JP2006024759A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101を所定の電子線露光装置111の処理室内に搬入し、基板101の電子線照射領域121に、加速電圧1kVで照射量が1×1017個/cm2となるように電子線112を照射する。ビーム状態で照射されている電子線112を、隣り合う半導体素子103の間を接続方向に移動(走査)させることで、電子線照射領域121に電子線が照射された状態が得られる。このように電子線を照射し、カーボンナノチューブ104aのみに欠陥が生じた状態とする。
【選択図】 図1
Description
まず、基板の上に所定の方法により、基板の上に分散配置された状態に複数のカーボンナノチューブが形成された状態とする。ついで、走査型電子顕微鏡や原子間力顕微鏡などによる観察により、素子作製に適当な孤立したカーボンナノチューブを探す。次に、公知のリソグラフィー技術とエッチング技術などにより、探し出したカーボンナノチューブの上に所定の電極が形成された状態とする。
以上のようにして選択的にカーボンナノチューブを形成した後、触媒金属のパターンの近傍に、所望の電極構造を形成すれば、上記基点の部分で電極構造とカーボンナノチューブとが接続した構造が得られる。
A.F.Morpurgo, J.Kong, M.Marcus, H.Dai, "Gate-Controlled Superconducting Proximity Effect in Carbon Nanotubes" Science, vol.286, pp.263-265,8 October 1999. 田中一義編、化学フロンティア2、カーボンナノチューブ−ナノデバイスへの挑戦、化学同人、2001年。 S. J.Wind, J.Appenzeller, R.Martel, V.Derycke, and Ph.Avouris, "Vertical Scaling of Carbon Nanotube Field-effect Transistors Using Top Gate Electrodes" Appl. Phys. Lett. 80, 3817-3819 (2002). H.Dai, et.al., "Single-wall nanotubes produced by metal-catalyzed disproportionation cabon nanooxide", Chem. Phys. Lett.,vol.260, pp.471-475,1996.
以上に説明したように、従来の製造方法では、不要な部分に形成されるカーボンナノチューブにより、カーボンナノチューブを用いた半導体装置の初期の特性が得られていない問題があった。
欠陥が生成されたカーボンナノチューブは、他のカーボンナノチューブに比較して電気的な特性などが劣化する。
上記半導体装置の製造方法において、所定の加速電圧は、30kV以下であればよく、特に、所定の加速電圧は、500V〜3kVの範囲であれば特によい。
図1は、本発明の実施の形態における半導体装置の製造方法例を示す工程図である。図1を用いて説明すると、まず、図1(a)に示すように、基板101の上に正方配列された複数の半導体素子102が形成された状態とする。なお、複数の半導体素子102は、正方配列されている必要はない。
これに対し、透過型電子顕微鏡では、通常の使用加速電圧が100〜400kVと、上述したノックオン損傷を起こすために十分である。しかしながら、電子顕微鏡を用いて所定の箇所のカーボンナノチューブにノックオン損傷を与えることは、実用的ではない。
例えば、カーボンナノチューブを必要としない基板上の領域に電子線照射を行うことで、図1に示したように、電子線照射領域122には、欠陥が発生しているカーボンナノチューブ104aが形成された状態とすることができる。
なお、カーボンナノチューブ103は、単層のカーボンナノチューブ,多層のカーボンナノチューブのいずれであってもよい。
Claims (5)
- カーボンナノチューブを備える半導体素子を基板の上に形成する半導体装置の製造方法において、
前記基板の上に前記カーボンナノチューブが形成された状態とする第1工程と、
一部の前記カーボンナノチューブに加速電圧が86kV以下の所定の加速電圧の電子線を照射して欠陥が生成された状態とする第2工程と
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
支燃性ガスを含む雰囲気で前記カーボンナノチューブを所定の温度に加熱する第3工程
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項2記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3工程では、酸素を含む雰囲気で前記カーボンナノチューブを350〜500℃に加熱する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記所定の加速電圧は、30kV以下であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記所定の加速電圧は、500V〜3kVであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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