JP2006024749A - 炭化珪素単結晶及びそのエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平滑性(表面粗さ)が±150nm以内である炭化珪素単結晶及び当該材料を得るために、三フッ化窒素を含有するガスをプラズマ励起し炭化珪素単結晶の表面を平滑化する。なお、三フッ化窒素ガスの圧力が0.5〜10Paであることが好ましい。
【選択図】なし
Description
上述したようなプラズマによる炭化珪素のドライエッチングに関する研究で、フッ素系ガスを用いたものとしては下記の非特許文献が例示できる。
P.H.Yih A. J. Steckel, J. Electrochem. Soc., 140, 1813 (1993) J. Sugiura, W. J. Lu, K. C. Cadien, and A. J. Steckel, J. Vac. Sci. Technol., B4, 349 (1986) J. W. Palmour, R. F. Davis, T. M. Wallet, and K. B. Bhasm, J. Vac. Sci. Technol., A4, 590 (1986) G. Kelner, S. C. Binari, and P. H. Klein, J. Electrochem. Soc., 137, 213 (1990) J. W. Palmour, R. F. Davis, P. Astell-Burt, and P. Blackborow, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 76, 185 (1987) W.-S. Pan and A. J. Steckel, J. Electrochem. Soc., 137 213 (1990) R. Padiyath, R. L. Wright, M. I. Caudhry, and S. V. Babu, Appl. Phys. Lett., 58, 1053 (1991) Wang J. J., Lambers E. S., Pearton S. J., Ostling M., Zetterling C. M., Grow J. M., Ren F., and Shul R. J., Vac. Sci. Technol., A16, 2204 (1198) G. Kelner, S. C. Binari, and P. H. Klen, J. Electrochem. Soc., 134, 253 (1987)
なお、イオンエッチングを行う際のアルゴンガスの圧力は0.1〜10Paであることが好ましく、RFパワーは50〜100Wであることが好ましい。反応時間は5〜15分であることが好ましい。
また、ダウンフローエッチングを行う際の三フッ化窒素ガスの圧力は0.5〜10Paであることが好ましく、RFパワーは50〜100Wであることが好ましい。反応時間は5〜15分であることが好ましい。
また、イオンエッチングとダウンフローエッチングとを繰り返す回数は40回以上であることが好ましい。
(炭化珪素単結晶試料の準備及び装置内への導入)
各々7.0×5.0×1.0(mm)の4H型炭化珪素単結晶、6H型炭化珪素単結晶、3C型炭化珪素単結晶を準備し、上記試料をプラズマチャンバーに導入した。
実験に用いたプラズマチャンバーの概略図を図1に示す。1はガス導入口、2はアース電極、3は試料、4はRF電極、5はCCDカメラ、6は流量制御計、7はチャンバー本体、8は弁、9は流量計、10〜13はそれぞれアルゴン(Ar)ガス、酸素(O2)ガス、窒素(N2)ガス、三フッ化窒素(NF3)ガスの貯溜タンクである。チャンバー本体7はステンレス鋼(SUS304)であり、チャンバー本体7側面から突出する筒状の窓部7aが設けられている。この窓部7aは、CCDカメラ5によって内部を観察できるように、最外端部分にガラス等の透明部材が嵌め込まれて形成されている。また、チャンバー本体7の窓部7aと反対側には、RF電極4を電力源につなぐための配線が通る筒部7bが設けられている。図1は上側をアース電極、下側をRF電極と示してあるが、実際には2つの電極の関係を自由に切替できる。
各々の試料を下側のRF電極上に置いてプラズマを誘起すると、電子とイオンの易動度の違いにより、RF電極の周囲にはイオンシースと呼ばれる空間電荷領域が形成され、ほぼ電解が一様に変化する領域となる。プラズマ領域内に発生した陽イオンがイオンシース領域内に突入すると、領域内に発生している垂直な電場により、イオンは試料に垂直方向に加速されて入射し、物理的な衝突が起こる。
一方、プラズマ中のラジカル等の中性分子は、方向性を持たずに入射し、化学的な反応を起こす。つまり、物理的エッチングと化学的エッチングの特徴を併せ持った反応性イオンエッチングを行うことができる。ロータリーポンプ及び油拡散ポンプによりチャンバー下部から真空排気できる構造になっており、その到達真空度は、1.3×103Paである。エッチング室から油拡散ポンプの間に液体窒素トラップを介することにより、エッチング中に解離した反応性ガスが油拡散ポンプ、又はロータリーポンプに流入する量を低減でき、圧力が1.33×10−3Paになるまで真空排気を行い、さらに60分間そのまま真空排気を続けた。
真空排気後、ニードルバルブ(小島製作所(株)製、KOFLOC model RK−1200)で三フッ化窒素(三井化学(株)製)を所定の圧力に調整してから5分間放置し、流量の安定後、13.56MHzのRFプラズマを誘起させた。
また、同時にMatching Unit MU−2 (SAMCOインターナショナル社製)を用いてRFパワーが最小値になるように調整した。
プラズマ誘起中、試料台に一定温度の冷却水を循環させることにより試料を50℃に保った。エッチング終了後、再び10分間程度の真空排気を行い、チャンバー内に残存した活性種を取り除くことにより、試料との反応を防いだ。その後、大気中のH2OやO2の吸着の影響をできる限り避けるために、N2を1atmまで導入した後に試料をチャンバーから取り出した。同じく、大気の影響を避けるため、取り出した試料を直ちに乾燥剤と酸素吸収剤の入った真空デシケーター(到達真空度1.33×102Pa)に保存した。
また、試料の種類(炭化珪素単結晶基材)、三フッ化窒素の流量、圧力、印加電力を変更することによるエッチング速度の変化、エッチングされた試料の平滑性(表面粗さ)を原子間力顕微鏡で測定し、実施例1〜実施例25、比較例1〜比較例7として表1にまとめた。このとき、エッチング処理された炭化珪素単結晶の表面粗さは、±150nm以内のものを○、その中でも特に±50nm以内のものを◎とした。一方、表面粗さが±150nmよりも大きいものは×とした。また、実施例10、11に所定圧力の三フッ化窒素ガスに酸素ガスを混合し、この混合ガスにおける酸素ガスの濃度がそれぞれ10%、20%となるようにしてエッチングした場合のものも表1に示す。
(三フッ化窒素プラズマ中の化学種の特定及びその化学種濃度の測定の方法)
三フッ化窒素プラズマ中の化学種の特定及びその化学種濃度の測定を以下のような発光分光分析法によって行った。チャンバー内で発光した光をパイレックス(登録商標)ガラス製の観察窓からCCDカメラにより集光し、バンドルファイバにより受光した。それをコンピュータ制御された分光器の回折格子に入射し、光倍増したものをCCD素子で検出、デジタル信号に変換の後、コンピュータに取り込みモニターした。分光器及び周辺機器には、SPG−120PM、AT−120PM、AT−120PL、AT−100AP、AT−100PCC(島津製作所(株)製)を使用した。本実験では353.2nmのN+イオン及び703.7nmのフッ素ラジカルに帰属されるスペクトルに注目した。
一連のフォトリソグラフィー技術により炭化珪素単結晶表面にAlマスク(ニラコ(株)製99.99%)のパターニングを行った。エッチング速度を求めるために、それらの試料をエッチングした後、リン酸溶液(H3PO4:HNO3:CH3COOH:H2O=8:3:1:1)中に約5分間浸し、試料表面のAlマスクを溶解除去した。上述の処理で生じたエッチング面とAlマスキング処理によりエッチングされなかった面との段差をレーザー変位計(KEYENCE(株)製)により測定した。
エッチング時間の設定にあたっては、レーザー変位計による測定が可能となる100nm以上の段差となる必要があるため、10分間以上と定めた。なお、文中及び図中のエッチング速度は、エッチング処理後に測定された段差をエッチングした時間で除した値である。また、測定は1000個所で行い、表示された値はそれらの平均値である。
(化学種の特定とその化学種濃度の測定についての結果と考察)
三フッ化窒素圧力10Pa、印加電力100W、三フッ化窒素流量10sccmの下、三フッ化窒素プラズマ中の発光分光分析の結果を図2に示す。(a)は試料なし、(b)が試料を入れた状態で発光分光分析を行った結果である。図2から判るように、試料を入れることによって新たなピークは観察されなかった。
しかしながら、試料を入れることによってフッ素ラジカル(F・)の発光強度が減少した。350nmから400nm付近にN+イオン、N2 +イオン、N2などの窒素系に帰属されるピーク、600nmから750nm付近にフッ素ラジカルに帰属されるピークが確認された。NF3プラズマ中でのフッ素ラジカルと窒素イオンの生成反応は以下のように示されている。
また、炭化珪素のエッチングを行うことによりN2 +イオン及びフッ素ラジカルが大量に消費されることから、それらの化学種が主に炭化珪素のエッチングを行っているとされる。
NF3→ NF2・+F・ (1)
NF2・→ NF・+F・ (2)
NF・→ N・+F・ (3)
NF・→ N++F・+e (4)
N・→ N++e (5)
2N・→ N2 (6)
N2→ N2 ++e (7)
そこで、本実験で濃度の測定を行う際にも353.2nmのN+イオンに帰属されるピークと703.7nmのフッ素ラジカルに帰属されるピークに着目し、N2 +イオンとフッ素ラジカルの濃度を測定して炭化珪素の反応性イオンエッチングにおけるエッチング速度及びスパイク形成に及ぼす化学種濃度の依存性について調べた。
発光分光分析を開始する際には、プラズマを誘起させてから1分30秒後とした。また、ピーク強度は粒子数に依存するため、ここでは濃度として表現する。まず、チャンバー内に試料を設置し、印加電力100W、三フッ化窒素流量10sccmの下で三フッ化窒素圧力を変化させたときのN2 +イオン及びフッ素ラジカルのピーク強度変化を図3に示す。
フッ素ラジカルは三フッ化窒素圧力が2Paから5Paまで増加するにつれてピーク強度も大きく増加し、三フッ化窒素圧力5Paから20Paにかけては、圧力の増加につれて緩やかにピーク強度が増加した。また、N2 +イオンについては10Paまではピーク強度が大きく増加したが、三フッ化窒素圧力がさらに増加するとピーク強度は徐々に増加した。このことから三フッ化窒素圧力の増加に伴ってプラズマ中の化学種の濃度も増加することがわかる。
印加電力100W、三フッ化窒素圧力10Pa、三フッ化窒素流量10sccmの下で、試料台に炭化珪素を設置しない状態で発生させた三フッ化窒素プラズマにおいて、703.7nmのフッ素ラジカルに帰属されるピーク強度の経時変化を調べ、その結果を図4に示す。フッ素ラジカル濃度は、プラズマを誘起させてから約4分までは増加していたが、それ以上ではほぼ一定になった。そのため、エッチング時間は、三フッ化窒素の解離が十分に進んでおり、しかもエッチング深さの測定が十分に行いうる10分間とした。
一方、三フッ化窒素圧力10Paの下では、印加電力や流量を変化させるとフッ素ラジカルが変化し、フッ素ラジカルの増加につれてエッチング速度は増加するが、カーボンリッチな炭化珪素表面が生成し、やがて無数のスパイクが形成されることから、プラズマ中の化学種濃度の増加によって陽イオンの平均自由行程が短くなり十分な運動エネルギーが得られなくなるために、陽イオンによる炭素のアブレーション速度が減少し、その結果、フッ素ラジカルによる珪素のエッチングが優先的に進行するものと考えられる。
全圧10Pa、印加電力100W、全流量10sccmと一定の下、エッチング時間10分間および60分間において、酸素濃度の変化に伴うエッチング速度の変化について調べた。その結果を図11に示す。ここで、全圧を10Paと設定したのは、化学的なエッチングが主な反応となるようにするためである。図11からわかるように、10分間のエッチングの場合に比べ、60分間のエッチングでは、すべての酸素濃度でSiCのエッチング速度は減少していた。しかしながら、エッチング速度は、10分間と60分間のいずれの場合にも、酸素濃度が増加するにつれて増大し、酸素濃度が10%のときに最大値を示した。また、酸素濃度がさらに増加すると、エッチング速度はかえって単調に減少した。
上記の条件の下、発光分光分析法によりNF3/O2プラズマ中の化学種濃度を調べた結果を図12に示す。まず、フッ素ラジカル濃度については、酸素濃度の増加に伴って増加し、10%の酸素添加で最大となった。酸素濃度がさらに増加するとフッ素ラジカル濃度は単調に減少した。それに対し、N2 +イオン濃度においては、酸素濃度0%から10%の場合ではピーク強度が装置の検出できる上限を越えていまい、それ以上の高い濃度は測定できなかったが、図13に示したように、NF3圧力5Paの下で、N2 +イオン濃度を測定した場合、その濃度は、酸素濃度2%で最大となり、酸素濃度がさらに増加すると単調に減少した。また、フッ素ラジカル濃度は、NF3圧力10Paの場合と同じく、酸素濃度10%で最大となった。以上のことから、NF3圧力10Paにおいても、N2 +イオン濃度はNF3圧力5Paの場合と同じ傾向を示すものと考えられる。最後に、酸素ラジカルについては、酸素濃度60%までは緩やかに増加し、酸素濃度がさらに増加すると徐々に減少した。これらの結果から、酸素を添加したことによるフッ素ラジカルの増加によってSiCのエッチング速度は増加すると考えられる。しかしながら、酸素濃度20%から30%の場合、NF3プラズマのみの場合よりも、フッ素ラジカル濃度が低いにもかかわらず、エッチング速度が大きかった。
2 アース電極
3 試料
4 RF電極
5 CCDカメラ
6 流量制御計
7 チャンバー本体
8 弁
9 流量計
10 アルゴンガスの貯溜タンク
11 酸素ガスの貯溜タンク
12 窒素ガスの貯溜タンク
13 三フッ化窒素ガスの貯溜タンク
Claims (9)
- 原子間力顕微鏡による平滑性が±150nm以内である炭化珪素単結晶。
- 三フッ化窒素ガスをプラズマ励起し、炭化珪素単結晶の表面を処理する炭化珪素単結晶のエッチング方法。
- 前記三フッ化窒素ガスの圧力が0.5〜10Paである請求項2に記載の炭化珪素単結晶のエッチング方法。
- 前記三フッ化窒素ガスの流量が5〜15sccmである請求項2又は請求項3に記載の炭化珪素単結晶のエッチング方法。
- 前記三フッ化窒素ガスをプラズマ励起する際の印加電力が50〜100Wである請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の炭化珪素単結晶のエッチング方法。
- 希ガスラジカルによるイオンエッチングと、三フッ化窒素ガスによるダウンフローエッチングとを繰り返す処理をさらに行い平滑表面を得る請求項2乃至請求項5のいずれかに記載の炭化珪素単結晶のエッチング方法。
- 酸素ガスを含有させた三フッ化窒素ガスをプラズマ励起し、炭化珪素単結晶の表面を処理する炭化珪素単結晶のエッチング方法。
- 酸素ガスを含有させた三フッ化窒素ガスをプラズマ励起し、炭化珪素単結晶の表面を処理する工程と、
希ガスラジカルによるイオンエッチングと、三フッ化窒素ガスによるダウンフローエッチングとを繰り返す処理をさらに行い平滑表面を得る工程とを含む炭化珪素単結晶のエッチング方法。 - 前記炭化珪素単結晶が3C型、4H型、6H型から選ばれるものである請求項2乃至請求項8のいずれかに記載の炭化珪素単結晶のエッチング方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004201617A JP2006024749A (ja) | 2004-07-08 | 2004-07-08 | 炭化珪素単結晶及びそのエッチング方法 |
US11/631,851 US20080050301A1 (en) | 2004-07-08 | 2005-07-06 | Silicon Carbide Single Crystal and Method of Etching the Same |
EP05758208A EP1783825A4 (en) | 2004-07-08 | 2005-07-06 | SIMPLE SILICON CARBIDE CRYSTAL AND CHEMICAL ATTACK METHOD OF SAID CRYSTAL |
CNB2005800230356A CN100474523C (zh) | 2004-07-08 | 2005-07-06 | 碳化硅单晶蚀刻方法 |
PCT/JP2005/012473 WO2006006466A1 (ja) | 2004-07-08 | 2005-07-06 | 炭化珪素単結晶及びそのエッチング方法 |
KR1020067027560A KR20070057091A (ko) | 2004-07-08 | 2005-07-06 | 탄화규소 단결정과 그 에칭방법 |
TW094123223A TW200606286A (en) | 2004-07-08 | 2005-07-08 | Silicon carbide single crystal and its etching method |
HK07113042.4A HK1107610A1 (en) | 2004-07-08 | 2007-11-29 | Method for etching silicon carbide single crystal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004201617A JP2006024749A (ja) | 2004-07-08 | 2004-07-08 | 炭化珪素単結晶及びそのエッチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006024749A true JP2006024749A (ja) | 2006-01-26 |
Family
ID=35783810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004201617A Pending JP2006024749A (ja) | 2004-07-08 | 2004-07-08 | 炭化珪素単結晶及びそのエッチング方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080050301A1 (ja) |
EP (1) | EP1783825A4 (ja) |
JP (1) | JP2006024749A (ja) |
KR (1) | KR20070057091A (ja) |
CN (1) | CN100474523C (ja) |
HK (1) | HK1107610A1 (ja) |
TW (1) | TW200606286A (ja) |
WO (1) | WO2006006466A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007332019A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-12-27 | Showa Denko Kk | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101783296B (zh) * | 2009-01-20 | 2011-09-14 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 栅极侧壁层的形成方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2616030A1 (fr) * | 1987-06-01 | 1988-12-02 | Commissariat Energie Atomique | Procede de gravure ou de depot par plasma et dispositif pour la mise en oeuvre du procede |
US4981551A (en) * | 1987-11-03 | 1991-01-01 | North Carolina State University | Dry etching of silicon carbide |
JPH07161690A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-23 | Toshiba Corp | 炭化珪素体のエッチング方法 |
US6336971B1 (en) * | 1997-09-12 | 2002-01-08 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for producing silicon carbide single crystal |
JP3248071B2 (ja) * | 1998-10-08 | 2002-01-21 | 日本ピラー工業株式会社 | 単結晶SiC |
-
2004
- 2004-07-08 JP JP2004201617A patent/JP2006024749A/ja active Pending
-
2005
- 2005-07-06 WO PCT/JP2005/012473 patent/WO2006006466A1/ja active Application Filing
- 2005-07-06 US US11/631,851 patent/US20080050301A1/en not_active Abandoned
- 2005-07-06 KR KR1020067027560A patent/KR20070057091A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-07-06 CN CNB2005800230356A patent/CN100474523C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-06 EP EP05758208A patent/EP1783825A4/en not_active Withdrawn
- 2005-07-08 TW TW094123223A patent/TW200606286A/zh unknown
-
2007
- 2007-11-29 HK HK07113042.4A patent/HK1107610A1/xx not_active IP Right Cessation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007332019A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-12-27 | Showa Denko Kk | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1783825A4 (en) | 2008-11-12 |
CN1985362A (zh) | 2007-06-20 |
TW200606286A (en) | 2006-02-16 |
HK1107610A1 (en) | 2008-04-11 |
EP1783825A1 (en) | 2007-05-09 |
WO2006006466A1 (ja) | 2006-01-19 |
KR20070057091A (ko) | 2007-06-04 |
US20080050301A1 (en) | 2008-02-28 |
CN100474523C (zh) | 2009-04-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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