて、常法のフォトリソグラフィ法により形成される。さらに、抵抗調整層30の縦線部31Vの上には分断層32の縦線部33Vが設けられ、抵抗調整層30の横線部31Hの上には分断層32の横線部33Hが設けられている。
蛍光体層6aは図6に示すようにX方向にR,G,Bと並んでいるため、縦線部31Vは横線部31Hよりもはるかに幅が狭くなっている。例えばピッチ600μmの正方画素の場合には、縦線部31Vの幅は40μm、横線部31Hの幅は300μmである。
次に、本発明の実施例について説明する。
(実施例1)
ガラス基板上に黒色顔料からなるマトリックス状の遮光層をフォトリソ法により形成した後に、赤(R)蛍光体としてY2O2S:Eu3+を、緑(G)蛍光体としてZnS:Cu,Alを、青(B)蛍光体としてZnS:Agをそれぞれ用いてフォトリソ法によりパターニングして、矩形状の赤(R)、緑(G)、青(B)の繰り返しパターンの蛍光体層をマトリックスパターン遮光層の間のスペースに形成した。そして、最終的に基板2を焼成してフォトレジストを焼失させ、3色パターンの蛍光体層が縦横に規則配列された蛍光面を得た。この蛍光面にはピッチ600μmの正方画素が形成され、蛍光体層の縦区画線のX方向幅W1は30μmであった。
ガラス基板上に黒色顔料からなるマトリックス状の遮光層をフォトリソ法により形成した後に、赤(R)蛍光体としてY2O2S:Eu3+を、緑(G)蛍光体としてZnS:Cu,Alを、青(B)蛍光体としてZnS:Agをそれぞれ用いてフォトリソ法によりパターニングして、矩形状の赤(R)、緑(G)、青(B)の繰り返しパターンの蛍光体層をマトリックスパターン遮光層の間のスペースに形成した。そして、最終的に基板2を焼成してフォトレジストを焼失させ、3色パターンの蛍光体層が縦横に規則配列された蛍光面を得た。この蛍光面にはピッチ600μmの正方画素が形成され、蛍光体層の縦区画線のX方向幅W1は30μmであった。
次いで、このようにして得た3色パターン蛍光体層の上面に、真空蒸着法によりAl膜からなるメタルバック層を成膜した。すなわち、蛍光面上にアクリル樹脂を主成分とする有機樹脂溶液を塗布・乾燥し、有機樹脂層を形成した後、その上に真空蒸着によりAl膜(メタルバック層)を形成し、次いで450℃の温度で30分間加熱焼成し、有機分を分解・除去した。
次いで、このメタルバック層の上に、マトリックスパターン遮光層上に対応する位置に開孔を有するスクリーンマスクを用い、粒径10nmのSiO2の微粒子5重量%とエチルセルロース4.75重量%およびブチルカルビトールアセテート90.25重量%から成るペーストをスクリーン印刷した。こうして、遮光層の上に相当する領域に、SiO2層のパターンを形成した。
次に、こうして形成された所定のパターンを有するSiO2層の上に、真空雰囲気でBaを蒸着した。その結果、SiO2層上にはゲッタ材であるBaが堆積するが、一様な膜は形成されない。これに対して、Al膜上のSiO2層が形成されていない領域には、ゲッタ材であるBaの均一な蒸着膜が形成され、その結果、Al膜上にSiO2層のパターンと反転するパターンのゲッタ膜が形成された。
また、ゲッタ膜を蒸着する前のパターン化されたSiO2層を有するパネルを、前面基板として使用し、常法によりFEDを作製した。表面伝導型電子放出素子をマトリックス状に多数形成した電子発生源をガラス基板に固定し、背面基板を作製した。次いで、この背面基板と前面基板とを、支持枠およびスペーサを介して対向配置し、フリットガラスにより封着した。背面基板と前面基板との間隙は、約2mmとした。次いで、真空排気後、パネル面に向けてBaを蒸着し、Al膜上にSiO2層パターンと反転するパターンのゲッタ膜を形成した。
こうして実施例1で得られたFEDにおけるパターン間の電気的切断(メタルバック層間の面放電の抑制)の程度を調べた結果、良好な結果が得られた。
(実施例2)
実施例1と同様に形成されたマトリックスパターン遮光層間のスペースに、赤(R)蛍光体としてYVO4:Eu3+を、緑(G)蛍光体として(Zn,Cd)S:Cu,Alを、青(B)蛍光体としてZnS:Agをそれぞれ用いてフォトリソ法によりパターニングして、矩形状の赤(R)、緑(G)、青(B)の繰り返しパターンの蛍光体層を形成した。この蛍光面にはピッチ600μmの正方画素が形成され、蛍光体層の縦区画線のX方向幅W1は20μmであった。
実施例1と同様に形成されたマトリックスパターン遮光層間のスペースに、赤(R)蛍光体としてYVO4:Eu3+を、緑(G)蛍光体として(Zn,Cd)S:Cu,Alを、青(B)蛍光体としてZnS:Agをそれぞれ用いてフォトリソ法によりパターニングして、矩形状の赤(R)、緑(G)、青(B)の繰り返しパターンの蛍光体層を形成した。この蛍光面にはピッチ600μmの正方画素が形成され、蛍光体層の縦区画線のX方向幅W1は20μmであった。
蛍光体層の上面に設けるメタルバック層は、実施例1と同条件で成膜した。その後の工程も実施例1と同条件で行ってFEDを製作した。
こうして実施例2で得られたFEDにおけるパターン間の電気的切断(メタルバック層間の面放電の抑制)の程度を調べた結果、良好な結果が得られた。
1…背面基板、2…前面基板、3…側壁、
6…蛍光面、6a…蛍光体層、
7,7a…メタルバック層
8…電子放出素子、
22,22a,22b…遮光層
6…蛍光面、6a…蛍光体層、
7,7a…メタルバック層
8…電子放出素子、
22,22a,22b…遮光層
Claims (6)
- 多数の電子放出素子が配列された背面基板と対向配置される前面基板上に遮光層をパターン形成する工程と、
前記遮光層が存在しない部分に、複数の蛍光体層を互いに間隔をあけて不連続にパターン形成する工程と、
前記蛍光体層の上面にアノード電極機能を有するメタルバック層を成膜する工程と、
を具備することを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記蛍光体層はフォトリソグラフィ法を用いて形成されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記蛍光体層は互いに異なる蛍光物質を含む複数種の蛍光体セグメントを有し、これら複数種の蛍光体セグメントを同種間ばかりでなく異種間においても互いに所定の間隔をあけて不連続にパターン形成することを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項記載の方法。
- 前記メタルバック層は、前記蛍光体層の上面を覆うように形成されるが、前記蛍光体層の側壁には形成されず、成膜後に分断工程を経ることなく、成膜したままの状態で隣り合うパターン同士の互いの導通が妨げられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の方法。
- 多数の電子放出素子が配列された背面基板と対向配置される前面基板上にパターン形成された遮光層と、
前記遮光層が存在しない部分に、フォトリソグラフィ法を用いて互いに間隔をあけて不連続にパターン形成された複数の蛍光体層と、
前記蛍光体層の上面に成膜形成されたアノード電極機能を有するメタルバック層と、
を具備することを特徴とする画像表示装置。 - 前記蛍光体層は互いに異なる蛍光物質を含む複数種の蛍光体セグメントを有し、これら複数種の蛍光体セグメントを同種間ばかりでなく異種間においても互いに所定の間隔をあけて不連続にパターン形成されていることを特徴とする請求項5記載の装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004226918A JP2006049034A (ja) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | 画像表示装置の製造方法および画像表示装置 |
KR1020077002593A KR20070041550A (ko) | 2004-08-03 | 2005-08-01 | 화상 표시 장치의 제조 방법 및 화상 표시 장치 |
CNA2005800255620A CN1993794A (zh) | 2004-08-03 | 2005-08-01 | 制造图像显示装置的方法以及图像显示装置 |
PCT/JP2005/014035 WO2006013818A1 (ja) | 2004-08-03 | 2005-08-01 | 画像表示装置の製造方法および画像表示装置 |
EP05767111A EP1775746A1 (en) | 2004-08-03 | 2005-08-01 | Image display device manufacturing method and image display device |
TW094126359A TW200620386A (en) | 2004-08-03 | 2005-08-03 | Image display device and manufacturing method thereof |
US11/669,993 US20070182313A1 (en) | 2004-08-03 | 2007-02-01 | Method of manufacturing image display unit, and image display unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004226918A JP2006049034A (ja) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | 画像表示装置の製造方法および画像表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006049034A true JP2006049034A (ja) | 2006-02-16 |
Family
ID=35787103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004226918A Pending JP2006049034A (ja) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | 画像表示装置の製造方法および画像表示装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070182313A1 (ja) |
EP (1) | EP1775746A1 (ja) |
JP (1) | JP2006049034A (ja) |
KR (1) | KR20070041550A (ja) |
CN (1) | CN1993794A (ja) |
TW (1) | TW200620386A (ja) |
WO (1) | WO2006013818A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7834534B2 (en) * | 2006-12-14 | 2010-11-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Illuminant substrate and manufacturing method thereof and image display apparatus |
JP5342717B2 (ja) | 2010-11-03 | 2013-11-13 | 双葉電子工業株式会社 | 蛍光表示装置 |
KR102074471B1 (ko) * | 2018-07-11 | 2020-02-06 | 주식회사 수젠텍 | 형광 표준 스트립 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5620832A (en) * | 1995-04-14 | 1997-04-15 | Lg Electronics Inc. | Field emission display and method for fabricating the same |
JP3199682B2 (ja) * | 1997-03-21 | 2001-08-20 | キヤノン株式会社 | 電子放出装置及びそれを用いた画像形成装置 |
JP2000311642A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-11-07 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP2000251797A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP2002304945A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-18 | Toshiba Corp | メタルバック付き蛍光面の形成方法および画像表示装置 |
-
2004
- 2004-08-03 JP JP2004226918A patent/JP2006049034A/ja active Pending
-
2005
- 2005-08-01 EP EP05767111A patent/EP1775746A1/en not_active Withdrawn
- 2005-08-01 WO PCT/JP2005/014035 patent/WO2006013818A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2005-08-01 KR KR1020077002593A patent/KR20070041550A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-08-01 CN CNA2005800255620A patent/CN1993794A/zh active Pending
- 2005-08-03 TW TW094126359A patent/TW200620386A/zh unknown
-
2007
- 2007-02-01 US US11/669,993 patent/US20070182313A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006013818A1 (ja) | 2006-02-09 |
US20070182313A1 (en) | 2007-08-09 |
EP1775746A1 (en) | 2007-04-18 |
KR20070041550A (ko) | 2007-04-18 |
TW200620386A (en) | 2006-06-16 |
CN1993794A (zh) | 2007-07-04 |
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