JP2006034058A - 静電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 ２つの可動子の寸法誤差を低減可能な静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 固定子３，４は互いに対向して配置される。固定子３は固定子４との対向面に駆動用電極を有し、固定子４は固定子３との対向面に保持用電極を有する。可動子５，６は、固定子３，４の間に所定方向に移動可能に配置される。可動子５は、駆動用電極に対向する面に駆動用電極５ａを、保持用電極に対向する面に保持用電極５ｂ、５ｃを備える。可動子６は、駆動用電極に対向する面に駆動用電極６ａを、保持用電極に対向する面に保持用電極６ｂ、６ｃを備える。可動子５，６は、同一形状を有し、所定方向に対して互いに反対向きに並べて配置される。また、保持用電極５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃは、所定方向に垂直な面に投影した場合に、互いに重ならないような位置に配置される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、静電アクチュエータに関する。

従来の静電アクチュエータは、表面に形成された固定子電極が互いに対向するように配置された１対の固定子と、この１対の固定子間に配置され、固定子電極に対向する面に配列された可動子電極を有し、固定子電極に所定の電圧が印加されることにより固定子に対し所定方向に移動する２つの可動子と、１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに可動子の移動を案内する固定子枠とを備えている。

一方の固定子には、各可動子を駆動するための駆動用電極が、可動子の移動方向に直交する方向に沿って形成されている。また、他方の固定子には、各可動子を個別に保持するための２つの保持用電極が、可動子の移動方向に沿って形成されている。なお、他方の固定子に形成された２つの保持用電極は、互いに電気的に独立するように形成されている。２つの可動子には、それぞれ、固定子の駆動用電極と対向するように駆動用電極が形成され、固定子の保持用電極と対向するように可動子の保持用電極が形成されている。

ここで、各可動子を独立して駆動可能にするため、各可動子に形成された保持用電極の形状は、他方の固定子に形成された各保持用電極の形状に対応するように形成されている。このため、２つの可動子に形成された保持用電極の形状は、互いに異なっている。(例えば、特許文献１参照。)。
特開２００２−１９９７４７号公報（第６頁、図３）

しかしながら、上記のような静電アクチュエータでは、２つの可動子が有する保持用電極の形状が異なっているので、各可動子を導電性樹脂で一体成形する場合には２種類の異なる金型が必要となる。このため、これらの金型によって製造される２つの可動子の寸法に誤差が生じるという問題があった。また、この寸法誤差を調整するために、静電アクチュエータの製造工程において特別な処理工程が必要となっていた。

そこで、本発明は、２つの可動子の寸法誤差を低減可能な静電アクチュエータを提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明の第１の観点にかかる静電アクチュエータは、一方の面に第１固定子電極を有する第１固定子と、前記第１固定子電極に対向するように配置され、該第１固定子電極に対向する面に第２固定子電極を有する第２固定子と、前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第１可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第２可動子電極を備え、所定方向に沿って移動可能な第１可動子と、前記所定方向に沿って前記第１可動子と並ぶように前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第３可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第４可動子電極を備え、前記所定方向に沿って移動可能な第２可動子と、から構成され、前記第１可動子は、前記第２可動子と同一の形状を有し、前記所定方向に対して前記第２可動子とは反対向きに配置され、前記第２可動子電極と前記第４可動子電極とは、前記所定方向に垂直な面に投影した場合に、互いに重ならないような位置に配置されている、ことを特徴とする。

前記第２可動子電極は、前記第１可動子の中心線の両側にそれぞれ配置され、前記所定方向に沿って形成された２本の第１電極から構成され、前記第４可動子電極は、前記第２可動子の中心線の両側にそれぞれ配置され、前記所定方向に沿って形成された２本の第２電極から構成されてもよい。

２本の前記第１電極は、前記第１可動子の前記中心線に対して非対称に設けられ、２本の前記第２電極は、前記第２可動子の前記中心線に対して非対称に設けられていてもよい。

２本の前記第１電極の幅は、前記第１可動子の前記中心線上に回転軸を設けた場合に、２本の前記第１電極の慣性モーメントが互いに等しくなるようにそれぞれ設定され、２本の前記第２電極の幅は、前記第２可動子の前記中心線上に回転軸を設けた場合に２本の前記第２電極の慣性モーメントが互いに等しくなるようにそれぞれ設定されていてもよい。

前記第１可動子の中心線から前記第１電極の一方の内端までの距離は、前記第１可動子の中心線から前記第１電極の他方の外端までの距離よりも長く設定されており、前記第２可動子の中心線から前記第２電極の一方の内端までの距離は、前記第２可動子の中心線から前記第２電極の他方の外端までの距離よりも長く設定されていてもよい。

前記第１電極の一方の幅は、前記第１電極の他方の幅よりも狭く設定されており、前記第２電極の一方の幅は、前記第２電極の他方の幅よりも狭く設定されていてもよい。

前記第２固定子電極は、前記第１可動子を保持するために用いられる第１保持電極と、前記第２可動子を保持するために用いられる第２保持電極と、から構成されてもよい。

前記第１保持電極は、前記第１可動子が有する前記第２可動子電極に対向する位置に設けられ、前記第２保持電極は、前記第２可動子が有する前記第４可動子電極に対向する位置に設けられていてもよい。

前記第１固定子は、前記第１可動子の第１可動子電極および前記第２可動子の第３可動子電極が前記第１固定子電極に接触することを防止するための突起を有してもよい。

前記第２固定子は、前記第１可動子の第２可動子電極および前記第２可動子の第４可動子電極が前記第２固定子電極に接触することを防止するための突起を有してもよい。

本発明の第２の観点にかかる静電アクチュエータは、一方の面に第１固定子電極を有する第１固定子と、前記第１固定子電極に対向するように配置され、該第１固定子電極に対向する面に第２固定子電極を有する第２固定子と、前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第１可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第２可動子電極を備え、所定方向に沿って移動可能な第１可動子と、前記所定方向に沿って前記第１可動子と並ぶように前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第３可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第４可動子電極を備え、前記所定方向に沿って移動可能な第２可動子と、から構成され、前記第１可動子は、前記第２可動子と同一の形状を有し、前記第２固定子が有する前記第２固定子電極と同数の電極を有し、前記第２固定子電極は、前記第１可動子を保持するための第１保持電極と、前記第２可動子を保持するための第２保持電極と、を有し、前記第１保持電極と前記第２保持電極とは、前記所定方向に沿って並び、かつ前記所定方向に対して直交する方向に離間しており、前記第１可動子は、前記第２固定子電極の前記第１保持電極及び前記第２保持電極と同一線上に配置される第２可動子電極を備え、前記第２可動子は、前記第２固定子電極の前記第１保持電極及び前記第２保持電極と同一線上に配置される第４可動子電極を備る、ことを特徴とする。

前記第２可動子電極は、前記所定方向に垂直な前記第１可動子の一方の側面から伸びて前記第１保持電極に対向する電極と、前記所定方向に垂直な前記第１可動子の他方の側面から伸びて前記第２保持電極の延長線上に配置される電極と、から構成され、前記第４可動子電極は、前記所定方向に垂直な前記第２可動子の一方の側面から伸びて前記第２保持電極に対向する電極と、前記所定方向に垂直な前記第２可動子の他方の側面から伸びて前記第１保持電極の延長線上に配置される電極と、から構成され、前記第２可動子電極を構成する電極は、それぞれ、前記所定方向における前記第１可動子の長さよりも所定の長さだけ短く形成され、前記第４可動子電極を構成する電極は、それぞれ、前記所定方向における前記第２可動子の長さよりも所定の長さだけ短く形成されていてもよい。

本発明の静電アクチュエータによれば、第１可動子と第２可動子が同一の形状を有するので、これら２つの可動子を単一の金型を用いて成形することができる。これにより、第１可動子と第２可動子との間に生じる寸法誤差を小さく抑えることが可能となる。

以下、本発明の実施の一形態を図面に示す第１の実施例に基づき具体的に説明する。図１は、本発明が適用された静電アクチュエータ１を分解した状態の斜視図である。静電アクチュエータ１は、例えば、内視鏡、携帯電話、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）などに搭載されるレンズ系の焦点合わせに用いられる。図１に示すように、静電アクチュエータ１は、中空の略直方体形状の固定子枠２と、平板状の１対の固定子３，４と、第１及び第２可動子としての略直方体形状の可動子５，６とから構成されている。なお、図１において、固定子枠２と可動子５，６とのサイズの比率は実際とは異なっている。

固定子枠２は、合成樹脂で一体形成されており、可動子５，６を収納するための収納空間を内部に有する。上記１対の固定子３，４は、収納空間を挟んで互いに対向するように、固定子枠２内に設置される。固定子枠２の互いに対向する内壁８ａには、固定子３，４を互いに対向するように収納するための１対の溝７がそれぞれ形成されている。具体的には、１対の溝７は、各内壁８ａの上端と下端に、可動子５，６の移動方向（図１の矢印Ａで示す方向；以下では、「図１Ａ方向」のように記す）に沿ってそれぞれ形成されている。また、各内壁８ａには、２本の凸部８ｂが、１対の溝７の間に、可動子５，６の移動方向に沿って形成されている。これにより、固定子３，４の間に挿置される可動子５，６の移動を案内する溝（凹部）８が、各２本の凸部８ｂ間に形成される。ここで、溝８の幅（２本の凸部８ｂの間隔）は、溝７の幅よりも広く設定されている。

また、凸部８ｂを形成することによって、可動子５，６が内壁８ａに接触することを防止できる。これにより、可動子５，６が内壁８ａに直接接触する場合よりも、凸部８ｂにより可動子５，６と固定子枠２との接触面積が小さくすることができ、その結果として可動子５，６と固定子枠２との摩擦抵抗が低減される。また、凸部８ｂによって、可動子５，６と内壁８ａとの間に隙間が形成される。上記隙間が形成されることにより、可動子５，６を製造した際に可動子５，６にバリが生じても、このバリが凸部８ｂによって形成される上記隙間に入り込み、内壁８ａが傷付けられることはない。従って、静電アクチュエータ１の製造工程において、バリを除去するための特別な工程を設ける必要がない。

また、固定子枠２の各隅には、１対の溝７に連通する溝９がそれぞれ形成されている。溝９には、後述する固定子３が備える駆動用電極１０乃至１３の端子１０ｃ乃至１３ｃに接続される不図示のフレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣと呼ぶ。）、及び、後述する固定子４が備える保持用電極１４，１５の端子１４ｄ，１５ｄに接続される不図示のＦＰＣがそれぞれ挿置される。固定子枠２の外部に設置される不図示の制御装置が出力する、可動子５，６を駆動及び保持するための電流は、溝９に挿置されたＦＰＣを介して、固定子３の駆動用電極１０乃至１３及び固定子４の保持用電極１４，１５に供給される。

なお、制御装置は、電源、スイッチング回路、マイクロコンピュータ等から構成される。上記駆動電流及び保持電流の供給は、マイクロコンピュータが予め提供されたプログラムに従ってスイッチング回路を制御し、電源からＦＰＣに供給される電流を制御することによって行われる。

可動子５，６は、固定子枠２に収納された固定子３，４間の収納空間に、図１Ａ方向に沿って並べて配置される。図１に示すように、可動子５，６は導電性材料で一体形成されており、固定子３に対向する面には、第１及び第３可動子電極としての駆動用電極５ａ及び６ａがそれぞれ形成されている。また、可動子５，６の固定子４に対向する面には、第２可動子電極としての保持用電極５ｂ，５ｃ及び第４可動子電極としての保持用電極６ｂ，６ｃがそれぞれ形成されている。さらに、可動子５，６の固定子４に対向する面には、凸部５ｄ，６ｄがそれぞれ形成されている。

駆動用電極５ａ，６ａは、可動子５，６の移動方向（図１Ａ方向）に直交するように複数形成され、固定子３上に形成された後述する駆動用電極１０乃至１３の電極部１０ａ乃至１３ａに対応するように、所定のピッチＰで配置されている。

保持用電極５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃは、それぞれ、可動子５，６の移動方向（図１Ａ方向）に沿って形成されている。凸部５ｄ，６ｄは、可動子５，６が固定子３，４間に挿置された状態において固定子４の凸部４ａに対向するように、可動子５，６の移動方向（図１Ａ方向）に沿って形成されている。例えば図１に示すように、凸部５ｄは可動子５の両端部に形成され、保持用電極５ｂ、５ｃは凸部５ｄ間に配置される。同様に、凸部６ｄは可動子６の両端部に形成され、保持用電極６ｂ、６ｃは凸部６ｄ間に配置される。これらの配置により、可動子５，６が固定子３，４間に挿置された状態では、凸部５ｄ，６ｄと固定子４の凸部４ａとが互いに接触し、保持用電極５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃが後述する保持用電極１４，１５に接触することを防止できる。また、可動子５，６には、これら可動子５，６の電荷を接地して取り除くための不図示のアース線がそれぞれ形成されている。

ここで、図１、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、可動子５，６は同一形状を有し、移動方向に対して互いに反対向きとなるように固定子枠２内に配置される。即ち、駆動用電極５ａは駆動用電極６ａに、保持用電極５ｂ，５ｃは保持用電極６ｂ，６ｃに、それぞれ対応している。なお、可動子５，６のサイズは、図１Ａ方向に沿って容易に移動可能なように、固定子３の凸部３ａ、固定子４の凸部４ａ、内壁８ａの凸部８ｂによって規定される収納空間よりも若干小さく設定されている。

また、保持用電極５ｂと５ｃ、及び、保持用電極６ｂと６ｃとは、可動子５，６の移動方向（図１Ａ方向）に沿って、所定間隔を隔てて互いに平行となるように形成されている。具体的には、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、保持用電極５ｂ，５ｃは可動子５の中心線５ｅの両側に配置され、保持用電極６ｂ，６ｃは可動子６の中心線６ｅの両側に配置される。また、可動子５の中心線５ｅから保持用電極５ｂの内端までの距離Ｌ１は、中心線５ｅから保持用電極５ｃの外端までの距離Ｌ２よりも長く設定され、可動子６の中心線６ｅから保持用電極６ｂの内端までの距離Ｌ３は、中心線６ｅから保持用電極６ｃの外端までの距離Ｌ４よりも長く設定される。これらの設定により、保持用電極５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃは、例えば可動子５，６の移動方向に垂直な面に投影した場合に、互いに重ならないように配置される。

さらに、保持用電極５ｂの幅Ｗ１は保持用電極５ｃの幅Ｗ２よりも狭く、保持用電極６ｂの幅Ｗ３は保持用電極６ｃの幅Ｗ４よりも狭く設定されている。具体的には、保持用電極５ｂ，５ｃの幅Ｗ１，Ｗ２は、中心線５ｅ上に可動子５の回転軸を仮定した場合に、可動子５の保持用電極５ｂと５ｃの慣性モーメントが互いに等しくなるように設定される。同様に、可動子６の保持用電極６ｂ，６ｃの幅Ｗ３，Ｗ４は、中心線６ｅ上に可動子６の回転軸を仮定した場合に、可動子６の保持用電極６ｂと６ｃの慣性モーメントが互いに等しくなるように設定される。

例えば、中心線５ｅから保持用電極５ｂの外端までの距離Ｌ５が１．６５０ｍｍである場合、中心線５ｅから保持用電極５ｃの外端までの距離Ｌ２は１．１１６ｍｍに、保持用電極５ｂの幅Ｗ１は０．４３４ｍｍに、保持用電極５ｃの幅Ｗ２は１．０６６ｍｍに、それぞれ設定される。上記したように、可動子６は可動子５と同一の形状を有するので、この場合は、中心線６ｅから保持用電極６ｃの外端までの距離Ｌ４も１．１１６ｍｍに、保持用電極６ｂの幅Ｗ３も０．４３４ｍｍに、保持用電極６ｃの幅Ｗ４も１．０６６ｍｍに、それぞれ設定される。これにより、後述する可動子５，６が固定子４の保持用電極１４，１５に引きつけられる際、可動子５，６が中心線５ｅ，６ｅに対して傾くことなく安定して移動する。

固定子３，４は、ガラス等の絶縁部材から形成されており、図１に示すように、これらの互いに対向する面には、凸部３ａ，４ａが可動子５，６の移動方向（図１Ａ方向）に沿ってそれぞれ２本ずつ形成されている。なお、上記したように、２本の凸部４ａは可動子５，６の凸部５ｄ，６ｄに対向するように配置されている。

図３（ａ）に示すように、固定子３に設けられた２本の凸部３ａ間には、第１固定子電極としての駆動用電極１０乃至１３が形成され、図３（ｂ）に示すように、固定子４に設けられた２本の凸部４ａ間には、第２及び第３固定子電極としての保持用電極１４，１５が形成されている。この場合、上記凸部３ａにより、可動子５，６の駆動用電極５ａ，６ａが固定子３の駆動用電極１０乃至１３に接触することを防止でき、凸部４ａにより、保持用電極５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃが保持用電極１４，１５に接触することを防止できる。即ち、凸部３ａ，４ａにより、駆動用電極５ａ，６ａと駆動用電極１０乃至１３との間、及び、保持用電極５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃと保持用電極１４，１５との間の短絡不良を防止できる。

上記駆動用電極１０は、複数の電極部１０ａと、接続部１０ｂと、端子１０ｃと、から構成されている。複数の電極部１０ａは、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ａ）Ｂ方向）に沿って形成され、可動子５，６の移動方向に沿って所定のピッチＰで整列するように配置されている。接続部１０ｂは、可動子５，６の移動方向（図３（ａ）Ａ方向）に沿って形成され、複数の電極部１０ａの一端に接続される。端子１０ｃは、接続部１０ｂの一端部に設けられ、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。ＦＰＣを介して外部の制御装置から供給される可動子５，６を駆動するための駆動電流は、端子１０ｃ、接続部１０ｂを介して各電極部１０ａに供給される。

また、駆動用電極１１も駆動用電極１０と同様に、複数の電極部１１ａと、接続部１１ｂと、端子１１ｃと、から構成されている。複数の電極部１１ａは、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ａ）Ｂ方向）に沿って形成され、可動子５，６の移動方向に沿って所定のピッチＰで整列するように配置されている。接続部１１ｂは、可動子５，６の移動方向（図３（ａ）Ａ方向）に沿って形成され、複数の電極部１１ａの一端に接続される。端子１１ｃは、接続部１１ｂの一端部に設けられ、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。ＦＰＣを介して外部の制御装置から供給される可動子５，６を駆動するための駆動電流は、端子１１ｃ、接続部１１ｂを介して各電極部１１ａに供給される。

また、駆動用電極１２も駆動用電極１０と同様に、複数の電極部１２ａと、接続部１２ｂと、端子１２ｃとから構成されている。複数の電極部１２ａは、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ａ）Ｂ方向）に沿って形成され、可動子５，６の移動方向に沿って所定のピッチＰで整列するように配置されている。接続部１２ｂは、可動子５，６の移動方向（図３（ａ）Ａ方向）に沿って形成され、複数の電極部１２ａの一端に接続される。端子１２ｃは、接続部１２ｂの一端部に設けられ、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。ＦＰＣを介して外部の制御装置から供給される可動子５，６を駆動するための駆動電流は、端子１２ｃ、接続部１２ｂを介して各電極部１２ａに供給される。

また、駆動用電極１３も駆動用電極１０と同様に、複数の電極部１３ａと、接続部１３ｂと、端子１３ｃと、から構成されている。複数の電極部１３ａは、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ａ）Ｂ方向）に沿って形成され、可動子５，６の移動方向に沿って所定のピッチＰで整列するように配置されている。接続部１３ｂは、可動子５，６の移動方向（図３（ａ）Ａ方向）に沿って形成され、複数の電極部１３ａの一端に接続される。端子１３ｃは、接続部１３ｂの一端部に設けられ、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。ＦＰＣを介して外部から供給される可動子５，６を駆動するための駆動電流は、端子１３ｃ、接続部１３ｂを介して各電極部１３ａに供給される。

ここで、駆動用電極１０乃至１３は、図３（ａ）に示すように、電極部１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａが、この順番で、可動子５，６の移動方向（図３（ａ）Ａ方向）に沿って１／４ピッチＰ分ずれて並ぶように、配置されている。

また、駆動用電極１０乃至１３は、固定子３上に上述した形状の金属薄板を接着することにより形成しても良いし、スパッタリングや蒸着等の手段を用いて固定子３上に導電膜を積層し、エッチングプロセス等を用いて導電膜をパターニングすることによって形成しても良い。

一方、固定子４に設けられた２つの凸部４ａ間には、上記したように、第２及び第３固定子電極としての保持用電極１４，１５が形成されている。保持用電極１４は、電極部１４ａ，１４ｂと、接続部１４ｃと、端子１４ｄと、接続部１４ｅとから構成されている。電極部１４ａは、可動子５の保持用電極５ｂに対向するように、可動子５，６の移動方向（図３（ｂ）Ａ方向）に沿って形成されている。電極部１４ｂは、可動子５の保持用電極５ｃに対向するように、可動子５，６の移動方向（図３（ｂ）Ａ方向）に沿って形成されている。接続部１４ｃは、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ｂ）Ｂ方向）に沿って形成され、電極部１４ａ，１４ｂの一端に接続される。端子１４ｄは、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。接続部１４ｅは、可動子５，６の移動方向（図３（ｂ）Ａ方向）に沿って形成され、電極部１４ａの他端と端子１４ｄとを接続する。ＦＰＣを介して外部の制御装置から供給される、可動子５を保持するための保持電流は、端子１４ｄ及び接続部１４ｅを介して電極部１４ａに供給され、さらに接続部１４ｃを介して電極部１４ｂに供給される。

また、保持用電極１５も保持用電極１４と同様に、電極部１５ａ，１５ｂと、接続部１５ｃと、端子１５ｄと、接続部１５ｅとから構成されている。電極部１５ａは、可動子６の保持用電極６ｂに対向するように、可動子５，６の移動方向（図３（ｂ）Ａ方向）に沿って形成されている。電極部１５ｂは、可動子６の保持用電極６ｃに対向するように、可動子５，６の移動方向（図３（ｂ）Ａ方向）に沿って形成されている。接続部１５ｃは、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ｂ）Ｂ方向）に沿って形成され、電極部１５ａ，１５ｂの一端に接続される。端子１５ｄは、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。接続部１５ｅは、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ｂ）Ｂ方向）に沿って形成され、電極部１５ｂの一端と端子１５ｄとを接続する。ＦＰＣを介して外部の制御装置から供給される、可動子６を保持するための保持電流は、端子１５ｄ及び接続部１５ｅを介して電極部１５ｂに供給され、さらに接続部１５ｃを介して電極部１５ａに供給される。

上記したように、保持用電極１４の電極部１４ａ，１４ｂは、可動子５の保持用電極５ｂ，５ｃにそれぞれ対向するように設けられ、保持用電極１５の電極部１５ａ，１５ｂは、可動子６の保持用電極６ｂ，６ｃにそれぞれ対向するように設けられる。また、保持用電極５ｂ，５ｃ，６ｂ，６ｃは、可動子５，６の移動方向に垂直な面に投影した場合に、互いに重ならないように配置されている。これらの構成により、保持用電極１４，１５は、互いに電気的に分離され、保持用電極１４の電極部１４ａ，１４ｂ，保持用電極１５の電極部１５ａ，１５ｂが可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３（ｂ）Ｂ方向）に沿って、保持用電極１４の電極部１４ａ，保持用電極１５の電極部１５ｂ，保持用電極１４の電極部１４ｂ，保持用電極１５の電極部１５ａの順で並ぶように配置される。

さらに、保持用電極１４の電極部１４ａ，保持用電極１４の電極部１４ｂ，保持用電極１５の電極部１５ａ，保持用電極１５の電極部１５ｂの幅（面積）は、可動子５の保持用電極５ｂ，５ｃ，可動子６の保持用電極６ｂ，６ｃと同様に、可動子５，６の中心線５ｅ，６ｅ上に回転軸を仮定した場合に、可動子５の中心線５ｅに対して固定子４の保持用電極１４の電極部１４ａと保持用電極１４の電極部１４ｂの慣性モーメントが互いに等しく、かつ可動子６の中心線６ｅに対して固定子４の保持用電極１５の電極部１５ａと保持用電極１５の電極部１５ｂの慣性モーメントが互いに等しくなるように設定される。

例えば、中心線５ｅから保持用電極１４の電極部１４ａの外端までの距離Ｌ６が１．６５０ｍｍである場合、中心線５ｅから保持用電極１４の電極部１４ｂの外端までの距離Ｌ７は１．１１６ｍｍに、電極部１４ａの幅は０．４３４ｍｍに、電極部１４ｂの幅は１．０６６ｍｍに、それぞれ設定される。同様に、中心線５ｅから保持用電極１５の電極部１５ｂの外端までの距離Ｌ８は１．１１６ｍｍに、保持用電極１５の電極部１５ａの幅は０．４３４ｍｍに、電極部１５ｂの幅は１．０６６ｍｍに、それぞれ設定される。

以上のように電極部１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの幅を設定することにより、可動子５，６を中心線５ｅ，６ｅに対して傾けることなく安定して固定子４の保持用電極１４，１５に引きつけることができる。

また、保持用電極１４，１５は、固定子４上に上述した形状の金属薄板を接着することにより形成しても良いし、スパッタリングや蒸着等の手段を用いて固定子４上に導電膜を積層し、エッチングプロセス等を用いて導電膜をパターニングすることによって形成しても良い。

次に、静電アクチュエータ１の動作について、図４乃至図７を参照して説明する。
まず、可動子５，６の両方が共に図４の右方向に移動する場合の動作について、図４（ａ）及び図５（ａ）〜（ｆ）を参照して説明する。なお、以下に示す電圧印加は、固定子枠２の外部に設置された図示せぬ制御装置が予め提供されたプログラムに従って行うものである。

初めに、可動子５の駆動用電極５ａ、可動子５の保持用電極５ｂ、５ｃ，および可動子６の駆動用電極６ａ、可動子６の保持用電極６ｂ、６ｃが接地された状態で維持される（図５時点ｔ０)。この状態で、図５（ａ），（ｂ）に示すように、駆動用電極１０，１１に高電圧Ｈが印加されると、固定子３の駆動用電極１０の電極部１０ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、ならびに固定子３の駆動用電極１１の電極部１１ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の駆動用電極１０の電極部１０ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、ならびに固定子３の駆動用電極１１の電極部１１ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に静電気力（クーロン力）が作用する。この静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは近傍の固定子３の電極部１０ａ，１１ａに引きつけられ、かつ可動子６の駆動用電極６ａは近傍の固定子３の電極部１０ａ，１１ａにそれぞれ引きつけられ、近傍の電極部１０ａ，１１ａと重なり合う位置までそれぞれ移動する。これにより、図４（ａ）に示すように、可動子５，６は固定子３側に移動する。

次に、図５（ａ），（ｂ）に示すように、時点ｔ１において固定子３の駆動用電極１０，１１の電圧は低電圧Ｌに低減され、図５（ｅ），（ｆ）に示すように、固定子４の保持用電極１４，１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の保持用電極１４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、かつ固定子４の保持用電極１４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子５の保持用電極５ｂが、固定子４の電極部１４ａに引きつけられ、かつ可動子５の保持用電極５ｃが、固定子４の電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。また、固定子４の保持用電極１５の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、かつ固定子４の保持用電極１５の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、かつ可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

この際、上記したように、可動子５の保持用電極５ｂと５ｃ、可動子６の保持用電極６ｂと６ｃ、固定子４に設けられた保持用電極１４の電極部１４ａと１４ｂ、及び、保持用電極１５の電極部１５ａと１５ｂとは、それぞれ、中心線５ｅ上に回転軸を仮定した場合に、慣性モーメントの大きさが等しくなるように幅が設定されている。これにより、可動子５を、可動子５の中心線５ｅに対して傾けることなく、かつ可動子６を可動子６の中心線６ｅに対して傾けることなく、安定して固定子４の保持用電極１４，１５に引きつけることができる。

次に、図５（ｅ），（ｆ）に示すように、時点ｔ２において固定子４の保持用電極１４，１５の電圧は低電圧Ｌに低減され、図５（ｂ），（ｃ）に示すように、固定子３の駆動用電極１１，１２に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子３の駆動用電極１１と可動子５の駆動用電極５ａとの間、固定子３の駆動用電極１２と可動子５の駆動用電極５ａとの間に静電気力が作用し、かつ固定子３の駆動用電極１１と可動子６の駆動用電極６ａとの間、固定子３の駆動用電極１２と可動子６の駆動用電極６ａとの間に静電気力が作用する。可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａに引きつけられ，かつ可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａにそれぞれ引きつけられる。可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａと重なり合う位置まで，かつ可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａと重なり合う位置までそれぞれ移動する。これにより、可動子５，６は固定子３側に移動する。このとき、可動子５，６は、時点ｔ０に比べて図４（ａ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、時点ｔ３において固定子３の駆動用電極１１，１２の電圧は低レベルLに低減され、図５（ｅ），（ｆ）に示すように、再び固定子４の保持用電極１４，１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、固定子４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子５の保持用電極５ｂが固定子４の電極部１４ａに、可動子５の保持用電極５ｃが固定子４の電極部１４ｂにそれぞれ引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。また、固定子４の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間，ならびに固定子４の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ，かつ可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

更に、時点ｔ４において固定子４の保持用電極１４，１５の電圧は低電圧Ｌに低減され、図５（ｃ），（ｄ）に示すように、固定子３の駆動用電極１２，１３に高電圧Ｈが印加される。固定子３の駆動用電極１２の電極部１２ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、ならびに固定子３の駆動用電極１３の電極部１３ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の駆動用電極１２の電極部１２ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、ならびに固定子３の駆動用電極１３の電極部１３ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に作用する静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは近傍の固定子３の電極部１２ａ，１３ａに、可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１２ａ，１３ａにそれぞれ引きつけられる。可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１２ａ，１３ａと重なり合う位置まで、かつ可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１２ａ，１３ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５，６は固定子３側に移動する。このとき、可動子５，６は、時点ｔ２に比べて図４（ａ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ０に比べて図４（ａ）の右方向に１／２ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、時点ｔ５において固定子３の駆動用電極１２，１３の電圧が低レベルＬに低減され、図５（ｅ），（ｆ）に示すように、再び固定子４の保持用電極１４，１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、かつ固定子４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子５の保持用電極５ｂが固定子４の電極部１４ａに、かつ可動子５の保持用電極５ｃが固定子４の電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。また、固定子４の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、かつ固定子４の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、かつ可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

次に、時点ｔ６において固定子４の保持用電極１４，１５の電圧が低電圧Ｌに低減され、図５（ａ），（ｄ）に示すように、固定子３の駆動用電極１０，１３に高電圧Ｈが印加される。固定子３の駆動用電極１０の電極部１０ａと固定子５の駆動用電極５ａとの間、ならびに固定子３の駆動用電極１３の電極部１３ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の駆動用電極１０の電極部１０ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、ならびに固定子３の駆動用電極１３の電極部１３ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に作用する静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａに、可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａにそれぞれ引きつけられる。可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａと重なり合う位置まで、かつ可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５，６は固定子３側に移動する。このとき、可動子５，６は、時点ｔ４に比べて図４（ａ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ０に比べて図４（ａ）の右方向に３／４ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、時点ｔ７において固定子３の駆動用電極１０，１３の電圧が低レベルＬに低減され、図５（ｅ），（ｆ）に示すように、再び固定子４の保持用電極１４，１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、固定子４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子５の保持用電極５ｂが固定子４の電極部１４ａに、可動子５の保持用電極５ｃが固定子４の電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。また、固定子４の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、固定子４の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生し、可動子６の保持用電極６ｂは固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、かつ可動子６の保持用電極６ｃは固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

次に、時点ｔ８において固定子４の保持用電極１４，１５の電圧が低電圧Ｌに低減され、図５（ａ），（ｂ）に示すように、固定子３の駆動用電極１０，１１に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１０ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、ならびに固定子３の電極部１１ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の電極部１０ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、ならびに固定子３の電極部１１ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間にそれぞれ作用する静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａに、可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａにそれぞれ引きつけられる。可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａに重なり合う位置まで、かつ可動子６の駆動用電極６ａは固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａに重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５，６は固定子３側に移動する。このとき、可動子５，６は、時点ｔ６に比べて図４（ａ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ０に比べて図４（ａ）の右方向に１ピッチＰだけ移動することとなる。

以上のような工程が所定回数繰り返されることによって、可動子５，６は所定の距離だけ移動する。上記とは反対に、可動子５，６を共に図４（ａ）の左方向へ移動させる場合には、以上の工程が上記とは逆の順番で行なわれる。

次に、可動子６を固定して可動子５のみを図４の右方向に移動させる場合の動作について、図４（ｂ）及び図６を参照して説明する。
まず、可動子５の駆動用電極５ａ、可動子５の保持用電極５ｂ、５ｃ，および可動子６の駆動用電極６ａ、可動子６の保持用電極６ｂ、６ｃが接地された状態で維持される。そして、図６（ｆ）に示すように、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の保持用電極１５の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、ならびに固定子４の保持用電極１５の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、かつ可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

次に、図６（ｆ）に示すように固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、図６（ａ），（ｂ）に示すように、時点ｔ１において固定子３の駆動用電極１０，１１に高電圧Ｈが印加される。固定子３の駆動用電極１０の電極部１０ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の駆動用電極１１の電極部１１ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間に作用する静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａに引きつけられ、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５は固定子３側に移動する。これに対して、保持用電極１５には高電圧Ｈが印加されているので、可動子６は固定子４側に保持された状態で維持される。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈを印加したまま、時点ｔ２において固定子３の駆動用電極１０，１１の電圧が低レベルＬに低減され、図６（ｅ）に示すように、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の保持用電極１４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、かつ固定子４の保持用電極１４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子５の保持用電極５ｂが電極部１４ａに引きつけられ、かつ可動子５の保持用電極５ｃが電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ３において固定子４の保持用電極１４の電圧が低電圧Ｌに低減され、図６（ｂ），（ｃ）に示すように、固定子３の駆動用電極１１，１２に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１１ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の電極部１２ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間に作用する静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは、固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａに引きつけられる。可動子５の駆動用電極５ａは、固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１５には高電圧Ｈが印加されているので、可動子６は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子５は、時点ｔ１に比べて図４（ｂ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ４において固定子３の駆動用電極１１，１２の電圧が低レベルＬに低減され、図６（ｅ）に示すように、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、かつ固定子４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子５の保持用電極５ｂが固定子４の電極部１４ａに引きつけられ、かつ可動子５の保持用電極５ｃが固定子４の電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ５に固定子４の保持用電極１４の電圧が低電圧Ｌに低減され、図６（ｃ），（ｄ）に示すように、固定子３の駆動用電極１２，１３に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１２ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の電極部１３ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間に作用する静電気力により、固定子５の駆動用電極５ａは、近傍の固定子３の電極部１２ａ，１３ａに引きつけられ、可動子５の駆動用電極５ａは固定子３の近傍の電極部１２ａ，１３ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１５には高電圧Ｈが印加されているので、可動子６は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子５は、時点ｔ３に比べて図４（ｂ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ１に比べて図４（ｂ）の右方向に１／２ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ６に固定子３の駆動用電極１２，１３の電圧が低レベルＬに低減され、図６（ｅ）に示すように、保持用電極１４に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、かつ固定子４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子５の保持用電極５ｂが固定子４の電極部１４ａに引きつけられ、かつ可動子５の保持用電極５ｃが固定子４の電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ７において固定子４の保持用電極１４の電圧が低電圧Ｌに低減され、図６（ａ），（ｄ）に示すように、固定子３の駆動用電極１０，１３に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１０ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の電極部１３ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間に作用する静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａに引きつけられ、可動子５の駆動用電極５ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１５には高電圧Ｈが印加されているので、可動子６は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子５は、時点ｔ５に比べて図４（ｂ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ１に比べて図４（ｂ）の右方向に３／４ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ８において固定子３の駆動用電極１０，１３の電圧が低レベルＬに低減され、図６（ｅ）に示すように、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、かつ固定子４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子５の保持用電極５ｂが固定子４の電極部１４ａに引きつけられ、かつ可動子５の保持用電極５ｃが固定子４の電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ９において固定子４の保持用電極１４の電圧が低電圧Ｌに低減され、図６（ａ），（ｂ）に示すように、固定子３の駆動用電極１０，１１に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１０ａと駆動用電極５ａとの間、かつ固定子３の電極部１１ａと可動子５の駆動用電極５ａとの間に作用する静電気力により、可動子５の駆動用電極５ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａに引きつけられ、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子５は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１５には高電圧Ｈが印加されているので、可動子６は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子５は、時点ｔ７に比べて図４（ｂ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ１に比べて図４（ｂ）の右方向に１ピッチＰだけ移動することとなる。

以上のような工程が所定回数繰り返されることによって、可動子５は所定の距離だけ移動する。上記とは反対に、可動子６を固定して可動子５のみを図４（ｂ）の左方向へ移動させる場合には、初めに固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加されて可動子６が固定子４側に固定された状態のまま、以上の工程が上記とは逆の順番で行なわれる。

次に、可動子５を固定して可動子６のみを図４の右方向に移動する動作について、図４（ｃ）及び図７を参照して説明する。
まず、可動子５の駆動用電極５ａ、可動子５の保持用電極５ｂ、５ｃ、および可動子６の駆動用電極６ａ、可動子６の保持用電極６ｂ、６ｃが接地された状態で維持される。そして、図７（ｅ）に示すように、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の保持用電極１４の電極部１４ａと可動子５の保持用電極５ｂとの間、かつ固定子４の保持用電極１４の電極部１４ｂと可動子５の保持用電極５ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子５の保持用電極５ｂが固定子４の電極部１４ａに引きつけられ、かつ可動子の保持用電極５ｃが固定子４の電極部１４ｂに引きつけられ、可動子５は固定子４側に移動する。

次に、図７（ｅ）に示すように固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、図７（ａ），（ｂ）に示すように、時点ｔ１において固定子３の駆動用電極１０，１１に高電圧Ｈが印加される。固定子３の駆動用電極１０の電極部１０ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、かつ固定子３の駆動用電極１１の電極部１１ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に作用する静電気力により、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａに引きつけられ、可動子６の駆動用電極６ａは近傍の電極部１０ａ，１１ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子６は固定子３側に移動する。これに対して、保持用電極１４には高電圧Ｈが印加されているので、可動子５は固定子４側に保持された状態で維持される。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ２において固定子３の駆動用電極１０，１１の電圧が低レベルＬに低減され、図７（ｆ）に示すように、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の保持用電極１５の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、かつ固定子４の保持用電極１５の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、かつ可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ３において固定子４の保持用電極１５の電圧が低電圧Ｌに低減され、図７（ｂ），（ｃ）に示すように、固定子３の駆動用電極１１，１２に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１１ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、かつ固定子３の電極部１２ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に作用する静電気力により、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａに引きつけられ、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１１ａ，１２ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子６は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１４には高電圧Ｈが印加されているので、可動子５は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子６は、時点ｔ１に比べて図４（ｃ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ４において固定子３の駆動用電極１１，１２の電圧が低レベルＬに低減され、図７（ｆ）に示すように、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、かつ固定子４の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、かつ可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ５において固定子４の保持用電極１５の電圧が低電圧Ｌに低減され、図７（ｃ），（ｄ）に示すように、固定子３の駆動用電極１２，１３に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１２ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、かつ固定子３の電極部１３ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に作用する静電気力により、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１２ａ，１３ａに引きつけられ、可動子６の駆動用電極６ａは近傍の電極部１２ａ，１３ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子６は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１４には高電圧Ｈが印加されているので、可動子５は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子６は、時点ｔ３に比べて図４（ｃ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ１に比べて図４（ｃ）の右方向に１／２ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ６において固定子３の駆動用電極１２，１３の電圧が低レベルＬに低減され、図７（ｆ）に示すように、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、固定子４の電極部１５ｂと可動子６の保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、かつ可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ７において固定子４の保持用電極１５の電圧が低電圧Ｌに低減され、図７（ａ），（ｄ）に示すように、固定子３の駆動用電極１０，１３に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１０ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、かつ固定子３の電極部１３ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に作用する静電気力により、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａに引きつけられ、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１３ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子６は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１４には高電圧Ｈが印加されているので、可動子５は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子６は、時点ｔ５に比べて図４（ｃ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ１に比べて図４（ｃ）の右方向に３／４ピッチＰだけ移動することとなる。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ８において固定子３の駆動用電極１０，１３の電圧が低レベルＬに低減され、図６（ｆ）に示すように、固定子４の保持用電極１５に高電圧Ｈが印加される。これにより、固定子４の電極部１５ａと可動子６の保持用電極６ｂとの間、かつ固定子４の電極部１５ｂと保持用電極６ｃとの間に強い静電気力が発生する。可動子６の保持用電極６ｂが固定子４の電極部１５ａに引きつけられ、可動子６の保持用電極６ｃが固定子４の電極部１５ｂに引きつけられ、可動子６は固定子４側に移動する。

次に、固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されたまま、時点ｔ９において固定子４の保持用電極１５の電圧が低電圧Ｌに低減され、図７（ａ），（ｂ）に示すように、固定子３の駆動用電極１０，１１に高電圧Ｈが印加される。固定子３の電極部１０ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間、かつ固定子３の電極部１１ａと可動子６の駆動用電極６ａとの間に作用する静電気力により、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａに引きつけられ、可動子６の駆動用電極６ａは、固定子３の近傍の電極部１０ａ，１１ａと重なり合う位置まで移動する。これにより、可動子６は固定子３側に移動する。これに対して、固定子４の保持用電極１４には高電圧Ｈが印加されているので、可動子５は固定子４側に保持された状態で維持される。このとき、可動子６は、時点ｔ７に比べて図４（ｃ）の右方向に１／４ピッチＰだけ移動することとなる。すなわち、時点ｔ１に比べて図４（ｃ）の右方向に１ピッチＰだけ移動することとなる。

以上のような工程が所定回数繰り返されることによって、可動子６は所定の距離だけ移動する。上記とは反対に、可動子５を固定して可動子６のみを図４（ｃ）の左方向へ移動させる場合には、初めに固定子４の保持用電極１４に高電圧Ｈが印加されて可動子５が固定子４側に固定された状態のまま、以上の工程が上記とは逆の順番で行われる。

本発明が適用された静電アクチュエータ１では、上記したように、可動子５，６が同一形状を有するので、これら２つの可動子５，６を単一の金型で成形でき、２つの可動子５，６の寸法誤差を低減可能となる。これにより、静電アクチュエータ１の製造工程において、この寸法誤差を調整するための専用の処理工程を省くことができる。

また、可動子５，６はそれらの移動方向（図３Ａ方向）において互いに反対向きに配置され、可動子５の保持用電極５ｂ，５ｃ，可動子６の保持用電極６ｂ，６ｃは可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３Ｂ方向）において互いに重複しない位置に形成されている。これにより、固定子４の電極部１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂは、互いに電気的に分離して固定子４上に設けられ、可動子５，６の移動方向に直交する方向（図３Ｂ方向）に並べて配置される。これらの構成により、固定子４の電極部１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを可動子５，６の移動方向（図３Ａ方向）に沿って広範囲に亘って形成可能となるので、可動子５，６を広い範囲に亘って移動可能にすることができる。

また、可動子５の保持用電極５ｂと５ｃは、可動子５の中心線５ｅがこれらの間に位置するように、可動子６の保持用電極６ｂと６ｃは、可動子６の中心線６ｅがこれらの間に位置するようにそれぞれ配置される。さらに、可動子５の保持用電極５ｂと５ｃ、固定子４の保持用電極１４の電極部１４ａと１４ｂは中心線５ｅ上に、かつ可動子６の保持用電極６ｂと６ｃ、固定子４の保持用電極１５の電極部１５ａと１５ｂは、中心線６ｅ上に回転軸を仮定した場合に、それぞれの慣性モーメントの大きさが等しくなるように幅が設定されている。これにより、可動子５，６をそれぞれ固定子４側に引きつける際、可動子５は中心線５ｅから傾くことなく、かつ可動子６は中心線６ｅから傾くことなく安定して引きつけられ、安定して移動可能となる。

次に、本発明の実施の一形態を図面に示す第２の実施例に基づき具体的に説明する。
第２の実施例において、静電アクチュエータ１は、第１の実施例で示した固定子３，４の代わりに第１固定子５０及び第２固定子６０を有し、また、第１の実施例で示した可動子５，６の代わりに第１可動子３０及び第２可動子４０を有する。なお、第２の実施例で示す静電アクチュエータ１の駆動方法は、第１の実施例で示したものと実質的に同一である。

第１固定子５０及び第２固定子６０は、第１の実施例で示した固定子３，４と同様に、固定子枠２が有する溝７に収納される。また、第１可動子３０及び第２可動子４０は、第１の実施例で示した可動子５，６と同様に、固定子枠２内に収納された第１固定子５０と第２固定子６０との間に収納される。

第１固定子５０は、図８（ａ）に示すように、第１の実施例に記述した固定子３と同様の構成を有する。具体的には、第１固定子５０の第１及び第２可動子３０，４０に対向する面には、２本の凸部５０ａが第１及び第２可動子３０，４０の移動方向（図８（ａ）Ａ方向）に沿って形成されている。２本の凸部５０ａの間には、第１固定子電極としての駆動用電極２０乃至２３が形成されている。

駆動用電極２０乃至２３は、それぞれ、電極部２０ａ乃至２３ａ、接続部２０ｂ乃至２３ｂ、及び、端子２０ｃ乃至２３ｃから構成される。電極部２０ａ乃至２３ａは、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に直交する方向（図８（ａ）Ｂ方向）に沿って形成され、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿って、電極部２０ａ、２１ａ、２２ａ、２３ａの順番で並ぶように配置されている。接続部２０ｂ乃至２３ｂは、それぞれ、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿って形成され、電極部２０ａ乃至２３ａの一端に接続される。端子２０ｃ乃至２３ｃは、それぞれ、接続部２０ｂ乃至２３ｂの一端部に設けられ、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。

第２固定子６０は、図８（ｂ）に示すように構成されている。具体的には、第２固定子６０の第１及び第２可動子３０，４０に対向する面には、第１の実施例と同様に、２本の凸部６０ａが第１及び第２可動子３０，４０の移動方向（図８（ｂ）Ａ方向）に沿って形成されている。２本の凸部６０ａの間には、第１及び第２可動子３０，４０をそれぞれ保持するための第１保持用電極２４及び第２保持用電極２５が形成されている。

第１保持用電極２４は、電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃと、接続部２４ｄと、端子２４ｅと、接続部２４ｆと、から構成されている。電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃは、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿って、第２固定子６０の一端部からその略中央部まで形成されている。また、電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃは、第２固定子６０の中心線６０ｅに対して対称となるように、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に直交する方向（図８（ｂ）Ｂ方向）に並べて配置される。具体的には、電極部２４ｂは、中心線６０ｅ上に配置され、電極部２４ａ，２４ｃは、電極部２４ｂの両側に配置される。また、電極部２４ａ，２４ｂの間隔、及び、電極部２４ｂ，２４ｃのパターン間隔は、後述する第２保持用電極２５の電極部２５ａ，２５ｂの幅よりも広く設定されている。接続部２４ｄは、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に直交する方向に沿って形成され、電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃの一端に接続される。端子２４ｅは、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。接続部２４ｆは、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿って形成され、電極部２４ａの他端と端子２４ｅとを接続する。

第２保持用電極２５は、電極部２５ａ，２５ｂと、接続部２５ｄと、端子２５ｅと、から構成されている。電極部２５ａ，２５ｂは、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿って、第２固定子６０の他端部からその略中央部まで形成されている。また、電極部２５ａ，２５ｂは、第２固定子６０の中心線６０ｅに対して対称となるように、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に直交する方向に並べて配置される。具体的には、電極部２５ａ，２５ｂは、中心線６０ｅの両側に配置される。また、電極部２５ａ、２５ｂのパターン間隔は、第１保持用電極２４の電極部２４ｂの幅よりも広く設定されている。接続部２５ｄは、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に垂直な方向に沿って形成され、電極部２５ａ，２５ｂの一端に接続される。端子２５ｅは、接続部２５ｄの一端部に設けられ、固定子枠２の溝９に挿置されるＦＰＣに接続される。

以上のように構成された第１及び第２保持用電極２４，２５は、図８（ｂ）に示すように、櫛状の形状を有し、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿って並べられる。そして、第１及び第２保持用電極２４，２５は、例えば２つの櫛を向かい合わせて噛み合わせるように配置される。即ち、第２保持用電極２５の電極部２５ａの先端部は第１保持用電極２４の電極部２４ａ，２４ｂの間に配置され、第２保持用電極２５の電極部２５ｂの先端部は第１保持用電極２４の電極部２４ｂ，２４ｃの間に配置される。これにより、図８（ｂ）に示すように、第１及び第２保持用電極２４，２５の一部が噛み合わさった電極重複部分が形成される。すなわち、第１保持用電極２４と第２保持用電極２５とは、第１可動子３０及び第２可動子４０の移動方向に沿って並び、かつ当該移動方向に対して直交する方向に離間している。そして、第１保持用電極２４と第２保持用電極２５とは、第１可動子３０及び第２可動子４０の移動方向に一部が噛み合わさって電極重複部分となっている。

第１可動子３０及び第２可動子４０は、第１の実施例と同様に、導電性材料で一体形成されており、それらの移動方向に沿って並べて配置される。図９（ａ）〜図１０（ｂ）に示すように、第１及び第２可動子３０，４０の第１固定子５０に対向する面には、第１及び第３可動子電極としての駆動用電極３２，４２がそれぞれ形成されている。駆動用電極３２，４２は、第１の実施例と同様に、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に直交するように複数形成されている。また、駆動用電極３２，４２は、第１固定子５０上に形成された駆動用電極２０乃至２３の電極部２０ａ乃至２３ａに対応するように、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿って所定のピッチＰで配置されている。

また、第１及び第２可動子３０，４０の第２固定子６０に対向する面には、２本の凸部３１，４１が、第１及び第２可動子３０，４０の移動方向に沿ってそれぞれ形成されている。凸部３１，４１は、第１及び第２可動子３０，４０が第１及び第２固定子５０，６０間に挿置された状態において第２固定子６０の凸部６０ａにそれぞれ対向するように形成されている。

また、第１可動子３０に形成された２本の凸部３１間には、第２可動子電極としての保持用電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３５ａ，３５ｂが形成されている。また、第２可動子４０に形成された２本の凸部４１間には、第４可動子電極としての保持用電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４５ａ，４５ｂが形成されている。

図１０（ｂ）に示すように、第１可動子３０の保持用電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、移動方向に垂直な第１可動子３０の一方の側面から伸び、移動方向における第１可動子３０の長さよりも図８（ｂ）に示した電極重複部分の長さだけ短くなるように形成されている。また、第１可動子３０の保持用電極３５ａ，３５ｂは、移動方向に垂直な第１可動子３０の他方の側面から伸び、移動方向における第１可動子３０の長さよりも図８（ｂ）に示した電極重複部分の長さだけ短くなるように形成されている。

同様に、第２可動子４０の保持用電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、移動方向に垂直な第２可動子４０の一方の側面から伸び、移動方向における第２可動子４０の長さよりも図８（ｂ）に示した電極重複部分の長さだけ短くなるように形成されている。また、第２可動子４０の保持用電極４５ａ，４５ｂは、移動方向に垂直な第２可動子４０の他方の側面から伸び、移動方向における第２可動子４０の長さよりも図８（ｂ）に示した電極重複部分の長さだけ短くなるように形成されている。

また、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、保持用電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３５ａ，３５ｂ及び４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４５ａ，４５ｂは、第１及び第２可動子３０，４０の中心線３０ｅに対して対称となるようにそれぞれ配置される。具体的には、第１可動子３０においては、保持用電極３４ｂは中心線３０ｅ上に配置され、保持用電極３４ａ，３４ｃは保持用電極３４ｂの両側に配置される。そして、保持用電極３４ａ，３４ｂの間に保持用電極３５ａが配置され、保持用電極３４ｂ，３４ｃの間に保持用電極３５ｂが配置される。

同様に、第２可動子４０においては、保持用電極４４ｂは中心線３０ｅ上に配置され、保持用電極４４ａ，４４ｃは保持用電極４４ｂの両側に配置される。そして、保持用電極４４ａ，４４ｂの間に保持用電極４５ａが配置され、保持用電極４４ｂ，４４ｃの間に保持用電極４５ｂが配置される。これにより、移動方向に垂直な面に投影した場合に、保持用電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３５ａ，３５ｂ及び４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４５ａ，４５ｂは、それぞれ、互いに重ならないように配置される。

以上のような構成を有する第１及び第２可動子３０，４０は、互いに同一の構造を有し、同じ方向を向くように第１固定子５０と第２固定子６０との間に挿置される。また、上記した第１及び第２可動子３０，４０は同じ構造を有するので、製造精度の管理が容易である。

例えば図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、第１可動子３０は第２固定子６０の第１保持用電極２４上に、第２可動子４０は第２固定子６０の第２保持用電極２５上にそれぞれ配置される。この際、第１可動子３０の保持用電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃは第２固定子６０が有する第１保持用電極２４の電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃに対向するが、保持用電極３５ａ，３５ｂに対向する電極は存在しない。また、第２可動子４０の保持用電極４５ａ，４５ｂは第２固定子６０が有する第２保持用電極２５の電極部２５ａ，２５ｂに対向するが、保持用電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃに対向する電極は存在しない。

即ち、第１可動子３０は、第１固定子５０の駆動用電極２０ａ，２１ａ，２２ａ，２３ａと、第２固定子４０の第１保持用電極２４の電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃと、第１可動子３０の駆動用電極３２及び保持用電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃとで駆動することが可能となる。また、第２可動子４０は、第１固定子５０の駆動用電極２０ａ，２１ａ，２２ａ，２３ａと、第２固定子６０の第２保持用電極２５の電極部２５ａ，２５ｂと、第２可動子４０の駆動用電極４２及び保持用電極４５ａ，４５ｂとで駆動することが可能となる。

また、第１可動子３０の保持用電極３５ａ，３５ｂは、第２固定子６０が有する第２保持用電極２５の電極部２５ａ，２５ｂの延長線上に配置される。しかし、上記したように、第１可動子３０の保持用電極３５ａ，３５ｂは、電極重複部分の長さだけ短く形成されているので、第１可動子３０が第２可動子４０の方向（図１１（ａ）Ａ方向）へ移動して、駆動範囲の端である第２固定子６０が有する第１保持用電極２４の端部まで移動した場合でも、第１可動子３０の保持用電極３５ａ，３５ｂは第２固定子６０の電極部２５ａ，２５ｂと対向することはない。これにより、第１可動子３０の駆動が第２保持用電極２５によって影響されることはない。

同様に、第２可動子４０の保持用電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、第２固定子６０が有する第１保持用電極２４の電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃの延長線上に配置される。しかし、第２可動子４０の保持用電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、電極重複部分の長さだけ短く形成されているので、第２可動子４０が第１可動子３０の方向（図１１（ｂ）Ｂ方向）へ移動して、駆動範囲の端である第２固定子６０が有する第２保持用電極２５の端部まで移動した場合でも、第２可動子４０の保持用電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは第２固定子６０の電極部２４ａ，２４ｂ，２４ｃと対向することはない。これにより、第２可動子４０の駆動が第１保持用電極２４によって影響されることはない。

以上のような構成を有する第１可動子３０、第２可動子４０、第１固定子５０及び第２固定子６０を用いても、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。

なお、上記第１及び第２の実施例で示した静電アクチュエータ１を内視鏡、携帯電話、ＰＤＡなどに搭載されるレンズ系の焦点合わせに用いる場合には、例えば、可動子５，６にこれらの移動方向に沿った貫通穴を形成し、これら貫通穴にそれぞれレンズ等を設置すればよい。この際、上記したように、可動子５，６を互いに同一形状に形成し、各電極を上記したように配置、形成することにより、上記した効果を得ることができる。

また、上記した実施例では、可動子５，６に対してそれぞれ２つの保持用電極５ｂ，５ｃ及び６ｂ，６ｃを形成したが、可動子５，６に対する保持用電極の個数はこれに限らず適宜変更可能である。また、同様に、固定子４の保持用電極１４，１５に対する電極部１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの個数もこれに限るものではない。また、同様に、固定子３の駆動用電極の個数はこれに限らず適宜変更可能である。

本発明の一実施例としての静電アクチュエータの斜視図である。 （ａ）は図1に示す一方の可動子の正面図であり、（ｂ）は図１に示す他方の可動子の正面図である。 （ａ）は図1に示す一方の固定子の平面図であり、（ｂ）は図１に示す他方の固定子の平面図である。 （ａ）は２つの可動子を同一方向に移動させる場合の静電アクチュエー夕の動作を示す図であり、（ｂ）は一方の可動子を固定して他方の可動子を移動させる場合の静電アクチュエータの動作を示す図であり、（ｃ）は他方の可動子を固定して一方の可動子を移動させる場合の静電アクチュエータの動作を示す図である。 図４（ａ）の動作を実現するための駆動電圧および保持電圧の印加タイミングを示すタイミングチャートである。 図４（ｂ）の動作を実現するための駆動電圧および保持電圧の印加タイミングを示すタイミングチャートである。 図４（ｃ）の動作を実現するための駆動電圧および保持電圧の印加タイミングを示すタイミングチャートである。 （ａ）は第２の実施例における第１固定子の構成図であり、（ｂ）は第２の実施例における第２固定子の構成図である。 （ａ）は第２の実施例における第１可動子の構成図であり、（ｂ）は第２の実施例における第２可動子の構成図である。 （ａ）は第２の実施例における第１及び第２可動子の側面図であり、（ｂ）は第２の実施例における第１及び第２可動子の底面図である。 第２の実施の形態において、第１及び第２可動子を第２固定子上にそれぞれ配置した状態を示す図である。

符号の説明

１ 静電アクチュエータ
２ 固定子枠
３ 固定子
３ａ 凸部
４ 固定子
４ａ 凸部
５ 可動子
５ａ 駆動用電極
５ｂ 保持用電極
５ｃ 保持用電極
５ｄ 凸部
５ｅ 中心線
６ 可動子
６ａ 駆動用電極
６ｂ 保持用電極
６ｃ 保持用電極
６ｄ 凸部
６ｅ 中心線
７ 溝
８ 溝
８ａ 内壁
８ｂ 凸部
９ 溝
１０ 駆動用電極
１０ａ 電極部
１０ｂ 接続部
１０ｃ 端子
１１ 駆動用電極
１１ａ 電極部
１１ｂ 接続部
１１ｃ 端子
１２ 駆動用電極
１２ａ 電極部
１２ｂ 接続部
１２ｃ 端子
１３ 駆動用電極
１３ａ 電極部
１３ｂ 接続部
１３ｃ 端子
１４ 保持用電極
１４ａ 電極部
１４ｂ 電極部
１４ｃ 接続部
１４ｄ 端子
１４ｅ 接続部
１５ 保持用電極
１５ａ 電極部
１５ｂ 電極部
１５ｃ 接続部
１５ｄ 端子
１５ｅ 接続部
２０ 駆動用電極
２０ａ 電極部
２０ｂ 接続部
２０ｃ 端子
２１ 駆動用電極
２１ａ 電極部
２１ｂ 接続部
２１ｃ 端子
２２ 駆動用電極
２２ａ 電極部
２２ｂ 接続部
２２ｃ 端子
２３ 駆動用電極
２３ａ 電極部
２３ｂ 接続部
２３ｃ 端子
２４ 第１保持用電極
２４ａ 電極部
２４ｂ 電極部
２４ｃ 電極部
２４ｄ 接続部
２４ｅ 端子
２４ｆ 接続部
２５ 第２保持用電極
２５ａ 電極部
２５ｂ 電極部
２５ｄ 接続部
２５ｅ 端子
３０ 第１可動子
３０ｅ 中心線
３１ 凸部
３２ 駆動用電極
３４ａ 保持用電極
３４ｂ 保持用電極
３４ｃ 保持用電極
３５ａ 保持用電極
３５ｂ 保持用電極
４０ 第２可動子
４１ 凸部
４２ 駆動用電極
４４ａ 保持用電極
４４ｂ 保持用電極
４４ｃ 保持用電極
４５ａ 保持用電極
４５ｂ 保持用電極
５０ 第１固定子
５０ａ 凸部
６０ 第２固定子
６０ａ 凸部

Claims (12)

1. 一方の面に第１固定子電極を有する第１固定子と、
   前記第１固定子電極に対向するように配置され、該第１固定子電極に対向する面に第２固定子電極を有する第２固定子と、
   前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第１可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第２可動子電極を備え、所定方向に沿って移動可能な第１可動子と、
   前記所定方向に沿って前記第１可動子と並ぶように前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第３可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第４可動子電極を備え、前記所定方向に沿って移動可能な第２可動子と、から構成され、
   前記第１可動子は、前記第２可動子と同一の形状を有し、前記所定方向に対して前記第２可動子とは反対向きに配置され、
   前記第２可動子電極と前記第４可動子電極とは、前記所定方向に垂直な面に投影した場合に、互いに重ならないような位置に配置されている、
   ことを特徴とする静電アクチュエータ。
2. 前記第２可動子電極は、前記第１可動子の中心線の両側にそれぞれ配置され、前記所定方向に沿って形成された２本の第１電極から構成され、
   前記第４可動子電極は、前記第２可動子の中心線の両側にそれぞれ配置され、前記所定方向に沿って形成された２本の第２電極から構成される、
   ことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
3. ２本の前記第１電極は、前記第１可動子の前記中心線に対して非対称に設けられ、
   ２本の前記第２電極は、前記第２可動子の前記中心線に対して非対称に設けられている、
   ことを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
4. ２本の前記第１電極の幅は、前記第１可動子の前記中心線上に回転軸を設けた場合に２本それぞれの前記第１電極の慣性モーメントが互いに等しくなるようにそれぞれ設定され、
   ２本の前記第２電極の幅は、前記第２可動子の前記中心線上に回転軸を設けた場合に２本それぞれの前記第２電極の慣性モーメントが互いに等しくなるようにそれぞれ設定されている、
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載の静電アクチュエータ。
5. 前記第１可動子の中心線から前記第１電極の一方の内端までの距離は、前記第１可動子の中心線から前記第１電極の他方の外端までの距離よりも長く設定されており、
   前記第２可動子の中心線から前記第２電極の一方の内端までの距離は、前記第２可動子の中心線から前記第２電極の他方の外端までの距離よりも長く設定されている、
   ことを特徴とする請求項２乃至４の何れか１項に記載の静電アクチュエータ。
6. 前記第１電極の一方の幅は、前記第１電極の他方の幅よりも狭く設定されており、
   前記第２電極の一方の幅は、前記第２電極の他方の幅よりも狭く設定されている、
   ことを特徴とする請求項２乃至５の何れか１項に記載の静電アクチュエータ。
7. 前記第２固定子電極は、前記第１可動子を保持するために用いられる第１保持電極と、前記第２可動子を保持するために用いられる第２保持電極と、から構成される、ことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の静電アクチュエータ。
8. 前記第１保持電極は、前記第１可動子が有する前記第２可動子電極に対向する位置に設けられ、
   前記第２保持電極は、前記第２可動子が有する前記第４可動子電極に対向する位置に設けられている、
   ことを特徴とする請求項７に記載の静電アクチュエータ。
9. 前記第１固定子は、前記第１可動子の第１可動子電極および前記第２可動子の第３可動子電極が前記第１固定子電極に接触することを防止するための突起を有する、ことを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の静電アクチュエータ。
10. 前記第２固定子は、前記第１可動子の第２可動子電極および前記第２可動子の第４可動子電極が前記第２固定子電極に接触することを防止するための突起を有する、ことを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の静電アクチュエータ。
11. 一方の面に第１固定子電極を有する第１固定子と、
    前記第１固定子電極に対向するように配置され、該第１固定子電極に対向する面に第２固定子電極を有する第２固定子と、
    前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第１可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第２可動子電極を備え、所定方向に沿って移動可能な第１可動子と、
    前記所定方向に沿って前記第１可動子と並ぶように前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、前記第１固定子電極に対向する面に第３可動子電極を、前記第２固定子電極に対向する面に第４可動子電極を備え、前記所定方向に沿って移動可能な第２可動子と、から構成され、
    前記第１可動子は、前記第２可動子と同一の形状を有し、前記第２固定子が有する前記第２固定子電極と同数の電極を有し、
    前記第２固定子電極は、前記第１可動子を保持するための第１保持電極と、前記第２可動子を保持するための第２保持電極と、を有し、
    前記第１保持電極と前記第２保持電極とは、前記所定方向に沿って並び、かつ前記所定方向に対して直交する方向に離間しており、
    前記第１可動子は、前記第２固定子電極の前記第１保持電極及び前記第２保持電極と同一線上に配置される第２可動子電極を備え、
    前記第２可動子は、前記第２固定子電極の前記第１保持電極及び前記第２保持電極と同一線上に配置される第４可動子電極を備える、
    ことを特徴とする静電アクチュエータ。
12. 前記第２可動子電極は、前記所定方向に垂直な前記第１可動子の一方の側面から伸びて前記第１保持電極に対向する電極と、前記所定方向に垂直な前記第１可動子の他方の側面から伸びて前記第２保持電極の延長線上に配置される電極と、から構成され、
    前記第４可動子電極は、前記所定方向に垂直な前記第２可動子の一方の側面から伸びて前記第２保持電極に対向する電極と、前記所定方向に垂直な前記第２可動子の他方の側面から伸びて前記第１保持電極の延長線上に配置される電極と、から構成され、
    前記第２可動子電極を構成する電極は、それぞれ、前記所定方向における前記第１可動子の長さよりも所定の長さだけ短く形成され、
    前記第４可動子電極を構成する電極は、それぞれ、前記所定方向における前記第２可動子の長さよりも所定の長さだけ短く形成されている、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の静電アクチュエータ。
    

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