JP2006047897A - Mems素子、その製造方法及び光ディバイス - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 61
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 13
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 claims description 30
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 14
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 23
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】支持基板11と絶縁層12、上部層13の基本構造のMEMS素子とする。上部層13にはミラー部21、ヒンジ部22,23、一対のアンカー部24,25と櫛歯部26,27,28,29を形成する。アンカー部24,25、櫛歯部26,27と対向する櫛歯部28,29は絶縁層12を介して支持基板11に形成する。ミラー部に接続されるスティクションパッド30,31は絶縁層12を介することなく直接支持基板11に接着する。こうすればスティクションパッド30,31の変位をミラー部21の変位に変換することができる。
【選択図】図2
Description
12 絶縁層
13 上部層
21 ミラー部
22,23,56,63 ヒンジ部
24,25,51,52,53,58,59,60 アンカー部
26,27 櫛歯部
28,29 固定櫛歯部
30,31,41,42,43,44,54,55,61,62 スティクションパッド
30a,31a 開口
30b,31b エッチングホール
Claims (5)
- 導電性を有する支持基板と、前記支持基板上に形成された絶縁層、及び前記絶縁層の上部に形成された導電性を有する上部層の基本構造を有し、
前記上部層は、
前記絶縁層を介して前記支持基板に接続される一対のアンカー部と、
櫛歯部を有し、前記絶縁層を介して支持基板に接続された固定側櫛歯部と、
前記固定側櫛歯部と一定の間隔を介して噛合する櫛歯部を側面に有し、上面を機能面とする可動部と、
前記一対のアンカー部と前記可動部を連結する一対のヒンジ部と、
前記支持基板に直接接続されるスティクションパッドと、を有し、
前記スティクションパッドは、前記ヒンジ部に連結部を介して接続されるものであり、
前記支持基板は、
前記可動部の下部の少なくとも一部分に開口を有することを特徴とするMEMS素子。 - 前記スティクションパッドは、前記少なくとも一方のヒンジ部の一側方に接続されたものであり、その変位を前記可動部の回動に変換することを特徴とする請求項1記載のMEMS素子。
- 前記スティクションパッドは、前記各ヒンジ部の両側方に夫々2つ接続されたものであり、その変位を前記可動部の上下方向への変位に変換することを特徴とする請求項1記載のMEMS素子。
- 支持基板と、前記支持基板上に形成された絶縁層、及び前記絶縁層の上部に形成された上部層の基本構造を有するMEMS素子の製造方法であって、
前記上部層に、前記絶縁層を介して前記支持基板に接続される一対のアンカー部、櫛歯部を有し、前記絶縁層を介して支持基板に接続された固定側櫛歯部、前記固定側櫛歯部と一定の間隔を介して噛合する櫛歯部を側面に有し、上面を機能面とする可動部、前記一対のアンカー部と前記可動部を連結する一対のヒンジ部、及び前記支持基板に直接接続されるスティクションパッド、の各パターンをエッチングにより形成し、
前記支持基板に対して下方よりエッチングを行い、少なくとも前記可動部の下面に相当する部分に開口を形成し、
選択的エッチングによって前記スティクションパッドの下面の絶縁層を除去し、
乾燥工程によって前記スティクションパッドを前記支持基板の上面に直接接着させることにより、前記可動部に初期変位を生じさせることを特徴とするMEMS素子の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれのMEMS素子を用いて形成され、前記固定櫛歯部を可動部との間に電圧を印加することにより前記可動部の上面の角度を変化させることを特徴とする光ディバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004231983A JP3869438B2 (ja) | 2004-08-09 | 2004-08-09 | Mems素子、その製造方法及び光ディバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004231983A JP3869438B2 (ja) | 2004-08-09 | 2004-08-09 | Mems素子、その製造方法及び光ディバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006047897A true JP2006047897A (ja) | 2006-02-16 |
JP3869438B2 JP3869438B2 (ja) | 2007-01-17 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3869438B2 (ja) |
Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2008246663A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-10-16 | Honeywell Internatl Inc | Zオフセットmems装置および方法 |
JP2010038903A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Honeywell Internatl Inc | 閉ループ線形駆動加速度計を用いて面外線形加速度を検出するためのシステムおよび方法 |
JP2010097135A (ja) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Towa Corp | アクチュエータ及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003057574A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-26 | Fujitsu Ltd | マイクロミラー素子の製造方法およびこれにより製造されるマイクロミラー素子 |
JP2004053850A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Fujitsu Ltd | デバイスチップの製造方法 |
JP2004082288A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ |
JP2004219839A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Sony Corp | 三次元構造体およびその製造方法、並びに電子機器 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003057574A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-26 | Fujitsu Ltd | マイクロミラー素子の製造方法およびこれにより製造されるマイクロミラー素子 |
JP2004053850A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Fujitsu Ltd | デバイスチップの製造方法 |
JP2004082288A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ |
JP2004219839A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Sony Corp | 三次元構造体およびその製造方法、並びに電子機器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008246663A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-10-16 | Honeywell Internatl Inc | Zオフセットmems装置および方法 |
JP2010038903A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Honeywell Internatl Inc | 閉ループ線形駆動加速度計を用いて面外線形加速度を検出するためのシステムおよび方法 |
JP2010097135A (ja) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Towa Corp | アクチュエータ及びその製造方法 |
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