KR100247243B1 - 미소거울 결합장치 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

개시된 내용은 투사식(projection type) 영상기기의 투사기(projector)로부터 입사되는 광을 일정각도 절환하여 스크린쪽으로 반사하기 위한 미소거울 결합장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 미소거울(28a)과 구동전극(14)간에서 전류신호의 인가에 따라 발생되는 정전 인력과 더불어 자기력을 부가적으로 이용하여 투사기로부터의 입사광을 스크린쪽으로 절환하여 반사할 수 있도록 자기발생기기를 더 구비하고 있다. 그럼으로써, 미소거울 장치의 반복 구동시 발생될 수 있는 영구적인 변형이나 피로 파괴현상을 방지할 수 있게 된다. 또한, 자기장을 형성하기 위한 전자석이나 솔레노이드와 같은 자기발생기기는 스크린의 픽셀 각각에 하나씩 배치하지 않고 전체 칩 상측에 하나만이 배치되어 있다. 그러므로, 그 만큼의 전류량을 줄일 수 있게 된다. 뿐만아니라, 구동전극(14)이 미소거울(28a)의 일측부에만 형성되어 있어 구동전극(14)을 크게 제작할 수 있게 되므로, 정전 인력 증가에 의한 미소거울장치의 작동 반응시간을 단축할 수 있게 된다.

Description

미소거울 결합장치 및 그 제조방법

본 발명은 투사식(projection type) 영상기기의 투사기(projector)로부터 입사되는 광을 일정각도 절환하여 스크린쪽으로 반사하기 위한 미소거울 결합장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더 자세하게는 자기력을 부가적으로 인가하여 짧은 시간내에 반응이 이루어 지도록 한 미소거울 결합장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 미소거울 결합장치는 투사기로부터 조사되는 광이 미소거울에 의해 스크린쪽으로 반사되게 함으로써 스크린면에 상이 맺히게 하므로, 입사광을 일정각도로 신속하게 절환하게 된다.

그럼, 종래의 미소거울 결합장치들중 핀-스테이플방식을 채용한 미소거울 결합장치를 예로들어 설명하기로 한다. 이러한 핀-스테이플방식의 미소거울 결합장치는 비틀림 힌지나 켄틸레버등을 이용한 경우에 있어 반복적인 구동으로 인해 발생되는 피로파괴와 같은 문제점을 방지할 수 있어 주로 사용되고 있다.

도1 및 도2에 도시된 바와같이, 일반적인 핀-스테이플 방식의 미소거울 결합장치는 규소(Si)성분의 기판(100), 기판상면에 안착되어 전원이 인가될 수 있도록 구성된 구동전극(102), 구동전극들 상측에 좌우로 회동가능하게 배치되어 입사광을 일정 각도로 절환하여 반사하기 위한 미소거울(104) 및 미소거울의 핀(104a)부분을 기판(100)상면에 밀착하여 미소거울에 전류신호를 인가할 수 있도록 하는 스테이플(106)을 구비하고 있다. 특히, 스테이플(106)은 필요에 따라 다수 개 설치될 수 있는데, 도1a에서는 4개가, 도1b에서는 2개가 사용된 경우를 보여주고 있다.

따라서, 도2에서 보는 바와같이, 스위치(108)를 우측으로 절환하면 일차적으로 기판(100)과 구동전극(102)에 전원이 인가되게 되고, 이어 전원공급부(108a)로부터 도전가능하게 연결된 핀(104a)부분을 거쳐 미소거울(104)에 전류신호가 전달됨으로써, 결국 미소거울(104)의 우측부분과 우측 구동전극(102)간에 정전 인력이 형성되게 된다. 이에 따라, 미소거울(104)의 우측부분이 정전 인력에 의해 하향 이동되게 되므로, 미소거울 전체가 우측방향으로 기울어져 투사기로부터의 입사광을 스크린쪽으로 절환하여 반사할 수 있게 된다. 물론, 스위치(108)를 좌측으로 절환하게 되면 미소거울(104)의 좌측부분과 좌측 구동전극(102)간에 정전 인력이 형성되게 됨으로써, 미소거울 전체가 좌측방향으로 기울어져 투사기로부터의 입사광을 스크린 이외의 방향으로 절환하여 반사하게 된다. 이와같이, 미소거울 결합장치는 스위치(108)를 절환하여 좌우측의 구동전극(102)들에 선택적으로 전원이 인가되게 함으로써, 미소거울(104)이 입사광을 스크린방향 또는 스크린 이외의 방향으로 선택적으로 반사할 수 있는 것이다.

하지만, 이러한 종래의 핀-스테이플 방식의 미소거울 결합장치는 비틀림힌지나 켄틸레버를 채용한 미소거울 결합장치와는 달리, 미소거울을 원위치로 복원시키기 위한 별도의 복원력이 작용하지 않으므로, 작동 또는 작동정지에 따른 반응시간이 길어짐으로써 미소거울의 절환이 신속히 수행될 수 없는 문제점이 있었다. 이에, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 반복 구동시에 발생할 수 있는 영구적인 변형과 피로 파괴현상을 방지함과 동시에 전류신호의 인가 또는 제거에 따른 반응시간을 단축시킬 수 있는 미소거울 결합장치의 제조방법을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 정전 인력과 더불어 자기력을 부가적으로 이용함으로써 전류신호의 인가 또는 제거에 따른 반응시간을 단축시킬 수 있는 미소거울 결합장치를 제공함에 있다.

도1은 종래의 핀-스테이플 방식의 미소거울 결합장치을 도시한 사도로서, 도1a는 스테이플이 4개가 사용된 경우이고, 도1b는 스테이플이 2개가 사용된 경우이며,

도2는 종래의 핀-스테이플 방식의 미소거울 결합장치을 측면에서 도시한 구성도,

도3내지 도8은 본 발명에 따른 미소겨울 결합장치의 제조과정을 설명하기 위한 개략도,

도9는 도8의 칩부분을 개략적으로 도시한 도면으로서, 도9a는 평면도이고 도9b는 사시도이며,

도10은 본 발명에 따른 미소거울 결합장치의 작동상태를 도시한 도면으로서, 도10a는 전류신호가 인가된 경우이고, 도10b는 전류신호가 제거된 경우이며,

도11은 본 발명에 따른 미소거울 결합장치의 타실시예들로서, 도11a는 솔레노이드를 사용한 경우이고 도11b는 합성자기장을 이용한 경우이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10: 기판 12: 절연층

14: 구동전극 16: 제1희생층

18: 핀 20: 제2희생층

22: 스테이플 24: 제3희생층

26: 지지층 27: 지지기둥

28: 강자성체막 28a: 거울면

30: 자석 32: 솔레노이드

위와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은 투사식(projection type) 영상기기의 투사기(projector)로부터 조사된 광을 일정각도 절환하여 스크린쪽으로 반사하기 위한 미소거울 결합장치의 제조방법에 있어서, (1)회로기판 상면을 절연물질로 증착하여 절연층을 형성하고, 절연층 상면을 전도체물질로써 증착한 후에 패턴함으로써 일조의 구동전극을 형성하게 하는 단계; (2)구동전극중 일측 구동전극 상면을 포토레지스트로써 도포하여 제1희생층을 형성하고, 제1희생층 상면에 도전(導電)가능한 물질로써 적층한 후 패턴함으로써 핀부분을 형성하는 단계; (3)핀부분의 하측에 배치된 제1희생층 이외의 모든 제1희생층을 식각하여 제거하고, 제1희생층과 핀부분 둘레에 포토레지스트로써 도포하여 제2희생층을 형성하는 단계; (4)제2희생층 둘레를 도전(導電)가능한 물질로써 도포한 후 패턴함으로써 스테이플을 형성하고, 회로기판, 구동전극, 및 스테이플 상측면을 포토레지스트로써 도포한 후 제3희생층을 형성하는 단계; (5)핀 표면으로부터 수직방향으로 제3희생층을 식각하여 제거함으로써 미소거울의 지지기둥이 형성될 공간을 마련하고, 제3희생층 표면과 공간내에 도전(導電)가능한 물질로써 증착하여 미소거울을 지지하기 위한 지지층을 형성하는 단계; 및 (6)지지층 표면을 강자성체 물질로써 도포함으로써 강자성체막을 형성하고, 반응성 이온식각법을 이용하여 모든 희생층들을 제거한 후에, 강자성체막으로부터 상측방향으로 일정 거리 이격된 위치에 자기력을 발생하기 위한 자기발생기기를 설치하는 단계를 포함하는 미소거울 결합장치의 제조방법에 있다.

본 발명의 다른 특징은 투사식(projection type) 영상기기의 투사기(projector)로부터 조사된 광을 일정각도 절환하여 스크린쪽으로 반사하기 위한 미소거울 결합장치에 있어서, 투사기로부터의 입사광을 반사하기 위해 표면이 반사물질로써 형성된 미소거울; 미소거울의 하측면에 미소거울의 무게중심점으로부터 일정 거리 편심되게 미소거울 표면에 대해 대략 수직방향으로 결합되어 미소거울을 지지하기 위한 지지기둥; 미소거울에 대향하는 지지기둥의 일끝단에 일체로 결합되고, 스테이플에 의해 탈착되지 않게 밀착됨으로써 미소거울을 스테이플에 대해 회동가능하게 지지하기 위한 핀; 미소거울의 하측 일부에 미소거울면과 평행한 상태로 배치되고, 도전가능한 물질로써 제작되어 전류신호가 인가될 수 있도록 전원공급부로부터 도전가능하게 연결된 구동전극; 및 미소거울로부터 상측방향으로 일정 거리 이격된 위치에 자기력을 발생하기 위해 설치된 자기발생기기를 구비하고, 미소거울, 지지기둥, 및 핀이 도전가능한 물질로써 제작되고, 핀에 전류신호가 인가될 수 있도록 전원공급부로부터 도전가능하게 연결됨으로써, 미소거울과 구동전극간에 정전 인력이 발생할 수 있도록 한 미소거울 결합장치에 있다.

이하에서 본 발명의 구성 및 작용을 설명하기 위해 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

도3에 도시된 바와같이, 규소(Si)성분의 기판(10) 상면을 이산화규소(SiO₂)성분으로 증착하여 절연층(12)을 형성하게 한다. 이러한 절연층(12) 상면은 다시 티타늄(Ti)성분으로 증착된 후에 패턴(pattern)됨으로써 한쌍의 구동전극(14)이 형성되게 된다. 그런 다음, 도4에 도시된 바와같이, 좌측 구동전극(14) 상면에 포토레지스트를 도포하여 제1희생층(16)이 형성되게 한다. 제1희생층(16)은 내구성 및 내화학성 강화를 위해 열처리되고, 거기에 알루미늄(Al)을 이용하여 적층막을 형성한 후 패턴함으로써 핀(18)부분이 형성되게 한다. 그리고, RIE와 같은 비등방성 식각방법을 이용하여 핀(18) 하부를 제외한 모든 제1희생층(16)을 제거한다. 여기서, 제1희생층(16)은 나중에 식각되어 없어질 부분이고, 핀(18)은 미소거울으로부터 연장된 끝단부분으로서 구동전극에 대해 미소거울을 회동가능하게 지지하는 부분이다. 도5에서 보는 바와같이, 제1희생층(16)과 핀(18)부분은 그 상측 둘레가 포토레지스트에 의해 도포되어 제2희생층(20)이 형성된다. 이러한 제2희생층(20)은 다시 그 상측 둘레부분이 내구성 및 내화학성 강화를 위해 열처리된 후, 알루미늄(Al)성분에 의해 도포되고 패턴됨으로써 스테이플(22)이 형성되게 된다. 이러한 스테이플(22)은 미소거울의 핀(18)부분을 구동전극(14)에 밀착하기 위한 부분이다. 그런 후에, 도6에 도시된 바와같이, 기판(10), 구동전극(14) 및 스테이플(22) 상측을 포토레지스트로 도포하여 제3희생층(24)이 형성되게 한다. 여기에 내구성, 내화학성 강화를 위한 열처리를 한 후에 미소거울의 지지기둥이 형성될 부분을 RIE와 같은 비등방성 식각방법에 의해 제거한다. 그리고, 도7에서 보는 바와같이, 이러한 지지기둥 및 제3희생층 상면을 알루미늄(Al)성분으로 증착하여 지지층(26a)을 형성하게 하고, 그 상면에 철(Fe)등과 같은 강자성체로써 강자성체막(28)을 형성한다. 게다가, 이러한 구조만으로 충분한 반사율을 얻을 수 없을 경우에는 강자성체막(28) 상면을 다시 알루미늄(Al)성분으로 증착한 후 패턴함으로써, 보다 반사율이 좋은 거울면(28a)을 얻을 수 있는 것이다. 그런 다음, 도8에 도시된 바와같이, 반응성 이온식각법을 이용하여 증착되어 있는 모든 희생층들을 제거함으로써, 미소거울을 회동시키기 위한 칩이 완성되게 된다. 칩은 미소거울을 지지하기 위한 지지기둥이 미소거울의 무게중심으로부터 일정 거리 편심되도록 구성되어 있다. 이렇게 칩이 완성된 후에, 칩의 상측부에는 미소거울면에 대해 비스듬하게 영구자석 또는 전자석(30)을 배치하여 자기력이 인가되게 함으로써, 본 발명에 따른 미소거울 결합장치가 제작될 수 있는 것이다. 특히, 칩의 상측부에 전자석을 배치할 경우에는 전류신호 인가시에 전자석에 인가되는 신호를 비트 타임마다 잠시 끊어 주도록 함으로써 작동 반응시간을 보다 짧게 할 수도 있다.

한편, 이러한 방법으로 제작된 칩은 도9a 및 도9b에서 보는 바와같은 구조를 갖게 되는데, 미소거울의 무게중심점으로부터 일정 거리 편심되어 배치된 지지기둥(27)을 통해 핀(18)과 연결되며 입사광을 일정 각도로 절환하여 반사하기 위한 미소거울면(28a), 핀(18)을 탈착되지 않게 밀착하기 위한 스테이플(22), 및 구동전극(14)을 구비하고 있다. 특히, 미소거울의 핀(18)부분 및 구동전극(14)간에는 전류신호가 인가될 수 있도록 전원공급부와 도전가능하게 연결되어 있다. 따라서, 핀(18)과 구동전극(14)간에 전류신호가 인가되면, 핀(18)부분이 지지기둥(27)을 통해 미소거울면(28a)에 도전가능하게 연결되어 있으므로, 결국 미소거울면(28a)과 구동전극(14)간에 정전 인력이 작용하게 된다. 물론, 이러한 정전인력은 자석에 의해 인가되는 자기 인력보다는 그 힘이 크게 작용하여야 한다. 그리하여야, 도10a에서와 같이, 미소거울면(28a)은 우측방향으로 절환되어 투사기로부터의 입사광을 스크린의 각 픽셀쪽으로 반사할 수 있는 것이다. 반면에, 인가된 전류신호를 끊어주게 되면, 도10b에서 보는 바와같이 미소거울면(28a)이 자석(30)의 인력작용으로 인해 좌측방향으로 절환되게 된다. 이에 따라, 투사기로부터의 입사광이 스크린 이외의 방향으로 반사되게 된다. 이와같이, 전류신호를 인가 또는 제거함으로써, 투사기로부터의 입사광을 스크린쪽 또는 스트린이외의 방향으로 짧은 반응시간내에 반사할 수 있는 것이다.

또한, 이와는 다른 타실시예로서, 자석 대신에 솔레노이드를 미소거울에 대해 수직방향으로 배치하거나, 한쌍의 영구자석을 좌우 대칭되게 배치하여 합성자기장이 미소거울에 대해 수직방향으로 작용하게 함으로써, 전류신호 인가 또는 제거에 따른 반응시간을 더욱 단축하게 할 수도 있다. 이중, 도11a에 도시된 미소거울 결합장치는 자석(30) 대신에 중공의 솔레노이드(32)를 미소거울면(28a)들 상측에 배치하고, 그 중공내에 미소거울들이 수용되게 함으로써 자기장이 미소거울면에 대해 수직방향으로 작용하게 한다. 이와 아울러, 도11b에 도시된 미소거울 결합장치는 한쌍의 자석(30a,30b)들을 미소거울 상측에 좌우 대칭되게 배치함으로써, 좌우 자석들 각각의 자기장에 의한 합성자기력이 미소거울면에 대해 수직방향으로 향하게 한다.

상술한 바와같이, 본 발명은 미소거울과 구동전극간에서 전류신호의 인가에 따라 발생되는 정전 인력과 더불어 자기력을 부가적으로 이용하여 투사기로부터의 입사광을 스크린쪽으로 절환하여 반사할 수 있게 함으로써, 미소거울 장치의 반복 구동시 발생될 수 있는 영구적인 변형이나 피로 파괴현상을 방지할 수 있다. 또한, 자기장을 형성하기 위한 전자석이나 솔레노이드를 스크린의 픽셀 각각에 하나씩 배치하지 않고 전체 칩 상측에 하나만이 배치되게 함으로써, 그로인한 전류량을 줄일 수 있게 된다. 뿐만아니라, 구동전극이 미소거울의 일측부에만 형성되어 있어 구동전극을 크게 제작할 수 있게 되므로, 정전 인력 증가에 의한 미소거울장치의 작동 반응시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Claims (18)

1. 투사식(projection type) 영상기기의 투사기(projector)로부터 조사된 광을 일정각도 절환하여 스크린쪽으로 반사하기 위한 미소거울 결합장치의 제조방법에 있어서,

   (1)회로기판 상면을 절연물질로 증착하여 절연층을 형성하고, 상기 절연층 상면을 전도체물질로써 증착한 후에 패턴함으로써 일조의 구동전극을 형성하게 하는 단계;

   (2)상기 구동전극중 일측 구동전극 상면을 포토레지스트로써 도포하여 제1희생층을 형성하고, 상기 제1희생층 상면에 도전(導電)가능한 물질로써 적층한 후 패턴함으로써 핀부분을 형성하는 단계;

   (3)상기 핀부분의 하측에 배치된 제1희생층 이외의 모든 제1희생층을 식각하여 제거하고, 제1희생층과 핀부분 둘레에 포토레지스트로써 도포하여 제2희생층을 형성하는 단계;

   (4)상기 제2희생층 둘레를 도전(導電)가능한 물질로써 도포한 후 패턴함으로써 스테이플을 형성하고, 상기 회로기판, 구동전극, 및 스테이플 상측면을 포토레지스트로써 도포한 후 제3희생층을 형성하는 단계;

   (5)상기 핀 표면으로부터 수직방향으로 상기 제3희생층을 식각하여 제거함으로써 미소거울의 지지기둥이 형성될 공간을 마련하고, 상기 제3희생층 표면과 상기 공간내에 도전(導電)가능한 물질로써 증착하여 미소거울을 지지하기 위한 지지층을 형성하는 단계; 및

   (6)상기 지지층 표면을 강자성체 물질로써 도포함으로써 강자성체막을 형성하고, 반응성 이온식각법을 이용하여 상기 모든 희생층들을 제거한 후에, 상기 강자성체막으로부터 상측방향으로 일정 거리 이격된 위치에 자기력을 발생하기 위한 자기발생기기를 설치하는 단계를 포함하는 미소거울 결합장치의 제조방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 (1)단계에서 절연층이 규소(Si)성분의 회로기판 상면을 이산화규소(SiO₂)성분 물질로 증착함으로써 형성되도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 (1)단계에서 구동전극이 상기 절연층 상면을 티타늄(Ti)성분 물질로써 증착한 후에 패턴함으로써 형성되도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 (2)단계에서 핀부분은 상기 제1희생층을 내구성 및 내화학성 강화를 위해 열처리하고, 거기에 알루미늄(Al)으로써 적층한 후 패턴함으로써 형성되도록 한 미소겨울 결합장치의 제조방법.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 (3)단계에서 상기 핀부분의 하측에 배치된 제1희생층 이외의 모든 제1희생층이 비등방성 식각방법에 의해 식각되어 제거되도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 (4)단계에서 스테이플은 상기 제2희생층을 내구성 및 내화학성 강화를 위해 열처리하고, 거기에 알루미늄(Al)으로써 적층한 후 패턴함으로써 형성되도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 (5)단계에서 지지층은 상기 제3희생층 표면과 상기 공간내에 알루미늄(Al)로써 증착하여 형성되도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 (6)단계에서 강자성체막을 형성한 후에 상기 강자성체막 상면을 다시 반사율이 높은 재질로써 얇게 증착한 후 패턴하여, 고 반사율의 거울면을 얻도록 하는 단계를 더 포함하는 미소거울 결합장치의 제조방법.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 미소거울면이 알루미늄(Al) 재질로써 증착되도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
10. 제 1항에 있어서,

    상기 (6)단계에서 자기력을 발생하기 위해 미소거울 상측에 전자석을 설치하고, 전류신호 인가시에 상기 전자석에 인가되는 전류신호를 비트 타임마다 잠시 끊어 주도록 함으로써 미소거울의 작동 반응시간을 단축시키도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
11. 제 1항에 있어서,

    상기 (6)단계에서 강자성체막으로부터 일정 거리 이격된 위치에 대략 전체 미소거울면 넓이 정도의 중공을 갖는 솔레노이드를 설치하여, 상기 강자성체막 표면으로부터 수직방향으로 자기력이 작용할 수 있도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
12. 제 8항 또는 11항에 있어서,

    상기 거울면 표면으로부터 수직방향으로 자기력이 작용할 수 있도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
13. 제 1항에 있어서,

    상기 (6)단계에서 강자성체막으로부터 일정 거리 이격된 위치에 좌우 대칭되도록 한쌍의 자기발생기기를 설치하여, 상기 자기발생기기 각각으로부터 발생되어 합성되는 합성자길력이 상기 강자성체막 표면으로부터 수직방향으로 향하도록 한 미소거울 결합장치의 제조방법.
14. 투사식(projection type) 영상기기의 투사기(projector)로부터 조사된 광을 일정각도 절환하여 스크린쪽으로 반사하기 위한 미소거울 결합장치에 있어서,

    상기 투사기로부터의 입사광을 반사하기 위해 표면이 반사물질로써 형성된 미소거울;

    상기 미소거울의 하측면에 미소거울의 무게중심점으로부터 일정 거리 편심되게 상기 미소거울 표면에 대해 대략 수직방향으로 결합되어 상기 미소거울을 지지하기 위한 지지기둥;

    상기 미소거울에 대향하는 상기 지지기둥의 일끝단에 일체로 결합되고, 스테이플에 의해 탈착되지 않게 밀착됨으로써 상기 미소거울을 상기 스테이플에 대해 회동가능하게 지지하기 위한 핀;

    상기 미소거울의 하측 일부에 미소거울면과 평행한 상태로 배치되고, 도전가능한 물질로써 제작되어 전류신호가 인가될 수 있도록 전원공급부로부터 도전가능하게 연결된 구동전극; 및

    상기 미소거울로부터 상측방향으로 일정 거리 이격된 위치에 자기력을 발생하기 위해 설치된 자기발생기기를 구비하고,

    상기 미소거울, 지지기둥, 및 핀이 도전가능한 물질로써 제작되고, 상기 핀에 전류신호가 인가될 수 있도록 상기 전원공급부로부터 도전가능하게 연결됨으로써, 상기 미소거울과 구동전극간에 정전 인력이 발생할 수 있도록 한 미소거울 결합장치.
15. 제 14항에 있어서,

    상기 자기발생기기가 상기 미소거울의 상측에 미소거울면에 대해 비스듬하게 향하도록 설치된 미소거울 결합장치.
16. 제 14항에 있어서,

    상기 자기발생기기가 상기 미소거울면으로부터 수직방향으로 향하도록 설치된 미소거울 결합장치.
17. 제 16항에 있어서,

    중공의 솔레노이드가 그 중공부분에 상기 미소거울들을 수용한 상태로 상기 미소거울면으로부터 수직방향으로 설치된 미소거울 결합장치.
18. 제 16항에 있어서,

    한쌍의 영구자석이 좌우 대칭되게 배치되어, 그로인한 합성자기장이 상기 미소거울면에 대해 수직방향으로 작용하도록 한 미소거울 결합장치.

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