JP2006026897A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被研磨物を研磨するための研磨室36と制御装置34とを有する研磨装置であって、前記研磨室には、前記研磨室内の雰囲気の温度を測定する温度センサ48と、研磨面10を有する研磨テーブル12と、前記研磨面に研磨液を供給するノズル16とが設けられ、前記制御装置に入力された被研磨物と研磨面との接触面の温度に対する研磨目標温度の値と前記温度センサ48により測定された値に基づいて前記研磨液の温度を制御する。
【選択図】図1
Description
研磨液温度 15 40 15
テーブル保温媒体温度 15 40 15
研磨室温度 16 39 23
研磨温度 17 39 23
研磨目標温度 16 40 16
Tqo=To−k1ΔT,Tco=To−k2ΔT
の式に基づいて算出する。但し、ΔT=Tr−Toであり、k1,k2は実験的に求める定数である。
研磨液温度 10 48 15
テーブル保温媒体温度 10 47 15
研磨室温度 23 23 23
研磨温度 17 39 23
研磨目標温度 16 40 16
12 研磨テーブル
14 トップリング
16 研磨液ノズル
18 保温媒体配管
20,30,48 温度センサ
22,32 温度調整装置
34 制御装置
38 研磨空間
42 空調装置
C 保温媒体
Q 研磨液
W 被研磨材
Claims (8)
- 被研磨物を研磨するための研磨室と制御装置とを有する研磨装置であって、
前記研磨室には、
前記研磨室内の雰囲気の温度を測定する温度センサと、
研磨面を有する研磨テーブルと、
前記研磨面に研磨液を供給するノズルとが設けられ、
前記制御装置に入力された被研磨物と研磨面との接触面の温度に対する研磨目標温度の値と前記温度センサにより測定された値に基づいて前記研磨液の温度を制御することを特徴とする研磨装置。 - 前記制御装置には、許容範囲の温度が入力されることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記研磨テーブルには、内部に保温媒体を流通させる保温媒体空間を有することを特徴とする請求項2記載の研磨装置。
- 前記制御装置は、前記研磨目標温度および前記研磨室内の雰囲気の温度に基づき、研磨液温度および保温媒体温度の目標値を算出することを特徴とする請求項3記載の研磨装置。
- 前記制御装置は、前記研磨液温度と該研磨液温度の目標値および前記保温媒体温度と該保温媒体温度の目標値とを比較し、前記許容範囲内であるか否かを基に研磨の開始を定めることを特徴とする請求項4記載の研磨装置。
- 前記研磨装置は、前記研磨面の温度を測定する赤外線センサを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 研磨装置に設けられた研磨室内にて被研磨物を研磨する研磨方法であって、
前記研磨装置に設けられた制御装置に被研磨物と研磨面との接触面の温度の目標値である研磨目標温度および許容範囲の温度を入力し、
前記研磨目標温度と前記研磨室内の温度を基に研磨液温度を制御することを特徴とする研磨方法。 - 研磨装置に設けられた研磨室内にて被研磨物を研磨する研磨方法であって、
前記研磨装置に設けられた制御装置に被研磨物と研磨面との接触面の温度の目標値である研磨目標温度を入力し、
前記研磨目標温度を基に研磨液温度の目標値および研磨面を有する研磨テーブル内部に設けられた保温媒体温度の目標値を算出し、
前記研磨液温度と該研磨液温度の目標値との差および前記保温媒体温度と該保温媒体温度の目標値との差が前記許容範囲の温度の範囲内にあることを検知して研磨を開始することを特徴とする研磨方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010040932A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Ebara Corp | 樹脂材料を含む基材の平坦化方法及び平坦化装置 |
JP2016203351A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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- 2005-10-13 JP JP2005298383A patent/JP4275125B2/ja not_active Expired - Lifetime
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