JP2006021849A - Device and method for conveying thin plateglass - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conveying device for improving the conveying efficiency of a thin plate glass in a means to convey the thin plate glass from one predetermined position to another predetermined position. <P>SOLUTION: In the conveying device 1 of a thin plate glass 2, the conveying device 1 comprises a holding pad 3 which holds the glass 2 and consists of an elastic member having the area larger than that of the glass, and a member 4 to separate the glass 2 from the holding pad 3 while sucking the glass 2, and further comprises a mechanism to start separation of the held glass by blowing compressed gas from the diagonal direction with respect to the holding pad 3 on a corner part of the held glass 2 on the holding pad side, and a mechanism 9 to blow liquid 10 in a space between the glass 2 and the holding pad 3 formed after starting separation. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、薄板ガラスを所定の位置から所定の位置に搬送するための装置及び搬送方法に関する。   The present invention relates to an apparatus and a transport method for transporting a thin glass sheet from a predetermined position to a predetermined position.

薄板ガラスを所定の位置から所定の位置に搬送する手段において、薄板ガラスの搬送効率を向上させるために、特許文献1では、ポーラス状の樹脂パッドに保持された薄板ガラスの端部に気体を吹き付けることで前記パッドより薄板ガラスの剥離を開始させる機構を有する搬送装置が開示されている。しかしながら、大面積の薄板ガラスを効率よく搬送するには、十分ではなく、さらなる改善を要していた。   In the means for transporting a thin glass from a predetermined position to a predetermined position, in order to improve the transport efficiency of the thin glass, in Patent Document 1, gas is blown to the end of the thin glass held by the porous resin pad. Thus, a conveying device having a mechanism for starting the peeling of the thin glass from the pad is disclosed. However, in order to efficiently convey a large area of thin glass, it is not sufficient and further improvement is required.

特許文献2では、薄板ガラスの周辺を、搬送台の設けられた保持用爪部材で定盤に載置された薄板ガラスを持ち上げ、側方より、定盤と薄板ガラスとの剥離を助長するための気体を吹き付けるためのノズルを備えた搬送装置が開示されている。しかしながら、薄板ガラスのエッジ部を爪等で保持するためにガラスが破損する確率が高くなることや、当該保持機構のために対応面積が制限される等の問題が生じる。また、気体を吹き付けるだけでは、薄板ガラスの剥離の助長が十分ではなく、特に水濡れ状態の薄板ガラスに対しては、それは顕著となる。
特開平7−41169号公報 特開2000−128344号公報
In Patent Document 2, in order to promote separation of the surface plate and the thin glass from the side by lifting the thin glass placed on the surface plate with the holding claw member provided with the transport table around the thin glass plate. A conveying device provided with a nozzle for blowing the gas is disclosed. However, since the edge portion of the thin glass is held by a nail or the like, there is a problem that the probability that the glass is broken increases and the corresponding area is limited due to the holding mechanism. Moreover, the spraying of the thin glass is not sufficient to blow the gas only by blowing the gas, and this is particularly remarkable for the thin glass in a wet state.
Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-41169 JP 2000-128344 A

近年、液晶テレビ、PDPテレビなどの表示装置は、大画面化の傾向にあり、それに伴い、それらに使用されるガラス基板としての板ガラスも大面積化の傾向にある。また、これら表示装置は、大画面化だけでなく、軽量化も必要とされており、使用される板ガラスにも、面積が0.6m〜1.4m程度、厚みが0.1mm〜0.7mm程度の薄板ガラスが使用されるようになってきている。 In recent years, display devices such as liquid crystal televisions and PDP televisions tend to have a large screen, and accordingly, plate glass as a glass substrate used for them tends to have a large area. These display devices are not only larger screens, weight reduction are required, even sheet glass to be used, the area is 0.6m 2 ~1.4m 2 mm, a thickness 0.1mm~0 Thin glass of about 7 mm has been used.

そして上記ような薄板ガラスは、その表面が水溶性の研磨剤でもって研磨加工され、ガラス表面の清浄性を維持させるために、水による洗浄作業が行われる。研磨作業を終えた薄板ガラスは、所定の場所に搬送させ、積載保管される。大面積の薄板ガラスは、破損しやすく、そして、研磨等によって、ガラス表面が水濡れ状態になった場合は、架台、部材等に密着状態となりやすく、より一層取り扱いが困難となる。   The surface of the thin glass as described above is polished with a water-soluble abrasive, and a cleaning operation with water is performed in order to maintain the cleanliness of the glass surface. The thin glass plate after the polishing operation is transported to a predetermined place and loaded and stored. Large-area thin glass is easily damaged, and when the glass surface becomes wet due to polishing or the like, it is likely to be in close contact with a pedestal, member, etc., making handling even more difficult.

本発明は、例えば研磨加工工程において、所定の位置から所定の位置への薄板ガラスの搬送する場合の薄板ガラスの搬送効率を向上させる手段を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide means for improving the efficiency of transporting thin glass when the thin glass is transported from a predetermined position to a predetermined position in, for example, a polishing process.

上記課題を解決するために本発明は薄板ガラスの搬送装置を提供する。すなわち、本発明の搬送装置は、ガラスを保持するためのガラス面積よりも大きな面積の弾性部材よりなる保持パッド、及びガラスを吸着しつつ保持パッドよりガラスを剥離させるための具材を備え、保持されたガラスの保持パッド側角部に保持パッドに対し斜め方向から圧縮された気体を吹き付けることで、保持されたガラスの剥離を開始させるための機構、剥離開始後に形成されたガラスと保持パッドとの間隙に液体を吹き付ける機構を有することを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a sheet glass conveying apparatus. That is, the transport device of the present invention includes a holding pad made of an elastic member having an area larger than the glass area for holding the glass, and a material for peeling the glass from the holding pad while adsorbing the glass. A mechanism for initiating the peeling of the held glass by blowing gas compressed from an oblique direction to the holding pad on the holding pad side corner of the glass, the glass and the holding pad formed after the start of peeling And a mechanism for spraying liquid into the gap.

保持パッドに保持状態にある薄板ガラスに、ガラスを吸着しつつ保持パッドよりガラスを剥離させるための具材で該薄板ガラスを吸着し、該具材で薄板ガラスを剥離させるために該具材を保持パッドとは離れる方向に引っ張る等の操作をしつつ、保持されたガラスの保持パッド側角部に保持パッドに対し斜め方向から圧縮された気体を吹き付けることで、保持されたガラスの剥離が開始される。この際、ガラスの保持パッド側角部に確実に気体を吹き付けることができるように圧縮された気体を吹き付けるための具材は、保持パッドに対し水平方向に移動可能とすることが好ましい。   The thin plate glass held by the holding pad is adsorbed with the material for peeling the glass from the holding pad while adsorbing the glass, and the material is used for peeling the thin glass with the material. Peeling of the held glass starts by spraying compressed gas from the diagonal direction against the holding pad to the holding pad side corner of the held glass while pulling it away from the holding pad. Is done. At this time, it is preferable that the material for blowing the compressed gas so that the gas can be reliably blown to the holding pad side corner of the glass is movable in the horizontal direction with respect to the holding pad.

ガラスの保持パッド側角部に確実に気体を吹き付けることにより、気体が弾性部材である保持パッドにも吹き付けられ、該部分は凹状に変形し、ガラスと保持パッドとが部分的に離れる。そして、該凹状に変形した部分に吹き付けられた気体は、反射してガラスの保持パッド側を押し当てるので、ガラスの保持パッドからの剥離が開始される。   By reliably blowing the gas to the holding pad side corner of the glass, the gas is also blown to the holding pad which is an elastic member, the portion is deformed into a concave shape, and the glass and the holding pad are partially separated. And since the gas sprayed on the part deform | transformed into this concave shape reflects and presses the glass holding pad side, peeling from the glass holding pad is started.

そして、上記圧縮された気体を吹き付けるための具材は、保持パッドの水平面に対し20°乃至40°の角度でもって圧縮された気体を吹き付けるようにすると剥離の開始作業を効率よくでき好ましい。   The material for spraying the compressed gas is preferably sprayed with a gas compressed at an angle of 20 ° to 40 ° with respect to the horizontal surface of the holding pad, so that the start work of peeling can be efficiently performed.

保持パッドからのガラスの剥離開始後に、剥離によって形成されたガラスと保持パッドとの間隙に液体を吹き付けることで、保持パッドからのガラスの剥離が助長される。この液体の吹き付けは、ガラスの剥離の助長を効率良くするためには、保持パッドに対して水平方向からすることが好ましい。液体に吹き付けによる剥離の助長を行うことにより、大面積のガラスであっても対応でき、また、液体による吹き付けなので、ガラスが水濡れ状態であっても効率よく剥離の助長が可能等の効果を奏するようになる。   After the start of peeling of the glass from the holding pad, the liquid is sprayed on the gap between the glass formed by peeling and the holding pad, thereby promoting the peeling of the glass from the holding pad. This liquid spraying is preferably performed from the horizontal direction with respect to the holding pad in order to facilitate the exfoliation of the glass. By promoting the peeling by spraying on the liquid, it is possible to cope with even a large area glass, and since it is sprayed by the liquid, it is possible to efficiently promote the peeling even when the glass is wet. Come to play.

前記吹き付けられた液体は、噴霧状とすることが好ましい。液体を噴霧状とすることで、ガラスが破損する確率を下げることができ、そして、液体の使用量を低減させることができる等の効果を有するようになる。   The sprayed liquid is preferably sprayed. By making the liquid into a spray state, the probability that the glass is broken can be lowered, and the amount of liquid used can be reduced.

そして、剥離よって形成されたガラスと保持パッドとの間隙に液体を吹き付けた後に、保持パッドに対し水平方向に圧縮された気体を吹き付けることによって、上記液体をガラスの剥離が開始され始めた箇所、又は剥離の開始が始まっていない箇所に確実に送ることができるようになるので好ましい。当該手段を有することにより、大面積の薄板ガラスであっても保持パッドからの剥離を行いやすくなる等の効果を奏する。   And, after spraying the liquid to the gap between the glass formed by peeling and the holding pad, by spraying a gas compressed in the horizontal direction against the holding pad, the location where the peeling of the glass began to start, Alternatively, it is preferable because it can be surely sent to a place where the start of peeling has not started. By having such means, there are effects such as easy separation from the holding pad even if the glass sheet has a large area.

本発明の薄板ガラスの搬送装置及び搬送方法は、搬送や研磨のために部材に保持された水濡れ状態や大面積の薄板ガラスを該部剤より効率よく剥離させることが可能なので、薄板ガラスの搬送効率を向上させ、ひいては、液晶テレビ、PDPテレビ等の製造工程の効率化に奏功する。   Since the thin glass conveying device and the conveying method of the present invention can efficiently peel off a wet glass state or a large area thin glass held by a member for conveyance or polishing from the agent, Improves transport efficiency and, in turn, improves the efficiency of manufacturing processes for liquid crystal televisions, PDP televisions, and the like.

本発明の薄板ガラスの搬送装置及び搬送方法について、図面を用いて説明する。図1は、本発明の搬送装置1に薄板ガラス2を保持パッド3にて保持させ、ガラスを吸着しつつ保持パッドよりガラスを剥離させるための具材(剥離具材)4をガラスに吸着させた状態を示している。圧縮された気体を吹き付ける具材が保持パッド3に対し斜め方向に配置され、これが薄板ガラス2を保持パッド3より剥離を開始させる機構(剥離開始機構)5として作用する。剥離開始機構5は、ガラスの保持パッド側角部に確実に気体を吹き付けることができるように圧縮された気体を吹き付けるための具材は、保持パッドに対し水平方向に移動可能とすることが好ましい。   The thin glass conveying apparatus and conveying method of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a conveying apparatus 1 according to the present invention, in which a thin glass 2 is held by a holding pad 3 and a material (peeling material) 4 for peeling the glass from the holding pad while adsorbing the glass is adsorbed to the glass. Shows the state. The material that blows the compressed gas is disposed obliquely with respect to the holding pad 3, and this acts as a mechanism (peeling start mechanism) 5 that starts the peeling of the thin glass plate 2 from the holding pad 3. The peeling start mechanism 5 is preferably configured such that the material for blowing the compressed gas so as to blow the gas reliably on the holding pad side corner of the glass is movable in the horizontal direction with respect to the holding pad. .

保持パッド3は、弾性部材を使用し、該弾性部材には、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリプロピレン、アクリルニトリル・ブタジエンゴム・スチレン、オレフィン等の弾性を有するプラスチック、特には発泡性のプラスチックを好適に使用でき、その厚みは、0.3mm〜3mm程度のものを使用することができる。保持パッド3への薄板ガラス2の保持には、真空吸引、間に水を介在させての吸着等公知の技術を適宜使用する。上記機構5は、圧縮された空気等の気体を吹き付けることができるものであればよく、代表的には、噴射管等が使用される。   The holding pad 3 uses an elastic member, and an elastic member such as polyurethane, polystyrene, polypropylene, acrylonitrile / butadiene rubber / styrene, olefin, etc., particularly foamable plastics can be suitably used for the elastic member. The thickness of about 0.3 mm to 3 mm can be used. For holding the thin glass plate 2 on the holding pad 3, a known technique such as vacuum suction and adsorption with water interposed therebetween is appropriately used. The mechanism 5 only needs to be able to blow a gas such as compressed air, and typically, an injection pipe or the like is used.

保持パッド3に保持状態にある薄板ガラス2に、剥離具材4で該薄板ガラス2を真空吸着等の手段で吸着し、該具材5で薄板ガラス2を剥離させるために剥離具材4を保持パッド3とは離れる方向に引っ張る等の操作(例えば図3のaの方向に剥離具材を引っ張る操作)をしつつ、剥離開始機構5で保持パッド3の水平面に対し斜め方向、好ましくは、20°乃至40°の角度をもって、圧縮された気体を吹き付けることで、保持された薄板ガラス2の剥離が開始される。   In order to adsorb the thin glass 2 to the thin glass 2 held by the holding pad 3 by means of vacuum suction or the like with the peeling tool material 4 and to peel the thin glass 2 with the tool 5, the peeling tool material 4 is used. While performing an operation such as pulling away from the holding pad 3 (for example, an operation of pulling the peeling tool material in the direction of a in FIG. 3), the peeling start mechanism 5 is inclined with respect to the horizontal plane of the holding pad 3, preferably Peeling of the held thin glass 2 is started by blowing the compressed gas at an angle of 20 ° to 40 °.

薄板ガラス2の剥離が開始されるときの動作を図2にて詳細に説明する。図2は、薄板ガラスの剥離が開始するときの詳細を表したものである。ガラスの保持パッド側角部に確実に剥離を開始させるための圧縮された気体7を吹き付けることにより、気体7が弾性部材である保持パッド3にも吹き付けられ、凹状の変形部8が生じる、薄板ガラス2と保持パッド3とが部分的に離れる。そして、変形部8に吹き付けられた気体は、反射してガラスの保持パッド側を押し当てるので、ガラスの保持パッドからの剥離が開始される。   The operation when the thin glass 2 starts to be peeled will be described in detail with reference to FIG. FIG. 2 shows details when the thin glass starts to peel. A thin plate in which the compressed gas 7 for reliably starting the peeling is sprayed on the corners of the holding pad side of the glass, whereby the gas 7 is also sprayed on the holding pad 3 which is an elastic member, and a concave deformed portion 8 is generated. The glass 2 and the holding pad 3 are partially separated. And since the gas sprayed on the deformation | transformation part 8 reflects and presses the holding pad side of glass, peeling from the holding pad of glass is started.

保持パッド3からの薄板ガラス2の剥離開始後に、剥離よって形成されたガラスと保持パッドとの間隙に剥離助長機構9より発せられた水等の液体10を吹き付けることで、保持パッド3からのガラスの剥離が助長される。この液体10の吹き付けは、ガラスの剥離の助長を効率良くするためには、保持パッド3に対して水平方向からすることが好ましい。またこの液体10は、噴霧状とすることが好ましい。液体を噴霧状とすることで、ガラスが破損する確率を下げることができ、そして、液体の使用量を低減させることができる等の効果を有するようになる。   After starting the peeling of the thin glass 2 from the holding pad 3, the glass 10 from the holding pad 3 is sprayed by spraying a liquid 10 such as water emitted from the peeling facilitating mechanism 9 into the gap between the glass formed by peeling and the holding pad. Peeling is promoted. The spraying of the liquid 10 is preferably performed in the horizontal direction with respect to the holding pad 3 in order to facilitate the exfoliation of the glass. The liquid 10 is preferably sprayed. By making the liquid into a spray state, the probability that the glass is broken can be lowered, and the amount of liquid used can be reduced.

剥離助長機構9には、水等の液体を吹き付けることができるものであればよく、代表的には、噴射管等が使用され、好ましくは、噴霧状の液体を吹き付けられるものが好ましい。又は、液体の拭きつけは、線状に行ってもよいが、広角状に吹き付けると設置する剥離助長機構9を少なくすることができるので好ましい。   The separation facilitating mechanism 9 only needs to be capable of spraying a liquid such as water. Typically, an injection tube or the like is used, and a sprayable liquid is preferably sprayed. Alternatively, the wiping of the liquid may be performed in a linear shape, but it is preferable to spray the liquid in a wide-angle shape because the number of peeling assisting mechanisms 9 to be installed can be reduced.

そして、剥離よって形成されたガラスと保持パッドとの間隙に液体を吹き付けた後に、液体を押出すための圧縮された気体を吹き付ける機構(液体押出し機構)11によって、保持パッド3に対し水平方向に圧縮された気体を吹き付けることによって、上記液体をガラスの剥離が開始され始めた箇所、又は剥離の開始が始まっていない箇所に確実に送ることができるようになるので好ましい。当該手段を有することにより、大面積の薄板ガラスであっても保持パッドからの剥離を行いやすくなる等の効果を奏する。   Then, after spraying a liquid into the gap between the glass formed by peeling and the holding pad, a mechanism (liquid pushing mechanism) 11 for spraying a compressed gas for extruding the liquid in a horizontal direction with respect to the holding pad 3 By spraying the compressed gas, it is preferable because the liquid can be surely sent to a location where the peeling of the glass starts or a location where the peeling has not started. By having such means, there are effects such as easy separation from the holding pad even if the glass sheet has a large area.

上記液体押出し機構11は、圧縮された気体を吹き付けられるものであればよく、代表的には噴射管が使用される。該機構11は、薄板ガラス2と保持パッド3との剥離が進むにつれて形成される間隙部に移動可能な機構とすることが好ましい。該機構を有すれば、図4のように剥離が起ころうとする場所まで液体押出し機構11を近づけることができるようになる。従って、大面積の薄板ガラスであっても、液体をガラスの剥離が開始され始めた箇所、又は剥離の開始が始まっていない箇所に確実に送ることができるようになり、保持パッド3からの薄板ガラス2の剥離が効率化され好ましい。   The liquid extruding mechanism 11 only needs to be able to spray a compressed gas, and typically an injection pipe is used. The mechanism 11 is preferably a mechanism that can move to a gap formed as the peeling between the thin glass plate 2 and the holding pad 3 proceeds. If the mechanism is provided, the liquid push-out mechanism 11 can be brought close to a place where peeling is likely to occur as shown in FIG. Therefore, even in the case of a thin glass sheet having a large area, the liquid can be reliably sent to a location where the peeling of the glass starts or a location where the peeling has not started, and the thin plate from the holding pad 3 can be sent. Peeling of the glass 2 is efficient and preferable.

本発明の薄板ガラスの搬送装置を表す断面概略図である。It is a cross-sectional schematic diagram showing the conveyance apparatus of the thin glass of this invention. 保持パッドからの薄板ガラスの剥離が開始するときの説明図である。It is explanatory drawing when peeling of the thin glass from a holding pad starts. 保持パッドからの薄板ガラスの剥離が液体の吹き付けによって助長されるときの状態を示した図である。It is the figure which showed the state when peeling of the thin glass from a holding pad is promoted by spraying of a liquid. 液体を吹き付けた後に圧縮された気体を保持パッドと薄板ガラスとの間に吹き付けるときの状態を示した図である。It is the figure which showed the state when spraying the gas compressed after spraying the liquid between a holding pad and a sheet glass.

符号の説明Explanation of symbols

1 薄板ガラスの搬送装置
2 薄板ガラス
3 保持パッド
4 剥離具材
5 圧縮された気体を吹き付けるための剥離開始機構
6 保持パッドのホルダー
7 薄板ガラスを保持パッドから剥離を開始させるための圧縮された気体
8 圧縮された気体によって形成された凹状変形部
9 液体を吹き付けるための剥離助長機構
10 吹き付けられた気体
11 薄板ガラスと保持パッドの間に吹き付けられた気体を押出すための圧縮された気体を吹き付けるための機構
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thin glass conveying apparatus 2 Thin glass 3 Holding pad 4 Peeling tool material 5 Peeling start mechanism 6 for blowing compressed gas Holding pad holder 7 Compressed gas for starting peeling of thin glass from holding pad 8 Deformed deformation part 9 formed by compressed gas 9 Peeling promotion mechanism 10 for spraying liquid 11 Sprayed gas 11 Sprayed compressed gas for extruding gas sprayed between thin glass and holding pad Mechanism for

Claims (7)

薄板ガラスの搬送装置であり、該搬送装置は、ガラスを保持するためのガラス面積よりも大きな面積の弾性部材よりなる保持パッド、及びガラスを吸着しつつ保持パッドよりガラスを剥離させるための具材を備え、保持されたガラスの保持パッド側角部に保持パッドに対し斜め方向から圧縮された気体を吹き付けることで、保持されたガラスの剥離を開始させるための機構、剥離開始後に形成されたガラスと保持パッドとの間隙に液体を吹き付ける機構を有することを特徴とする薄板ガラスの搬送装置。 It is a thin glass conveyance device, and the conveyance device is made of an elastic member having an area larger than the glass area for holding the glass, and a material for peeling the glass from the holding pad while adsorbing the glass A mechanism for starting the peeling of the held glass by blowing gas compressed from an oblique direction to the holding pad on the holding pad side corner of the held glass, and the glass formed after the start of peeling A device for transporting thin glass, characterized in that it has a mechanism for spraying liquid into the gap between the substrate and the holding pad. 剥離開始後に形成されたガラスと保持パッドとの間隙に保持パッドの水平方向から圧縮された気体を吹き付ける機構を有することを特徴とする請求項1に記載の薄板ガラスの搬送装置。 2. The apparatus for transporting thin glass according to claim 1, further comprising a mechanism for blowing a gas compressed from the horizontal direction of the holding pad into a gap between the glass formed after the start of peeling and the holding pad. 液体を吹き付ける機構が噴霧状液体を吹き付ける機構であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の薄板ガラスの搬送装置。 The thin glass conveying device according to claim 1 or 2, wherein the liquid spraying mechanism is a spraying liquid spraying mechanism. 保持パッドに薄板ガラスを吸着させ、ガラスを吸着しつつ保持パッドよりガラスを剥離させるための具材で該薄板ガラスを吸着し、該具材で薄板ガラスを剥離させるための操作をしつつ、保持されたガラスの保持パッド側角部に保持パッドに対し斜め方向から圧縮された気体を吹き付けることで、保持されたガラスの剥離を開始させ、剥離開始後に形成されたガラスと保持パッドとの間隙に液体を吹き付けることで前記保持パッドよりガラスを剥離させる工程を有することを特徴とする薄板ガラスの搬送方法。 Adsorb thin glass to the holding pad, hold the glass while adhering the glass with the material for peeling the glass from the holding pad while adsorbing the glass, and hold the operation to peel the thin glass with the material By blowing a gas compressed from an oblique direction to the holding pad on the holding pad side corner of the held glass, peeling of the held glass is started, and after the start of peeling, the gap between the glass and the holding pad formed is started. A method for transporting thin glass, comprising a step of peeling glass from the holding pad by spraying a liquid. 液体を吹き付けた後、剥離開始後に形成されたガラスと保持パッドとの間隙に保持パッドの水平方向から圧縮された気体を吹き付けることを特徴とする請求項3に記載の薄板ガラスの搬送方法。 The method for transporting thin glass according to claim 3, wherein after the liquid is sprayed, a gas compressed from the horizontal direction of the holding pad is sprayed into a gap between the glass formed after the start of peeling and the holding pad. 液体が噴霧状であることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の薄板ガラスの搬送方法。 The method for conveying a thin glass according to claim 4 or 5, wherein the liquid is sprayed. 保持されたガラスの保持パッド側角部に保持パッドの水平面に対し20°乃至40°の角度でもって圧縮された気体を吹き付けることを特徴とする請求項4乃至請求項6のいずれかに記載の薄板ガラスの搬送方法。 7. The gas compressed at an angle of 20 ° to 40 ° with respect to the horizontal surface of the holding pad is sprayed to the holding pad side corner of the held glass. Thin glass transport method.
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