JP2006035303A - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ源から被加工物に至るまでの前記レーザビームの光路上に、レーザビームのビーム強度分布を変換するためのビーム強度分布調整素子を備え、
前記ビーム強度分布調整素子により、前記レーザビームのビーム強度分布が、被加工物上においてレーザビームの外周側が大きく、かつ中心側が小さくなり、レーザビームの外周側から中心側に向かってビーム強度が漸減するレーザ加工方法及びレーザ加工装置。
【選択図】 図1
Description
φd=(f/f1)×φb ・・・(I)となる。
103 レーザ発振器
105 ガイドレーザ発振器
109 被加工物
217 コリメータレンズ
251 xガルバノスキャナ
255 ガルバノボックス
259 yガルバノスキャナ
261 fθレンズ
301 ビーム強度分布調整部
303 ホモジナイザ
305 レデューサ
Claims (6)
- 被加工物にレーザビームを照射して穴開け加工するためのレーザ加工装置であって、
レーザ源から被加工物に至るまでの前記レーザビームの光路上に、レーザビームのビーム強度分布を変換するためのビーム強度分布調整素子を備え、
前記ビーム強度分布調整素子により、前記レーザビームのビーム強度分布が、被加工物上においてレーザビームの外周側が大きく、かつ中心側が小さくなり、レーザビームの外周側から中心側に向かってビーム強度が漸減するようにして、被加工物に穴を開けることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記レーザビームの中心側のビーム強度は、外周側のビーム強度の50〜80%であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記ビーム強度分布調整素子は、ホモジナイザを含むことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記ビーム強度分布調整素子は、2つの非球面レンズから構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
- 被加工物にレーザビームを用いて穴開け加工するためのレーザ加工方法であって、
レーザビームのビーム強度に関し、レーザビームの外周側が大きく、かつ中心側が小さくなり、かつ、レーザビームの外周側から中心側に向かってビーム強度が漸減するビーム強度分布に変換する工程と、
前記ビーム強度が漸減するビーム強度分布に変換されたレーザビームを被加工物に照射する工程と、を備えることを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記レーザビームの中心側のビーム強度は、外周側のビーム強度の50〜80%であることを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US11345059B2 (en) | 2016-06-08 | 2022-05-31 | Corning Incorporated | Methods of laser machining wet cellular ceramic extrudate for honeycomb body manufacture |
-
2004
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US9346126B2 (en) * | 2011-05-30 | 2016-05-24 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Laser processing head, laser processing apparatus, optical system of laser processing apparatus, laser processing method, and laser focusing method |
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