JP2006038784A - 磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 基準部の基準位置からの溶接部の相対位置の測定精度を向上させることができ、また、オペレータに拘わらず、測定精度を維持でき、さらに、溶接部の測定に要する時間を短縮でき、それだけ測定作業のコストを低く抑えることができる磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】 磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置１００は、溶接部Ｐ及び基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像を含む画像情報を対応する多値画像情報に変換し、基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像に基づいて基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）を検出し、多値画像情報を対応する二値画像情報に変換し、該二値画像情報について溶接部Ｐに対応する画像以外の不要画像を除去し、該二値画像情報について基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）からの溶接部Ｐに対応する画像の相対位置（Ｘ，Ｙ）を算出する。
【選択図】 図５

Description

本発明は、ハードディスク装置等における記録媒体に対して記録情報をリード及び／又はライトするための磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンション、さらに詳しくは、複数の部材から構成され、該複数の部材が少なくとも一つの溶接部によって互いに接合された磁気ヘッドサスペンションについて所定の基準部の基準位置からの前記溶接部の相対位置が所定の許容範囲内にあるか否かを測定する溶接位置測定方法及び装置に関するものである。

磁気ヘッドサスペンションには、共振特性の向上や耐衝撃性等の動特性の向上が望まれる。即ち、搭載する磁気ヘッドを、ハードディスク装置等の記録媒体における目的のトラック上に向けてシーク方向（記録媒体半径方向）へ高速移動させる為には、磁気ヘッドサスペンションの共振周波数を高める必要がある。

また、磁気ヘッドがロード位置に位置する際（即ち、磁気ヘッドが記録媒体上で浮上状態とされている際）に、例えば、外部から衝撃が加わった場合において、磁気ヘッドがＺ方向（記録媒体の記録面と直交する方向）へ跳躍して記録媒体の記録面を損傷することがある。これを防止する為には、耐衝撃性を高める必要がある。

ところで、磁気ヘッドサスペンションのなかには、複数の部材から構成され、該複数の部材が所定の微小サイズ（例えば、０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度のサイズ）を有する少なくとも一つの溶接部（例えば、十数箇所の溶接部）によって互いに接合されたものがある。

このような磁気ヘッドサスペンションでは、前記したような共振特性の向上や耐衝撃性等の動特性の向上の観点から、磁気ヘッドサスペンションの形状、或いは溶接部の位置や数等を考慮して、該磁気ヘッドサスペンションにおける所定の基準部（例えば、磁気ヘッドサスペンションにおけるボス穴や開口など）の基準位置からの溶接部の相対位置が所定の許容範囲内のものに規定されている。

従来の磁気ヘッドサスペンションにおける基準部の基準位置からの溶接部の相対位置の測定は、投影機と呼ばれる測定機を用いて、磁気ヘッドサスペンションをスクリーン上に拡大投影し、当該拡大投影された磁気ヘッドサスペンションにおける溶接部の個々の大きさや基準部（例えば、磁気ヘッドサスペンションにおけるボス穴や開口など）から個々の溶接部までの相対位置をそれぞれオペレータが手作業で測定することで行っていた。

ところが、前記したような投影機を用いて磁気ヘッドサスペンションの溶接位置を測定する場合には、拡大投影された溶接部の個々の大きさや基準部からの個々の相対位置についてそれぞれオペレータが手作業で行うので、例えば、同じ溶接箇所を複数回測定して測定値のバラツキを判定する測定再現性（Gage Repeatability & Reproducibility：ＧＲ＆Ｒ）を調べた場合、該測定再現性（ＧＲ＆Ｒ）の値が比較的大きくなりやすく、すなわち測定精度が低下しやすく、また、測定の際にオペレータが異なると、それによって測定精度も異なることもある。さらに、各溶接部を手作業で測定するので、全ての溶接部を測定するのにそれだけ時間が長くかかってしまい、ひいては測定作業のコスト上昇を招いているのが実情である。

このような問題を解決するために、例えば、次のような溶接位置測定装置を用いることがある。すなわち、ＣＣＤカメラ等の画像入力装置で磁気ヘッドサスペンションにおける溶接部及び基準部に対応する画像を含む画像領域を複数の画素（ピクセル）に分割して複数の画像情報を入力し、該入力した複数の画像情報をそれぞれ対応する複数の多値画像情報（例えば、２５６階調の画像情報）に変換して多値化し、該多値化した前記複数の多値画像情報を、モニタ等の出力装置に表示し、該表示された溶接部及び基準部に対応する画像を含む画像領域の測定すべき溶接部及び基準部の測定画像領域をオペレータの手作業によって指定された測定画像領域内でエッジ検出処理を行い、該エッジ検出処理された溶接部及び基準部について、基準部からの溶接部の相対位置を算出して、該溶接部の相対位置の測定を行う溶接位置測定装置を用いることがある。このような溶接位置測定装置で行われるエッジ検出処理では、例えば、測定画像領域内のピクセル輝度の不連続部分を識別し、これをエッジとして検出している。

しかしながら、前記したような従来の溶接位置測定装置では、測定対象物が磁気ヘッドサスペンションの溶接部のように小さいと、多値画像情報（具体的には２５６階調の画像情報）でエッジ検出処理を行う際に、例えば、ピクセル輝度が不連続部分であるか否かのエッジ判定が不正確になりやすく、従って、エッジ検出処理の精度が低下しやすい。これを改善するためには、図９に示すように、高倍率で個々の溶接部（図示例では１画面につき一つの溶接部Ｐ）を測定する必要があり、よって他の溶接部を測定する場合には、各溶接部毎に画面の表示を移動させて手作業で測定する必要があるので、全ての溶接部を測定するのにそれだけ時間が長くかかってしまい、ひいては測定作業のコスト上昇を招く。なお、図９において、符号Ａは溶接部Ｐの測定画像領域を示し、Ｂは測定画像領域Ａ内のピクセル輝度の不連続部分を示し、また１０’及び２０’はいずれも磁気ヘッドサスペンションを構成する部材を示している。

本発明は、斯かる従来技術に鑑みなされたものであり、複数の部材から構成され、該複数の部材が少なくとも一つの溶接部によって互いに接合された磁気ヘッドサスペンションについて所定の基準部の基準位置からの前記溶接部の相対位置が所定の許容範囲内にあるか否かを測定する溶接位置測定方法及び装置であって、前記基準部の基準位置からの前記溶接部の相対位置の測定精度を向上させることができ、また、オペレータに拘わらず、測定精度を維持でき、さらに、溶接部の測定に要する時間を短縮でき、それだけ測定作業のコストを低く抑えることができる磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置を提供することを課題とする。

本発明は、前記課題を解決するため、次の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置を提供する。

（１）磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法
複数の部材から構成され、該複数の部材が少なくとも一つの溶接部によって互いに接合された磁気ヘッドサスペンションについて所定の基準部（例えば、磁気ヘッドサスペンションにおけるボス穴等の開口など）の基準位置からの前記溶接部の相対位置が所定の許容範囲内にあるか否かを測定する溶接位置測定方法であって、前記少なくとも一つの溶接部及び前記基準部に対応する画像を含む画像領域から複数の画素に分割された複数の画像情報をそれぞれ対応する複数の多値画像情報に変換して多値化する多値画像情報変換ステップと、前記画像領域における前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出する基準画像位置検出ステップと、前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化する二値画像情報変換ステップと、前記複数の二値画像情報について前記少なくとも一つの溶接部に対応する画像以外の不要画像を除去する不要画像除去ステップと、前記不要画像除去ステップで前記不要画像を除去した前記複数の二値画像情報について前記基準画像位置検出ステップで検出した前記基準画像位置からの前記溶接部に対応する画像の相対位置を算出して、前記溶接部の相対位置を測定する溶接位置測定ステップとを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法。

（２）磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置
複数の部材から構成され、該複数の部材が少なくとも一つの溶接部によって互いに接合された磁気ヘッドサスペンションであって該磁気ヘッドサスペンションにおける所定の基準部（例えば、磁気ヘッドサスペンションにおけるボス穴等の開口など）の基準位置からの前記溶接部の相対位置が所定の許容範囲内にあるか否かを測定する溶接位置測定装置であって、前記少なくとも一つの溶接部及び前記基準部に対応する画像を含む画像領域を複数の画素に分割して複数の画像情報を入力し、該入力した前記複数の画像情報をそれぞれ対応する複数の多値画像情報に変換して多値化する画像入力装置と、前記画像領域における前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出する基準画像位置検出手段と、前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化する二値画像情報変換手段と、前記複数の二値画像情報について前記少なくとも一つの溶接部に対応する画像以外の不要画像を除去する不要画像除去手段と、前記不要画像除去手段で前記不要画像を除去した前記複数の二値画像情報について前記基準画像位置検出手段で検出した前記基準画像位置からの前記溶接部に対応する画像の相対位置を算出して、前記溶接部の相対位置を測定する溶接位置測定手段とを備えることを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置。

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置では、前記複数の多値画像情報（それには限定されないが、例えば、２５６階調の画像情報）をそれぞれ対応する複数の二値画像情報（０及び１）に変換して二値化した後、この二値画像情報について前記基準画像位置からの前記溶接部（それには限定されないが、例えば、０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の所定の微小サイズを有する溶接部）に対応する画像の相対位置を算出して、前記溶接部の相対位置を測定するので、従来の多値画像情報で微小サイズの溶接部の相対位置を測定するための画像処理を行う場合のように、高倍率で測定しなくても、精度よく前記溶接部の相対位置を測定することができる。また、二値画像情報について、前記溶接部に対応する画像以外の不要画像を除去することで、前記溶接部に対応する画像だけにし、これにより、前記溶接部に対応する画像に対して集中的に画像解析を行うことが可能となり、この状態で、前記基準画像位置からの前記溶接部に対応する画像の相対位置を算出して、前記溶接部の相対位置を測定するので、自動的に全ての溶接部を測定でき、従って、個々の溶接部を手動で測定しなくてもよく、これにより、測定工数を削減でき、溶接部全体の測定作業時間を大幅に短縮することができると共に、オペレータに拘わらず、測定精度を維持することができる。さらに、二値画像情報について前記溶接部の相対位置を測定するように画像処理を行うので、多値画像情報について前記溶接部の相対位置を測定するように画像処理を行う場合に比べ、画像処理のデータ処理量を大幅に少なくできると共に、画像処理ルーチンを簡素化でき、それだけ画像処理速度を向上させることができ、例えば、インライン処理においても応答時間を短くすることができ、これにより、溶接部の測定作業時間をさらに短縮することができる。

本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置において、前記二値画像情報変換ステップ及び手段では、前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化し、前記基準画像位置検出ステップ及び手段では、前記二値画像情報変換ステップ及び手段で二値化した前記複数の二値画像情報について前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出することもできるが、前記基準部として前記溶接部のサイズよりも大きいサイズのものを用いれば、例えば、多値画像情報について従来のように測定画像領域内のピクセル輝度の不連続部分を識別し、これをエッジとして検出するエッジ検出処理を行う処理ルーチンをそのまま利用できるという観点から、前記基準画像位置検出ステップ及び手段では、前記複数の多値画像情報について前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出（例えば、エッジ検出）し、前記二値画像情報変換ステップ及び手段では、前記基準画像位置検出ステップ及び手段で基準画像位置を検出した前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化することが好ましい。

このように、前記基準画像位置検出ステップ及び手段で前記複数の多値画像情報について前記基準画像位置を検出し、前記二値画像情報変換ステップ及び手段で前記基準画像位置を検出した前記複数の多値画像情報を二値化する場合、例えば、前記基準画像位置検出ステップ及び手段による位置検出に先立って、次の処理を行うことができる。すなわち、
（ａ）前記基準画像位置検出ステップ及び手段による位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報についてＬＵＴ（Lookup Table）変換を行う場合、
（ｂ）前記基準画像位置検出ステップ及び手段による位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報について前記基準部に対応する画像を所定の抽出処理（例えば、パターンマッチング処理）を行うことで抽出し、該抽出した基準部に対応する画像を前記基準画像位置検出ステップ及び手段において検出し得る位置に位置補正し、前記基準画像位置検出ステップ及び手段では、前記位置補正した基準部に対応する基準部位置補正画像について、該基準部位置補正画像を含むように予め設定しておいた基準画像位置検出領域を指定し、該基準画像位置検出領域内で前記基準部位置補正画像のエッジ検出を行うことで基準画像位置を検出する場合、
（ｃ）前記基準画像位置検出ステップ及び手段による位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報について階調性が徐々に変化するパターン画像を滑らかにするように且つ画像の境界部分でコントラストが強まるように、モフォロジー（ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ）関数の自動メディアン処理を行う場合、
（ｄ）前記（ａ）から（ｃ）のうちに少なくとも二つを組み合わせた場合である。

また、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置において、例えば、二値画像情報（０及び１の二値画像情報）のうち、「０」を画像処理非対象画像、「１」を画像処理対象画像として画像処理を行う場合において、前記少なくとも一つの溶接部及び前記基準部に対応する画像を含む画像領域の二値画像情報（０及び１）のうち、前記溶接部及び前記基準部に対応する画像が「０」、前記少なくとも一つの溶接部及び前記基準部に対応する画像以外の画像が「１」になる場合には、前記二値画像情報変換ステップ及び手段による変換後に、前記複数の二値画像情報を反転してもよい。

以上説明したように本発明によると、複数の部材から構成され、該複数の部材が少なくとも一つの溶接部によって互いに接合された磁気ヘッドサスペンションについて所定の基準部の基準位置からの前記溶接部の相対位置が所定の許容範囲内にあるか否かを測定する溶接位置測定方法及び装置であって、前記基準部の基準位置からの前記溶接部の相対位置の測定精度を向上させることができ、また、オペレータに拘わらず、測定精度を維持でき、さらに、溶接部の測定に要する時間を短縮でき、それだけ測定作業のコストを低く抑えることができる磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法及び装置を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法を実施する本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置の一例１００の概略構成を示す斜視図であり、図２は図１に示後述するす画像入力装置２００におけるカメラ２１０、レンズ２１０ａ及び照明部２３０部分を拡大して示す斜視図である。また、図３は図１に示す溶接位置測定装置１００を用いて溶接位置が測定される磁気ヘッドサスペンションの一例１の主要部を、ハードディスク装置等の記録媒体の記録面側から視た上面図である。なお、ここで測定される磁気ヘッドサスペンション１は、最終完成品のものではなく、製造途中のものであり、複数の（図示例では１６個（１６ｐｃｓ）の）磁気ヘッドサスペンション１が所定方向に沿って整列して連結されている状態のものである。

図３に示す磁気ヘッドサスペンション１は、ハードディスク装置等における記録媒体に対して記録情報をリード及び／又はライトするための磁気ヘッドを支持するものであり、複数の部材１０，２０，３０，４０から構成され、該複数の部材１０，２０，３０，４０が所定の微小サイズ（例えば、０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度のサイズ）を有する少なくとも一つの（図示例では１６箇所の）溶接部Ｐ１〜Ｐ１６によって互いに接合されたものであって、該磁気ヘッドサスペンション１における所定の基準部Ｑ１，Ｑ２（図示例では磁気ヘッドサスペンションにおける（２ｍｍ）径のボス穴Ｑ１及び０．５ｍｍ径の開口Ｑ２）に基づく基準位置（一方のボス穴Ｑ１に対応する画像の重心Ｑ１’を原点とし、他方の開口Ｑ２に対応する画像の重心Ｑ２’を通るＸ軸及び該Ｘ軸に直交するＹ軸）からの前記溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の相対位置が所定の許容範囲内のものに規定されるものである。なお、前記の部材１０，２０，３０及び４０は、本例では、それぞれ磁気ヘッドスライダー１１を支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部１０、磁気ヘッドスライダー１１を記録媒体の記録面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部３０、荷重曲げ部３０において発生される荷重をフレクシャ部１０に伝達するロードビーム部２０、及び荷重曲げ部３０を支持する基部４０である。なお、図３において、符号５０は、磁気ヘッドスライダー１１と外部部材とを電気的に接続する配線体を示している。

溶接位置測定装置１００は、図１に示すように、画像入力装置２００及び画像処理測定装置３００から構成されており、画像入力装置２００で磁気ヘッドサスペンション１が撮影されて入力された画像情報を画像処理測定装置３００で画像処理することで、磁気ヘッドサスペンション１の基準部Ｑ１，Ｑ２に基づく基準位置（Ｘ軸及びＹ軸）からの溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の相対位置を測定するものである。

画像入力装置２００は、撮像装置２１０、Ａ／Ｄ変換装置２２０、照明部２３０、ＸＹ軸方向駆動装置２４０及びＺ軸方向駆動装置２５０を備えている。

撮像装置２１０は、本例では、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）を備えたＣＣＤカメラであり、位置測定すべき１６箇所の溶接部Ｐ１〜Ｐ１６及び基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像を含む画像領域を撮影できるように配置されたレンズ２１０ａと、Ａ／Ｄ変換装置２２０に接続するための接続ケーブル２１０ｂとを備えている。これにより、ＣＣＤカメラ２１０で撮影した前記画像領域について複数の画素に分割した複数のアナログ画像情報を接続ケーブル２１０ｂを介してＡ／Ｄ変換装置２２０に入力することができる。

Ａ／Ｄ変換装置２２０は、ＣＣＤカメラ２１０からの複数のアナログ画像情報をそれぞれ対応する複数の多値画像情報（例えば、２５６階調のデジタル画像情報）に変換して多値化するものであり、画像処理測定装置３００に接続するための接続ケーブル２２０ａを備えている。これにより、Ａ／Ｄ変換装置２２０で変換した複数の多値画像情報を接続ケーブル２２０ａを介して画像処理測定装置３００に入力することができる。

照明部２３０は、図１及び図２に示すように、磁気ヘッドサスペンション１をＣＣＤカメラ２１０で撮影する際に該磁気ヘッドサスペンション１を照明するものであり、一方の面において周方向に沿って並設された複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）２３０ａを有する中空のリング状部材であり、ＣＣＤカメラ２１０と磁気ヘッドサスペンション１との間で、ＬＥＤ２３０ａが磁気ヘッドサスペンション１に対向するように、且つ、ＣＣＤカメラ２１０におけるレンズ２１０ａの光軸が中空部分を通過できるように配置されている。これにより、ＣＣＤカメラ２１０で磁気ヘッドサスペンション１を撮影する際に該撮影を邪魔することなく磁気ヘッドサスペンション１を照明することができる。

図１に示すＸＹ軸方向駆動装置２４０は、Ｙ軸方向スライド部２４１及びＸ軸方向スライド部２４２を備えている。Ｙ軸方向スライド部２４１は、Ｘ軸方向スライド部２４２を載置すると共に、該Ｘ軸方向スライド部２４２を所定の方向（図１中Ｙ方向）に沿って往復動自在にスライドできるように構成されていて、Ｙ軸方向駆動モータ２４３を備えている。このＹ軸方向駆動モータ２４３は、図示を省略した接続ケーブルを介して溶接位置測定装置３００に接続されており、該溶接位置測定装置３００の指示の下、Ｙ軸方向スライド部２４１に載置されるＸ軸方向スライド部２４２をＹ方向に沿って移動させることで、該Ｘ軸方向スライド部２４２をＹ方向の指示された位置に配置することができる。Ｘ軸方向スライド部２４２は、磁気ヘッドサスペンション１を支持する測定ワーク１ａを載置すると共に、該測定ワーク１ａをＹ方向に直交する方向（図１中Ｘ方向）に沿って往復動自在にスライドできるように構成されていて、Ｘ軸方向駆動モータ２４４を備えている。このＸ軸方向駆動モータ２４４は、図示を省略した接続ケーブルを介して溶接位置測定装置３００に接続されており、該溶接位置測定装置３００の指示の下、Ｘ軸方向スライド部２４２に載置される測定ワーク１ａをＸ方向に沿って移動させることで、該測定ワーク１ａをＸ方向の指示された位置に配置することができる。これにより、溶接位置測定装置３００の指示の下、測定ワーク１ａで支持された磁気ヘッドサスペンション１をＣＣＤカメラ２１０にてＸ方向及びＹ方向の撮影されるべき位置にうまく配置することができる。

Ｚ軸方向駆動装置２５０は、ＣＣＤカメラ２１０を保持する保持部材２５１を有し、該保持部材２５１をＹ方向及びＸ方向に直交する方向（図１中Ｚ方向）に沿って往復動自在にスライドできるように構成されていて、Ｚ軸方向駆動モータ２５３を備えている。このＺ軸方向駆動モータ２５３は、図示を省略した接続ケーブルを介して溶接位置測定装置３００に接続されており、該溶接位置測定装置３００の指示の下、保持部材２５１に保持されるＣＣＤカメラ２１０をＺ方向に沿って移動させることで、該ＣＣＤカメラ２１０をＺ方向の指示された位置に配置することができる。これにより、溶接位置測定装置３００の指示の下、保持部材２５１で保持されたＣＣＤカメラ２１０を溶接部Ｐ１〜Ｐ１６及び基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像を含むよう撮影できるようにうまく配置することができる。

画像処理測定装置３００は、汎用のパーソナルコンピュータであり、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法の各ステップをコンピュータに実行させるための溶接位置測定用プログラムＲがインストールされることで、磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定のための画像処理を実行することができるように構成されている。

この画像処理測定装置３００は、図４に示すように、中央処理装置３１０、メインメモリ３２０、ファイル装置３３０及び出力装置３４０を備えている。ファイル装置３３０は、前記の溶接位置測定用プログラムＲを含むプログラム情報を記録することができる。メインメモリ３２０は、ファイル装置３３０に記録されたプログラム情報を読込むことができ、プログラムを実行するためのプログラム作業領域を有している。出力装置３４０は、ディスプレイ等の画像表示装置であり、溶接位置測定用プログラムＲにより画像処理される画像の状態や画像処理後に測定された溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の直径や溶接位置の測定結果を表示することができる。また、中央処理装置３１０は、メインメモリ３２０に読み込まれた溶接位置測定用プログラムＲによる画像処理を実行する他、ＸＹ軸方向駆動装置２４０のモータ２４３，２４４及びＺ軸方向駆動装置２５０のモータ２５３を制御等するためのプログラム情報に基づいて画像入力装置２００の動作を制御することができる。

前記溶接位置測定用プログラムＲは、図５に示すように、コンピュータ３００を、ＬＵＴ変換処理手段Ａ１、基準部対応画像位置補正手段Ａ２、モフォロジー処理手段Ａ３、基準画像位置検出手段Ａ４、二値画像情報変換手段Ａ５、二値画像情報反転手段Ａ６、不要画像除去手段Ａ７及び溶接位置測定手段Ａ８として機能させるためのものである。

ＬＵＴ変換処理手段Ａ１は、Ａ／Ｄ変換装置２２０から入力された前記複数の多値画像情報について従来周知のＬＵＴ変換を行うものである。基準部対応画像位置補正手段Ａ２は、手段Ａ１にてＬＵＴ変換された前記複数の多値画像情報について基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像を従来周知のパターンマッチング処理を行うことで抽出し、該抽出した基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像を手段Ａ４において検出し得る位置に位置補正するものである。モフォロジー処理手段Ａ３は、手段Ａ２にて位置補正された前記複数の多値画像情報について階調性が徐々に変化するパターン画像を滑らかにするように且つ画像の境界部分でコントラストが強まるように、従来周知のモフォロジー（ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ）関数の自動メディアン処理を行うものである。基準画像位置検出手段Ａ４は、手段Ａ３にてモフォロジー処理された前記複数の多値画像情報について基準部（ボス穴Ｑ１，開口Ｑ２）に対応する画像に基づいてボス穴Ｑ１及び開口Ｑ２の重心Ｑ１’及びＱ２’を従来周知のエッジ検出処理によって検出することで、基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）を検出するものである。

また、二値画像情報変換手段Ａ５は、手段Ａ４にて基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）が検出された前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報（０及び１の二値デジタル画像情報）に変換して二値化するものである。二値画像情報反転手段Ａ６は、手段Ａ５にて二値化された前記複数の二値画像情報を反転するものである。不要画像除去手段Ａ７は、手段Ａ６にて反転された前記複数の二値画像情報について位置測定すべき１６箇所の溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）に対応する画像以外の不要画像を除去するものである。また、溶接位置測定手段Ａ８は、手段Ａ７で前記不要画像が除去された前記複数の二値画像情報について手段Ａ４にて検出された基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）からの溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）に対応する画像の相対位置を算出して、溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）の相対位置を測定するものである。

以上説明した溶接位置測定装置１００では、まず、画像入力装置２００において、ＣＣＤカメラ２１０によって、磁気ヘッドサスペンション１の位置測定すべき１６箇所の溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）及び基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像を含む画像領域を撮影し、複数の画素に分割して複数の画像情報（アナログ画像情報）をＡ／Ｄ変換装置２２０に入力する。次いで、Ａ／Ｄ変換装置２２０によって、ＣＣＤカメラ２１０から入力された前記複数のアナログ画像情報をそれぞれ対応する複数の多値画像情報（例えば２５６階調の多値デジタル画像情報）に変換して多値化し、得られた複数の多値画像情報を画像処理測定装置３００に入力する（図６（Ａ）参照）。

画像処理測定装置３００では、次の多値画像処理（ＬＵＴ変換処理、基準部対応画像位置補正処理、モフォロジー処理及び基準画像位置検出処理）を行ったあと、二値画像処理（二値画像情報変換処理、二値画像情報反転処理、不要画像除去処理及び溶接位置測定処理）を行って、磁気ヘッドサスペンション１の溶接位置を測定する。すなわち、

（１）多値画像処理
（１−１）ＬＵＴ変換処理
この処理では、画像入力装置２００で入力された前記複数の多値画像情報について手段Ａ１によって従来周知のＬＵＴ変換を行う（図６（Ｂ）参照）。このＬＵＴ変換は、位置測定すべき１６箇所の溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）及び基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像以外の領域の情報量を落として、溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）及び基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像の細部をハイライト表示する処理であり、関数として、ここでは”平方根関数”を使用している。この平方根関数の特徴は、暗い部分の輝度とコントラストを上げる一方、明るい部分のコントラストを下げるというものである。なお、ＬＵＴ変換処理は従来周知の処理であり、さらに詳しい説明はここでは省略する。

（１−２）基準部対応画像位置補正処理
この処理では、前記（１−１）のＬＵＴ変換処理で変換された前記複数の多値画像情報について手段Ａ２によって基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像をパターンマッチング処理領域α内でパターンマッチング処理を行うことで抽出し、該抽出した基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像を（１−４）の基準画像位置検出処理において検出し得る位置に位置補正する（図６（Ｃ）参照）。このようにパターンマッチング処理による位置補正を行うことで、後ほど行う基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）の検出等で的確な画像処理結果を得ることができる。なお、パターンマッチング処理は従来周知の処理であり、さらに詳しい説明はここでは省略する。

（１−３）モフォロジー処理
この処理では、前記（１−２）の位置補正処理で位置補正された前記複数の多値画像情報について階調性が徐々に変化するパターン画像を滑らかにするように且つ画像の境界部分でコントラストが強まるように、手段Ａ３によってモフォロジー関数の自動メディアン処理を行う（図６（Ｄ）参照）。このようにモフォロジー関数の自動メディアン処理を行って、階調性が徐々に変化するパターン画像が滑らかになり、画像の境界部分でコントラストが強まることで、細かい部分の少ない、よりシンプルな粒子画像を得ることができる。なお、モフォロジー処理は従来周知の処理であり、さらに詳しい説明はここでは省略する。

（１−４）基準画像位置検出処理
この処理では、前記（１−３）のモフォロジー処理で処理された前記複数の多値画像情報について手段Ａ４によって基準部Ｑ１，Ｑ２に対応する画像に基づいて基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）をエッジ検出処理によって検出する（図６（Ｅ）参照）。このエッジ検出処理では、前記（１−３）のモフォロジー処理で処理された基準部（ボス穴Ｑ１及び開口Ｑ２）に対応する基準部位置補正画像について、該基準部位置補正画像を含むように予め設定しておいた基準画像位置検出領域（本例では円β１，β２）をそれぞれ指定し、該円β１，β２内で前記基準部位置補正画像のエッジ検出を行う。すなわち、一方の円β１内で内側の円β１’から放射方向外側に向けてピクセル輝度の不連続部分を識別し、これを順次周方向に沿って処理していくことで、ボス穴Ｑ１対応画像のエッジを検出する。また、他方の円β２内で該円β２中心から放射方向外側に向けてピクセル輝度の不連続部分を識別し、これを順次周方向に沿って処理していくことで、開口Ｑ２対応画像のエッジを検出する。こうして得られたボス穴Ｑ１及び開口Ｑ２に対応する画像について重心Ｑ１’及びＱ２’を算出し、これにより、一方のボス穴Ｑ１対応画像の重心Ｑ１’を原点とし、他方の開口Ｑ２対応画像の重心Ｑ２’を通るＸ軸及び該Ｘ軸に直交するＹ軸を求める。なお、ボス穴Ｑ１及び開口Ｑ２対応画像のエッジ検出処理並びに重心算出処理は、従来周知の処理であり、さらに詳しい説明はここでは省略する。

なお、前記のＬＵＴ変換処理、基準部対応画像位置補正処理、モフォロジー処理及び基準画像位置検出処理は、この順に行うことが好ましいが、基準部対応画像位置補正処理は基準画像位置検出処理の前に行えばよく、ＬＵＴ変換処理の前に行っても、モフォロジー処理の後に行ってもよい。

（２）二値画像処理
（２−１）二値画像情報変換処理
この処理では、前記（１−４）の位置検出処理で基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）が検出された前記複数の多値画像情報を手段Ａ５によってそれぞれ対応する複数の二値画像情報（０及び１の二値デジタル画像情報）に変換して二値化する（図７（Ａ参照））。

ところで、以下の二値画像処理では、前記複数の二値画像情報（０及び１の二値画像情報）のうち、「０」を画像処理非対象画像、「１」を画像処理対象画像として画像処理を行うのであるが、ここで処理対象となる溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）に対応する画像情報は画像処理非対象画像「０」となっている。

（２−２）二値画像情報反転処理
そこで、この処理では、前記（２−１）の二値画像情報変換処理で変換された前記複数の二値画像情報を手段Ａ６によって反転する（図７（Ｂ）参照）。なお、溶接部Ｐの明暗度合い、或いは照明部２３０による照射光の波長や照射方法等によって、溶接部Ｐに対応する画像情報が画像処理対象画像「１」となる場合には、この二値画像情報反転処理を行わなくてもよい。

（２−３）不要画像除去処理
この処理では、前記（２−２）の反転処理で反転された前記複数の二値画像情報について手段Ａ７によって位置測定すべき１６箇所の溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）に対応する画像以外の不要画像を次の第１及び第２の不要画像除去処理によって除去する。すなわち、
（２−３−１）第１不要画像除去処理（へり、縁、端の画像情報の削除）
この処理では、前記複数の二値画像情報のうち、画像として開いている画像（換言すれば、閉じていない画像）、さらに言えば、へり、縁、端に接している画像情報Ｓ（図７（Ｂ）参照）を削除する（図７（Ｃ）参照）。
（２−３−２）第２不要画像除去処理（所定面積より大きい面積の画像情報の削除）
この処理では、溶接部Ｐに対応する画像の面積は、溶接部Ｐに対応する画像以外の不要画像の面積より小さいことを利用して、溶接部Ｐに対応する画像の面積に相当する面積を予め設定しておき、この面積より大きい面積の画像情報を削除する（図７（Ｅ）参照）。

このように、本例では、後述する（２−４）の溶接位置測定処理の前に前記（２−２）の二値画像情報反転処理及び前記（２−３）の不要画像除去処理を行うのであるが、さらにFill Holes処理及び／又はConvex Hull処理を行ってもよい。Fill Holes処理は、溶接部Ｐに対応する画像内のピンホール（図７（Ｃ）に示すようなＰ１４）を穴埋めするための処理であり、Convex Hull処理は、溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）に対応する画像を円形に近づけるための処理である。なお、Fill Holes処理やConvex Hull処理はいずれも従来周知の処理であり、さらに詳しい説明はここでは省略する。

前記のFill Holes処理及びConvex Hull処理は、次の溶接位置測定処理の前に行えばよく、本例では、前記（２−３−１）の第１不要画像除去処理と前記（２−３−２）の第２不要画像除去処理との間において行っている（図７（Ｄ）参照）。

（２−４）溶接位置測定処理
この処理では、前記（２−３）の除去処理で前記不要画像が除去された前記複数の二値画像情報について前記（１−４）の基準画像位置検出処理で検出した基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）からの溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）に対応する画像の重心の相対位置（Ｘ，Ｙ）を手段Ａ８によって算出して、溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）の相対位置（Ｘ，Ｙ）を測定する（図７（Ｆ）及び図３参照）。このとき、溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）の各直径（フェレ直径）も算出する。ここで算出するフィレ直径では、溶接部Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）に対応する画像について、周方向に沿って複数の直径を求め、得られた複数の直径のうち、最大のものを直径としている。なお、溶接部画像の重心及び直径の算出処理は、従来周知の処理であり、さらに詳しい説明はここでは省略する。

こうして算出された溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の相対位置（Ｘ，Ｙ）及び直径並びにこれらと規定の値との公差及びその公差が許容範囲内にあるか否かの判定（許容範囲内にある場合は○で示す）といった情報を画像表示装置３４０に表示する（図８参照）。

このように磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置１００では、前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化した後、この二値画像情報について前記基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）からの溶接部Ｐ１〜Ｐ１６に対応する画像の相対位置（Ｘ，Ｙ）を算出して、溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の相位置を測定するので、従来の多値画像情報で微小サイズの溶接部の相対位置を測定するための画像処理を行う場合のように、高倍率で測定しなくても、精度よく溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の相対位置（Ｘ，Ｙ）を測定することができる。また、二値画像情報について、溶接部Ｐ１〜Ｐ１６に対応する画像以外の不要画像を除去することで、溶接部Ｐ１〜Ｐ１６に対応する画像だけにし、これにより、溶接部Ｐ１〜Ｐ１６に対応する画像に対して集中的に画像解析を行うことが可能となり、この状態で、基準画像位置（Ｘ軸及びＹ軸）からの溶接部Ｐ１〜Ｐ１６に対応する画像の相対位置（Ｘ，Ｙ）を算出して、溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の相対位置（Ｘ，Ｙ）を測定するので、自動的に全ての溶接部Ｐ１〜Ｐ１６を測定でき、従って、個々の溶接部Ｐ１〜Ｐ１６を手動で測定しなくてもよく、これにより、測定工数を削減でき、溶接部Ｐ１〜Ｐ１６全体の測定作業時間を大幅に短縮することができると共に、オペレータに拘わらず、測定精度を維持することができる。さらに、二値画像情報について溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の相対位置（Ｘ，Ｙ）を測定するように画像処理を行うので、多値画像情報について前記溶接部の相対位置を測定するように画像処理を行う場合に比べ、画像処理のデータ処理量を大幅に少なくできると共に、画像処理ルーチンを簡素化でき、それだけ画像処理速度を向上させることができ、例えば、インライン処理においても応答時間を短くすることができ、これにより、溶接部の測定作業時間をさらに短縮することができる。

（実施例）
次に、溶接部Ｐの直径及び相対位置（Ｘ，Ｙ）の測定再現性（ＧＲ＆Ｒ）及び測定工数を評価したので、これについて比較例とともに説明する。なお、この実施例では図１に示す磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置１００を用い、比較例では従来の投影機を用いた。また、磁気ヘッドサスペンションは、８個（ｐｃｓ）の磁気ヘッドサスペンション１が所定方向に沿って整列して連結されている状態のものを用いた。

１．測定再現性（ＧＲ＆Ｒ）の評価
この測定再現性（ＧＲ＆Ｒ）は、８ｐｃｓの磁気ヘッドサスペンション１について測定装置１００及び投影機への取り外しを行わずに３回の繰り返し測定を行うことで評価した。なお、測定再現性（ＧＲ＆Ｒ）の判定は、次のようにして行った。すなわち、

測定再現性（ＧＲ＆Ｒ）の評価を以下に示す。

表１に示すように、測定再現性（ＧＲ＆Ｒ）は、従来の投影機で溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の直径及び相対位置（Ｘ，Ｙ）ともに１０％を超え３０％未満の箇所が多かったのに対し、本発明の溶接位置測定装置１００では、溶接部Ｐ１〜Ｐ１６の直径及び相対位置（Ｘ，Ｙ）ともにいずれの箇所も１０％以下であった。従って、溶接位置測定装置１００で測定精度が向上していることがわかった。

２．測定工数の評価
本発明の溶接位置測定装置１００及び従来の投影機を用い、８ｐｃｓの磁気ヘッドサスペンション１の測定工数を評価したところ、従来の投影機では、４０分（２４００秒）［１ｐｃｓ当たり５分（３００秒）］であったのに対し、溶接位置測定装置１００では、４０秒［１ｐｃｓ当たり５秒］であった。すなわち、９８％の工数削減となり、溶接位置測定装置１００で測定作業のコストを大幅に低減できることがわかった。

図１は、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法を実施する本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置の一例の概略構成を示す斜視図である。 図２は、図１に示す画像入力装置におけるカメラ、レンズ及び照明部部分を拡大して示す斜視図である。 図３は、図１に示す溶接位置測定装置を用いて溶接位置が測定される磁気ヘッドサスペンションの一例の主要部を、ハードディスク装置等の記録媒体の記録面側から視た上面図である。 図４は、図１に示すコンピュータにおけるシステム構成を示す概略ブロック図である。 図５は、図１に示すコンピュータにおける中央処理装置を中心に記載したシステム構成を示す概念図である。 図６は、画像処理測定装置によって画像処理される画像状態を示す図であり、図６（Ａ）は、画像入力装置で入力したオリジナルの画像状態を、図６（Ｂ）は、ＬＵＴ変換処理したあとの画像状態を、図６（Ｃ）は、基準部対応画像位置補正処理したあとの画像状態を、図６（Ｄ）は、モフォロジー処理したあとの画像状態を、また図６（Ｅ）は、基準画像位置検出処理したあとの画像状態を示している。 図７は、画像処理測定装置によって画像処理される画像状態を示す図であり、図７（Ａ）は、二値画像情報変換処理したあとの画像状態を、図７（Ｂ）は、二値画像情報反転処理したあとの画像状態を、図７（Ｃ）は、第１不要画像除去処理したあとの画像状態を、図７（Ｄ）は、前記のFill Holes処理及びConvex Hull処理したあとの画像状態を、図７（Ｅ）は、第２不要画像除去処理したあとの画像状態を、また図７（Ｅ）は、溶接位置測定処理を行う際の画像状態を示している。 図８は、画像処理測定装置によって算出された溶接部の相対位置及び直径等の測定結果の一例が画像表示装置に表示された状態を示す図である。 図９は、従来の溶接位置測定装置において溶接部の位置を測定するために該溶接部を拡大表示した状態を示す図である。

符号の説明

１…磁気ヘッドサスペンション １００…溶接位置測定装置 ２００…画像入力装置
３００…画像処理測定装置 Ａ１…ＬＵＴ変換処理手段
Ａ２…基準部対応画像位置補正手段 Ａ３…モフォロジー処理手段
Ａ４…基準画像位置検出手段 Ａ５…二値画像情報変換手段
Ａ６…二値画像情報反転手段 Ａ７…不要画像除去手段 Ａ８…溶接位置測定手段
Ｐ（Ｐ１〜Ｐ１６）…溶接部 Ｑ１，Ｑ２…基準部

Claims (12)

1. 複数の部材から構成され、該複数の部材が少なくとも一つの溶接部によって互いに接合された磁気ヘッドサスペンションについて所定の基準部の基準位置からの前記溶接部の相対位置が所定の許容範囲内にあるか否かを測定する溶接位置測定方法であって、
   前記少なくとも一つの溶接部及び前記基準部に対応する画像を含む画像領域から複数の画素に分割された複数の画像情報をそれぞれ対応する複数の多値画像情報に変換して多値化する多値画像情報変換ステップと、
   前記画像領域における前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出する基準画像位置検出ステップと、
   前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化する二値画像情報変換ステップと、
   前記複数の二値画像情報について前記少なくとも一つの溶接部に対応する画像以外の不要画像を除去する不要画像除去ステップと、
   前記不要画像除去ステップで前記不要画像を除去した前記複数の二値画像情報について前記基準画像位置検出ステップで検出した前記基準画像位置からの前記溶接部に対応する画像の相対位置を算出して、前記溶接部の相対位置を測定する溶接位置測定ステップと
   を含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法。
2. 前記基準画像位置検出ステップでは、前記複数の多値画像情報について前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出し、
   前記二値画像情報変換ステップでは、前記基準画像位置検出ステップで基準画像位置を検出した前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化することを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法。
3. 前記基準画像位置検出ステップによる位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報についてＬＵＴ（Lookup Table）変換を行うＬＵＴ変換処理ステップをさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法。
4. 前記基準画像位置検出ステップによる位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報について前記基準部に対応する画像を所定の抽出処理を行うことで抽出し、該抽出した基準部に対応する画像を前記基準画像位置検出ステップにおいて検出し得る位置に位置補正する基準部対応画像位置補正ステップをさらに含み、
   前記基準画像位置検出ステップでは、前記基準部対応画像位置補正ステップで位置補正した基準部に対応する基準部位置補正画像について、該基準部位置補正画像を含むように予め設定しておいた基準画像位置検出領域を指定し、該基準画像位置検出領域内で前記基準部位置補正画像のエッジ検出を行うことで基準画像位置を検出することを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法。
5. 前記基準画像位置検出ステップによる位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報について階調性が徐々に変化するパターン画像を滑らかにするように且つ画像の境界部分でコントラストが強まるように、モフォロジー（ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ）関数の自動メディアン処理を行うモフォロジー処理ステップをさらに含むことを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法。
6. 前記溶接部に対応する画像が画像処理非対象画像であり、前記二値画像情報変換ステップによる変換後に、前記複数の二値画像情報を反転する二値画像情報反転ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定方法。
7. 複数の部材から構成され、該複数の部材が少なくとも一つの溶接部によって互いに接合された磁気ヘッドサスペンションについて所定の基準部の基準位置からの前記溶接部の相対位置が所定の許容範囲内にあるか否かを測定する溶接位置測定装置であって、
   前記少なくとも一つの溶接部及び前記基準部に対応する画像を含む画像領域を複数の画素に分割して複数の画像情報を入力し、該入力した前記複数の画像情報をそれぞれ対応する複数の多値画像情報に変換して多値化する画像入力装置と、
   前記画像領域における前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出する基準画像位置検出手段と、
   前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化する二値画像情報変換手段と、
   前記複数の二値画像情報について前記少なくとも一つの溶接部に対応する画像以外の不要画像を除去する不要画像除去手段と、
   前記不要画像除去手段で前記不要画像を除去した前記複数の二値画像情報について前記基準画像位置検出手段で検出した前記基準画像位置からの前記溶接部に対応する画像の相対位置を算出して、前記溶接部の相対位置を測定する溶接位置測定手段と
   を備えることを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置。
8. 前記基準画像位置検出手段では、前記複数の多値画像情報について前記基準部に対応する画像に基づいて基準画像位置を検出し、
   前記二値画像情報変換手段では、前記基準画像位置検出手段で基準画像位置を検出した前記複数の多値画像情報をそれぞれ対応する複数の二値画像情報に変換して二値化することを特徴とする請求項７に記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置。
9. 前記基準画像位置検出手段による位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報についてＬＵＴ（Lookup Table）変換を行うＬＵＴ変換処理手段をさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置。
10. 前記基準画像位置検出手段による位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報について前記基準部に対応する画像を所定の抽出処理を行うことで抽出し、該抽出した基準部に対応する画像を前記基準画像位置検出手段において検出し得る位置に位置補正する基準部対応画像位置補正手段をさらに備え、
    前記基準画像位置検出手段では、前記基準部対応画像位置補正手段で位置補正した基準部に対応する基準部位置補正画像について、該基準部位置補正画像を含むように予め設定しておいた基準画像位置検出領域を指定し、該基準画像位置検出領域内で前記基準部位置補正画像のエッジ検出を行うことで基準画像位置を検出するを特徴とする請求項８又は９に記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置。
11. 前記基準画像位置検出手段による位置検出に先立って、前記複数の多値画像情報について階調性が徐々に変化するパターン画像を滑らかにするように且つ画像の境界部分でコントラストが強まるように、モフォロジー（ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ）関数の自動メディアン処理を行うモフォロジー処理手段をさらに備えることを特徴とする請求項８から１０のいずれかに記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置。
12. 前記溶接部に対応する画像が画像処理非対象画像であり、前記二値画像情報変換手段による変換後に、前記複数の二値画像情報を反転する二値画像情報反転手段をさらに備えることを特徴とする請求項７から１１のいずれかに記載の磁気ヘッドサスペンションの溶接位置測定装置。

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