JP2006043744A - 切断加工用レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ発振器LS自体が出力するレーザ光8aの集光性指標M2値は2.8以下で、ワーク(被加工物)に向けて出射する光学系に、反射面を備えたベンダミラー10と球面レンズからなる集光レンズ11の他に、集光特性改変光学素子(非球面レンズ)32をアクチュエータ31により、挿脱自在に配置する。例えばレーザ発振器LSにM2値が1.3、出力4kWのガスレーザ発振器を用いることで、光学素子32不使用時に1mm厚のアルミ合金の切断を切断速度80m/minで実行できる一方で、光学素子32使用時には厚さ30mmの軟鋼の安定切断が可能となる。集光特性改変光学素子として、可変型の非球面鏡を使用することもできる。
【選択図】 図4
Description
即ち、レーザ光の波長λ、任意の集光レンズを経て集光された時の焦点近傍での最小ビーム径dm 、及びビーム径が最小となる光軸上の位置(第1の位置)とビーム径が2×dm となる光軸上の位置(第2の位置)との間の距離Zr (Rayleigh長)を用いて、M2は下記の式で定義される。
M2=π・(dm )2/(4λ・Zr )
図10には、集光レンズを経て集光されたレーザビームの焦点近傍でのビーム径の推移の例をグラフで示した。同グラフにおいて、横軸は集光レンズの光軸方向位置Zを同レンズのレンズ中心をZ=0(mm)にとって表わしており、縦軸は位置Zにおけるレーザビーム半径d(mm)を表わしている。●点は実測で得たプロットで、プロット間を内挿近似すると、本例では「最小ビーム径dm (=約0.22mm)を与える位置」と「最小ビーム径dm のルート2倍d1/2(=約0.31mm)を与える位置」の間の距離Zr は約4mmとなる。
さて、レーザビームを用いて実際に切断加工を行なう場合、従来は、略10mm以下の薄い金属の切断が主であり、その大半のケースではM2値が2近辺、最大でも2.8未満のレーザビームが用いられてきた。
ところが近年、レーザ発振器の高出力化に伴い、板厚20mm乃至30mm以上の、厚い材料を切断するニーズが高まっている。このような厚板をレーザ切断するには、幾つかの技術的困難が伴う。その主因は、補助ガス(アシストガス)を切断溝に十分に供給できないことにある。
周知の通り、レーザ光を用いた切断加工においては、被加工材料の表面にレーザ光を集光し、微小領域を極めて温度の高い状況とする一方、補助ガスを加工ノズルから所定の圧力・流量率で噴出し、高温溶解状態の被加工材料と補助ガスとの物理的・化学的相互作用により、被加工材料が選択的に除去される。一般に、補助ガスは加工ノズルから、レーザ光線と同軸で噴出・供給される場合が多い。
燃焼反応熱を伴わない、窒素もしくはアルゴンを補助ガスに用いる場合であっても、類似した状況が発生する。即ち、板厚が厚くなると、いくら補助ガス供給圧力を上げても、板厚の厚さ方向の半ばでガス流が失速することが防げなくなる。そのため、金属にあっては溶融金属等を吹き飛ばす力が不足することになる。また、非金属にあっては炭化作用や熱伝導に伴う過分な溶融を制限する冷却ガスとして機能が十分に果たされなくなる。
このような問題に対する従来の解決策には、大きく分けて二通りのものがあった。
一つは、補助ガスの供給方法に工夫を施すことであり、ノズル径、ノズルと被加工物表面との距離、ノズル内の形状を適切に選択することで問題解決を図る方法である。また、ノズルの径方向の流速分布に工夫を施すことも有効であり、その手法の一つであるダブルノズルの採用については、多くの特許出願を見出すことができる。
また、集光点の被加工物表面に対する高さ方向の位置を調整することで、集光半径を調整し、切断幅を制御することも、一般的な手法である。
実際、低出力のレーザではこの理論に合致した結果が得られるが、高出力レーザにおいてはレーザ利得が特に大きいため、レーザ媒体が均一との仮定は成り立たないことが多くなり、理論との合致度が悪くなる。
先ず、ダブルノズル等の補助ガスの流れをコントロールし、工夫する方法には、その提案の多さが逆説的に示しているように、実際に良い結果を得るための設計・適用が難しいという短所がある。発明者らの研究によれば、加工ノズル形状とレーザビーム集光径との間には、ある種の相性関係が存在する。即ち、あるノズル形状で好結果を得ても、他の条件では平凡な結果しか得られない場合が多い。
また、集光レンズの焦点距離を変更したり、集光点の被加工物表面に対する高さ方向の位置を調整することは、切断板厚が薄い条件では一定の効果を有する手法である。しかし、切断板厚が増すに従い、どれだけ長い焦点距離の集光レンズを選択しても、切断面の悪化が避けられず、ドロスの付着も多くなり、適切な切断幅を得ることができないという現象が起る。焦点の位置を変更する方法も同様である。
本発明の目的は、これら従来技術の短所を克服し、特殊な加工ノズルを用いることなく、本質的に厚板切断に適したレーザビームで切断を行うレーザ装置を提供することにある。
より具体的に言えば、請求項1に記載の発明に係るレーザ装置は、ガスレーザ発振器と、集光レンズを含み、前記ガスレーザ発振器から出射されたレーザ光を入射させ、被加工物に向けて出射する光学系とを備え、レーザ光に関するビーム評価指数M2を、
レーザ光の波長λ、レーザ光が前記集光レンズを経て集光された時の焦点近傍における最小ビーム径dm 、及び該最小ビーム径dm を与える光軸上の第1の位置とビーム径が2×dm となる前記光軸上の第2の位置位置との間の距離Zr を用いて下記の式、
M2=π・(dm )2/(4λ・Zr )
で定義した時、該M2の値が2.8〜4.5の範囲にあることを特徴としている。
前記集光特性改変光学素子としては、例えば非球面レンズ、非球面鏡及び可変型非球面鏡の内のいずれかを利用することができる(請求項6)。また、前記集光特性改変光学素子はレーザ光光路に対して挿脱自在に設けることもできる(請求項7)。
また、必要に応じてレンズによる集光系にM2値を調整する光学素子を配置することで、レーザ装置の厚板切断における加工性能の向上を図ることが可能になった。つまり、本発明によれば、特殊なレーザ発振器を用いることなく、簡便に、薄板切断性能と厚板切断性能の双方に優れたレーザ装置を得ることになる。
M2=π(dm )2/(4λZr )=π(dm )θ/4λ
であるから、
θ=dm /Zr
となる。他方、
tan(θ/2)=D/(2f)
であることから、
θ=dm /Zr =2tan−1(D/(2f))
となる。
dm /Zr =0.00295
となる。
また、f=2.5”(63.5mm)、D=20mmのとき、
dm /Zr =0.312
となる。
実験によれば、dm /Zr >0.003となるように、レンズ上のビーム径および集光レンズ焦点距離を選択すると、集光レンズで集光された光が、適切な角度で集光されるので、切断溝内で多重反射することにより切断が進行する非鉄金属の窒素アシストガスによる切断加工が、極めて良好に行えるようになる。従って、上記の式、
dm /Zr =2tan−1(D/(2f))
の右辺で計算される値が0.003以上になるようにfとDの値を組み合わることが好ましいと言うことになる。
先ず図6のグラフは、本発明のために行なった研究において実験に供したレーザビームの出力と集光性指標M2に関して、最大切断板厚25mm以上となる実験結果が得られた範囲を示している。同グラフにおいて、横軸はレーザ出力(kW)で、縦軸はM2を表わしている。そして、●で記したプロットが厚さ25mm以上の最大切断板厚を得たポイントを表わし、△で記したプロットは厚さ25mm以下の最大切断板厚しか得られなかったポイントを表わしている。このグラフから、幅広いレーザ出力レンジにおいて、M2 値を2.8〜4.5とすれば、厚さ25mm以上の最大切断板厚が安定して得られることが理解される。
図9は、M2値が2.8〜4.5の範囲となり、好結果を得たときのレーザビームのエネルギー分布の例(c)、(d)を、M2値が1.0となるガウスモード(TEM00モード)におけるエネルギー分布(a)及びM2値が1.7となるリングモード(TEM01*モード)におけるエネルギー分布(b)とともに示したものである。(c)はM2値=2.8で得られた例で、ガウスモードにやや近いエネルギー分布を示している。また、(d)はM2値=4.1で得られた例で、リングモードにやや近いエネルギー分布を示している。
2 出力制御回路
3 励起用電源
4 放電管
5 レーザガス
6 リア鏡
7 出力鏡
8、8a、8b、8c,8d レーザ光
9 シャッタ
10 ベンダミラー
11 集光レンズ
12 ワーク(被加工物)
13 位置制御回路
14 サーボアンプ
15 サーボモータ
16 ボールスクリュー
17 ナット
18 テーブル
19 送風機
20 冷却器
21 シャッタ制御回路
22 ビームアブソーバ
23 集光径
24 共振器長
25 放電管内径
31、33 アクチュエータ
32 集光特性改変光学素子(非球面レンズ)
34 集光特性改変光学素子(可変型非球面鏡)
34a 円錐反射面
34b 平面反射面
Claims (7)
- ガスレーザ発振器と、
集光レンズを含み、前記ガスレーザ発振器から出射されたレーザ光を入射させ、被加工物に向けて出射する光学系とを備え、
レーザ光に関するビーム評価指数M2を、
レーザ光の波長λ、レーザ光が前記集光レンズを経て集光された時の焦点近傍における最小ビーム径dm 、及び該最小ビーム径dm を与える光軸上の第1の位置とビーム径が21/2×dm となる前記光軸上の第2の位置との間の距離Zr を用いて下記の式、
M2=π・(dm )2/(4λ・Zr )
で定義した時、該M2の値が2.8〜4.5の範囲にあることを特徴とする、切断加工用レーザ装置。 - 前記径dm と、前記距離Zr に関して、dm /Zr >0.003なる関係が成立する、請求項1記載の切断加工用レーザ装置。
- 前記光学系は、前記M2の値に影響を及ぼす光学手段を含まない、請求項1または請求項2に記載の切断加工用レーザ装置。
- 前記光学系は、前記M2の値に影響を及ぼす集光特性改変光学素子を含んでいる、請求項1または請求項2に記載の切断加工用レーザ装置。
- 前記ガスレーザ発振器から出射されるレーザ光は、前記集光特性改変光学素子の非存在を仮定した時には前記M2に2.8未満の値を与えるものである、請求項4に記載の切断加工用レーザ装置。
- 前記集光特性改変光学素子は、非球面レンズ、非球面鏡及び可変型非球面鏡の内のいずれかである、請求項4または請求項5に記載の切断加工用レーザ装置。
- 前記集光特性改変光学素子が前記レーザ光の光路に対して挿脱自在に設けられている、請求項4〜請求項6の内のいずれか1項に記載の切断加工用レーザ装置。
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