JP2006032753A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】デバイス、光学素子の所望の領域に犠牲膜を設け、絶縁膜を形成した後に犠牲膜を除去することで、高周波デバイスにおいては高周波特性の劣化を抑制することを可能とし、光学素子においては光損失の低減を実現した。
【解決手段】基板(インターポーザ基板11)にデバイス21、光学素子31を実装する工程と、デバイス21、光学素子31上の所望の領域に犠牲膜41を形成する工程と、犠牲膜41とともにデバイス21、光学素子31を被覆する絶縁膜16を形成する工程と、犠牲膜41上の絶縁膜16に開口部17を形成する工程と、開口部17より犠牲膜41を除去する工程とを備えた半導体装置の製造方法であり、この製造方法により形成される半導体装置1である。
【選択図】図1
【解決手段】基板(インターポーザ基板11)にデバイス21、光学素子31を実装する工程と、デバイス21、光学素子31上の所望の領域に犠牲膜41を形成する工程と、犠牲膜41とともにデバイス21、光学素子31を被覆する絶縁膜16を形成する工程と、犠牲膜41上の絶縁膜16に開口部17を形成する工程と、開口部17より犠牲膜41を除去する工程とを備えた半導体装置の製造方法であり、この製造方法により形成される半導体装置1である。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板に実装された中空配線を有するデバイスを、中空配線の機能を損なうことなく絶縁膜で被覆することが容易な半導体装置および半導体装置の製造方法に関するものである。
図5に示すように、複数のチップ、例えば高周波デバイス121と光学素子131とが基板(インターポーザ基板)111上に実装され、高周波デバイス121、光学素子131等は絶縁膜113、116により被覆されている(例えば、特許文献1参照)。
一方、高周波デバイス121では、信号応答速度の高速化が要求されており、高周波デバイス121上に形成される配線は中空配線122で形成されることが求められている。また、光学素子131を直接絶縁膜116で被覆すると、光学特性が劣化することがあり、光学素子131上に空間を設けることが必要になる場合がある。
しかしながら、高周波デバイス121、光学素子131上に直接、絶縁膜116を被覆したのでは、光学素子131上に空間を形成することは困難であり、また、高周波デバイス121上の中空配線122には、中空配線122の中空領域に上記絶縁膜116が埋め込まれ、中空配線の機能を果たさなくなるという問題が生じる。
解決しようとする問題点は、基板に実装されたデバイスや光学素子を直接的に絶縁膜で被覆したのでは、デバイスに形成される中空配線を機能させることができない点であり、また光学素子は光学特性の劣化を引き起こす点である。
本発明の半導体装置は、中空配線を有するデバイスを実装した基板に、前記デバイス上を被覆する絶縁膜を形成した半導体装置であって、前記デバイスの中空配線上の前記絶縁膜に開口部が設けられていて、前記中空配線の少なくとも中空領域に形成しておいた犠牲膜を前記開口部より除去することで前記中空配線の中空領域が形成されていることを最も主要な特徴とする。
本発明の半導体装置は、光学素子を実装した基板に、前記光学素子上を被覆する絶縁膜を形成した半導体装置であって、前記光学素子上の前記絶縁膜に開口部が設けられていて、前記光学素子上に形成しておいた犠牲膜を前記開口部より除去することで前記光学素子上に空間が形成されていることを最も主要な特徴とする。
本発明の半導体装置の製造方法は、基板に中空配線を有するデバイスを実装する工程と、前記デバイスの中空配線とともに該中空配線の中空領域も充填して被覆する犠牲膜を形成する工程と、前記犠牲膜とともに前記デバイスを被覆する絶縁膜を形成する工程と、前記犠牲膜上の前記絶縁膜に開口部を形成する工程と、前記開口部より前記犠牲膜を前記絶縁膜に対して選択的に除去する工程とを備えたことを最も主要な特徴とする。
本発明の半導体装置の製造方法は、基板に光学素子を実装する工程と、前記光学素子上の所望の領域に犠牲膜を形成する工程と、前記犠牲膜とともに前記光学素子を被覆する絶縁膜を形成する工程と、前記犠牲膜上の前記絶縁膜に開口部を形成する工程と、前記開口部より前記犠牲膜を前記絶縁膜に対して選択的に除去する工程とを備えたことを最も主要な特徴とする。
本発明の半導体装置は、デバイスの中空配線上の絶縁膜に開口部が設けられていて、中空配線の少なくとも中空領域に形成しておいた犠牲膜を開口部より除去することで中空配線の中空領域が形成されているため、中空配線を機能させることができるので、中空配線の特性劣化、特に信号伝達速度の劣化を抑制することができ、高速応答が可能になるという利点がある。また、光学素子上の絶縁膜に開口部が設けられていて、光学素子上に形成しておいた犠牲膜を開口部より除去することで前記光学素子上に空間が形成されている半導体装置では、光学素子上に空間が形成できるため、光損失の低減が図れるので、光学特性の向上が図れるという利点がある。
本発明の半導体装置の製造方法は、デバイスの中空配線とともに該中空配線の中空領域も充填して被覆する犠牲膜を形成し、この犠牲膜とともにデバイスを被覆する絶縁膜を形成した後、犠牲膜上の絶縁膜に形成した開口部より犠牲膜を除去するため、デバイスを被覆する絶縁膜を形成した状態で中空配線の中空領域を確保することができるので、中空配線の特性劣化、特に信号伝達速度の劣化を抑制することができ、高速応答が可能になるという利点がある。また、光学素子を実装した半導体装置では、光学素子上の所望の領域に犠牲膜を形成し、この犠牲膜とともに光学素子を被覆する絶縁膜を形成した後、犠牲膜上の絶縁膜に形成した開口部より犠牲膜を除去するため、光学素子を被覆する絶縁膜を形成した状態で光学素子上に空間を確保することができるので、光損失の低減が図れ、光学特性の向上が図れるという利点がある。
高周波特性の劣化を抑制する目的を、中空配線の中空領域に犠牲膜を設け、その後その犠牲膜を除去することで、中空配線を機能させることを実現した。また、光損失を抑制する目的を、光学素子上に犠牲膜を設け、その後その犠牲膜を除去することで、光損失の低減を実現した。
本発明の半導体装置および半導体装置の製造方法に係る第1実施例を、図1の製造工程断面図によって説明する。
図1(1)に示すように、インターポーザ基板11にデバイス21と光学素子31とを実装する。上記デバイス21は、例えば高周波デバイスからなり、ドライバ回路、増幅回路等の集積回路が形成されている。また、上記デバイス21には中空配線22が備えられている。一方、上記光学素子31は、例えばレーザダイオード、フォトダイオード等の発光素子、もしくは受光素子からなる。
さらに、上記インターポーザ基板11上に、上記デバイス21および光学素子31を埋め込む絶縁膜13を形成する。その際、絶縁膜13には、インターポーザ基板11の電極、配線等に接続されるコンタクト部14を形成する。
次に、デバイス21に形成されている中空配線22や光学素子31の空気中に露出させたい領域に犠牲膜41を形成する。ここでは、一例として、上記中空配線22を被覆するように犠牲膜41を形成する。その際、例えば中空配線22の中空領域(図示せず)に上記犠牲膜41が充填されるようにしてもよい。上記犠牲膜41には、加熱することで昇華する性質を有する熱昇華性樹脂を用いる。その成膜膜方法としては、非感光性樹脂であれば印刷法を用いることができ、感光性樹脂であればフォトレジストと同様に、露光、現像工程を経て形成する方法を採用することができる。上記熱昇華性樹脂は、例えば、低酸素濃度雰囲気では200℃前後の耐熱性があり、大気雰囲気では200℃前後で昇華性を有するというものであり、ある一定の環境下では昇華性を発揮せず、その環境を越えると昇華性を発揮する特性を有することが重要である。
次いで図1(2)に示すように、インターポーザ基板11上に形成された絶縁膜13上に必要な配線15を形成する。さらに、絶縁膜13上に、上記犠牲膜41とともに上記デバイス21を被覆する絶縁膜16を形成する。この絶縁膜16は上記光学素子31上にも形成されている。次いで、通常のリソグラフィー技術およびエッチング技術当を用いて、犠牲膜41のほぼ全域上の上記絶縁膜16に開口部17を形成する。それとともに、上記配線15に達する接続孔を形成し、その接続孔内に上記配線15に接続する電極18を形成する。さらに、上記電極18上にはんだボールバンプ19を形成する。このように、ビルドアップ方式でチップ間配線や外部接続端子形成のための配線層の形成を行う。配線層の形成方法としては、絶縁膜は感光性絶縁樹脂をスピンコートした後にフォトプロセスで接続孔等の開口を形成し、配線はセミアディティブ法で形成する。
次いで図1(3)に示すように、加熱処理を行い、上記開口部17より犠牲膜41〔前記図1(2)参照〕を昇華させて除去する。このように、犠牲膜41が昇華して除去されることから、中空配線22にはストレスが係ることは無く、そのため、断線を起こすこともなく、上記犠牲膜41を絶縁膜13、16等に対して選択的に除去することができる。また、犠牲膜41が中空配線22の中空領域に入り込んで形成されていても、犠牲膜41は、昇華により除去されることから、中空領域に犠牲膜41が残ることなく、除去される。これによって、デバイス21の中空配線22は、中空領域が確保されるので中空配線としての機能を発揮することができる。
上記半導体装置の製造方法では、上記絶縁膜13、16は上記犠牲膜41を昇華させる温度に対して耐熱性を有する絶縁膜で形成することが求められる。通常は、無機絶縁膜を用いることから、十分な耐熱性が確保される。また、低誘電率有機絶縁膜で形成されるとしても、例えばポリアリールエーテルのような樹脂では耐熱温度が400℃程度あるため、十分な耐熱性が確保される。
上記半導体装置の製造方法では、デバイス21の中空配線22とともにこの中空配線22の中空領域も充填して被覆する犠牲膜41を形成し、この犠牲膜41とともにデバイス21を被覆する絶縁膜16を形成した後、犠牲膜41上の絶縁膜16に形成した開口部17より犠牲膜41を除去するため、デバイス21を被覆する絶縁膜16を形成した状態で中空配線22の中空領域を確保することができるので、中空配線22の特性劣化、特に信号伝達速度の劣化を抑制することができ、高速応答が可能になるという利点がある。
また、上記製造方法により本発明の半導体装置を構成することができる。すなわち、前記図1(3)に示すように、本発明の半導体装置1は、中空配線22を有するデバイス21を実装したインターポーザ基板11に、デバイス21上を被覆する絶縁膜16を形成した半導体装置であって、上記デバイス21の中空配線22上の絶縁膜16に開口部17が設けられていて、上記中空配線22の少なくとも中空領域(図示せず)に形成しておいた犠牲膜41を開口部17より除去することで中空配線22の中空領域が形成されているものである。したがって、本発明の半導体装置は、デバイス21の中空配線22が露出された状態に形成されることから、単体パッケージにおける中空実装と同様に、高周波特性の劣化のない半導体装置1となることができる。
次に、本発明の半導体装置および半導体装置の製造方法に係る第2実施例として、上記第1実施例の変形例を、図2の製造工程断面図によって説明する。図面では、インターポーザ基板11に実装されたデバイス21に着目して説明する。
図2(1)に示すように、前記第1実施例と同様にして、インターポーザ基板11にデバイス21と光学素子(図示せず)とを実装する。上記デバイス21は、例えば高周波デバイスからなり、ドライバ回路、増幅回路等の集積回路が形成されている。また、上記デバイス21には中空配線22が備えられている。一方、上記光学素子は、例えばレーザダイオード、フォトダイオード等の発光素子、もしくは受光素子からなる。
さらに、上記インターポーザ基板11上に、上記デバイス21および光学素子を埋め込む絶縁膜13を形成する。その際、絶縁膜13には、インターポーザ基板11の電極、配線等に接続されるコンタクト部14を形成する。
次に、デバイス21に形成されている中空配線22や光学素子31の空気中に露出させたい領域に犠牲膜41を形成する。ここでは、一例として、上記中空配線22を被覆するように犠牲膜41を形成する。その際、例えば中空配線22の中空領域(図示せず)に上記犠牲膜41が充填されるようにしてもよい。上記犠牲膜41には、加熱することで昇華する性質を有する熱昇華性樹脂を用いる。その成膜膜方法としては、非感光性樹脂であれば印刷法を用いることができ、感光性樹脂であればフォトレジストと同様に、露光、現像工程を経て形成する方法を採用することができる。上記熱昇華性樹脂は、例えば、低酸素濃度雰囲気では200℃前後の耐熱性があり、大気雰囲気では200℃前後で昇華性を有するというものであり、ある一定の環境下では昇華性を発揮せず、その環境を越えると昇華性を発揮する特性を有することが重要である。
次いで図2(2)に示すように、インターポーザ基板11上に形成された絶縁膜13上に必要な配線15を形成する。さらに、絶縁膜13上に、上記犠牲膜41とともに上記デバイス21を被覆する絶縁膜16を形成する。この絶縁膜16は上記光学素子31上にも形成されている。次いで、通常のリソグラフィー技術およびエッチング技術当を用いて、犠牲膜41の一部上の上記絶縁膜16に開口部(例えば、貫通孔)57を形成する。この開口部57は、一箇所であっても複数箇所であってもよい。それとともに、上記配線15に達する接続孔を形成し、その接続孔内に上記配線15に接続する電極18を形成する。さらに、上記電極18上にはんだボールバンプ19を形成する。このように、ビルドアップ方式でチップ間配線や外部接続端子形成のための配線層の形成を行う。配線層の形成方法としては、絶縁膜は感光性絶縁樹脂をスピンコートした後にフォトプロセスで接続孔等の開口を形成し、配線はセミアディティブ法で形成する。
次いで図2(3)に示すように、加熱処理を行い、上記開口部57より犠牲膜41〔前記図2(2)参照〕を昇華させて除去する。このように、犠牲膜41が昇華して除去されることから、中空配線22にはストレスがかかることは無く、そのため、断線を起こすこともなく、上記犠牲膜41を絶縁膜13、16等に対して選択的に除去することができる。また、犠牲膜41が中空配線22の中空領域に入り込んで形成されていても、犠牲膜41は、昇華により除去されることから、中空領域に犠牲膜41が残ることなく、除去される。これによって、デバイス21の中空配線22周囲は空間58が形成され、中空領域が確保されるので中空配線22としての機能を発揮することができる。
上記半導体装置の製造方法では、上記絶縁膜13、16は上記犠牲膜41を昇華させる温度に対して耐熱性を有する絶縁膜で形成することが求められる。通常は、無機絶縁膜を用いることから、十分な耐熱性が確保される。また、低誘電率有機絶縁膜で形成されるとしても、例えばポリアリールエーテルのような樹脂では耐熱温度が400℃程度あるため、十分な耐熱性が確保される。
次に、本発明の半導体装置および半導体装置の製造方法に係る第3実施例を、図3の製造工程断面図によって説明する。この第3実施例では、インターポーザ基板に光学素子31を実装し、この光学素子31の所望の領域に空間を形成することを目的としている。
図3(1)に示すように、インターポーザ基板11にデバイス(図示せず)と光学素子31とを実装する。上記光学素子31は、例えばレーザダイオード、フォトダイオード等の発光素子、もしくは受光素子からなる。上記デバイスは、例えば高周波デバイスからなり、ドライバ回路、増幅回路等の集積回路が形成されている。
さらに、上記インターポーザ基板11上に、上記デバイスおよび光学素子31を埋め込む絶縁膜13を形成する。その際、絶縁膜13には、インターポーザ基板11の電極、配線等に接続されるコンタクト部14を形成する。
次に、上記デバイスや光学素子31の空気中に露出させたい領域に犠牲膜41を形成する。ここでは、一例として、上記光学素子31上を被覆するように犠牲膜41を形成する。上記犠牲膜41には、加熱することで昇華する性質を有する熱昇華性樹脂を用いる。その成膜膜方法としては、非感光性樹脂であれば印刷法を用いることができ、感光性樹脂であればフォトレジストと同様に、露光、現像工程を経て形成する方法を採用することができる。上記熱昇華性樹脂は、例えば、低酸素濃度雰囲気では200℃前後の耐熱性があり、大気雰囲気では200℃前後で昇華性を有するというものであり、ある一定の環境下では昇華性を発揮せず、その環境を越えると昇華性を発揮する特性を有することが重要である。
次いで図3(2)に示すように、インターポーザ基板11上に形成された絶縁膜13上に必要な配線15を形成する。さらに、絶縁膜13上に、上記犠牲膜41とともに上記光学素子31を被覆する絶縁膜16を形成する。この絶縁膜16は上記デバイス上にも形成されている。次いで、通常のリソグラフィー技術およびエッチング技術当を用いて、犠牲膜41のほぼ全域上の上記絶縁膜16に開口部17を形成する。それとともに、上記配線15に達する接続孔を形成し、その接続孔内に上記配線15に接続する電極18を形成する。さらに、上記電極18上にはんだボールバンプ19を形成する。このように、ビルドアップ方式でチップ間配線や外部接続端子形成のための配線層の形成を行う。配線層の形成方法としては、絶縁膜は感光性絶縁樹脂をスピンコートした後にフォトプロセスで接続孔等の開口を形成し、配線はセミアディティブ法で形成する。
次いで図3(3)に示すように、加熱処理を行い、上記開口部17より犠牲膜41〔前記図3(2)参照〕を昇華させて除去する。このように、犠牲膜41が昇華して除去されることから、光学素子31にはストレスがかかることは無く、上記犠牲膜41を絶縁膜13、16等に対して選択的に除去することができる。これによって、光学素子31上に空間33が確保される。
上記半導体装置の製造方法では、上記絶縁膜13、16は上記犠牲膜41を昇華させる温度に対して耐熱性を有する絶縁膜で形成することが求められる。通常は、無機絶縁膜を用いることから、十分な耐熱性が確保される。また、低誘電率有機絶縁膜で形成されるとしても、例えばポリアリールエーテルのような樹脂では耐熱温度が400℃程度あるため、十分な耐熱性が確保される。
上記半導体装置の製造方法では、光学素子31上の所望の領域に犠牲膜41を形成し、この犠牲膜41とともに光学素子31を被覆する絶縁膜16を形成した後、犠牲膜41上の絶縁膜16に形成した開口部17より犠牲膜41を除去するため、光学素子31を被覆する絶縁膜16を形成した状態で光学素子31上に空間33を確保することができるので、光損失の低減が図れ、光学特性の向上が図れるという利点がある。
また、上記製造方法により本発明の半導体装置を構成することができる。すなわち、前記図3(3)に示すように、本発明の半導体装置3は、光学素子31を実装したインターポーザ基板11に、上記光学素子31上を被覆する絶縁膜16を形成した半導体装置であって、光学素子31上の絶縁膜16に開口部17が設けられていて、光学素子31上に形成しておいた犠牲膜41を上記開口部17より除去することで光学素子31上に空間33が形成されているものである。したがって、本発明の半導体装置3は、光学素子31が露出された状態に形成されることから、単体パッケージにおける光学素子の実装と同様に、高周波特性の劣化のない半導体装置1となることができる。
次に、本発明の半導体装置および半導体装置の製造方法に係る第4実施例として、上記第3実施例の変形例を、図4の製造工程断面図によって説明する。図面では、インターポーザ基板11に実装された光学素子31に着目して説明する。
図4(1)に示すように、前記第1実施例と同様にして、インターポーザ基板11にデバイス(図示せず)と光学素子31とを実装する。上記デバイスは、例えば高周波デバイスからなり、ドライバ回路、増幅回路等の集積回路が形成されている。また、上記デバイス21には中空配線22が備えられている。一方、上記光学素子31は、例えばレーザダイオード、フォトダイオード等の発光素子、もしくは受光素子からなる。
さらに、上記インターポーザ基板11上に、上記デバイスおよび光学素子31を埋め込む絶縁膜13を形成する。その際、絶縁膜13には、インターポーザ基板11の電極、配線等に接続されるコンタクト部14を形成する。
次に、デバイスや光学素子31の空気中に露出させたい領域に犠牲膜41を形成する。ここでは、一例として、上記光学素子31を被覆するように犠牲膜41を形成する。上記犠牲膜41には、加熱することで昇華する性質を有する熱昇華性樹脂を用いる。その成膜膜方法としては、非感光性樹脂であれば印刷法を用いることができ、感光性樹脂であればフォトレジストと同様に、露光、現像工程を経て形成する方法を採用することができる。上記熱昇華性樹脂は、例えば、低酸素濃度雰囲気では200℃前後の耐熱性があり、大気雰囲気では200℃前後で昇華性を有するというものであり、ある一定の環境下では昇華性を発揮せず、その環境を越えると昇華性を発揮する特性を有することが重要である。
次いで図4(2)に示すように、インターポーザ基板11上に形成された絶縁膜13上に必要な配線15を形成する。さらに、絶縁膜13上に、上記犠牲膜41とともに上記光学素子31を被覆する絶縁膜16を形成する。この絶縁膜16は上記デバイス上にも形成されている。次いで、通常のリソグラフィー技術およびエッチング技術当を用いて、犠牲膜41の一部上の上記絶縁膜16に開口部(例えば、貫通孔)57を形成する。この開口部57は、一箇所であっても複数箇所であってもよい。それとともに、上記配線15に達する接続孔を形成し、その接続孔内に上記配線15に接続する電極18を形成する。さらに、上記電極18上にはんだボールバンプ19を形成する。このように、ビルドアップ方式でチップ間配線や外部接続端子形成のための配線層の形成を行う。配線層の形成方法としては、絶縁膜は感光性絶縁樹脂をスピンコートした後にフォトプロセスで接続孔等の開口を形成し、配線はセミアディティブ法で形成する。
次いで図4(3)に示すように、加熱処理を行い、上記開口部57より犠牲膜41を昇華させて除去する。このように、犠牲膜41が昇華して除去されることから、光学素子31にはストレスがかかることは無く、上記犠牲膜41を絶縁膜13、16等に対して選択的に除去することができる。これによって、光学素子31周囲は空間58が形成され、光損失を低減することができる。
上記半導体装置の製造方法では、上記絶縁膜13、16は上記犠牲膜41を昇華させる温度に対して耐熱性を有する絶縁膜で形成することが求められる。通常は、無機絶縁膜を用いることから、十分な耐熱性が確保される。また、低誘電率有機絶縁膜で形成されるとしても、例えばポリアリールエーテルのような樹脂では耐熱温度が400℃程度あるため、十分な耐熱性が確保される。
上記半導体装置および半導体装置の製造方法に係る第1、2実施例のデバイス21(例えば高周波デバイス)と第3、4実施例の光学素子31とを、同一基板上に形成することも可能である。この場合、光学素子および高周波デバイスを被覆する絶縁膜は共通となる。
本発明の半導体装置および半導体装置の製造方法は、分割チップ型半導体集積回路(マルチチップモジュール)という用途に適用するのに好適であり、特に、光学素子チップ(フォトダイオードやレーザダイオード)や中空配線を有する高周波デバイス(ドライバー集積回路や増幅集積回路等)を含むいわゆるマルチチップモジュールに適用できる。
1…半導体装置、11…インターポーザ基板、16…絶縁膜、17…開口部、21…デバイス、31…光学素子、41…犠牲膜41
Claims (13)
- 中空配線を有するデバイスを実装した基板に、前記デバイス上を被覆する絶縁膜を形成した半導体装置であって、
前記デバイスの中空配線上の前記絶縁膜に開口部が設けられていて、
前記中空配線の少なくとも中空領域に形成しておいた犠牲膜を前記開口部より除去することで前記中空配線の中空領域が形成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 光学素子を実装した基板に、前記光学素子上を被覆する絶縁膜を形成した半導体装置であって、
前記光学素子上の前記絶縁膜に開口部が設けられていて、
前記光学素子上に形成しておいた犠牲膜を前記開口部より除去することで前記光学素子上に空間が形成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記基板に光学素子が実装され、
前記光学素子上の前記絶縁膜に開口部が設けられていて、
前記光学素子上に形成しておいた犠牲膜を前記開口部より除去することで前記光学素子上に空間が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 基板に中空配線を有するデバイスを実装する工程と、
前記デバイスの中空配線とともに該中空配線の中空領域も充填して被覆する犠牲膜を形成する工程と、
前記犠牲膜とともに前記デバイスを被覆する絶縁膜を形成する工程と、
前記犠牲膜上の前記絶縁膜に開口部を形成する工程と、
前記開口部より前記犠牲膜を前記絶縁膜に対して選択的に除去する工程と
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜に形成する開口部は、前記犠牲膜の全面上に形成される
ことを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜に形成する開口部は、前記犠牲膜の一部に達するように形成される
ことを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。 - 前記犠牲膜は加熱することで昇華する樹脂が用いられる
ことを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜は前記犠牲膜を昇華させる温度に対して耐熱性を有する絶縁膜からなる
ことを特徴とする請求項7記載の半導体装置の製造方法。 - 基板に光学素子を実装する工程と、
前記光学素子上の所望の領域に犠牲膜を形成する工程と、
前記犠牲膜とともに前記光学素子を被覆する絶縁膜を形成する工程と、
前記犠牲膜上の前記絶縁膜に開口部を形成する工程と、
前記開口部より前記犠牲膜を前記絶縁膜に対して選択的に除去する工程と
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜に形成する開口部は、前記犠牲膜の全面上に形成される
ことを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜に形成する開口部は、前記犠牲膜の一部に達するように形成される
ことを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。 - 前記犠牲膜は加熱することで昇華する樹脂が用いられる
ことを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜は前記犠牲膜を昇華させる温度に対して耐熱性を有する絶縁膜からなる
ことを特徴とする請求項12記載の半導体装置の製造方法。
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JP2004211143A JP2006032753A (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
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JP2008288562A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
-
2004
- 2004-07-20 JP JP2004211143A patent/JP2006032753A/ja active Pending
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